KR20180130870A - 게이트 밸브 조립체 - Google Patents

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KR20180130870A KR1020170067021A KR20170067021A KR20180130870A KR 20180130870 A KR20180130870 A KR 20180130870A KR 1020170067021 A KR1020170067021 A KR 1020170067021A KR 20170067021 A KR20170067021 A KR 20170067021A KR 20180130870 A KR20180130870 A KR 20180130870A
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Abstract

본 발명은 게이트 밸브의 기밀성을 더욱 높일 수 있는 구조로서 진공장비의 기밀성을 견고하게 유지시킬 수 있는 게이트 밸브 조립체에 관한 것으로서, 기판이 출입하기 위한 게이트를 개폐할 수 있는 밸브 도어와, 상기 밸브 도어가 상기 게이트를 개폐할 수 있도록 상기 밸브 도어의 일측에 연결되어 상기 밸브 도어를 승하강 시키고, 중단부에 환형 돌출부가 형성되는 샤프트와, 내측에 상기 샤프트가 승하강될 수 있도록 관통구가 형성되는 밸브 하우징 플레이트와, 상기 샤프트가 이동될 수 있도록 내부에 공간이 형성되며 상기 밸브 하우징 플레이트 상부에 결합되는 하우징 프레임과, 내측으로 상기 샤프트가 관통되며 일단이 상기 밸브 하우징 플레이트의 상부와 결합되고, 타단에는 상기 샤프트의 외경면에 형성되는 상기 환형 돌출부의 상면에 안착되도록 구비되는 플랜지를 포함하는 벨로우즈와, 상기 벨로우즈 내부의 기밀을 유지할 수 있도록, 상기 환형 돌출부의 상면과 상기 플랜지의 하면 사이에 형성되는 밀봉 부재 및 상기 밀봉 부재를 가압하여 밀폐력을 증가시킬 수 있도록 상기 플랜지의 상면을 가압하는 가압 부재를 포함할 수 있다.

Description

게이트 밸브 조립체{Gate valve assembly}
본 발명은 진공 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 진공 장치의 진공 기밀성을 견고하게 유지시킬 수 있는 게이트 밸브 조립체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정은 고정밀도를 요구하는 공정으로서, 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되어진다. 상기와 같은 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 완벽하게 차단한 상태, 즉, 진공상태에서 제조되고 있다. 따라서, 반도체 제조장치의 진공작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 주게 된다.
이러한 반도체 제조공정을 위해서는 로드락 챔버와 EFEM 사이, 로드락 챔버와 이송 챔버 사이 및 이송 챔버와 공정 챔버 사이에 각 공간을 격리하도록 게이트 밸브가 설치된다. 상기와 같은 게이트 밸브는 구동부재의 구동력에 의해 구동부재와 연결되어 있는 밸브 도어가 수직 및 수평 이동하여 웨이퍼의 이동통로를 개폐하는 역할을 함으로써, 공정챔버 내의 청결도를 유지시켜 작업의 효율성을 증진시키는 것을 가능하게 한다.
그러나, 이러한 종래의 게이트 밸브 조립체는, 기밀을 유지하기 위한 밀봉 부재가 밸브 도어를 승하강 시키는 샤프트의 외경면과 벨로우즈 사이에 측면 실링 구조로 설치되어, 샤프트 및 벨로우즈의 승하강 이동에 따라 밀봉 부재를 통해 가스가 누출되는 현상이 있었다. 이와 같은, 측면 실링 구조의 기밀 유지에 대한 취약점으로 인해 진공장비의 밀폐유지효과가 고르지 못하고, 이에 따라 작동 불량률이 높아지는 원인이 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 샤프트와 벨로우즈 사이의 기밀 유지력을 높여 작동 불량률을 낮출 수 있는 게이트 밸브 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 기판이 출입하기 위한 게이트를 개폐할 수 있는 밸브 도어; 상기 밸브 도어가 상기 게이트를 개폐할 수 있도록 상기 밸브 도어의 일측에 연결되어 상기 밸브 도어를 승하강 시키고, 외경면에 환형 돌출부가 형성되는 샤프트; 내측에 상기 샤프트가 승하강될 수 있도록 관통구가 형성되는 밸브 하우징 플레이트; 상기 샤프트가 이동될 수 있도록 내부에 공간이 형성되며 상기 밸브 하우징 플레이트 상부에 결합되는 하우징 프레임; 내측으로 상기 샤프트가 관통되며 일단이 상기 밸브 하우징 플레이트의 상부와 결합되고, 타단에는 상기 샤프트의 외경면에 형성되는 상기 환형 돌출부의 상면에 안착되도록 구비되는 플랜지를 포함하는 벨로우즈; 상기 벨로우즈 내부의 기밀을 유지할 수 있도록, 상기 환형 돌출부의 상면과 상기 플랜지의 하면 사이에 결합되는 밀봉 부재; 및 상기 밀봉 부재를 가압하여 밀폐력을 증가시킬 수 있도록 상기 플랜지의 상면을 가압하는 가압 부재;를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 가압 부재는, 상기 샤프트가 관통할 수 있도록 링 형상으로 형성되어 내경면에 암나사부가 형성되고, 상기 샤프트는, 상기 외경면에 수나사부가 형성되고, 상기 가압 부재와 상기 샤프트는 나사 결합으로 결합되어 상기 플랜지의 상면을 가압할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 가압 부재는, 상기 샤프트가 관통할 수 있도록 링 형상으로 형성되고, 나사 부재를 이용하여 상기 환형 돌출부와 결합될 수 있도록 상기 나사 부재가 관통할 수 있는 관통홈부가 적어도 하나 이상 형성될 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 환형 돌출부는, 상기 나사 부재가 결합될 수 있도록, 상기 가압 부재의 상기 관통홈부와 대응되는 위치에 형성되는 결합홈부;를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 환형 돌출부는, 상기 환형 돌출부 상에서 상기 밀봉 부재가 이동되지 않도록, 상기 환형 돌출부의 상면에 상기 밀봉 부재의 일측이 접촉되도록 형성되는 밀봉 부재 안착홈부;를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 벨로우즈는, 상기 플랜지에 상기 가압 부재가 내삽되어 가압될 수 있도록 형성되는 가압 부재 안착홈부;를 포함하는 게이트 밸브 조립체가 제공된다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 샤프트를 구동하기 위한 구동부와 상기 샤프트를 연결할 수 있도록, 일측이 상기 구동부와 연결되고 내측에 상기 샤프트의 일부분을 수용할 수 있는 수용홀부가 형성되는 마운팅 블록;을 더 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 마운팅 블록은, 상기 샤프트 중심축의 수직 방향으로 상기 마운팅 블록을 관통하도록 형성되는 적어도 하나의 체결홀부;를 포함하고, 상기 샤프트는, 상기 체결홀부와 대응되는 위치에 상기 샤프트의 외경면을 따라 환형으로 형성되는 고정홈부;를 포함하고, 일단이 상기 고정홈부에 삽입되어 상기 수용홀부에 삽입된 상기 샤프트를 고정할 수 있도록, 상기 체결홀부를 통해 상기 마운팅 블록에 삽입되는 고정구;를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 고정구는, 상기 샤프트의 고정 위치를 가이드 할 수 있도록, 일단이 중심축을 기준으로 경사지게 형성되는 제 1 고정구; 및 상기 샤프트를 고정 시킬 수 있도록, 일단이 평평하게 형성되는 제 2 고정구;를 포함하고, 상기 고정홈부는, 상기 제 1 고정구의 경사진 일단과 대응될 수 있도록, 단면 형상이 삼각형 형상으로 형성되는 제 1 고정홈부; 및 상기 제 2 고정구의 평평한 일단과 대응될 수 있도록, 단면 형상이 사각형 형상으로 형성되는 제 2 고정홈부;를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 마운팅 블록은, 상기 수용홀부에 삽입된 상기 샤프트를 고정할 수 있도록, 상기 샤프트 중심축의 수직 방향으로 삽입되어 상기 샤프트를 고정하는 쐐기부;를 포함할 수 있다.
상기 게이트 밸브 조립체에서, 상기 쐐기부는, 상기 수용홀부의 내측으로 돌출된 일부분에 경사지게 형성되는 쐐기 경사면;을 포함하고, 상기 고정홈부는, 상기 쐐기 경사면에 안착될 수 있도록, 단면 형상이 상기 쐐기 경사면과 대응되는 고정 경사면을 포함하는 제 3 고정홈부;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 샤프트의 환형 돌출부의 상면과 벨로우즈 사이에 밀봉 부재를 설치한 상하 실링 구조를 적용하고, 실링 구조에 대한 압축력을 증대시키기 위해 상기 밀봉 부재를 가압하는 가압 부재를 적용하여 기밀 유지 효과를 크게 향상시킬 수 있다. 따라서, 진공장비의 밀폐유지효과를 더욱 향상시키고 작동 신뢰도를 증가시킬 수 있는 효과를 가지는 게이트 밸브 조립체를 구현할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브 조립체의 절단면을 나타내는 절단 사시도이다.
도 3은 도 1의 게이트 밸브 조립체의 절단면을 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체의 절단면을 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체(100)를 나타내는 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브 조립체(100)의 절단면을 나타내는 절단 사시도이고, 도 3은 도 1의 게이트 밸브 조립체(100)의 절단면을 나타내는 단면도이다.
먼저 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체(100)는, 크게 밸브 도어(10)와, 샤프트(20)와, 벨로우즈(30)와, 밀봉 부재(40) 및 가압 부재(50)를 포함할 수 있다. 이러한 게이트 밸브 조립체(100)는 진공 상태를 필요로 하는 제조 장치, 예컨대 반도체 장치, 디스플레이 장치 등의 기판 출입부에 설치될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 밸브 도어(10)는 기판이 출입하기 위한 게이트를 개폐할 수 있다. 더욱 구체적으로, 밸브 도어(10)는, 상기 게이트를 개폐할 수 있도록 승하강 및 전후 구동을 할 수 있다.
또한, 밸브 도어(10)의 승하강 및 전후 구동에 따라 상기 게이트의 개폐량이 조절되어, 상기 개폐량에 따라 진공펌프의 흡입력이 공정챔버로 전달되는 양을 조절하고, 밸브 도어(10)가 상기 게이트를 완전히 폐쇄 시 로드락 챔버와 EFEM 사이 또는 로드락 챔버와 이송 챔버 사이 또는 이송 챔버와 공정 챔버 사이의 각 공간을 격리시킬 수 있다.
이러한, 밸브 도어(10)는, 상기 게이트를 완전히 폐쇄 시 상기 각 공간의 격리를 유지할 수 있도록, 적절한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 더욱 구체적으로, 밸브 도어(10)는, 스틸, 스테인레스, 알루미늄, 마그네슘 및 아연 중 어느 하나 이상의 재질을 선택하여 구성되는 구조체일 수 있다. 그러나, 밸브 도어(10)는, 도 1 내지 도 3에 반드시 국한되지 않고, 상기 게이트를 완전히 폐쇄하여 상기 각 공간의 격리를 유지할 수 있는 매우 다양한 재질의 부재들이 적용될 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 밸브 하우징 플레이트(VH)는, 내측에 샤프트(20)가 승하강될 수 있도록 형성되고, 아울러, 샤프트(20)는, 밸브 도어(10)가 상기 게이트를 개폐할 수 있도록, 밸브 도어(10)의 일측에 연결되어 밸브 도어(10)를 승하강 시킬 수 있다. 또한, 벨로우즈(30)는, 내측으로 샤프트(20)가 관통되며, 일단이 밸브 하우징 플레이트(VH)의 상부와 결합되고, 타단에는 샤프트(20)의 외경면에 형성되는 환형 돌출부(21)의 상면에 안착되도록 구비되는 플랜지(31)가 형성될 수 있다.
더욱 구체적으로 샤프트(20)의 환형 돌출부(21)는, 샤프트(20)의 외주면을 따라 단턱이 360도로 형성되는 링 형상의 단턱일 수 있다. 또한, 후술할 밀봉 부재(40)가 환형 돌출부(21) 상에서 이동되지 않도록, 환형 돌출부(21)의 상면에 밀봉 부재(40)의 일측이 접촉되도록 형성되는 밀봉 부재 안착홈부(21b)를 포함할 수 있다.
예컨대, 밀봉 부재 안착홈부(21b)는 단면 형상이 밀봉 부재(40)의 단면 형상의 적어도 일부분과 대응되는 형상으로 형성되어, 밀봉 부재(40)가 환형 돌출부(21)의 정위치로 안착할 수 있도록 유도 할 수 있다. 이에 따라, 밀봉 부재(40)가 환형 돌출부(21)의 상면과 플랜지(31)의 하면 사이 정위치에 정확히 안착되어 게이트 밸브 조립체(100)의 기밀성을 더욱 높일 수 있다.
아울러, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브 조립체(100)는, 내측에 샤프트(20)가 이동될 수 있도록 내부에 공간이 형성되며 밸브 하우징 플레이트(VH)의 상부에 결합되는 하우징 프레임(H)을 포함하고, 샤프트(20)를 구동하기 위한 구동부(M)와 샤프트(20)를 연결할 수 있도록, 일측이 구동부(M)와 연결되고 내측에 샤프트(20)의 일부분을 수용할 수 있는 수용홀부(61)가 형성되는 마운팅 블록(60)을 더 포함할 수 있다. 이때, 구동부(M)는 하우징 프레임(H)의 상측에 설치되고, 하우징 프레임(H)의 내측에 형성된 마운팅 블록(60)과 연결되어 구동부(M)에서 발생하는 구동력을 전달할 수 있다.
더욱 구체적으로, 마운팅 블록(60)은, 샤프트(20) 중심축의 수직 방향으로 마운팅 블록(60)을 관통하도록 형성되는 적어도 하나의 체결홀부(62)를 포함하고, 샤프트(20)는, 체결홀부(62)와 대응되는 위치에 샤프트(20)의 외경면을 따라 환형으로 형성되는 고정홈부(25)를 포함하고, 일단이 고정홈부(25)에 삽입되어 수용홀부(61)에 삽입된 샤프트(20)를 고정할 수 있도록, 체결홀부(62)를 통해 마운팅 블록(60)에 삽입되는 고정구(F)를 포함할 수 있다.
예컨대, 고정구(F)는, 샤프트(20)의 고정 위치를 가이드 할 수 있도록, 일단이 중심축을 기준으로 경사지게 형성되는 제 1 고정구(F1) 및 샤프트(20)를 고정 시킬 수 있도록, 일단이 평평하게 형성되는 제 2 고정구(F2)를 포함할 수 있다.
이때, 샤프트(20)의 고정홈부(25)는, 제 1 고정구(F1)의 경사진 일단과 대응될 수 있도록, 단면 형상이 삼각형 형상으로 형성되는 제 1 고정홈부(25-1) 및 제 2 고정구(F2)의 평평한 일단과 대응될 수 있도록, 단면 형상이 사각형 형상으로 형성되는 제 2 고정홈부(25-2)를 포함할 수 있다.
따라서, 샤프트(20)를 마운팅 블록(60)의 수용홀부(61)에 삽입한 후, 마운팅 블록의 체결홀부(62)를 통해서 제 1 고정구(F1)를 삽입할 수 있다. 이때, 제 1 고정구(F1)의 외경면엔 수나사부가 형성되고 체결홀부(62)의 내경면엔 암나사부가 형성되어, 나사결합에 의한 회전으로 제 1 고정구(F1)가 체결홀부(62) 내측으로 삽입될 수 있다. 예컨대, 제 1 고정구(F1)는 육각렌치에 의한 회전이 가능하도록 상면에 육각홈부가 형성된 무두볼트일 수 있다.
이어서, 제 1 고정구(F1)가 체결홀부(62)를 통해서 수용홀부(61)의 내측으로 돌출되면서, 샤프트(20)의 제 1 고정홈부(25-1)와 접촉될 수 있다. 이때, 제 1 고정구(F1)의 경사지게 형성된 일단과, 단면이 삼각 형상으로 형성된 제 1 고정홈부(25-1)의 경사면이 접촉되어, 경사면 접촉에 의해 샤프트(20)를 마운팅 블록(60) 내의 정위치로 안내할 수 있다.
이어서, 마운팅 블록의 다른 체결홀부(62)를 통해서 일단이 평평하게 형성된 제 2 고정구(F2)를 삽입할 수 있다. 이때, 제 2 고정구(F2)의 평평하게 형성된 일단과, 단면이 사각 형상으로 형성된 제 2 공정홈부(25-2)의 일단면이 접촉되어, 앞서 제 1 고정구(F1)에 의해 정위치로 안내된 샤프트(20)를 완전하게 고정시킬 수 있다.
그러므로, 결합 위치 안내용 제 1 고정구(F1)와 결합 위치 고정용 제 2 고정구(F2)를 이용하여, 샤프트(20)를 마운팅 블록(60)의 수용홀부(61)에 삽입하여 고정 시, 샤프트(20)를 정위치로 손쉽게 안내하여 고정할 수 있다.
더불어, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 마운팅 블록(60)은, 수용홀부(61)에 삽입된 샤프트(20)를 더욱 견고하게 고정할 수 있도록, 샤프트(20) 중심축의 수직 방향으로 삽입되어 샤프트(20)를 고정하는 쐐기부(65)를 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로, 쐐기부(65)는, 수용홀부(61)의 내측으로 돌출된 일부분에 경사지게 형성되는 쐐기 경사면(65a)을 포함하고, 고정홈부(25)는, 쐐기 경사면(65a)에 안착될 수 있도록, 단면 형상이 쐐기 경사면(65a)과 대응되는 고정 경사면(25a)을 포함하는 제 3 고정홈부(25-3)를 더 포함할 수 있다. 따라서, 상술한 제 1 고정구(F1) 및 제 2 고정구(F2)를 이용한 샤프트(20) 고정 이외에도, 쐐기부(65)를 이용하여 샤프트(20)를 더욱 견고하게 고정시킬 수 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 밀봉 부재(40)는, 벨로우즈(30) 내부의 기밀을 유지할 수 있도록, 샤프트(20)의 환형 돌출부(21) 상면과 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 하면 사이에 설치될 수 있다. 또한, 가압 부재(50)는, 밀봉 부재(40)를 가압하여 밀폐력을 증가시킬 수 있도록, 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 상면을 가압할 수 있다. 이때, 벨로우즈(30)는, 플랜지(31)에 가압 부재(50)가 내삽되며, 플랜지(31)에 가압 부재(50)가 정위치로 용이하게 안착될 수 있도록, 플랜지(31)의 상면에 가압 부재(50)의 일부분이 안착되어 가압될 수 있도록 형성되는 가압 부재 안착홈부(32)를 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로, 밀봉 부재(40)는, 벨로우즈(30) 내부의 기밀을 용이하게 유지할 수 있는 오링 일 수 있다. 예컨대, 밀봉 부재(40)는, 재질이 합성고무 또는 합성수지이고 단면이 원형 또는 사각으로 형성되어, 밀봉부의 홈에 끼워서 기밀성 및 수밀성을 유지하기 위해 사용될 수 있다.
또한, 가압 부재(50)는, 샤프트(20)가 관통할 수 있도록 링 형상으로 형성되어 내경면에 암나사부(51)가 형성되고, 샤프트(20)의 외경면에 형성된 수나사부(22)와 나사 결합으로 결합되어 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 상면을 가압할 수 있다.
예컨대, 가압 부재(50)는, 샤프트(20)와의 나사 결합으로 상기 나사 결합의 회전량에 따라 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 상면을 가압하여, 그 가압력을 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 하면과 샤프트(20)의 환형 돌출부(21) 상면 사이에 형성된 밀봉 부재(40)로 전달 할 수 있다.
이때, 가압 부재(50)를 샤프트(20)에 용이하게 회전시켜 나사 결합할 수 있도록, 링 형상의 가압 부재(50)를 관통하여 형성되는 적어도 하나 이상의 관통홈부(52)가 형성될 수 있다. 예컨대, 관통홈부(52)의 형상과 대응되는 형상으로 형성된 복수개의 돌출부가 형성된 전용 공구를 사용하여, 상기 전용 공구의 상기 돌출부를 관통홈부(52)에 삽입하여 상기 전용 공구의 회전으로 가압 부재(50)를 샤프트(20)에 나사 결합시킬 수 있다. 이외에도, 가압 부재(50)의 외경면을 사각형이나 육각형 같은 다각형으로 형성하여, 스패너와 같은 공용 공구를 이용하여 가압 부재(50)를 샤프트(20)에 나사 결합할 수도 있다.
그러므로, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체(100)는, 샤프트(20)의 환형 돌출부(21) 상면과 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 하면 사이에 밀봉 부재(40)를 설치한 상하 실링 구조를 적용하고, 상기 상하 실링 구조에 대한 압축력을 증대시키기 위해 밀봉 부재(40)를 가압할 수 있는 가압 부재(50)를 적용하여, 밀봉 부재(40)의 기밀 유지 효과를 크게 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 가압 부재(50)를 이용하여 샤프트(20)의 승하강 방향으로 밀봉 부재(40)를 가압하여 밀폐력을 보강함으로써, 진공장비의 밀폐유지효과를 더욱 향상시키고 작동 신뢰도를 증가시킬 수 있는 효과를 가질 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체(200)의 절단면을 나타내는 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 가압 부재(50)는, 샤프트(20)가 관통할 수 있도록 링 형상으로 형성되고, 나사 부재(B)를 이용하여 샤프트(20)의 환형 돌출부(21)와 결합될 수 있도록, 나사 부재(B)가 관통할 수 있는 관통홈부(52)가 적어도 하나 이상 형성될 수 있다. 이때, 환형 돌출부(21)는, 나사 부재(B)가 결합될 수 있도록, 가압 부재(50)의 관통홈부(52)와 대응되는 위치에 형성되는 결합홈부(21a)를 포함할 수 있다.
따라서, 가압 부재(50)를 샤프트(20)에 삽입하여 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 상면에 안착시킨 후, 나사 부재(B)를 각각 관통홈부(52)에 삽입하여, 나사 부재(B)와 내경면에 암나사부가 형성된 결합홈부(21a)의 나사 결합으로, 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 상면을 가압할 수 있다. 이때, 도 4에 도시된 바와 같이, 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 또한 나사 부재(B)가 관통할 수 있는 관통홀이 형성될 수 있다.
예컨대, 가압 부재(50)는, 나사 부재(B)와 환형 돌출부(21)의 결합홈부(21a)의 나사 결합으로 상기 나사 결합의 회전량에 따라 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 상면을 가압하여, 그 가압력을 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 하면과 샤프트(20)의 환형 돌출부(21) 상면 사이에 형성된 밀봉 부재(40)로 전달 할 수 있다.
그러므로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 조립체(200)는, 샤프트(20)의 환형 돌출부(21) 상면과 벨로우즈(30)의 플랜지(31) 하면 사이에 밀봉 부재(40)를 설치한 상하 실링 구조를 적용하고, 상기 상하 실링 구조에 대한 압축력을 증대시키기 위해 밀봉 부재(40)를 가압할 수 있는 가압 부재(50)를 적용하여, 밀봉 부재(40)의 기밀 유지 효과를 크게 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 가압 부재(50)를 이용하여 샤프트(20)의 승하강 방향으로 밀봉 부재(40)를 가압하여 밀폐력을 보강함으로써, 진공장비의 밀폐유지효과를 더욱 향상시키고 작동 신뢰도를 증가시킬 수 있는 효과를 가질 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 밸브 도어
20: 샤프트
30: 벨로우즈
40: 밀봉 부재
50: 가압 부재
60: 마운팅 블록
B: 나사 부재
H: 하우징 프레임
VH: 밸브 하우징 플레이트
M: 구동부
F1, F2: 고정구
100, 200: 게이트 밸브 조립체

Claims (11)


  1. 기판이 출입하기 위한 게이트를 개폐할 수 있는 밸브 도어;
    상기 밸브 도어가 상기 게이트를 개폐할 수 있도록 상기 밸브 도어의 일측에 연결되어 상기 밸브 도어를 승하강 시키고, 외경면에 환형 돌출부가 형성되는 샤프트;
    내측에 상기 샤프트가 승하강될 수 있도록 관통구가 형성되는 밸브 하우징 플레이트;
    상기 샤프트가 이동될 수 있도록 내부에 공간이 형성되며 상기 밸브 하우징 플레이트 상부에 결합되는 하우징 프레임;
    내측으로 상기 샤프트가 관통되며 일단이 상기 밸브 하우징 플레이트의 상부와 결합되고, 타단에는 상기 샤프트의 외경면에 형성되는 상기 환형 돌출부의 상면에 안착되도록 구비되는 플랜지를 포함하는 벨로우즈;
    상기 벨로우즈 내부의 기밀을 유지할 수 있도록, 상기 환형 돌출부의 상면과 상기 플랜지의 하면 사이에 결합되는 밀봉 부재; 및
    상기 밀봉 부재를 가압하여 밀폐력을 증가시킬 수 있도록 상기 플랜지의 상면을 가압하는 가압 부재;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재는, 상기 샤프트가 관통할 수 있도록 링 형상으로 형성되어 내경면에 암나사부가 형성되고,
    상기 샤프트는, 상기 외경면에 수나사부가 형성되고,
    상기 가압 부재와 상기 샤프트는 나사 결합으로 결합되어 상기 플랜지의 상면을 가압하는, 게이트 밸브 조립체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재는,
    상기 샤프트가 관통할 수 있도록 링 형상으로 형성되고, 나사 부재를 이용하여 상기 환형 돌출부와 결합될 수 있도록 상기 나사 부재가 관통할 수 있는 관통홈부가 적어도 하나 이상 형성되는, 게이트 밸브 조립체.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 환형 돌출부는,
    상기 나사 부재가 결합될 수 있도록, 상기 가압 부재의 상기 관통홈부와 대응되는 위치에 형성되는 결합홈부;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 환형 돌출부는,
    상기 밀봉 부재가 상기 환형 돌출부 상에서 이동되지 않도록, 상기 환형 돌출부의 상면에 상기 밀봉 부재의 일측이 접촉되도록 형성되는 밀봉 부재 안착홈부;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 벨로우즈는,
    상기 플랜지에 상기 가압 부재가 내삽되어 가압될 수 있도록 형성되는 가압 부재 안착홈부;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 샤프트를 구동하기 위한 구동부와 상기 샤프트를 연결할 수 있도록, 일측이 상기 구동부와 연결되고 내측에 상기 샤프트의 일부분을 수용할 수 있는 수용홀부가 형성되는 마운팅 블록;
    을 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 마운팅 블록은,
    상기 샤프트 중심축의 수직 방향으로 상기 마운팅 블록을 관통하도록 형성되는 적어도 하나의 체결홀부;를 포함하고,
    상기 샤프트는,
    상기 체결홀부와 대응되는 위치에 상기 샤프트의 외경면을 따라 환형으로 형성되는 고정홈부;를 포함하고,
    일단이 상기 고정홈부에 삽입되어 상기 수용홀부에 삽입된 상기 샤프트를 고정할 수 있도록, 상기 체결홀부를 통해 상기 마운팅 블록에 삽입되는 고정구;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 고정구는,
    상기 샤프트의 고정 위치를 가이드 할 수 있도록, 일단이 중심축을 기준으로 경사지게 형성되는 제 1 고정구; 및
    상기 샤프트를 고정 시킬 수 있도록, 일단이 평평하게 형성되는 제 2 고정구;를 포함하고,
    상기 고정홈부는,
    상기 제 1 고정구의 경사진 일단과 대응될 수 있도록, 단면 형상이 삼각형 형상으로 형성되는 제 1 고정홈부; 및
    상기 제 2 고정구의 평평한 일단과 대응될 수 있도록, 단면 형상이 사각형 형상으로 형성되는 제 2 고정홈부;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 마운팅 블록은,
    상기 수용홀부에 삽입된 상기 샤프트를 고정할 수 있도록, 상기 샤프트 중심축의 수직 방향으로 삽입되어 상기 샤프트를 고정하는 쐐기부;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 쐐기부는,
    상기 수용홀부의 내측으로 돌출된 일부분에 경사지게 형성되는 쐐기 경사면;을 포함하고,
    상기 고정홈부는,
    상기 쐐기 경사면에 안착될 수 있도록, 단면 형상이 상기 쐐기 경사면과 대응되는 고정 경사면을 포함하는 제 3 고정홈부;
    를 포함하는, 게이트 밸브 조립체.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005061437A (ja) * 2003-08-12 2005-03-10 Smc Corp メンテナンス容易なゲートバルブ
KR20060051114A (ko) * 2004-09-08 2006-05-19 배트 홀딩 아게 진공 밸브
KR20110057198A (ko) * 2008-09-05 2011-05-31 배트 홀딩 아게 기밀 샤프트 이동관통부를 구비하는 진공밸브
KR20150007240A (ko) * 2013-07-10 2015-01-20 에스엠시 가부시키가이샤 논슬라이드형 게이트 밸브

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005061437A (ja) * 2003-08-12 2005-03-10 Smc Corp メンテナンス容易なゲートバルブ
KR20060051114A (ko) * 2004-09-08 2006-05-19 배트 홀딩 아게 진공 밸브
KR20110057198A (ko) * 2008-09-05 2011-05-31 배트 홀딩 아게 기밀 샤프트 이동관통부를 구비하는 진공밸브
KR20150007240A (ko) * 2013-07-10 2015-01-20 에스엠시 가부시키가이샤 논슬라이드형 게이트 밸브

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