KR20060051114A

KR20060051114A - 진공 밸브

Info

Publication number: KR20060051114A
Application number: KR1020050083748A
Authority: KR
Inventors: 플로리안 에르네; 프리드리히 가이저; 크리스토프 바흐만
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2004-09-08
Filing date: 2005-09-08
Publication date: 2006-05-19
Also published as: US20060049374A1; CN100504125C; JP4897261B2; TWI336378B; US7011294B1; TW200613673A; CN1749609A; KR101197067B1; JP2006077984A

Abstract

진공 밸브는, 종축선 (3) 을 갖는 밸브 개구 (2) 와 밸브 시이트 (26) 를 구비한 밸브 하우징 (1); 밸브 개구 (2) 를 개방하는 개방 위치와 밸브 하우징의 밸브 시이트와 접촉하여 밸브 개구를 밀폐 및 밀봉하는 밀폐 위치 사이에서 이동 방향 (7) 으로 일직선으로 이동가능하고, 또한 이 이동 방향으로 이동가능한 1 이상의 밸브 로드 (5) 에 설치되는 밸브 플레이트 (4); 밸브 플레이트 (4) 의 전방면 또는 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 에 배열되는 가요성 밀봉 링 (8); 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 또는 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에 배열되고, 또한 밸브 플레이트 (4) 의 밀폐 위치에서 밀봉 링 (8) 과 접촉하게 되는 밀봉면 (27) 으로서, 상기 밀봉면 (27) 과 밀봉 링 (8) 은 밸브 플레이트의 이동 방향 (7) 과 밸브 개구 (2) 의 종축선 (3) 모두에 수직인 축선 (31) 을 중심으로 밸브 플레이트 (4) 의 이동 방향에 대하여 경사진 평행한 평면 (28, 29) 에 배열되는 밀봉면 (27); 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에서 밀봉 링 (8) 또는 밀봉면 옆에 또는 밸브 시이트 (26) 에서 밀봉면 (27) 또는 밀봉 링 옆에 배열되는 1 이상의 슬라이딩-이격부 (32) 를 포함하고, 상기 슬라이딩-이격부 (32) 는, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에 도달할 때까지, 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분을 따라서 밸브를 밀폐할 때 밸브 하우징에 대하여 밸브 플레이트를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하고, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서, 밸브 플레이트를 밸브 하우징으로부터 거리를 두고 유지시켜, 밀봉 링의 압축을 제한한다.

진공 밸브

Description

진공 밸브{VACUUM VALVE}

도 1 은 부분적으로 개방된 상태의 본 발명에 따른 진공 밸브의 사선도,

도 2 는 밀폐 상태의 진공 밸브의 정면도,

도 3 은 도 2 의 선 A-A 를 따른 단면도,

도 4 는 밸브 플레이트의 정면도,

도 5 는 도 4 의 선 C-C 를 따른 단면도,

도 6 은 도 5 의 E 부분의 상세도,

도 7 은 밸브 플레이트의 후면도,

도 8 은 도 7 의 선 D-D 를 따른 단면도,

도 9 는 분해도의 방식으로 펼쳐진 상태로 도시된 밸브 부품의 사선도,

도 10 은 밸브 디스크의 가장자리 영역에서 도 9 의 일부를 도시한 확대도,

도 11 은 진공 밸브의 평면도 (도 2 에서 방향 (F) 에서 본 도면) 로서, 밸브 디스크의 은폐선 (concealed lines) 이 점선으로 도시된 도면,

도 12 는 도 11 의 선 B-B 를 따른 단면도,

도 13 은 도 2 의 선 A-A 를 따른 단면에서 밸브 하우징의 일부 및 밀폐 위치 근방에 있는 위치에 배치된 밸브 디스크의 일부를 도시한 측면도,

도 14 는 도 13 에 대응하는 본 발명의 변형 실시형태를 도시한 도면, 및

도 15, 도 16, 및 도 17 은 밀봉 링에 바람직한 홈 (도 15) 및 종래의 홈들 (도 16, 도 17) 의 병렬 배치도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 밸브 하우징 2 : 밸브 개구

3 : 종축선 4 : 밸브 플레이트

5 : 밸브 로드 6 : 구동 장치

7 : 이동 방향 8 : 밀봉 링

9, 45, 46 : 홈 10, 11, 13, 14 : 벽

12 : 챔버 15, 16 : 플랜지

17 : 플레이트 18 : 연결 나사

19 : 다이어프램형 벨로우즈 20, 22, 44 : 밀봉부

21 : 연결 플레이트 23 : 연결 플랜지

24 : 나사 25 : 체결 플레이트

26 : 밸브 시이트 27 : 밀봉면

28, 29 : 평면 30 : 각도

31, 36 : 축선 32 : 슬라이딩-이격부

33 : 리세스 34 : 잠금 돌출부

35 : 노치 37 : 어떤지점

38, 40 : 돌출부 39, 42 : 리세스

41 : 슬라이딩부 43 : 롤러

47, 48 : 외측 경계 가장자리 49, 50 : 측면벽

51 : 홈 바닥

본 발명은 진공 밸브에 관한 것으로서, 상기 진공 밸브는, 종축선을 갖는 밸브 개구와 밸브 시이트 (valve seat) 를 구비한 밸브 하우징; 밸브 개구를 개방하는 개방 위치와 밸브 하우징의 밸브 시이트와 접촉하여 밸브 개구를 밀폐 및 밀봉하는 밀폐 위치 사이에서 이동 방향으로 일직선으로 이동가능하고, 또한 이 이동방향으로 이동가능한 1 이상의 밸브 로드에 설치되는 밸브 플레이트; 밸브 플레이트의 전방면 또는 밸브 하우징의 밸브 시이트에 배열되는 가요성 밀봉 링; 밸브 하우징의 밸브 시이트 또는 밸브 플레이트의 전방면에 배열되고, 또한 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 밀봉 링과 접촉하게 되는 밀봉면으로서, 상기 밀봉면과 밀봉 링은 밸브 플레이트의 이동 방향에 또한 밸브 개구의 종축선 모두에 수직인 축선을 중심으로 밸브 플레이트의 이동 방향에 대하여 경사진 평행한 평면에 배열되는 밀봉면을 포함한다.

밀봉면과 밀봉 링이 밸브 개구의 종축선에 수직하게 연장하는 축선을 중심으로 밸브 플레이트의 이동 방향에 대하여 경사진 평행한 평면에 놓인 밸브는 쐐기형 게이트 밸브 (wedge gate valves) 로 알려져 있다. 이러한 종류의 밸브는 일반적으로 진공 사용시에 사용되지 않지만 유체 밸브로서 사용된다. 이러한 종류 의 유체 밸브는, 예를 들어 미국특허 제 2,194,261 호에 개시되어 있다. 다른 쐐기형 게이트 밸브는, 예를 들어 미국특허 제 4,548,386 호 및 미국특허 제 5,013,009 호에 개시되어 있다.

하지만, 엘라스토머 밀봉부 (elastomer seals) 를 구비한 밸브 슬라이드를 갖춘 진공 밸브에 있어서, 통상적으로 밸브 플레이트를 밀폐 위치로 이동시킬 때, 밀봉면과의 접촉 이동으로 인하여 밀봉부에 그 종방향을 가로질러 부하가 가해지지 않음을 보장할 필요가 있다. 밀봉부에 가해지는 이러한 종류의 전단 응력은, 일반적으로 밀봉부의 수명에 매우 불리하다.

이에 따라, 진공 기술에 있어서, 통상적으로 밀폐 이동의 최종부분에서 밸브 시이트의 밀봉면에 적어도 실질적으로 수직하게 밀폐 부재의 밀봉 이동이 실시되도록 밸브 슬라이드를 구성한다.

전술한 유형의 게이트 밸브의 종래의 일실시형태에 있어서, 밸브 플레이트는, 초기에 밸브를 밀폐하기 위한 구동 장치에 의해 밸브 개구 반대편의 소정의 위치에 위치될 때까지 이동 방향으로 이동하지만 밸브 시이트로부터 상승하게 된다. 그 후, 밀봉면에 수직하게, 즉 밸브 개구의 종축선 방향으로 이동을 실시하여, 밸브 플레이트가 밸브 시이트 쪽으로 이동하게 된다. 이러한 종류의 게이트 밸브에서의 밀폐 이동의 제 2 단계는 다른 방법, 예를 들어 레버 기구에 의해, 밸브 플레이트와 지지 플레이트 사이의 쐐기형 틈내에서 안내되는 본체를 회전시킴으로써, 경사 부재 (tilting elements) 등에 의해 달성된다. 밀폐 이동의 제 2 단계에서 밸브 로드의 굽힘을 방지하기 위해서, 밸브 시이트로부터 가 로질러 밸브 하우징의 벽 쪽으로 동시에 이동되는 카운터-플레이트 (counter-plate) 를 제공한다. 다른 유형의 플레이트 밸브 또는 슬라이드 밸브에 있어서, 받침점을 중심으로 밸브 로드를 회전함으로써 밀폐 이동의 제 2 단계를 실시한다.

밸브를 밀폐하기 위해서, 밸브 플레이트는 초기에 밸브 시이트의 반대편 위치로 이동되어 이 밸브 시이트로부터 상승되고 그 후 밀봉면에 실질적으로 수직하게 밸브 시이트와 접촉하게 되는, 전술한 유형의 게이트 밸브 또는 슬라이드 밸브는, 예를 들어 미국특허 제 6,629,682 B2 호에 공지되어 있다. 밸브의 밀폐 상태에서 밀봉 링재에 작용하는 부식성 처리 가스로부터 밀봉 링을 보호하고 또한 밸브의 밀폐 상태에서 밀봉 링상의 응력을 감소시켜 밀봉링이 부식성 처리 가스에 덜 영향을 받도록 하기 위해서, 밀봉 링 이외에 밸브에는 플라스틱제의 지지 링이 제공된다. 이 지지 링은, 밀봉 링에서 볼 때 이 밀봉 링보다 밸브 개구에 더 근접하게 놓여 있고, 또한 진공 밸브의 밀폐 상태에서 밀봉 링상에 작용하는 가압력을 제한한다. 밀봉 링과 지지 링의 일체의 구성 이외에도, 별개의 밀봉 링과 지지 링이 형성된 다른 변형 구성도 기재하였다.

미국특허 제 3,722,852 호에서도, 밀봉부에 대하여 수직하게 배열되고 또한 밀봉 링을 둘러싸는 지지 링에 의해 지지되는 밀봉 링을 개시하였다. 또한, 밸브 플레이트에 원주방향으로 연장하는 상승부 또는 돌출부를 제공하는 하는 것도 공지되어 있고, 상기 돌출부는 밸브 플레이트와 일체화되고 또한 밸브의 밀폐 상태에서 밸브 개구를 둘러싸는 표면과 접촉하여 밀봉 리의 변형을 제한한다.

다른 유형의 플레이트 밸브 또는 슬라이드 밸브에 있어서, 엘라스토머 밀봉부가 배열되는 표면 및 밀봉면은, 밸브 플레이트가 밸브 시이트 안으로 직선으로 이동할 때 엘라스토머 밀봉부상에 전단 응력이 작용하지 않도록 3차원 방식으로 구성된다. 밸브 플레이트는 개방 위치와 밀폐 위치 사이에서 전체 이동 경로를 따른 직선으로 이동된다. 밀봉면에 실질적으로 수직한 방향으로만 밀봉부에 힘이 작용하거나 또는 밀봉부의 종방향으로 다른 힘 성분이 배향된다. 따라서, 밀봉 링에는 전단력이 가해지지 않는다. 이러한 종류의 진공 밸브는, 예를 들어 미국특허 제 4,921,213 호에 공지되어 있다. 이러한 밸브에 있어서, 밀봉면과 밀봉 링은 일평면에 놓여있지 않고, 밀봉 링의 일부는 밸브 플레이트의 내측 이동 방향에서 고려할 때 밸브 플레이트의 전방 단부에 배열된다. 슬라이드 밸브는 비교적 컴팩트한 형상의 밀봉 링을 사용해야된다는 점에서 불리하고, 이러한 밀봉 링은 더 큰 공칭 폭 (nominal widths) 을 위한 홈안으로 삽압된 O-링으로서 형성될 수 없지만 밸브 플레이트에 가황처리되어야 한다. 따라서, 밀봉 링이 손상되면 전체 밸브 플레이트를 교체해야 한다.

서두에 설명된 유형의 진공 밸브는 미국특허 제 6,367,770 B1 호에 공지되어 있다. 이 밸브 플레이트는 쐐기형으로 서로 쪽으로 테이퍼진 전방면과 후방면을 구비하고, 원주방향으로 밀폐된 밀봉 링은 상기 전방면과 후방면에 각각 배열된다. 밀봉 링 상의 전단 부하를 상당히 방지하기 위해서, 구동 부재에 의해 밸브 플레이트에 가해질 수 있는 밀폐력만은 매우 작다. 이에 따라, 밀폐할 때, 밸브 플레이트는 밀봉 링을 실질적으로 가압하지 않고서 단지 약간만 밸브 시 이트와 접촉한다. 밀봉 링의 가압 및 밸브의 완전한 밀봉은, 밸브의 측면들 사이에 차압이 존재할 때에만 달성되고, 또한 밀봉면에 대하여 2 개의 밀봉 링 중 하나를 가압한다. 하지만, 밸브의 완전한 밀폐 (즉, 밀봉) 은 이러한 종류의 차압없이는 불가능하다.

본 발명의 중요한 목적은 간단한 방식으로 구성되는 진공 밸브를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은, 밸브 플레이트가 직선 이동만 하면 되는 진공 밸브를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은, 어떠한 차압을 가하지 않고도 완전히 밀폐될 수 있는 진공 밸브를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 밀봉링을 간단한 방식으로 교체할 수 있는 진공 밸브를 제공하는 것이고, 이 밸브는 작은 공칭 폭 뿐만 아니라 큰 공칭 폭에도 적합하다.

본 발명에 따른 진공 밸브는, 종축선을 갖는 밸브 개구와 밸브 시이트를 구비한 밸브 하우징; 밸브 개구를 개방하는 개방 위치와 밸브 하우징의 밸브 시이트와 접촉하여 밸브 개구를 밀폐 및 밀봉하는 밀폐 위치 사이에서 이동 방향으로 일직선으로 이동가능하고, 또한 이 이동방향으로 이동가능한 1 이상의 밸브 로드에 설치되는 밸브 플레이트; 밸브 플레이트의 전방면 또는 밸브 하우징의 밸브 시이트에 배열되는 가요성 밀봉 링; 밸브 하우징의 밸브 시이트 또는 밸브 플레이트의 전방면에 배열되고, 또한 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 밀봉 링과 접촉하게 되는 밀봉면으로서, 상기 밀봉면과 밀봉 링은 밸브 플레이트의 이동 방향에 또한 밸브 개구의 종축선 모두에 수직하게 연장하는 축선을 중심으로 밸브 플레이트의 이 동 방향에 대하여 경사진 평행한 평면에 배열되는 밀봉면; 밸브 플레이트의 전방면에서 밀봉 링 또는 밀봉면 옆에 또는 밸브 시이트에서 밀봉면 또는 밀봉 링 옆에 배열되는 1 이상의 슬라이딩-이격부 (sliding-spacing part) 를 포함하고, 상기 슬라이딩-이격부는, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에 도달할 때까지, 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분를 따라서 밸브를 밀폐할 때 밸브 하우징에 대하여 밸브 플레이트를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하고, 또한 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서는, 밸브 플레이트를 밸브 하우징으로부터 거리를 두고 유지시켜 밀봉 링의 가압을 제한한다.

본 발명은, 밸브를 밀폐할 때 최종거리를 따라서 밸브 하우징에 대하여 밸브 플레이트를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하고 또한 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 밸브 플레이트를 밸브 하우징으로부터 거리를 두고 유지하여 밀봉 링의 가압을 제한하는 1 이상의 슬라이딩-이격부를 제공함으로써, 쐐기형 게이트 밸브를 진공 밸브로서 유리하게 구성할 수 있다는 통찰에 기초를 둔다. 진공 밸브가 매우 자주 개폐되는 경우를 제외하고, 다양한 용도에 있어서, 밸브를 밀폐할 때 상기 구성으로 인해 밀봉 링상의 마모가 적절하게 작게 되고 또한 미립자 발생성도 충분히 낮게 된다. 이와 관련하여, 밸브 하우징에서 1 이상의 슬라이딩-이격부가 슬라이딩하는 밀폐 이동의 최종부분의 길이는, 구조적 구성품의 탄성, 특히 1 이상의 슬라이딩-이격부와 밸브 하우징의 탄성에 따라서, 또한 밸브 플레이트가 중심맞춤 위치로부터 편심된 정도에 따라서 변할 수 있다.

이와 관련하여, 홈내에 삽입되어 간단한 방식으로 교체될 수 있는 O-링이 밀봉 링으로서 사용되는 것이 바람직하다. 또한, 덜 바람직하더라도, 가황처리된 밀봉 링을 사용할 수도 있다.

밸브 플레이트의 이동 방향에 대한 밀봉면과 밀봉 링의 평면들의 기울기는, 특히 1 °내지 45°범위이다. 특히 바람직하게는 4°내지 10°의 범위이다.

본 발명에 따른 밸브는 간단하게 구성될 수 있고 이에 따라 전체적으로 경제적일 수 있다. 또한, 보수 (maintenance) 가 간단할 수 있다. 본 발명의 바람직한 일실시형태에 있어서, 2 이상의 슬라이딩-이격부가 밀봉 링과 밀봉면의 원주방향으로 서로 떨어져 제공된다. 이 슬라이딩-이격부는 각각 밀봉 링의 원주방향 길이보다 실질적으로 짧은 길이를 갖는다. 이와 관련하여, 모든 슬라이딩-이격부는, 그 전체 길이에 걸쳐, 전방면에서 볼 때, 이동 방향에 평행하게 밸브 플레이트 (4) 의 중심을 지나는 축선으로부터 가장 멀리 위치한 밀봉링의 지점보다도 상기 축선으로부터 더 먼 거리를 두고 있는 것이 바람직하다. 따라서, 밸브를 개폐할 때 슬라이딩-이격부로 인하여 (밸브 플레이트가 중심맞춤 위치로부터 편심되었을 때) 밀봉면 또는 밀봉 링을 따라서 마모 자국이 발생하지 않을 수 있다.

유리한 변형구성에 있어서, 슬라이딩-이격부는 잠금 연결에 의해 밸브 플레이트 또는 밸브 하우징내의 리세스에 잠겨지고 이에 따라 간단한 방식으로 교체될 수 있다.

본원의 다른 장점 및 설명은 이하 도면에 도시된 본원의 바람직한 실시형태에서 설명되고 또한 본원의 목적도 그로부터 설명된다.

도면은 상이한 척도로 도시되었다.

본 발명에 따른 진공 밸브의 실시형태의 예는 도 1 내지 도 13 에 도시되었다. 진공 밸브는 종축선 (3) 을 가진 밸브 개구 (2) 를 구비한 밸브 하우징 (1) 을 포함한다. 이 밸브 하우징 (1) 내에는 밸브 플레이트 (4) 가 일직선 (즉, 선형으로) 으로 이동가능하도록 장착된다. 이를 위해, 밸브 플레이트 (4) 는 구동 장치 (6; 개략적으로만 도시됨) 에 의해 종축선 방향으로 일직선으로 이동가능한 밸브 로드 (5) 에 배열된다. 구동 장치 (액츄에이터) (6) 는 예를 들어 공기압 피스톤-실린더 유닛으로 형성될 수 있다. 예를 들어 전기 모터를 구비한 구동 장치도 사용할 수 있다. 밸브 로드 (5) 를 축방향으로 이동시키기에 적합한 구동 장치는 공지되어 있으므로 본원에서 자세히 기재하지 않았다.

밸브 로드 (5) 와 밸브 플레이트 (4) 의 이동은 구동 장치에 의해서 일직선 이동 방향 (7) 으로만 실시되면 된다. 이동 방향 (7) 은 예를 들어 도 3 에서 양방향 화살표로 표시하였다.

가요성 플라스틱 (즉, 엘라스토머) 으로 제조된 밀봉 링 (8) 이 밸브 플레이트 (4) 에 배열된다. 밀봉 링에 적합한 재료로는 예를 들어 Viton

이다. 밸브 플레이트 (4) 에는 원주방향 홈 (9) 이 있고, O-링 형태로 된 밀봉 링 (8) 이 이 원주방향 홈 (9) 안으로 삽입된다. 밀봉 링 (8) 이 배열되는 밸브 플레이트 (4) 의 측면을 본원의 구성에 있어서 밸브 플레이트 (4) 의 전방면이라고 한다. 밸브 플레이트의 반대 측면을 밸브 플레이트의 후방면이라고 한다. 이 와 대응하도록, 밸브 플레이트 (4) 의 전후방면으로부터 가로질러 배치된 밸브 하우징 (1) 의 벽 (10, 11) 을 전방벽 및 후방벽 (10, 11) 이라고 한다.

밸브 하우징 (1) 은 밸브 플레이트 (4) 가 배열된 챔버 (12) 를 둘러싼다. 챔버 (12) 는 전후방면에서는 벽 (10, 11) 에 의해 또한 측면에서는 추가 벽 (13, 14) 에 의해 한정된다. 서로 같은 높이에 있고 함께 밸브 개구를 형성하는 개구들은 벽 (10, 11) 에 형성된다. 또한, 개략적으로만 도시된 플랜지 (15, 16) 가 벽 (10, 11) 에 배열되고, 이러한 플랜지 (15, 16) 에 의해 진공 밸브는 진공 시스템의 다른 부분, 예를 들어 진공 챔버 또는 펌프에 연결될 수 있다.

본원의 실시형태에 있어서, 밸브 플레이트 (4) 는 박판 (17) 에 의해 내부 개구가 밀폐되는 금속 링으로 형성된다. 또한, 밸브 플레이트 (4) 는 중실 (solid) 의 단일체로 형성될 수 있다.

본원의 실시형태에 있어서, 밸브 플레이트 (4) 는 연결 나사 (18) 에 의해 밸브 로드 (5) 에 배열되고, 이 연결 나사는 밸브 플레이트 (4) 의 링내의 개구를 관통하고 밸브 로드 (5) 의 전방 단부에 있는 내부 나사에 결합한다. 밸브 플레이트 (4) 에 대하여 연결 나사 (18) 를 밀봉하기 위해서, 연결 나사 (18) 와 밸브 플레이트 (4) 사이에는 밀봉부 (44; 도 9 참조) 가 배열된다. 밸브 로드 (5) 는 진공 영역 외부로 안내된다. 이를 위해, 진공이 새지 않는 선형 이송통로수단 (vacuum-tight linear feedthrough) 으로서 벨로우즈 (bellows) 또는 다이어프램형 벨로우즈가 제공되고, 이 벨로우즈는 그 일단부에서 밀봉부 (20) 에 의해 밸브 플레이트 (4) 에 진공이 새지않게 연결되고, 또한 타단부에서 연결 플 레이트 (21) 에 용접되거나 납땜되며, 이 연결 플레이트는 밀봉부 (22) 에 의해 밸브 하우징 (1) 의 연결 플랜지 (23) 에 진공이 새지않게 연결된다. 이를 위해, 나사 (24) 는 체결 플레이트 (25) 및 연결 플레이트 (21) 내의 보어 구멍을 관통하여 연결 플랜지 (23) 의 나사 보어 구멍안으로 결합되어서, 연결 플레이트 (21) 는 연결 플랜지 (23) 의 수용 홈안으로 삽입된 밀봉부 (22) 에 대하여 가압된다. 밀봉부 (20, 22, 44) 는 O-링 형태의 엘라스토머로 제조된다. 또한, 구동 장치 (6) 는 체결 플레이트 (25) 에 체결된다.

또한, 밀봉부 (20, 22, 44) 는 금속 밀봉부로서 구성될 수 있다.

밸브 로드 (5) 의 선형 이송통로수단은 또한 다른 방식, 예를 들어 밸브 로드 (5) 의 외주부와 미끄럼 접촉하며 또한 밸브 하우징의 대응 수용 홈에 장착되는 1 이상의 밀봉 링에 의해 구성될 수 있다. 다른 실시형태의 선형 이송통로수단은 공지되어 있다.

도 1 에서는 부분적으로 개방된 상태의 진공 밸브를 도시하였다. 밸브 개구 (2) 를 완전히 개방하는 개방 위치에 있기 위해서, 밸브 플레이트는 구동 장치 (6) 의 방향으로 더 뒤로 물러나서 밸브 개구 (2) 로부터 먼 밸브 하우징의 챔버 (12) 영역안으로 들어갈 수 있다.

도 2 와 도 3 및 도 11 과 도 12 는 밸브 플레이트 (4) 가 밀폐 위치에 있는 밸브의 밀폐 상태를 도시하였다. 밸브 플레이트 (4) 는 밀폐 위치에서 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 와 접촉한다. 이 밸브 시이트 (26) 는 벽 (10) 내의 개구를 둘러싸는 벽 (10) 의 일부 영역에 의해 형성된다. 밸브 플레이트 (4) 의 밀폐 위치에서 밀봉 링 (8) 과 접촉하는 밀봉면 (27) 이 밸브 시이트 (26) 에 있다.

밀봉 링 (8) 과 밀봉면 (27) 은 평행한 평면 (28, 29) 에 배열된다 (도 13 참조). 이들 평행한 평면 (28, 29) 은 이동 방향 (7) 에 대하여 각도 (30) 로 경사지거나 기울어져 있다. 각 평면 (28, 29) 은, 이동 방향 (7) 과 밸브 개구의 종축선 (3) 모두에 대하여 수직인 축선 (31; 도 2 에서 점선으로 도시) 을 중심으로 이동 방향에 대하여 경사져 있다. 이동 방향 (7) 에 대한 평면 (28, 29) 의 기울기 또는 각도 (30) 는 1°내지 45°의 범위이다. 특히, 바람직하게는 4°내지 10°범위이다.

이런 점에서, 진공 밸브를 쐐기형 게이트 밸브라고 할 수 있다. 밸브 플레이트 (4) 의 전방면은 밀봉 링 (8) 과 동일한 경사를 갖는데, 즉 평면 (28, 29) 에 평행하다. 본 실시형태에 있어서, 밸브 플레이트 (4) 의 후방면 및 이 밸브 플레이트 (4) 의 후방면 반대편에 위치한 밸브 하우징 (1) 의 벽 (11) 은, 또한 (각 경우에 축선 (31) 에 평행한 축선을 중심으로) 밸브 플레이트 (4) 의 전방면 및 밀봉면 (27) 을 가진 밸브 하우징 (1) 의 벽 (10) 에 대하여 반대 방향으로 경사져 있다. 상기 각도는 각도 (30) 의 범위일 수 있다. 각도의 크기는 각도 (30) 의 크기에 대응하는 것이 바람직하다. 따라서, 측면에서 볼 때 (도 13 참조) 또는 선 A-A 에 대응하는 종방향 중심부에서 볼 때, 밸브 플레이트 (4) 와 밸브 하우징 (1) 의 벽 (10, 11) 은 쐐기형으로 나타난다.

밸브 플레이트의 전방면에서 밀봉 링 (8) 옆에는 슬라이딩-이격부 (32; sliding-spacing parts) 가 배열된다. 밸브 플레이트의 개방 위치에서, 상기 슬라이딩-이격부 (32) 는, 밀봉 링 (8) 만큼, 밸브 플레이트 (4) 의 표면으로부터 돌출하지 않는다 (도 6 참조). 이러한 차이를 도 6 에서 d 로 도시하였다. 도면에 도시된 실시형태에 있어서, 슬라이딩-이격부 (32) 는 삽입부로서 형성되고, 이 삽입부는 밸브 플레이트 (4) 와 별개의 것으로 밸브 플레이트 (4) 내의 홈형 리세스 (33) 안으로 삽입되어 그 안에 체결된다. 리세스 (33) 는 그 측면벽에 언더컷 (undercuts) 을 형성하는 오프셋을 가지고, 슬라이딩-이격부 (32) 의 잠금 돌출부 (34) 가 상기 언더컷 뒤에서 결합한다. 잠금 돌출부 (34) 에 탄성을 제공하기 위해서 슬라이딩-이격부에는 그 바닥으로부터 형성된 노치 (35) 가 제공된다. 이러한 방식으로, 슬라이딩-이격부는 잠금 연결에 의해 리세스 (33) 안으로 잠겨진다. 또한, 슬라이딩-이격부 (32) 를 다른 유형의 연결, 예를 들어 나사 연결에 의해 밸브 플레이트 (4) 에 연결시킬 수 있다.

밸브를 밀폐할 때, 슬라이딩-이격부 (32) 는, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에 도달할 때까지, 이동 경로의 최종부분을 따라서 밸브 하우징 (1) 에 대하여 밸브 플레이트 (4) 를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하고, 이 슬라이딩-이격부 (32) 는 벽 (10) 의 내부면에서 미끄러질 수 있다. 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서, 슬라이딩-이격부 (32) 는 벽 (10) 에서의 접촉을 통하여 밸브 플레이트 (4) 를 밸브 하우징 (1) 으로부터 거리를 두고 유지시킨다. 이는, 밸브 플레이트 (4) 의 밀폐 상태에서 밀봉 링 (8) 의 압축을 제한한다. 슬라이딩-이격부 (32) 는 밸브 플레이트 (4) 의 표면에 수직한 방향으로 실질적으로 비가요적이므로, 슬라 이딩-이격부가 변형되지 않는 상태에 비하여 밸브 플레이트의 밀폐위치에서의 슬라이딩-이격부의 변형은 거리 (d) 보다 실질적으로 작기 때문에, 밀봉 링 (8) 은 실질적으로 거리 (d) 에 대응하는 변형 경로만큼 압축된다 (도 6 참조).

도면에 도시된 실시형태에 있어서, 2 개의 슬라이딩-이격부는 밸브 플레이트 (4) 의 양측면에 배열되고 밀봉 링의 반경방향 외측에 놓여진다. 슬라이딩-이격부는, 그 전체 길이에 걸쳐, 전방면에서 볼 때, 이동 방향 (7) 에 평행하게 밸브 플레이트 (4) 의 중심을 지나는 축선 (36) 으로부터 가장 멀리 위치한 밀봉링 (8) 의 지점 (37) 보다도 상기 축선 (36) 으로부터 더 먼 거리를 두고 있다 (도 4 참조). 이러한 구성으로, 슬라이딩-이격부와 벽 (10) 간의 접촉 가능 영역이 밀봉면 (27) 의 측면에 있기 때문에, 슬라이딩-이격부 (32) 로 인하여 밀봉면상에 마모 자국이 생기는 일이 없게 된다.

돌출부 (38) 가 밸브 하우징 (1) 의 벽 (10) 내부면에 배열된다. 이 돌출부 (38) 는, 슬라이딩-이격부 (32) 가 밀폐 위치에 도달하기 전에 지나게 되는 벽 (10) 의 일부 영역에 있다. 예를 들어 밸브가 수평으로 설치되어 밸브의 전방면이 하방으로 향할 때, 밸브를 밀폐할 때 밸브 개구 (2) 의 종축선 (3) 방향에서 볼 때 밸브 플레이트 (4) 가 그 중심맞춤 위치에서 벗어나서 중심맞춤 위치에 대하여 벽 (10) 방향으로 이동되는 경우에, 슬라이딩-이격부 (32) 는 밸브를 밀폐할 때 돌출부 (38) 상에서 슬라이딩할 수 있다. 이에 따라, 밸브 플레이트 (4) 는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (10) 으로부터 거리를 두게 된다. 이리하여, 밀봉 링 (8) 이 벽 (10) 의 개구 가장자리와 접촉하는 것이 방지된다. 돌출부 (38) 는 슬라이딩-이격부 (32) 가 접촉하게 되는 대응 정지 베벨을 구비한다. 밸브의 밀폐 상태에서, 돌출부 (38) 는, 이동 방향 (7) 에서 볼 때 슬라이딩-이격부 (32) 옆에서 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에 있는 리세스 (39) 에 수용된다.

돌출부 (38) 와 동일하게 구성된 돌출부 (40) 가 돌출부 (38) 의 반대편 위치에 배열된다. 이에 따라, 밸브가 대칭적으로 구성되기 때문에, 밸브를 조립할 시 밸브 플레이트를 밸브 하우징에 주의깊게 배향시킬 필요는 없다 (서로에 대하여 180°인 두 설치 위치가 가능함).

밸브 플레이트 (4) 의 후방면에는 슬라이딩부 (41) 가 배열된다. 이 슬라이딩부 (41) 는, 슬라이딩-이격부 (32) 와 마찬가지로, 밸브 플레이트 (4) 의 표면으로부터 돌출하며, 밸브가 밀폐될 때, 밀폐 위치에 도달하기 전에 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분을 따라서 밸브 하우징 (1) 에 대하여 밸브 플레이트 (4) 를 위한 슬라이딩 베어링을 형성한다. 슬라이딩부 (41) 는 슬라이딩-이격부 (32) 와 동일하게 구성되는 것이 바람직하고, 또한 밸브 플레이트 (4) 의 후방면에 있고 리세스 (39) 와 동일한 리세스 (42) 안에 잠긴다. 도면에 도시된 실시형태에 있어서, 4 개의 슬라이딩부 (41) 는, 이동 방향에 평행하게 밸브 플레이트 (4) 를 중심을 지나는 축선 (36) 에 대하여 대칭적으로 배열된다. 축선 (36) 으로부터 슬라이딩부 (41) 의 거리는 축선 (36) 으로부터 슬라이딩-이격부 (32) 의 거리보다 작다. 따라서, 슬라이딩부는 돌출부 (40) 위를 이동하지 않지만 돌출부를 지나쳐서 안내되고, 즉 돌출부 (40) 는 슬라이딩부 (41) 에 영향을 미치지 않는다.

슬라이딩-이격부 (32) 와 마찬가지로 슬라이딩부 (41) 는 비교적 저탄성을 가지는 것이 바람직하다. 벽 (10) 에서 슬라이딩-이격부 (32) 가 미끄러지고 또한 벽 (11) 의 내부면에서 슬라이딩부 (41) 가 미끄러지는 부분은, 한편으로는 주어진 편심도 (eccentricity) 에 의해, 다른 한편으로는 상기 구성요소의 현존 탄성 및 유극에 의해 결정된다. 이러한 부분은 매우 짧을 수 있고, 즉 3 mm 보다 짧을 수 있다.

벽 (10, 11) 상에서 각각 미끄러지는 슬라이딩-이격부 (32) 및/또는 슬라이딩부 (41) 의 외부면은 양호한 슬라이딩성을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 슬라이딩성은 슬라이딩-이격부 (32) 및 슬라이딩부 (41) 의 재료에 의해 제공될 수 있거나 또는 대응 슬라이딩 코팅에 의해 제공될 수 있다. 슬라이딩-이격부 (32) 및/또는 슬라이딩부 (41) 는 비교적 저탄성의 플라스토머 플라스틱, 예를 들어 슬라이딩을 위해 개질된 PEEK

을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 특히 플라스틱으로 된 슬라이딩 코팅을 가진 금속을 사용할 수 있고, 예를 들어 이를 위해 Teflon 이 적합할 수 있다.

슬라이딩-이격부 (32) 및/또는 슬라이딩부 (41) 의 마찰계수 (μ) 는 0.05 내지 0.40 의 범위인 것이 바람직하다.

진공 밸브는 구동 장치 (16) 에 의해 밸브 로드 (5) 의 축방향 이동을 통하여 개방 위치로부터 밀폐 위치로 진행한다. 밸브 플레이트 (4) 가 밀폐 위치에 도달하기 직전에, 밀봉 링 (8) 은, 초기에 밀봉면 (27) 과 접촉하고, 밸브 플레이트 (4) 가 계속 밀폐 위치로 가게 됨에 따라 밀봉면을 따라 미끄러질 수 있다. 그 바로 후에, 슬라이딩-이격부 (32) 와 슬라이딩부 (41) 가 벽 (10, 11) 과 접촉하여, 밸브 플레이트 (4) 는 중심맞춤 되고 또한 슬라이딩 안내부를 따라 밀폐 위치로 이동하게 된다. 밀폐 위치에서, 밀봉 링 (8) 의 가압은, 슬라이딩-이격부 (32) 에 의해, 밸브 하우징 (1) 으로부터의 밸브 플레이트 (4) 의 거리에 의해 소정치로 제한된다.

전술한 바와 같이, 각 경우에 밀봉 링 (8) 의 원주 길이보다 실질적으로 더 짧은 길이를 가진 2 이상의 슬라이딩-이격부 (32) 가 존재한다. 슬라이딩-이격부 (32) 의 길이는 밀봉 링 (8) 의 길이의 1/10 보다 작은 것이 바람직하다. 또한, 덜 바람직한 경우이지만, 밀봉 링의 원주 길이의 절반 이상에 걸쳐 밀봉 링의 둘레를 따라 단지 하나의 개별 슬라이딩-이격부를 제공할 수 있다. 이러한 종류의 개별 슬라이딩부 (41) 가 제공될 수도 있다.

도면에 도시된 실시형태의 있어서, 밸브 플레이트 (4) 에 슬라이딩-이격부 (32) 가 배열된다. 원리적으로는, 밸브 하우징 (1) 에 이러한 슬라이딩-이격부 (32) 를 배열할 수도 있는데, 이러한 경우에는 밸브를 밀폐할 때 슬라이딩-이격부는 밀봉 링 (8) 옆에 있는 영역에서 밸브 플레이트 (4) 의 표면과 접촉하게 된다. 이 경우에 있어서, 돌출부 (38) 는 밸브 플레이트 (4) 에 배열되고, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 돌출부 (38) 를 수용하는 리세스 (39) 는 밸브 하우징 (1) 에 배열된다.

또한, 슬라이딩부 (41) 는 밸브 하우징 (1) 에 배열되어, 밸브를 밀폐할 때 이 슬라이딩부가 밸브 플레이트 (4) 의 후방면과 접촉할 수 있다.

도면에 도시된 실시형태에 있어서, 밀봉 링 (8) 은 밸브 플레이트 (4) 에 배열되고, 관련 밀봉면 (27) 은 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 에 배열된다. 대신에, 밀봉 링은 밸브 시이트에 또한 배열될 수 있고, 밀봉면은 밸브 플레이트에 배열될 수 있다. 또한, 밸브 플레이트 뿐만 아니라 밸브 하우징에 슬라이딩-이격부를 배열할 수 있다.

도면에 도시된 실시형태에 있어서, 슬라이딩-이격부 (32) 는 밸브 플레이트 (4) (또는 밸브 하우징 (1)) 에 체결되는 개별부품이다. 이 대신에, 바람직하지 않더라도, 밸브 플레이트 (4) 와 밸브 하우징 (1) 과 일체로 구성할 수도 있다. 이는 슬라이딩부 (41) 의 경우에도 마찬가지다.

도면에 도시된 실시형태에 있어서, 밸브 플레이트 (4) 는 금속으로 제조된다. 또한, 예를 들어 PEEK

등의 플라스틱으로 제조될 수 있고, 또는 플라스틱 코팅도 가능할 수 있다.

본 발명의 변형된 실시형태가 도 14 에 도시되었다. 이 실시형태는, 밸브 플레이트 (4) 의 후방면에 슬라이딩부 (41) 가 배열되지 않고 또한 그 후방면이 쐐기형으로 되어있지 않다는 점에서, 도 1 내지 도 13 에 따른 실시형태와 상이하다. 롤러 (43) 가 밸브 플레이트 (4) 의 후방면에 회전가능하게 지지된다. 밸브를 밀폐할 때, 밀폐 위치에 도달하기 전에 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종 부분에서, 상기 롤러 (43) 는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (11) 에 접촉하여 구르게 된다. 이 영역에서, 벽 (11) 은 벽 (10) 방향으로 비스듬하게 된 부분을 구비한다. 이러한 종류의 롤러 (43) 는, 바람직하게는 밸브 개구 (2) 의 양측에서, 밸브 플레이트 (4) 에 회전가능하게 지지된다.

도 15, 도 16 및 도 17 에서는, 종래의 공지된 홈 (45, 46) (도 16 과 도 17 참조) 과 비교하여 본원에 따른 진공 밸브에서 밀봉 링 (8) (도 15 참조) 에 바람직하게 사용되는 홈 (9) 을 나란히 도시하였다. 도 17 에서는, 일반적으로 도브테일형 (dovetail) 홈으로 알려진 홈 (46) 과 그 안에 삽입된 밀봉 링 (8) 의 단면도를 도시하였다. 밀봉 링은 홈의 외측 경계 가장자리 (47, 48) 에서 압착됨을 알 수 있다. 밸브를 밀폐할 때 전단력의 작용으로 밀봉 링 (8) 이 홈 (46) 내에서 다소 회전하면, 외측 경계 가장자리 (47, 48) 사이에서의 압착으로 인하여 밀봉 링 (8) 을 더이상 완전히 이완시킬 수 없다.

도 16 에서는 원형의 단면을 가진 종래의 원형 홈형태의 밀봉 링 (9) 용 홈 (45) 을 도시하였다. 원의 직경은 밀봉 링 (8) 의 직경보다 크다. 이에 따라, 밀봉 링 (8) 은 외측 경계 가장자리 (47, 48) 의 영역에서 구속되지 않고 따라서 밸브가 개방되면 다시 완전히 이완될 수 있다. 하지만, 이러한 홈은 밀봉 링 (8) 이 이 홈안에 완전히 압입될 수 없는 단점을 가지고 있고, 오히려 홈 (45) 이 미리 이미 완전히 채워져서 밀봉 링 (8) 이 더 밀려들어가지 못하게 된다. 따라서, 본원과 관련하여 이러한 종류의 홈 (45) 을 사용할 때는, 슬라이딩-이격부 (32) 가 유효하게 되도록 다양한 공차 (tolerances) 를 매우 정확하게 고려해야 한다.

본원과 관련하여 바람직하게 사용되는 도 15 의 홈에 있어서, 밀봉 링 (8) 은 이완 상태에서 외측 경계 가장자리 (47, 48) 에 대하여 유극을 가진다. 도 15 에 도시된 바와 같이, 밀봉 링 (8) 이 홈 (9) 내에서 중심맞춰지도록 배열되면, 측면 벽 (49, 50) 은 그 전체 길이를 따라 홈 바닥 (51) 까지 밀봉 링 (8) 으로부터 거리를 두며, 이 거리는 외측 경계 가장자리 (47, 48) 근방에서 가장 작고 홈 바닥 쪽으로 가면서 증가한다. 이러한 방식으로 홈을 구성하면, 밀봉 링 (8) 은 홈 (9) 안으로 완전히 압입될 수 있다 (그리하여 밸브 플레이트 (4) 의 외부면을 넘어 더이상 돌출하지 않음). 또한, 밸브 플레이트 (4) 가 개방될 때 밀봉 링 (8) 은 다시 완전히 이완될 수 있다.

전술한 본원의 장점 이외에도, 본 발명은 또한 다음과 같은 이점, 즉 금속간의 접촉, 특히 접촉하는 금속부의 상대 운동이 방지될 수 있다는 이점도 갖는다. 진공 상태에 위치된 부분의 표면은 전체적으로 비교적 작게 유지될 수 있다. 진공 밸브는 양방향의 차압에 견딜 수 있게 형성될 수 있다. 진공 밸브는 1 바아의 전 차압에서 개방될 수 있도록 구성될 수 있다. 진공 밸브는 작은 공칭값 (nominal values) 에 제한되지 않고, 예를 들어 400 mm 이상의 공칭값에 대해서도 구성될 수 있다.

본 발명은 단면이 원형인 밸브 플레이트를 참조하여 설명되었다. 또한, 본 발명은 다른 외형을 갖는 밸브 플레이트, 예를 들어 전방면에서 볼 때 정사각형 또는 사각형인 밸브 플레이트도 사용할 수 있다. 하나 또는 그 이상의 밸브 로드 (5) 가 밸브 플레이트에 배열될 수 있다. 전술한 바와 같이, 본 발명의 범위는 이상에서 기재된 실시형태에만 제한되지 않지만, 오히려 다음의 청구범위 및 이의 가능한 모든 등가 구성으로 한정되어야 한다.

전술한 설명 및 도면이 본 발명을 나타내었지만, 본 발명의 요지 및 범위를 벗어나지 않는 한 다양한 변형을 실시할 수 있음을 당업자에게 명백하다.

본 발명에 따른 진공 밸브에 의하여, 밀봉 링을 간단한 방식으로 교체할 수 있고, 또한 작은 공칭 폭 뿐만 아니라 큰 공칭 폭에도 사용할 수 있으며, 밸브를 밀폐할 때 밀봉 링상의 마모를 줄이고 또한 미립자 생성을 억제할 수 있다.

또한, 슬라이딩-이격부에 의하여, 밀봉면 또는 밀봉 링을 따라서 마모 자국이 발생하지 않을 수 있다.

Claims

종축선 (3) 을 갖는 밸브 개구 (2) 와 밸브 시이트 (26) 를 구비한 밸브 하우징 (1);

밸브 개구 (2) 를 개방하는 개방 위치와 밸브 하우징의 밸브 시이트와 접촉하여 밸브 개구를 밀폐 및 밀봉하는 밀폐 위치 사이에서 이동 방향 (7) 으로 일직선으로 이동가능하고, 또한 이 이동방향으로 이동가능한 1 이상의 밸브 로드 (5) 에 설치되는 밸브 플레이트 (4);

밸브 플레이트 (4) 의 전방면 또는 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 에 배열되는 가요성 밀봉 링 (8);

밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 또는 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에 배열되고, 또한 밸브 플레이트 (4) 의 밀폐 위치에서 밀봉 링 (8) 과 접촉하게 되는 밀봉면 (27) 으로서, 상기 밀봉면 (27) 과 밀봉 링 (8) 은 밸브 플레이트의 이동 방향 (7) 과 또한 밸브 개구 (2) 의 종축선 (3) 모두에 수직인 축선 (31) 을 중심으로 밸브 플레이트 (4) 의 이동 방향 (7) 에 대하여 경사진 평행한 평면 (28, 29) 에 배열되는 밀봉면 (27);

밸브 플레이트 (4) 의 전방면에서 밀봉 링 (8) 또는 밀봉면 옆에 배열되고 또는 밸브 시이트 (26) 에서 밀봉면 (27) 또는 밀봉 링 옆에 배열되는 1 이상의 슬라이딩-이격부 (32) 를 포함하고,

상기 슬라이딩-이격부 (32) 는, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에 도달할 때까 지, 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분을 따라서 밸브를 밀폐할 때 밸브 하우징에 대하여 밸브 플레이트를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하고, 또한 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서는 밸브 플레이트를 밸브 하우징으로부터 거리를 두고 유지시켜 밀봉 링의 가압을 제한하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 2 이상의 슬라이딩-이격부가 밀봉 링 또는 밀봉면의 원주 방향으로 서로 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 2 항에 있어서, 슬라이딩-이격부는 밀봉 링의 원주 길이보다 상당히 짧은 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 3 항에 있어서, 슬라이딩-이격부의 길이는 밀봉 링의 원주 길이의 1/10 보다 작은 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는 밀봉 링 또는 밀봉면의 반경방향 외측에 있는 밸브 플레이트 (4) 또는 밸브 시이트 (26) 의 일부 영역에 배열되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 2 항에 있어서, 슬라이딩-이격부는, 그 전체 길이에 걸쳐, 이동 방향 (7) 에 평행하게 밸브 플레이트 (4) 의 중심을 지나는 축선 (36) 으로부터 가장 멀 리 위치한 밀봉 링 (8) 의 지점 (37) 보다도 상기 축선 (36) 으로부터 더 먼 거리를 두고 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는, 밸브 플레이트 (4) 의 전방면에 배열되고, 밸브 플레이트 (4) 의 밀폐 위치에서 밸브 하우징의 내부면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 7 항에 있어서, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에 도달하기 전에 슬라이딩-이격부가 지나게 되는 영역에서, 밸브 하우징 (1) 의 내부면에 돌출부 (38) 가 배열되고, 이 영역에서 상기 돌출부 (38) 는 밸브 플레이트를 밸브 시이트 (26) 로부터 떨어져 있도록 하기 위해 슬라이딩-이격부와 관련되어 있고, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 상기 돌출부 (38) 는 슬라이딩-이격부 옆에 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 8 항에 있어서, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 돌출부 (38) 는 밸브 플레이트에 형성된 리세스 (39) 내에 놓이는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부 (32) 는 밸브 하우징 (1) 의 밸브 시이트 (26) 에 배열되고 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 밸브 플레이트의 전방면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 10 항에 있어서, 밀폐 위치에 도달하기 전에 슬라이딩-이격부가 지나게 되는 영역에서, 밸브 플레이트의 전방면에 돌출부가 배열되고, 상기 돌출부는 밸브 플레이트를 밸브 시이트로부터 떨어져 있도록 하기 위해 슬라이딩-이격부와 관련되어 있고, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 상기 돌출부는 슬라이딩-이격부 옆에 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 11 항에 있어서, 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 밸브 플레이트의 돌출부는 밸브 시이트의 리세스내에 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는 밸브 시이트 또는 밸브 플레이트의 전방면에 형성된 리세스 (33) 내에 배열되는 별개의 부품으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 13 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는 잠금 연결에 의해 리세스 (33) 안에 잠겨지는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는 양호한 슬라이딩성을 가진 외부면을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는 밸브 플레이트 (4) 의 표면에 수직한 방향으로는 비가요적인 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩-이격부는 플라스토머 플라스틱으로 제조되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 진공 밸브는, 밸브 시이트 (26) 와 멀리 떨어진 밸브 플레이트 (4) 의 후방면에 또는 밸브 플레이트의 밀폐 위치에서 밸브 플레이트 (4) 의 후방면을 가로질러 위치된 밸브 본체의 벽 (11) 에 배열된 1 이상의 슬라이딩부 (41) 를 구비하고, 상기 1 이상의 슬라이딩부는, 밸브를 밀폐할 때 밀폐 위치에 도달할 때까지 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분에 걸쳐 밸브 하우징에 대하여 밸브 플레이트를 위한 슬라이딩 베어링을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 18 항에 있어서, 2 이상의 슬라이딩부 (41) 가 밸브 플레이트 및 벽 (11) 내의 개구의 원주 방향으로 서로 거리를 두고 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 19 항에 있어서, 슬라이딩부 (41) 는 밀봉 링의 원주 길이보다 상당히 짧은 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 18 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩부 (41) 는 밸브 플레이트의 후방면 또는 밸브 하우징 (1) 의 벽 (11) 내에 형성된 리세스 (42) 내에 배열되는 별개의 부품으로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 21 항에 있어서, 슬라이딩부 (41) 는 잠금 연결에 의해 리세스 (42) 안에 잠겨지는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 18 항에 있어서, 1 이상의 슬라이딩부 (41) 는 플라스토머 플라스틱으로 제조되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 18 항에 있어서, 밸브 플레이트의 후방면은 밸브 플레이트의 이동 방향 (7) 과 밸브 개구의 종축선 모두에 수직인 축선을 중심으로 상기 이동 방향에 대하여 경사져 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 밸브 플레이트의 후방면에 1 이상의 롤러 (43) 가 회전가능하게 지지되고, 밸브를 밀폐할 때 상기 1 이상의 롤러 (43) 는 밀폐 위치에 도달하기 전에 밸브 플레이트의 이동 경로의 최종부분에 걸쳐 밸브 하우징상에서 구르는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 밸브 하우징 (1) 은 밸브 개구 (2) 를 함께 형성하는 정렬된 개구를 구비하는 전방벽 및 후방벽 (10, 11) 을 구비하고, 밸브 플레이트 (4) 는 이들 두 벽 (10, 11) 사이에 있는 챔버 (12) 내에 배열되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 26 항에 있어서, 1 이상의 밸브 로드 (5) 는 선형 이송통로수단을 통과하여 챔버 (12) 의 외부로 안내되는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 밀봉 링 (8) 은, 밸브 플레이트 (4) 의 전방면 또는 밸브 시이트내에 원주방향으로 형성된 홈 (9) 내에 배열되는 O-링으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 28 항에 있어서, 단면에서 볼 때 중심맞춤 위치에 있는 밀봉 링 (8) 은 홈 바닥 (51) 까지의 전체 코스를 따라 홈의 측면벽 (49, 50) 으로부터 거리를 두고 있고, 이 거리는 홈 (9) 의 외측 경계 가장자리 (47, 48) 에서 또는 그 근방에서 최소값을 갖고 홈 바닥 (51) 쪽으로 가면서 증가하는 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 1 항에 있어서, 밀봉면 (27) 과 밀봉 링 (8) 이 배열되는 평면 (28, 29) 의 밸브 플레이트 (4) 의 이동 방향 (7) 에 대한 기울기는 1°내지 45°범위인 것 을 특징으로 하는 진공 밸브.
제 30 항에 있어서, 상기 기울기는 4°내지 10°범위인 것을 특징으로 하는 진공 밸브.