KR20100110488A - 슬롯밸브 - Google Patents

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KR20100110488A
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KR1020090028842A
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손영만
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주식회사 에스알티
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Abstract

본 발명에 의하면, 처리모듈측과 이송모듈측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 제1/2 슬롯이 형성되는 진공하우징의 일측에 연통되는 밸브하우징; 상기 밸브하우징의 외측에 구비되는 도어; 상기 도어의 일단에 연결되는 샤프트; 상기 밸브하우징의 내부에 구비되는 실린더; 상기 실린더 내부에서 상기 샤프트의 타단에 연결되어 샤프트에 연결된 도어가 제1/2 슬롯에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯에 평행하게 이동시키는 피스톤; 상기 샤프트가 관통된 실린더의 타단에 구비되어 상기 도어가 선택적으로 제1/2 슬롯에 접촉되도록 실린더를 회동시키는 제1/2 액츄에이터; 및 상기 실린더의 타단과 제1/2 액츄에이터 사이에 연결되어 상기 제1/2 액츄에이터의 선택적인 구동에 따라 실린더가 회동되도록 구동력을 전달하는 제1/2 연결링크를 포함하는 슬롯밸브가 제공된다.
반도체, 게이트, 앵글, 밸브, 슬롯, 피스톤, 챔버, 도어, 날개, 밀폐, 액츄에이터

Description

슬롯밸브{Slot valve}
본 발명은 슬롯밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 처리모듈과 이송모듈 사이에 피처리물의 이동통로를 위해 형성된 두 개의 슬롯을 가지는 진공하우징의 일측에 위치되는 밸브하우징 내부에 상기 슬롯을 개폐하는 도어구동부의 구성을 간단히 하여 제조비용을 절감할 수 있는 슬롯밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조장치에 있어서 복수개의 공정챔버들은 상호간 웨이퍼가 통과할 수 있도록 인접 배치된다. 여기서, 상기 공정챔버간의 웨이퍼 이송은 인접한 공정챔버들의 인접한 벽체에 형성된 슬롯이나 포트를 통해 웨이퍼를 이동시키는 이송모듈에 의해 이루어지게 된다. 이때, 상기 이송모듈과 공정챔버 즉, 처리모듈 사이에는 에어가 누출되어 공기압이 변화되는 것을 방지하거나 상기 처리모듈에서 처리 동작 중 상기 이송모듈을 밀폐시키도록 하기 위해서는 여러 형태의 게이트 밸브 즉, 슬롯밸브가 각종 모듈을 격리하도록 사용된다.
상기와 같은 슬롯밸브는, 특허출원 제10-2001-7012363호의 "양날개형 슬롯밸브 및 그 설치방법" 등에 개시된 바 있다.
도 1a와 도 1b는 각각 종래의 양날개형 슬롯밸브를 개략적으로 나타낸 정단 면도와 측단면도이다.
상기와 같은 종래의 슬롯밸브는, 도 1a와 도 1b에 도시된 바와 같이, 제1 벽체와 제2 벽체를 갖추되, 제1 모듈과 제2 모듈 사이로 피처리물을 이송할 수 있도록 제1 벽체에는 제1 슬롯(S1)을 구비하고 제2 벽체에는 제2 슬롯(S2)을 구비하며, 제1 모듈은 제1 벽체에 설치되고 제2 모듈은 제2 벽체에 설치되는 진공하우징(H1)의 일측에 구비된 밸브하우징(H2)으로부터 진공하우징(H2) 내에 이동가능하게 장착되어 제1 슬롯(S1)을 개폐하는 제1 도어(D1)와 제2 슬롯(S2)을 개폐하는 제2 도어(D2) 및 제1 도어(D1)와 제2 도어(D2)에 각각 연결되어 상기 도어들을 상기 제1 벽체와 제2 벽체에 수직하게 이동하거나 평행하게 이동하여 각각 제1 슬롯(S1)과 제2 슬롯(S2)을 개폐하는 수직액츄에이터(A1)와 수평액츄에이터(A2)를 포함한다.
그러나 상기와 같은 종래의 슬롯밸브는, 상기 슬롯의 개폐가 각각 해당 슬롯에 대응된 도어와 상기 도어의 개폐동작을 제어하는 도어구동부에 의해 이루어지고 여기서, 상기 도어구동부는 해당 도어를 해당 슬롯에 수직 또는 평행하게 이동시키는 복수개의 수직/수평 액츄에이터들로 이루어지는 복잡한 구성으로 통하여 그 제어방법이 복잡하고 상기 구성부들을 구비하기 위한 진공하우징 또는 밸브하우징의 공간이 커지게 되어 결국 반도체 제조장치의 제조비용이 증가하게 되는 문제점이 있다.
또한, 상기 도어를 상기 슬롯들에 대하여 수직하게 이동시키는 수직 액츄에이터의 구동이 상기 밸브하우징 내부에서 상기 도어의 이동 방향에 대하여 수직하게 이루어지기 때문에 상기 수직 액츄에이터의 반복 구동시 체결부재 등에 의해 하 나의 바디로 체결되는 밸브하우징의 체결부위가 유격되어지는 문제점이 있고, 이러한 경우 밀폐수단으로서 반도체 통로를 개폐하는 동작이 정확하게 제어되기 힘든 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 처리모듈과 이송모듈 사이에 피처리물의 이동통로를 위해 형성된 두 개의 슬롯을 가지는 진공하우징의 일측에 위치되는 밸브하우징 내부에 상기 슬롯이 하나의 도어와 도어구동부로 이루어진 간단한 구성에 의해 선택적으로 개폐되도록 할 수 있는 슬롯밸브를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 밸브하우징의 내부에 상기 슬롯들을 선택적으로 개폐하기 위한 도어구동부의 구성을 간단히 하고 밸브하우징의 공간 또는 면적의 크기를 작게 하여 제조비용을 절약할 수 있는 슬롯밸브를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 상기 밸브하우징들의 내부에 상기 슬롯을 개폐하는 도어를 회동시키는 도어구동부의 액츄에이터가 도어의 진행방향에 수직하게 형성 동작되어 밸브하우징 체결부위가 유격되는 것을 방지할 수 있는 슬롯밸브를 제공하는 것이다.
한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이를 위하여, 본 발명에 의하면, 처리모듈측과 이송모듈측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 제1/2 슬롯이 형성되는 진공하우징의 일측에 연통되는 밸브하우징; 상기 밸브하우징의 외측에 구비되는 도어; 상기 도어의 일단에 연결되는 샤프트; 상기 밸브하우징의 내부에 구비되는 실린더; 상기 실린더 내부에서 상기 샤프트의 타단에 연결되어 샤프트에 연결된 도어가 제1/2 슬롯에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯에 평행하게 이동시키는 피스톤; 상기 샤프트가 관통된 실린더의 타단에 구비되어 상기 도어가 선택적으로 제1/2 슬롯에 접촉되도록 실린더를 회동시키는 제1/2 액츄에이터; 및 상기 실린더의 타단과 제1/2 액츄에이터 사이에 연결되어 상기 제1/2 액츄에이터의 선택적인 구동에 따라 실린더가 회동되도록 구동력을 전달하는 제1/2 연결링크를 포함하는 슬롯밸브가 제공된다.
여기서, 상기 도어는 상기 제1 슬롯과 제2 슬롯을 각각 선택적으로 밀폐하는 제1/2 블레이드를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1/2 액츄에이터는 상기 실린더의 구동방향에 평행한 방향으로 구동되도록 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1/2 연결링크는, 상기 실린더의 일단 양측에 형성된 회동돌기에 일단이 각각 연결되고 타단은 상기 제1/2 액츄에이터에 각각 고정되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1/2 연결링크는 상기 회동돌기가 가이드되도록 삽입되며 상기 제1/2 액츄에이터의 구동 방향에 대해 비스듬하게 형성되는 가이드공을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실린더의 일단 양측은 상기 제1/2 액츄에이터의 구동시 상기 회동돌기가 가이드공을 따라 가이드될 때 실린더가 실린더의 구동 방향에 대해 일측 또는 타측 방향으로 회동 가능하도록 하는 피벗부재에 의해 밸브하우징의 내부에 설치된 것이 바람직하다.
따라서 본 발명에 의하면, 처리모듈과 이송모듈 사이에 피처리물의 이동통로를 위해 형성된 두 개의 슬롯을 가지는 진공하우징의 일측에 위치되는 밸브하우징 내부에 상기 슬롯이 하나의 도어와 도어구동부로 이루어진 간단한 구성에 의해 선택적으로 개폐되도록 함으로써, 밸브하우징 또는 진공하우징의 공간을 작게 하여 반도체 제조장비의 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 상기 제1/2 액츄에이터가 밸브하우징의 내부에 실린더에 의해 유동되는 샤프트의 길이방향에 평행하도록 구비되어 신장 동작됨으로써, 종래에서와 같이 밸브하우징의 결합부위가 이격되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.
도 2 내지 도 4는 각각 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬롯밸브를 나타 낸 정면도, 측면 투시도 및 측단면도이고, 도 5와 도 6은 각각 도 2의 슬롯밸브에 있어서 슬롯이 선택적으로 개폐되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬롯밸브는, 처리모듈(PM)측과 이송모듈(TM)측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 제1/2 슬롯(S1,S2)이 형성되는 진공하우징(H1)의 일측에 연통되는 밸브하우징(H2)의 외측에 구비되는 제1/2 블레이드(111,112)를 가지는 도어(110), 도어(110)의 일단에 연결되어 밸브하우징(H2)의 내부에 구비되는 샤프트(120), 밸브하우징(H2)의 내부에 구비되는 실린더(130), 실린더(130) 내부에서 샤프트(120)의 타단에 연결되어 샤프트(120)에 연결된 도어(110)가 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯(S1,S2)에 평행하게 이동시키는 피스톤(140), 샤프트(120)가 관통된 실린더(130)의 타단에 구비되어 실린더(130)를 회동시켜 도어(110)의 제1/2 블레이드(111,112)가 선택적으로 제1/2 슬롯(S1,S2)에 접촉되도록 구동되는 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2) 및 실린더(130)의 타단과 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2) 사이에 연결되어 액츄에이터(150)의 선택적인 구동에 따라 실린더(130)가 회동되도록 구동력을 전달하는 제1/2 연결링크(160-1,160-2)를 포함한다.
진공하우징(H1)은, 처리모듈(PM)과 이송모듈(TM) 사이를 연결하여 웨이퍼나 반도체기판 등과 같은 피처리물이 상호간을 이동되도록 하는 진공상태의 이동 통로이며, 처리모듈(PM)측에 제1 슬롯(S1)이 형성되고 이송모듈(TM)측에 제2 슬롯(S2)이 형성된다.
밸브하우징(H2)은, 진공하우징(H1)의 제1 슬롯(S1)과 제2 슬롯(S2)을 통한 피처리물의 이동 통로에 대해 수직한 방향으로 진공하우징(H1)에 연통되며, 상기 제1 슬롯(S1)과 제2 슬롯(S2)을 개폐하기 위한 도어(110)를 진공하우징(H1)에 이동시키는 도어구동부인 샤프트(120), 실린더(130), 피스톤(140), 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2) 및 제1/2 연결링크(160-1,160-2) 등이 구비되는 공간을 제공한다.
여기서, 진공하우징(H1)과 밸브하우징(H2)은 진공 상태를 유지하도록 상호간 연결되는 것이 바람직하며, 진공하우징(H1)에 연결되는 밸브하우징(H2)의 일단에는 상호간 연결과 지지를 용이하게 하기 위한 플랜지(101)가 형성된다.
도어(110)는, 밸브하우징(H2)의 외부에 위치되어 진공하우징(H1)의 제1/2 슬롯(S1,S2)을 각각 선택적으로 개폐하기 위한 제1/2 블레이드(111,112)를 포함하며, 제1/2 블레이드(111,112)의 일면에는 블레이드가 슬롯에 접촉시 슬롯을 밀폐하기 위한 오링부재(113)가 구비된다.
샤프트(120)는, 도어(110)에 일단이 연결되고 밸브하우징(H2)의 실린더(130)에 타단이 관통되어 도어(110)가 밸브하우징(H2)에 지지된 상태를 유지하도록 한다. 여기서, 샤프트(120)와 밸브하우징(H2)의 플랜지(101) 사이에는 벨로우즈(121)가 더 구비되어 이물질 등의 유입을 방지하여 샤프트(120)의 이동을 용이하게 하는 것이 바람직하다.
실린더(130)는, 샤프트(120)가 관통되는 일단이 밸브하우징(H2)의 플랜지(101) 외측으로 일정길이 돌출되도록 관통된 상태로 밸브하우징(H2)의 내부에 구비되며, 샤프트(120)가 유동되기 위한 공간인 관통공(미부호)이 형성된다.
피스톤(140)은, 실린더(130) 내부에서 실린더(130)를 관통하는 샤프트(120)의 타단에 연결되며 공기압력을 통하여 샤프트(120)를 실린더(130) 내부로부터 유동시켜 샤프트(120)에 연결된 도어(110)가 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯(S1,S2)에 평행하게 이동시킨다.
제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)는, 샤프트(120)가 관통된 실린더(130)의 타단 외부에 구비되어 실린더(130)를 회동시켜 도어(110)의 제1/2 블레이드(111,112)가 선택적으로 제1/2 슬롯(S1,S2)에 밀폐되도록 구동하는 이동부재로서, 자동식 또는 수동식 등이 있을 수 있으며, 자동식의 경우 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱(PNEUMATIC) 타입으로 하는 것이 바람직하다. 상기 뉴메틱타입의 액츄에이터는 압축공기가 유입되는 압축공기유입부(미도시), 실린더(미부호) 및 구동축(미부호) 등을 포함하나, 공지기술이므로 자세한 설명은 생략한다.
제1/2 연결링크(160-1,160-2)는, 실린더(130)의 타단과 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2) 사이에 연결되어 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)의 선택적인 구동에 따라 실린더(130)가 피스톤(140)의 이동되는 축을 기준으로 일측 또는 타측으로 회동되도록 구동력을 전달하는 구동력전달부재로서, 예를 들어, 피스톤(140)에 의해 샤프트(120)가 유동되어 샤프트(120)에 연결된 도어(110)가 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응된 상태에서 제1 액츄에이터(150-1)가 구동되면 구동력이 제1 연결링크(160-1)로부터 실린더(130)에 전달되어 도어(110)의 제1 블레이드(111)에 의해 제1 슬롯(S1)이 폐쇄되도록 실린더(130)가 좌측으로 회동하게 하고, 피스톤(140)에 의해 샤프트(120)가 유동되어 샤프트(120)에 연결된 도어(110)가 제1/2 슬 롯(S1,S2)에 대응된 상태에서 제2 액츄에이터(150-2)가 구동되면 구동력이 제2 연결링크(160-2)로부터 실린더(130)에 전달되어 도어(110)의 제2 블레이드(112)에 의해 제2 슬롯(S1)이 폐쇄되도록 실린더(130)가 우측으로 회동하게 하여 상기 제1/2 슬롯(S1,S2)이 선택적으로 개폐되게 한다.
여기서, 제1/2 연결링크(160-1,160-2)는, 실린더(130)의 일단 양측에 형성된 회동돌기(131)에 일단이 각각 연결되고 타단은 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)에 각각 고정되며, 상기 회동돌기(131)는 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)의 구동 방향에 대해 비스듬하게 타원형으로 형성되는 가이드공(161)에 가이드되도록 삽입되어 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)의 신장시 제1/2 연결링크(160-1,160-2)의 가이드공(161)에 실린더(130)의 회동돌기(131)가 가이드됨과 동시에 제1/2 연결링크(160-1,160-2)에 연결된 실린더(130)의 양측이 선택적으로 좌/우 방향으로 회동되도록 한다.
이때, 상기 실린더(130)의 일단 양측은 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)의 구동시 좌/우 방향으로 회동 가능하도록 피벗부재(132)에 의해 밸브하우징(H2)의 내부에 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 밸브하우징(H2)의 플랜지(101)에는 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)에 의해 실린더(130)가 좌측 또는 우측으로 회동될 수 있는 공간인 통공(미부호)이 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 상기와 같이, 밸브하우징(H2)의 내부에 제1/2 슬롯(S1,S2)을 개폐하기 위한 도어구동부가 제1/2 슬롯(S1,S2)을 개폐하는 제1/2 블레이드(111,112)를 가지는 도어(110)를 단일의 실린더(130)를 통해 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되도록 평행하게 이동시킨 후 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)를 통해 선택적으로 실린더(130)를 제1/2 슬롯(S1,S2)에 수직하게 회동시켜 제1/2 슬롯(S1,S2)에 제1/2 블레이드(111,112)가 선택적으로 밀폐되도록 하는 간단한 구성을 가지기 때문에 밸브하우징(H2) 또는 진공하우징(H1)의 공간을 작게 하여 반도체 제조장비의 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 상기 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)가 밸브하우징(H2)의 내부에 실린더(130)에 의해 유동되는 샤프트(120)의 길이방향에 평행하도록 구비되어 신장 동작됨으로써, 종래에서와 같이 밸브하우징(H2)의 결합부위가 이격되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)가 실린더(130)에 대해 평행하게 구비됨으로써, 밸브하우징(H2)의 공간을 최소화 할 수 있다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬롯밸브의 작용과 효과에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 슬롯밸브의 제1 블레이드(111)에 의해 제1 슬롯(S1)이 폐쇄될 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 실린더(130)의 피스톤(140)의 공기압력에 의해 실린더(130) 내부를 상승하게 되면, 피스톤(140)에 일단이 연결된 샤프트(120)가 실린더(130) 내부를 유동하게 되고 이에 따라 샤프트(120)의 타단에 연결된 도어(110)가 진공하우징(H1)의 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되는 위치를 가지도 록 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대하여 평행하게 상승하게 된다.
이 상태에서, 실린더(130)의 하단부에 제1 연결링크(160-1)를 통해 연결된 제1 액츄에이터(150-1)가 상승하게 되면, 제1 연결링크(160-1)의 가이드공(161)에 삽입된 실린더(130)의 회동돌기(131)가 가이드공(161)을 따라 가이드되면서 피벗부재(132)에 의해 밸브하우징(H2)에 회동가능하게 설치된 실린더(130)가 제1 슬롯(S1) 측으로 수직 회동되고 이에 따라 도어(110)의 제1 블레이드(111)가 제1 슬롯(S1)에 접촉되어 제1 슬롯(S1)이 폐쇄되게 된다.
한편, 슬롯밸브의 제2 블레이드(112)에 의해 제2 슬롯(S2)이 폐쇄될 때의 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 실린더(130)의 피스톤(140)의 공기압력에 의해 실린더(130) 내부를 상승하게 되면, 피스톤(140)에 일단이 연결된 샤프트(120)가 실린더(130) 내부를 유동하게 되고 이에 따라 샤프트(120)의 타단에 연결된 도어(110)가 진공하우징(H1)의 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대하여 평행하게 상승하게 된다.
이 상태에서, 실린더(130)의 하단부에 제2 연결링크(160-2)를 통해 연결된 제2 액츄에이터(150-2)가 상승하게 되면, 제2 연결링크(160-2)의 가이드공(161)에 삽입된 실린더(130)의 회동돌기(131)가 가이드공(131)을 따라 가이드되면서 피벗부재(132)에 의해 밸브하우징(H2)에 회동가능하게 설치된 실린더(130)가 제2 슬롯(S2) 측으로 수직 회동되고 이에 따라 도어(110)의 제2 블레이드(112)가 제2 슬롯(S2)에 접촉되어 제2 슬롯(S2)이 폐쇄되게 된다.
한편, 슬롯밸브의 블레이드들에 의해 선택적으로 폐쇄된 슬롯들의 피처리물의 이동 통로가 개방될 때의 과정은 상기 블레이드들에 의해 슬롯들이 선택적으로 폐쇄될 때의 역순으로 진행된다.
따라서 본 발명에 의하면, 밸브하우징의 내부에 제1/2 슬롯을 개폐하기 위한 도어구동부의 구성이 상기 제1/2 슬롯을 개폐하는 도어를 단일의 실린더를 통해 상기 제1/2 슬롯에 대응되도록 평행하게 이동시킨 후 제1/2 액츄에이터를 통해 선택적으로 상기 실린더를 제1/2 슬롯에 수직하게 회동시켜 상기 제1/2 슬롯에 제1/2 블레이드가 선택적으로 밀폐되도록 간단히 구성됨으로써, 밸브하우징 또는 진공하우징의 공간을 작게 하여 반도체 제조장비의 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 상기 제1/2 액츄에이터가 밸브하우징의 내부에 실린더에 의해 유동되는 샤프트의 길이방향에 평행하도록 구비되어 신장되도록 구동됨으로써, 종래에서와 같이 밸브하우징의 결합부위가 이격되는 것을 방지할 수 있고 밸브하우징의 공간을 최소화할 수 있다.
또한, 상기 도어를 통하여 제1/2 슬롯을 개폐하는 동작이 단일의 실린더와 한 쌍의 제1/2 액츄에이터로 구성된 도어구동부에 의해 이루어짐으로써, 그 제어 동작을 간단히 하여 반도체 제조공정이 신속하게 진행되도록 할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1a와 도 1b는 각각 종래의 양날개형 슬롯밸브를 개략적으로 나타낸 정단면도와 측단면도;
도 2 내지 도 4는 각각 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬롯밸브를 나타낸 정면도, 측면 투시도 및 측단면도; 및
도 5와 도 6은 각각 도 2의 슬롯밸브에 있어서 슬롯이 선택적으로 개폐되는 과정을 나타낸 도면이다.
*도면부호설명*
110 : 도어 120 : 샤프트
130 : 실린더 131 : 회동돌기
132 : 피벗부재 140 : 피스톤
150-1 : 제1 액츄에이터 150-2 : 제2 액츄에이터
160-1 : 제1 연결링크 160-2 : 제2 연결링크
161 : 가이드공

Claims (6)

  1. 처리모듈(PM)측과 이송모듈(TM)측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 제1/2 슬롯(S1,S2)이 형성되는 진공하우징(H1)의 일측에 연통되는 밸브하우징(H2);
    밸브하우징(H2)의 외측에 구비되는 도어(110);
    도어(110)의 일단에 연결되는 샤프트(120);
    밸브하우징(H2)의 내부에 구비되는 실린더(130);
    실린더(130) 내부에서 샤프트(120)의 타단에 연결되어 샤프트(120)에 연결된 도어(110)가 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯(S1,S2)에 평행하게 이동시키는 피스톤(140);
    샤프트(120)가 관통된 실린더(130)의 타단에 구비되어 도어(110)가 선택적으로 제1/2 슬롯(S1,S2)에 접촉되도록 실린더(130)를 회동시키는 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2); 및
    실린더(130)의 타단과 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2) 사이에 연결되어 액츄에이터(150)의 선택적인 구동에 따라 실린더(130)가 회동되도록 구동력을 전달하는 제1/2 연결링크(160-1,160-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯밸브.
  2. 제1항에 있어서, 도어(110)는 제1 슬롯(S1)과 제2 슬롯(S2)을 각각 선택적으로 밀폐하는 제1/2 블레이드(111,112)를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯밸브.
  3. 제1항에 있어서, 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)는 실린더(130)의 구동방향에 평행한 방향으로 구동되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 슬롯밸브.
  4. 제1항에 있어서, 제1/2 연결링크(160-1,160-2)는, 실린더(130)의 일단 양측에 형성된 회동돌기(131)에 일단이 각각 연결되고 타단은 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)에 각각 고정되는 것을 특징으로 하는 슬롯밸브.
  5. 제4항에 있어서, 제1/2 연결링크(160-1,160-2)는 회동돌기(131)가 가이드되도록 삽입되며 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)의 구동 방향에 대해 비스듬하게 타원형으로 형성되는 가이드공(161)을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯밸브.
  6. 제5항에 있어서, 실린더(130)의 일단 양측은 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2)의 구동시 회동돌기(131)가 가이드공(161)을 따라 가이드될 때 실린더(130)가 실린더(130)의 구동 방향에 대해 일측 또는 타측 방향으로 회동 가능하도록 하는 피벗부재(132)에 의해 밸브하우징(H2)의 내부에 설치된 것을 특징으로 하는 슬롯밸브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130055901A (ko) * 2011-11-21 2013-05-29 엘지디스플레이 주식회사 박막 증착장비용 밸브장치
KR101293590B1 (ko) * 2011-12-16 2013-08-13 주식회사 뉴파워 프라즈마 양방향 게이트 밸브 및 이를 구비한 기판 처리 시스템

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