WO2016178481A1 - 진공밸브용 블레이드 - Google Patents

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WO2016178481A1
WO2016178481A1 PCT/KR2016/003884 KR2016003884W WO2016178481A1 WO 2016178481 A1 WO2016178481 A1 WO 2016178481A1 KR 2016003884 W KR2016003884 W KR 2016003884W WO 2016178481 A1 WO2016178481 A1 WO 2016178481A1
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elastic member
opening
closing plate
parts
shaft connecting
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PCT/KR2016/003884
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English (en)
French (fr)
Inventor
김배진
최기선
김상민
김강현
Original Assignee
프리시스 주식회사
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Publication date
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    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
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    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Definitions

  • the present invention relates to a blade for a vacuum valve, which is provided in the moving space (11) inside the valve housing (10), the blade for the vacuum valve for opening and closing the moving passage portion (12) in accordance with the operation of the drive member (30).
  • the screw coupling portion (110, 110 ⁇ ) is formed on the other side, respectively, the screw coupling portion (110, 110 ′) opening and closing plate 100 formed with first elastic member seating portions 120 and 120 ′ so that one side of the first elastic member 300 and 300 ′ is seated around the outer circumference of 110 ′);
  • the contact protrusion (210, 210 ⁇ ) is formed so that the second elastic member seating portion (211, 211 ⁇ ) is seated on the other side of the first elastic member (400, 400 ⁇ ) ) Are respectively formed, and the shaft connecting bar is formed in the contact protrusions 210 and 210 ′, respectively, in which the connecting parts 220 and
  • first elastic member seating portion (120, 120 ⁇ ) and the second elastic member seating portion (211, 211 ⁇ ) are respectively provided the opening and closing plate 100 and the shaft connecting bar (200) First elastic members 300 and 300 ⁇ for guiding elastic connection thereof; and connecting units 400 inserted into the connection parts 220 and 220 ⁇ and connected to the other side of the opening and closing plate 100, respectively.
  • a blade for a vacuum valve characterized in that consisting of;
  • a semiconductor manufacturing process is a process requiring high precision, and high cleanliness and a special manufacturing technique are required.
  • the semiconductor device is manufactured in a state of completely blocking contact of foreign matter contained in air, that is, in a vacuum state.
  • the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the airtight technology also have a great influence on the quality of the semiconductor product.
  • a vacuum chamber for controlling the transfer of suction power of the vacuum pump is installed between the process chamber and the process chamber and the vacuum pump that sucks air in the process chamber and semiconductor chamber integrated process is performed Is installed.
  • the blade which is connected to the driving member and the opening and closing of the moving passage by the driving force of the driving member in the configuration of the vacuum valve serves to open and close the moving passage by moving vertically and horizontally according to the operation of the driving member, thereby maintaining cleanliness in the process chamber. Play an important role in improving the efficiency of the work
  • the blade when the blade closes the moving passage, the blade is preferably designed to have a high sealing force with the moving passage.
  • valve plate on the valve rod of the patent document 1 is a structure of the valve opening and the valve plate in contact with the surface, the valve plate moving in the horizontal direction to open and close the valve opening is the operation of the cylinder
  • the valve plate and the valve opening portion are moved by one side of the valve opening, not horizontal, due to the minute difference in the amount of compressed air to be made, the output of the piston, the rotational force applied to the valve plate, and the connection point of each component.
  • the separation phenomenon occurs in the meeting surface, and as a result, the sealing force is lowered and the function as a valve used in the process chamber is lost.
  • an object of the present invention is to insert a first elastic member of the elastic material between the opening and closing plate and the shaft connecting bar, respectively, a structure in which the opening and closing plate and the shaft connecting bar is elastically connected.
  • the first elastic member variably responds to the positional change of the opening and closing plate due to mechanical separation error or an imbalance of the actuating force, and when the opening and closing plate closes the moving passage part, the opening and closing plate is elaborated on the moving passage part. It is to provide a blade for a vacuum valve that can be in close contact with each other to maintain a tightly sealed state at all times.
  • the blade for a vacuum valve is provided in the moving space 11 inside the valve housing 10, the moving passage portion 12 depending on whether the drive member 30 is operated.
  • the vacuum valve blade (1) for opening and closing the it is formed in a plate shape and one side thereof is in contact with the moving passage portion 12, the other side screw threaded portion (110, 110 ⁇ ) is formed
  • the opening and closing plate having the first elastic member seating parts 120 and 120 ′ formed on the outer circumference of the screw coupling parts 110 and 110 ′, respectively, so that one side of the first elastic member 300 and 300 ′ is seated ( And, one or more provided on the other side of the opening and closing plate 100, the second elastic member seating portion (211, 211 ⁇ ) is formed so that the other side of the first elastic member (400, 400 ⁇ ) is seated
  • Shaft connecting bar 200 is formed, respectively, and is provided between the first elastic member seating portion (120, 120 ⁇ ) and the second elastic member seating portion (211, 211 ⁇ ), respectively, the opening and closing plate 100 and A first elastic member (300, 300 ⁇ ) for guiding the shaft connecting bar 200 to be elastically connected; and the other side surface of the opening and closing plate 100 is inserted into the connecting portion (220, 220 ⁇ ), respectively; It is characterized in that consisting of; connecting units (400, 400 ⁇ ) to be connected.
  • connection unit 400, 400 ′ is formed on one side of the head portion 410, 410 ′ of the screw head and the head portions 410, 410 ′ of the other side of the opening and closing plate 100.
  • the connecting protrusions 420 and 420 ⁇ are formed in contact with each other, and the coupling parts 430 are inserted into the coupling bolts 440 and 440 ⁇ inside the head parts 410 and 410 ⁇ and the connecting protrusions 420 and 420 ⁇ .
  • 430 ′ is formed, and is coupled to the screw coupling parts 110 and 110 ′ in a state of being inserted into the coupling parts 430 and 430 ′ to connect the opening and closing plate 100 and the shaft connecting bar 200.
  • Coupling bolts (440, 440 ⁇ ) to be provided,
  • the stepped portions are formed so that the head portions 410 and 410 ⁇ are supported while the connecting units 400 and 400 ⁇ are inserted into the connecting portions 220 and 220 ⁇ .
  • 221, 221 ′ are formed, and the connection insertion holes 222, 222 ′ are formed in the inside of the stepped parts 221, 221 ′ so that the connection protrusions 420, 420 ′ are inserted therein.
  • the diameter (D1) of the connection insertion hole (222, 222 ⁇ ) is characterized in that it is formed larger than the diameter (d1) of the connection projections (420, 420 ⁇ ).
  • the stepped parts 221, 221 ′ are formed with third elastic member seating parts 221 a, 221 a ′ so that one side surfaces of the second elastic members 500, 500 ′ are seated.
  • the second elastic member 500 may be elastically connected to the shaft connecting bar 200 and the connecting units 400 and 400 ⁇ . 500 ⁇ ) is provided.
  • the present invention by inserting each of the first elastic member of the elastic material between the opening and closing plate and the shaft connecting bar to implement a structure in which the opening and closing plate and the shaft connecting bar elastically connected, mechanical separation error
  • the first elastic member variably responds to the positional change of the opening and closing plate due to the imbalance of the generated or actuated force, and the opening and closing plate is in close contact with the moving passage part precisely and always maintains a tightly closed state.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the overall appearance of a vacuum valve including a blade for a vacuum valve according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a perspective view showing the overall appearance of a blade for a vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is an exploded perspective view showing an exploded view of the blade for a vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a front view showing the other side of the blade for a vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a cross section of A-A of FIG.
  • Figure 6 is an embodiment showing a state that the blade for the vacuum valve in accordance with a preferred embodiment of the present invention closes the moving passage.
  • Blade 1 for the vacuum valve is largely composed of the opening and closing plate 100, the shaft connecting bar 200, the connection unit (400, 400 ⁇ ).
  • the opening and closing plate 100 will be described. As shown in FIG. 1 or 2, the opening and closing plate 100 is provided in the moving space 11 inside the valve housing 10 and moves in the closing direction C depending on whether the driving member 20 is operated. Thus, as a component for opening and closing the moving passage 12, it includes a screw coupling portion (110, 110 ') and the first elastic member seating portion (120, 120').
  • the screw coupling parts 110 and 110 ⁇ are symmetrical to the other side of the opening and closing plate 100 and are recessed to form a recess, respectively, of the connecting units 400 and 400 ⁇ to be described later. Coupled with the coupling bolts (440, 440 ⁇ ) serves to connect the opening and closing plate 100 and the shaft connecting bar 200 to be described later.
  • the first elastic member seating parts 120 and 120 ′ are recessed and formed around the outer periphery of the screw coupling parts 110 and 110 ′, respectively.
  • the shaft connecting bar 200 is provided on the other side of the opening and closing plate 100, as shown in Figure 1 or 2, coupled to the main shaft 20 and the guide shaft 21, the drive member 30 As a component for vertically and horizontally moving the opening and closing plate 100 through the main shaft 20 and the guide shaft 21 to move vertically, horizontally by the operation of the contact projections (210, 210 ⁇ ) and the connecting portion (220, 220 ⁇ ).
  • the contact protrusions 210 and 210 ′ protrude from both side surfaces of the shaft connection bar 200 to be connected to the other side of the opening and closing plate 100.
  • the second elastic member seating portions 211 and 211 ′ corresponding to the first elastic member seating portions 120 and 120 ′ are recessed on one side surfaces of the contact protrusions 210 and 210 ′, respectively.
  • the first elastic members 300 and 300 having one side thereof seated on the first elastic member seating portions 120 and 120 ′.
  • the other side of ⁇ ) is seated on the second elastic member seating portions 211 and 211 ⁇ , and thus, together with the first elastic member seating portions 120 and 120 ⁇ , It guides you to prevent the departure and maintain the position.
  • connection parts 220 and 220 ' are perforated in the contact protrusions 210 and 210', respectively, so that the connection units 400 and 400 'to be described later are inserted and inserted.
  • the coupling protrusions 440 and 440 ⁇ of the connection units 400 and 400 ⁇ are coupled to the screw coupling portions 110 and 110 ⁇ , and the stepped portions 221 and 221 ⁇ and the third, respectively. It includes elastic member seating portion (221a, 221a ⁇ ), connection insertion holes (222, 222 ⁇ ).
  • the stepped parts 221 and 221 ' are protruding elements on the inner surfaces of the connecting parts 220 and 220', and the connecting units 400 and 400 'are inserted into the connecting parts 220 and 220'. It serves to support the head portion 410, 410 ⁇ of the connection unit 400, 400 ⁇ to be described later in the state.
  • one of the second elastic members 500 and 500 ⁇ of an elastic material inserted into the stepped portions 221 and 221 ⁇ is inserted between the stepped portions 221 and 221 ⁇ and the head portions 410 and 410 ⁇ .
  • the third elastic member seating portions 221a and 221a ⁇ may be recessed to seat the side surfaces.
  • connection insertion holes 222 and 222 ′ are perforated parts of the stepped parts 221 and 221 ′, and the connection insertion holes 222 and 222 ′ will be described later.
  • the connecting protrusions 420 and 420 ⁇ of the connecting units 400 and 400 ⁇ are inserted, respectively, to connect the opening and closing plate 100 and the shaft connecting bar 200.
  • the diameter (D1) of the connection insertion hole (222, 222 ⁇ ) is characterized in that it is formed larger than the diameter (d1) of the connection projections (420, 420 ⁇ ).
  • the force (F) transmitted to the shaft connecting bar 200 during the operation of the drive member 30 is the central axis of the shaft connecting bar
  • the first elastic member 300 ′ on the right side is instantaneous when the opening and closing plate 100 is in close contact with the moving passage part 120.
  • the shaft connecting bar 200 rotates in a counterclockwise direction.
  • the connection insertion holes 222 and 222 This is to ensure the displacement range so that the shaft connecting bar 200 can rotate in the counterclockwise direction without being restricted by the connecting protrusions 420 and 420 ⁇ inserted into the ⁇ ).
  • the connecting units 400 and 400 ' will be described.
  • the connecting units 400 and 400 ′ are respectively inserted into the connecting parts 220 and 220 ′ so as to be connected to the other side of the opening and closing plate 100.
  • the shaft connecting bar (200) as a component that serves to connect, head portion (410, 410 ⁇ ), connecting projections (420, 420 ⁇ ), coupling portion (430, 430 ⁇ ), coupling bolt 440 , 440 ⁇ ).
  • the head part 410, 410 ′ has a third elastic member seating part of the stepped part 221, 221 ′ in a state where the connection unit 400, 400 ′ is inserted into the connection part 220, 220 ′.
  • 221a, 221a ⁇ is a component in contact with the other side of the second elastic member 500, 500 ⁇ seated on, the head portion 410, 410 ⁇ is fixed to the other side of the opening and closing plate 100 Being formed on the other side of the connecting protrusions 420 and 420 ⁇ , it serves to limit the movement of the shaft connecting bar 200.
  • the inner diameter (D2) of the connecting portion 220, 220 ⁇ on which the head portion (410, 410 ⁇ ) is seated is larger than the diameter (d2) of the head portion (410, 410 ⁇ ). It is characterized by being formed.
  • the force F transmitted to the shaft connecting bar 200 is right from the central axis CL of the shaft connecting bar 200.
  • the shaft connecting bar 200 is to ensure the displacement range to rotate in a counterclockwise direction.
  • connection protrusions 420 and 420 ' are protruded on one side of the head parts 410 and 410' and are connected to the other side of the opening and closing plate 100 through the connection insertion holes 222 and 222 '. As a component, it serves to fix the head portion (410, 410 ⁇ ).
  • the coupling parts 430 and 430 ⁇ are perforated parts inside the head parts 410 and 410 ⁇ and the connection protrusions 420 and 420 ⁇ , and the coupling bolts 440 and 440 ⁇ are inserted into the coupling parts 430 and 430 ⁇ . Coupling bolts (440, 440 ⁇ ) to be coupled to the screw coupling portion (110, 110 ⁇ ).
  • the opening and closing plate 100 according to a preferred embodiment of the present invention will be described in the process of closing the moving passage (12).
  • the opening and closing plate 100 is located in the open direction (O) side from the moving passage portion 12 to maintain the open state of the moving passage portion (12).
  • the opening and closing plate 100 and the shaft connecting bar 200 by the drive member 30 is moved vertically and then horizontally in the closing direction (C) By moving, it is generally made that the moving passage portion 12 is closed and closed by the opening and closing plate 100.
  • the shaft When the force F transmitted to the connecting bar 200 is further acted on the right side (expressed with reference to FIG. 6) from the central axis CL of the shaft connecting bar, the opening and closing plate 100 is the moving passage part. In the process of closing (12), it is moved horizontally in a distorted state to one side.
  • the first elastic member 300 ′ on the right side is the first elasticity on the left side (expressed with reference to FIG. 6).
  • the opening and closing plate 100 and the moving passage part 12 may be paralleled as the strain F is further deformed in proportion to the force F and distance applied thereto, thereby allowing the opening and closing plate ( By maintaining an intimate connection state between the 100 and the moving passage 12 without being spaced apart, it is possible to be sealed tightly.
  • connection protrusions 220 and 220 ⁇ of the shaft connecting bar 200 and the first elastic members 300 and 300 ⁇ may be shaped or sized as components of vacuum valves and blades, and the driving member 30. In consideration of the output and the like, it is possible to configure the number more than one.

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Abstract

본 발명은 판형상으로 형성되어 그 일측면이 상기 이동통로부와 접촉되되, 타측면에 나사결합부가 각각 형성되고, 나사결합부의 외측 둘레에는 제1 탄성부재의 일측면이 안착되도록 제1 탄성부재안착부가 형성되는 개폐판과, 개폐판 타측면에 하나 이상 구비되되, 제1 탄성부재의 타측면이 안착되도록 제2 탄성부재안착부가 형성되는 접촉돌출부가 각각 형성되고, 접촉돌출부 내부에는 연결유닛이 삽입되도록 연결부가 각각 형성되는 샤프트연결바와, 제1 탄성부재안착부와 제2 탄성부재안착부 사이에 각각 구비되어 개폐판과 샤프트연결바가 탄성적으로 연결되는 것을 가이드하는 제1 탄성부재와, 연결부에 각각 삽입되어 개폐판의 타측면과 연결되는 연결유닛으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

진공밸브용 블레이드
본 발명은 진공밸브용 블레이드 에 관한 것으로서, 밸브하우징(10) 내부의 이동공간(11)에 구비되어, 구동부재(30)의 작동여부에 따라 이동통로부(12)를 개폐시키는 진공밸브용 블레이드(1)에 있어서, 판형상으로 형성되어 그 일측면이 상기 이동통로부(12)와 접촉되되, 타측면에 나사결합부(110, 110`)가 각각 형성되고, 상기 나사결합부(110, 110`)의 외측 둘레에는 제1 탄성부재(300, 300`)의 일측면이 안착되도록 제1 탄성부재안착부(120, 120`)가 각각 형성되는 개폐판(100);과, 상기 개폐판(100) 타측면에 하나 이상 구비되되, 상기 제1 탄성부재(400, 400`)의 타측면이 안착되도록 제2 탄성부재안착부(211, 211`)가 형성되는접촉돌출부(210, 210`)가 각각 형성되고, 상기 접촉돌출부(210, 210`) 내부에는 연결유닛(400, 400`)이 삽입되도록 연결부(220, 220`)가 각각 형성되는 샤프트연결바(200);와, 상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)와 제2 탄성부재안착부(211, 211`) 사이에 각각 구비되어 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)가 탄성적으로 연결되는 것을 가이드하는 제1 탄성부재(300, 300`);와, 상기 연결부(220, 220`)에 각각 삽입되어 상기 개폐판(100)의 타측면과 연결되는 연결유닛(400, 400`);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 블레이드 에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정은 고정밀도를 요구하는 공정으로서, 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되어 있다.
상기와 같은 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 완벽하게 차단한 상태, 즉, 진공상태에서 제조되고 있다.
따라서, 반도체 제조장치의 진공작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 주게 된다.
이러한 반도체 제조공정을 위해서는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 공정챔버와 공정챔버 내의 공기를 흡입하는 진공펌프 및 공정챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 공정챔버로 전달되는 것을 조절하는 진공밸브가 설치된다.
이와 같은 진공밸브의 구성 중 구동부재와 연결되어 구동부재의 구동력에 의해 이동통로를 개폐하는 블레이드는 구동부재의 작동여부에 따라 수직 및 수평 이동하여 이동통로를 개폐하는 역할을 함으로써, 공정챔버 내의 청결도를 유지시켜 작업의 효율성을 증진시키는데 매우 중요한 역할을 한다.
이 때문에 블레이드는 이동통로를 폐쇄하는 경우, 이동통로와의 밀폐력이 높도록 설계되는 것이 바람직하다.
이러한 블레이드 중 하기 특허문헌 1의 “밸브로드 상에의 밸브 플레이트 의 설치(대한민국 공개특허공보 제10-2011-0102328호)”은 밸브로드에 대해 가로질러 뻗어 있는 크로스부재를 이용한 밸브로드 상에의 밸브플레이트의 설치로서, 상기 크로스부재는 중앙 연결지점에서는 밸브로드와 연결되어 있으며, 그리고 중앙 연결지점의 양쪽에 놓여 있는 적어도 2개의 측면 연결지점들에서는 밸브플레이트와 연결되어 있고, 그리고 상기 크로스부재는 중앙 연결지점 및 양쪽에서 상기 중앙 연결지점에 접혀 있는 크로스부재의 색견들을 포함하는 중앙 섹션에서 밸브플레이트로부터의 간격을 가지는 밸브로드 상에의 밸브플레이트의 설치에 있어서, 크로스부재의 비틀림을 통해 밸브플레이트는 밸브로드에 대해 직작으로 있는 선회축 둘레로 밸브로드에 대해 선회될 수 있도록 구성된 것으로서, 밸브플레이트가 밸브개구부를 폐쇄하는 경우, 밸브플레이트가 균등한 힘으로 밸브개구부를 가압하여 긴밀한 밀폐상태를 유지할 수 있다는 장점이 있었다.
그러나, 상기 특허문헌 1의 밸브로드 상에의 밸브 플레이트의 설치”는 반복적인 작동으로 인해 밸브로드가 마모되거나 밸브플레이트 및 종축 등의 연결이 느슨하게 됨에 따라 밸브플레이트가 밸브개구부를 폐쇄하는 경우, 밸브플레이트가 밸브개구부를 정확하게 폐쇄하지 못함으로써, 공정챔버 내의 청결도가 저하되고, 밸브하우징 내부에 이물질 등이 유입되어 파티클이 발생된다는 문제점이 있었다.
또한, 상기 특허문헌 1의 밸브로드 상에의 밸브 플레이트의 설치”는 면과 면이 접촉되는 밸브개구부와 밸브플레이트의 구조로서, 밸브개구부의 개폐를 위해 수평방향으로 이동하는 밸브플레이트는 실린더의 작동시키는 압축공기의 양, 피스톤의 상승출력, 밸브플레이트에 가해지는 회전력, 각 구성요소의 연결지점 등의 미세한 차이에 따라 밸브개구부에 대하여 수평상태가 아닌 일측이 틀어져 이동됨으로써, 밸브플레이트와 밸브개구부가 만나는 면에 이격현상이 발생되고, 이에 따라, 밀폐력이 저하되어 공정챔버 내세 사용되는 밸브로서의 기능이 상실된다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 개폐판과 샤프트연결바 사이에 탄성재질의 제1 탄성부재를 각각 삽입하여 개폐판과 샤프트연결바가 탄성적으로 연결되는 구조를 구현함으로써, 기계적인 이격 오차가 발생하거나 작동되는 힘의 불균형에 의한 개폐판의 위치변경에 대해 제1 탄성부재가 가변적으로 대응하여, 개폐판이 이동통로부를 폐쇄하는 경우, 개폐판이 이동통로부에 정교하게 밀착하여 항상 긴밀한 밀폐상태를 유지할 수 있는 진공밸브용 블레이드를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 진공밸브용 블레이드는, 밸브하우징(10) 내부의 이동공간(11)에 구비되어, 구동부재(30)의 작동여부에 따라 이동통로부(12)를 개폐시키는 진공밸브용 블레이드(1)에 있어서, 판형상으로 형성되어 그 일측면이 상기 이동통로부(12)와 접촉되되, 타측면에 나사결합부(110, 110`)가 각각 형성되고, 상기 나사결합부(110, 110`)의 외측 둘레에는 제1 탄성부재(300, 300`)의 일측면이 안착되도록 제1 탄성부재안착부(120, 120`)가 각각 형성되는 개폐판(100);과, 상기 개폐판(100) 타측면에 하나 이상 구비되되, 상기 제1 탄성부재(400, 400`)의 타측면이 안착되도록 제2 탄성부재안착부(211, 211`)가 형성되는 접촉돌출부(210, 210`)가 각각 형성되고, 상기 접촉돌출부(210, 210`) 내부에는 연결유닛(400, 400`)이 삽입되도록 연결부(220, 220`)가 각각 형성되는 샤프트연결바(200);와, 상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)와 제2 탄성부재안착부(211, 211`) 사이에 각각 구비되어 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)가 탄성적으로 연결되는 것을 가이드하는 제1 탄성부재(300, 300`);와, 상기 연결부(220, 220`)에 각각 삽입되어 상기 개폐판(100)의 타측면과 연결되는 연결유닛(400, 400`);으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연결유닛(400, 400`)은, 나사머리형상의 헤드부(410, 410`)와, 상기 헤드부(410, 410`)의 일측에 형성되어 상기 개폐판(100)의 타측면과 접촉되는 연결돌기부(420, 420`)가 형성되고, 상기 헤드부(410, 410`)와 연결돌기부(420, 420`) 내측에는 결합볼트(440, 440`)가 삽입되도록 결합부(430, 430`)가 형성되며, 상기 결합부(430, 430`)에 삽입된 상태에서 상기 나사결합부(110, 110`)에 결합되어 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)를 연결시키는 결합볼트(440, 440`)가 구비되고,
상기 연결부(220, 220`)의 내측면에는 상기 연결유닛(400, 400`)이 상기 연결부(220, 220`)에 삽입된 상태에서 상기 헤드부(410, 410`)가 지지되도록 단턱부(221, 221`)가 형성되며, 상기 단턱부(221, 221`)의 내측에는 상기 연결돌기부(420, 420`)가 삽입되도록 연결삽입공(222, 222`)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연결삽입공(222, 222`)의 지름(D1)은 상기 연결돌기부(420, 420`)의 지름(d1)보다 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 단턱부(221, 221`)에는 제2 탄성부재(500, 500`)의 일측면이 안착되도록 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`)가 형성되고, 상기 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`)와 상기 헤드부(410, 410`)의 일측 사이에는 상기 샤프트연결바(200)와 연결유닛(400, 400`)이 탄성적으로 연결되도록 제2 탄성부재(500, 500`)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
이상 , 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 개폐판과 샤프트연결바 사이에 탄성재질의 제1 탄성부재를 각각 삽입하여 개폐판과 샤프트연결바가 탄성적으로 연결되는 구조를 구현함으로써, 기계적인 이격 오차가 발생하거나 작동되는 힘의 불균형에 의한 개폐판의 위치변경에 대해 제1 탄성부재가 가변적으로 대응하여, 개폐판이 이동통로부에 정교하게 밀착하여 항상 긴밀한 밀폐상태를 유지할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드를 포함하는 진공밸브의 전체 모습을 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드의 전체 모습을 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드의 분해된 모습을 보인 분해사시도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드의 타측의 모습을 보인 정면도.
도 5는 도 4의 A-A의 단면을 나타낸 단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드가 이동통로부를 폐쇄하는 모습을 보인 실시예도.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브용 블레이드(1)는 크게, 개폐판(100), 샤프트연결바(200), 연결유닛(400, 400`)으로 구성된다.
먼저, 개폐판(100)에 대하여 설명한다. 상기 개폐판(100)은 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 밸브하우징(10) 내부의 이동공간(11)에 구비되어, 구동부재(20)의 작동여부에 따라 폐쇄방향(C)으로 이동됨으로써, 이동통로부(12)를 개폐시키는 구성요소로서, 나사결합부(110, 110`) 및 제1 탄성부재안착부(120, 120`)를 포함한다.
상기 나사결합부(110, 110`)는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 개폐판(100)의 타측면에 대칭을 이루며 각각 함몰형성되는 일종의 연결구로서, 후술할 연결유닛(400, 400`)의 결합볼트(440, 440`)와 결합되어 상기 개폐판(100)과 후술할 샤프트연결바(200)를 연결시키는 역할을 한다.
상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)는 도 3 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 나사결합부(110, 110`)의 외측 둘레에 각각 함몰형성되는 구성요소로서, 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)가 연결된 상태에서, 상기 개폐판(100)의 타측면과 후술할 접촉돌기부(210, 210`)의 일측면 사이에 삽입되는 탄성재질의 제1 탄성부재(300, 300`)의 일측면이 안착됨으로써, 상기 구동부재(30)의 작동에 의해 상기 샤프트연결바(200)가 폐쇄방향(C)으로 이동하여 상기 제1 탄성부재(300, 300`)가 압축변형되는 경우, 외부로의 이탈을 방지하고 최초의 위치를 유지할 수 있게 해 준다.
다음으로, 샤프트연결바(200)에 대하여 설명한다. 상기 샤프트연결바(200)는 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 개폐판(100)의 타측면에 구비되어 메인샤프트(20) 및 가이드샤프트(21)와 결합되고, 상기 구동부재(30)의 작동에 의해 수직, 수평이동하는 메인샤프트(20) 및 가이드샤프트(21)를 통해 상기 개폐판(100)을 수직, 수평으로 이동시키는 구성요소로서, 접촉돌기부(210, 210`) 및 연결부(220, 220`)를 포함한다.
상기 접촉돌기부(210, 210`)는 도 3 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트연결바(200)의 양일측면에 각각 돌출형성되어 상기 개폐판(100)의 타측면과 연결되는 구성요소로서, 상기 접촉돌기부(210, 210`)의 일측면에는 상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)와 대응되는 제2 탄성부재안착부(211, 211`)가 각각 함몰형성된다.
이에 따라, 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)가 연결된 상태에서, 상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)에 그 일측면이 안착된 상기 제1 탄성부재(300, 300`)의 타측면이 상기 제2 탄성부재안착부(211, 211`)에 안착됨으로써, 상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)와 함께 상기 제1 탄성부재(300, 300`)의 외부이탈 방지 및 위치를 유지하는 것을 가이드 해 준다.
상기 연결부(220, 220`)는 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 접촉돌기부(210, 210`)의 내부에 각각 타공형성되어 후술할 연결유닛(400, 400`)이 삽입되고, 삽입된 상기 연결유닛(400, 400`)의 결합돌기(440, 440`)가 상기 나사결합부(110, 110`)와 결합가능하게 하는 구성요소로서, 단턱부(221, 221`), 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`), 연결삽입공(222, 222`)을 포함한다.
상기 단턱부(221, 221`)는 상기 연결부(220, 220`)의 내측면에 돌출형성되는 구성요소로서, 상기 연결유닛(400, 400`)이 상기 연결부(220, 220`)에 삽입된 상태에서 후술할 상기 연결유닛(400, 400`)의 헤드부(410, 410`)를 지지하는 역할을 한다.
한편, 상기 단턱부(221, 221`)에는 상기 단턱부(221, 221`)와 상기 헤드부(410, 410`) 사이에 삽입되는 탄성재질의 제2 탄성부재(500, 500`)의 일측면이 안착되도록 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`)가 함몰형성되는 것이 가능하다.
상기 연결삽입공(222, 222`)은 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 단턱부(221, 221`)의 내측에 타공형성되는 구성요소로서, 상기 연결삽입공(222, 222`)에는 후술할 상기 연결유닛(400, 400`)의 상기 연결돌기부(420, 420`)가 각각 삽입됨으로써, 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)를 연결 가능하게 한다.
한편, 본 발명에 있어서, 상기 연결삽입공(222, 222`)의 지름(D1)은 상기 연결돌기부(420, 420`)의 지름(d1)보다 크게 형성하는 것을 특징으로 한다.
이는, 도 6의 (b)에 나타낸 것과 같이 그 일실시예로, 상기 구동부재(30)의 작동하는 과정에서 상기 샤프트연결바(200)에 전달되는 힘(F)이 샤프트연결바의 중심축(C.L)으로부터 우측(도 6을 기준으로 표현함.)으로 더 작용하게 되면, 상기 개폐판(100)이 이동통로부(120)에 밀착되는 순간, 우측의 상기 제1 탄성부재(300`)는 좌측(도 6을 기준으로 표현함.)의 상기 제1 탄성부재(300)보다 더 변형됨에 따라, 상기 샤프트연결바(200)가 반시계방향으로 회전하게 되는데, 이때, 연결삽입공(222, 222`)에 삽입된 상기 연결돌기부(420, 420`)의 제약을 받지 않고 상기 샤프트연결바(200)가 반시계방향으로 회전할 수 있도록 변위 범위를 확보하기 위함이다.
다음으로, 연결유닛(400, 400`)에 대하여 설명한다. 상기 연결유닛(400, 400`)은 도 3 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 연결부(220, 220`)에 각각 삽입되어 상기 개폐판(100)의 타측면과 연결됨으로써, 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)를 연결시켜주는 역할을 하는 구성요소로서, 헤드부(410, 410`), 연결돌기부(420, 420`), 결합부(430, 430`), 결합볼트(440, 440`)를 포함한다.
상기 헤드부(410, 410`)는 상기 연결유닛(400, 400`)이 상기 연결부(220, 220`)에 삽입된 상태에서 상기 단턱부(221, 221`)의 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`)에 안착되는 상기 제2 탄성부재(500, 500`)의 타측면과 접촉되는 구성요소로서, 상기 헤드부(410, 410`)는 상기 개폐판(100)의 타측면에 고정되는 상기 연결돌기부(420, 420`)의 타측에 형성됨으로써, 상기 샤프트연결바(200)의 이동을 제한하는 역할을 한다.
한편, 본 발명에 있어서, 상기 헤드부(410, 410`)가 안착되는 상기 연결부(220, 220`)의 내측지름(D2)은 상기 헤드부(410, 410`)의 지름(d2)보다 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
이는, 앞서 도 6의 (b)에 나타낸 것을 참고하여 설명한 것과 같이, 상기 샤프트연결바(200)에 전달되는 힘(F)이 샤프트연결바의 중심축(C.L)으로부터 우측(도 6을 기준으로 표현함.)으로 더 작용하게 되면, 상기 샤프트연결바(200)가 반시계방향으로 회전할 수 있도록 변위 범위를 확보하기 위함이다.
상기 연결돌기부(420, 420`)는 상기 헤드부(410, 410`)의 일측에 돌출형성되어 상기 연결삽입공(222, 222`)을 통과하여 상기 개폐판(100)의 타측면에 연결되는 구성요소로서, 상기 헤드부(410, 410`)를 고정시키는 역할을 한다.
상기 결합부(430, 430`)는 상기 헤드부(410, 410`)와 연결돌기부(420, 420`) 내측에 타공형성되는 구성요소로서, 상기 결합볼트(440, 440`)가 삽입되어 상기 결합볼트(440, 440`)가 상기 나사결합부(110, 110`)에 결합되는 것을 가능하게 한다.
이허에서는 도 1 및 도 6을 참고하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 개폐판(100)이 이동통로부(12)를 폐쇄하는 과정을 설명하기로 한다.
먼저, 도 6의 (a)에 나타낸 것과 같이, 상기 개폐판(100)은 상기 이동통로부(12)로부터 개방방향(O) 쪽에 위치하여 상기 이동통로부(12)의 개방상태를 유지시킨다.
이후, 상기 이동통로부(12)의 폐쇄를 위한 작동진행은, 상기 구동부재(30)에 의해 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)는 수직이동 한 후 폐쇄방향(C)으로 수평이동함으로써, 상기 개폐판(100)에 의해 상기 이동통로부(12)가 밀폐되어 폐쇄되는 것이 일반적으로 이루어진다.
그러나, 수직이동을 한 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)가 다음 진행단계인 수평방향의 이동을 실행할 경우, 도 6의 (b)에 나타낸 것과 같이, 일실시예로, 상기 샤프트연결바(200)에 전달되는 힘(F)이 샤프트연결바의 중심축(C.L)으로부터 우측(도 6을 기준으로 표현함.)으로 더 작용하게 되면, 상기 개폐판(100)은 상기 이동통로부(12)를 폐쇄하는 과정에서 일측으로 틀어진 상태로 수평이동하게 된다.
이때, 상기 개폐판(100)의 전면이 상기 이동통로부(12)에 맞닿게 되면, 우측의 상기 제1 탄성부재(300`)는 좌측(도 6을 기준으로 표현함.)의 상기 제1 탄성부재(300)보다 가해지는 힘(F)과 거리에 비례하여 더 변형됨에 따라 상기 개폐판(100)과 상기 이동통로부(12)를 평행상태를 이루는 것을 가능하게 하고, 이로 인하여 상기 개폐판(100)과 상기 이동통로부(12) 사이에 이격없이 긴밀한 연결상태를 유지함으로써, 정교하게 밀폐되는 것이 가능해 진다.
한편, 상기 샤프트연결바(200)의 접속돌출부(220, 220`) 및 제1 탄성부재(300, 300`)는 진공밸브 및 블레이드 등의 구성요소들의 형상 또는 크기, 상기 구동부재(30)의 출력 등을 고려하여, 그 갯수가 하나 이상 다양하게 구성되는 것이 가능하다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (4)

  1. 밸브하우징(10) 내부의 이동공간(11)에 구비되어, 구동부재(30)의 작동여부에 따라 이동통로부(12)를 개폐시키는 진공밸브용 블레이드(1)에 있어서,
    판형상으로 형성되어 그 일측면이 상기 이동통로부(12)와 접촉되되, 타측면에 나사결합부(110, 110`)가 각각 형성되고, 상기 나사결합부(110, 110`)의 외측 둘레에는 제1 탄성부재(300, 300`)의 일측면이 안착되도록 제1 탄성부재안착부(120, 120`)가 각각 형성되는 개폐판(100);
    상기 개폐판(100) 타측면에 하나 이상 구비되되, 상기 제1 탄성부재(400, 400`)의 타측면이 안착되도록 제2 탄성부재안착부(211, 211`)가 형성되는 접촉돌출부(210, 210`)가 각각 형성되는 샤프트연결바(200);
    상기 제1 탄성부재안착부(120, 120`)와 제2 탄성부재안착부(211, 211`) 사이에 각각 구비되어 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)가 탄성적으로 연결되는 것을 가이드하는 제1 탄성부재(300, 300`);
    상기 샤프트연결바(200)에 결합되되, 상기 개폐판(100)의 타측면과 연결되는 연결유닛(400, 400`);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 블레이드(1).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결유닛(400, 400`)은,
    나사머리형상의 헤드부(410, 410`)와,
    상기 헤드부(410, 410`)의 일측에 형성되어 상기 개폐판(100)의 타측면과 접촉되는 연결돌기부(420, 420`)가 형성되고,
    상기 헤드부(410, 410`)와 연결돌기부(420, 420`) 내측에는 결합볼트(440, 440`)가 삽입되도록 결합부(430, 430`)가 형성되며,
    상기 결합부(430, 430`)에 삽입된 상태에서 상기 나사결합부(110, 110`)에 결합되어 상기 개폐판(100)과 샤프트연결바(200)를 연결시키는 결합볼트(440, 440`)가 구비되고,
    상기 연결부(220, 220`)의 내측면에는 상기 연결유닛(400, 400`)이 상기 연결부(220, 220`)에 삽입된 상태에서 상기 헤드부(410, 410`)가 지지되도록 단턱부(221, 221`)가 형성되며,
    상기 단턱부(221, 221`)의 내측에는 상기 연결돌기부(420, 420`)가 삽입되도록 연결삽입공(222, 222`)이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 블레이드(1).
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 연결삽입공(222, 222`)의 지름(D1)은 상기 연결돌기부(420, 420`)의 지름(d1)보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 블레이드(1).
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 단턱부(221, 221`)에는 제2 탄성부재(500, 500`)의 일측면이 안착되도록 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`)가 형성되고,
    상기 제3 탄성부재안착부(221a, 221a`)와 상기 헤드부(410, 410`)의 일측 사이에는 상기 샤프트연결바(200)와 연결유닛(400, 400`)이 탄성적으로 연결되도록 제2 탄성부재(500, 500`)가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공밸브용 블레이드(1).
PCT/KR2016/003884 2015-05-04 2016-04-14 진공밸브용 블레이드 WO2016178481A1 (ko)

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