KR20220106961A - 진공밸브 또는 진공도어 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공밸브 또는 진공도어에 관한 것으로, 상기 진공밸브 또는 진공도어는 벽 (3, 32) 안의 개구부 (4, 29) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄 플레이트 (7) 를 구비하고, 개구부 (4, 29) 는 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들 (4a, 4b; 29a, 29b) 과, 상기 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들에 비하여 보다 짧은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 가장자리들 (4c, 4d) 을 구비한다. 폐쇄 플레이트 (7) 의 폐쇄위치에서 벽 (3, 32) 에 대해 폐쇄 플레이트 (7) 를 밀봉하기 위해, 밀봉 유닛 (12) 이 제공되고, 상기 밀봉 유닛은 지지 프레임 (13) 을 구비하고, 상기 지지 프레임은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 과, 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들에 비하여 보다 짧은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 레그들 (17, 18) 을 구비하고, 상기 지지 프레임에는 일측에서는 에워싸는 폐쇄 플레이트-시일 (18) 이 설치되고, 다른 측에서는 에워싸는 벽-시일 (19) 이 설치된다. 지지 프레임 (13) 은 벽 (3, 32) 안의 고정 부위들에 고정되고, 이때 적어도 지지 프레임 (13) 의 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들은 벽 (3, 32) 에 대해 자유롭고, 또는 지지 프레임 (13) 은 폐쇄 플레이트 (7) 의 고정 부위들에 고정되고, 이때 적어도 지지 프레임 (13) 의 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들은 폐쇄 플레이트 (7) 에 대해 자유롭다.
Description
본 발명은 벽 안에 배열된 개구부 (opening) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄 플레이트 (closure plate) 를 갖는 진공밸브 또는 진공도어에 관한 것으로, 상기 개구부는 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들과, 상기 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들에 비하여 보다 짧은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 가장자리들을 구비하고, 상기 폐쇄 플레이트는 상기 벽의 상기 개구부가 개방되는 개방위치와, 상기 벽의 상기 개구부가 상기 폐쇄 플레이트에 의해 폐쇄되는 폐쇄위치 사이에서 이동 가능하다.
비교적 큰, 납작한 기판 (substrates), 예컨대 스크린의 패널에서 진공 공정이 실행되어야 하는 진공 시설들에 있어서, 챔버 (chamber) 안으로의 기판의 도입을 가능하게 하기 위해, 진공챔버들 (vacuum chambers) 은 벽들 안에 큰 슬롯 모양의 개구부들을 구비한다. 상응하여, 특히 트랜스퍼 밸브 (transfer valves) 로서, 큰 슬롯 모양의 개구부들을 갖는 진공밸브와 진공도어가 이용된다. 진공밸브는 특히 이웃한 그리고 밸브를 통하여 연결된 진공챔버들 사이에서 트랜스퍼 밸브로서 이용된다. 진공도어는 외부 공간 쪽으로의 챔버의 개구부를 폐쇄 및 개방하기 위해 이용된다. 즉, 챔버의 벽 안에 또는 진공밸브의 기본 몸체의 벽 안에 또는 진공도어의 기본 몸체의 벽 안에 배열된, 본질적으로 직사각형인 개구부들은 마주 보고 있는 세로방향 가장자리들과, 상기 세로방향 가장자리들에 비하여 훨씬 짧은 마주 보고 있는 가로방향 가장자리들을 구비한다. 상기 세로방향 가장자리들은 예컨대 1.5 내지 3 m의 범위에서의 길이를 가질 수 있다. 상기 가로방향 가장자리들은 예컨대 10 내지 20 cm의 범위에서의 길이를 가질 수 있다.
이러한 진공밸브들에 있어서, 진공밸브 또는 진공도어가 설치되어 있는 진공챔버의 내부 공간이 대기압력으로부터 시작하여 진공화되면, 상기 진공챔버의 상기 내부 공간에 형성된 저압을 근거로 상기 진공챔버의 변형이 발생한다. 상기 변형은 슬롯 모양의 개구부의 폭이 중앙 쪽으로 약간 감소되는 것을, 즉 상기 개구부의 세로방향 가장자리들의 중앙 섹션들, 그리고 상응하여 이 영역들 안의 상기 개구부에 이어지는 벽 섹션들도 서로를 향해 움직이는 것을 초래한다. 상기 개구부의 중앙에서의 상기 개구부의 세로방향 가장자리들의 변위 (displacement) 는 예컨대 1.5 mm 내지 3 mm의 범위에 있을 수 있다. 진공챔버의 개구부를 구비하는 벽과 진공밸브 또는 진공도어의 기본 몸체의 개구부를 구비하는 벽 사이에 존재하는 상기 진공챔버와의 나사결합 (screwed connection) 을 근거로, 상기 진공챔버와 연결된 진공밸브 또는 진공도어의 기본 몸체는, 상기 진공밸브 또는 상기 진공도어의 개구부를 구비하는 기본 몸체의 벽의 영역에서 똑같은 방식으로 변형된다.
개구부의 세로방향 가장자리들의 중앙 섹션들 안의 상기 개구부에 이어지는 기본 몸체의 벽 섹션들의 이 변위는 폐쇄 플레이트에 설치된 그리고 상기 개구부를 구비하는 벽에 밀착하는 밀봉링의 전단 하중 (shear load) 을 초래한다. 이로 인해, 사용 동안 밀봉링의 마멸이 발생한다. 이는 한편으로는 밀봉링의 추가적인 마모를 의미하고, 따라서 밀봉링은 상응하는 정비 간격들로 교체되어야 한다. 또한, 이 마멸은 입자들 (particles) 의 원하지 않은 발생을 야기하고, 상기 입자들은 가공되어야 하는 기판에 퇴적되고, 기판의 품질 또는 기능 유용성에 부정적으로 영향을 미칠 수 있다.
진공챔버의 변형을 감소시키기 위해, 진공챔버에 추가적인 보강 요소들을 설치할 수 있는데, 하지만 이는 비교적 비용이 많이 든다.
WO 2014/086458 A1에는, 밸브 개구부들을 구비하는 하우징 벽들이 얇은 박판으로 형성되어 있는 진공밸브가 나타나 있다. 이 진공밸브는 진공 유닛들, 예컨대 진공챔버들 사이에 배열되고, 상기 진공챔버들은 연결 플랜지들을 갖는 육중한 벽들을 구비한다. 상기 진공밸브의 밸브 하우징의 안정화는 이 진공 유닛들의 연결 플랜지들과 상기 진공밸브의 연결을 통해 달성된다. 상기 진공밸브는 이를 위해 육중한 플랜지 링들을 구비하고, 상기 플랜지 링들은 상기 진공 유닛들의 연결 플랜지들과 나사결합되고, 박판으로 만들어진 하우징 벽은 상기 연결 플랜지들과 상기 플랜지 링들 사이에 클램핑된다. 각각의 플랜지 링과 각각의 하우징 벽 사이에, 이 경우 각각 하나의 엘라스토머 밀봉링이 제공된다. 그 밖의 엘라스토머 밀봉링은 상기 플랜지 링과 상기 연결 플랜지 사이에 놓여 있다. 상기 진공밸브의 이 플랜지 링들 중 적어도 하나는 상기 연결 플랜지와 마주 보고 있는 측에서 동시에 밸브시트 (valve seat) 를 형성한다. 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 상기 연결 플랜지에 대해 폐쇄 부재를 밀봉하기 위한 엘라스토머 밀봉링은 이 경우 상기 폐쇄 부재에 또는 상기 연결 플랜지에도 배열될 수 있다. 상기 연결 플랜지와 상기 플랜지 링 사이를 밀봉하기 위한 그리고 상기 플랜지 링과, 박판으로 만들어진 상기 하우징 벽 사이를 밀봉하기 위한 플랜지 링들이 둘레에 걸쳐 상기 연결 플랜지들과 강성적으로 연결되어야 하기 때문에, 상기 플랜지 링들은 진공 유닛들을 진공화할 때 상기 연결 플랜지들의 변형시 동행되고, 따라서 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 상기 플랜지 링과 상기 폐쇄 부재 사이에 압축된 밀봉링의 전단 하중의 문제가 여기서 마찬가지로 발생한다.
본 발명의 목적은 비용절감적인 방식으로 적은 입자발생 및/또는 긴 정비간격이 달성 가능한, 유리한 진공밸브 또는 유리한 진공도어, 또는 진공챔버에 설치된 도입부에서 언급된 종류의 진공도어와 진공챔버와의 유리한 조합을 제공하는 것이다.
이는 본 발명에 따르면 청구항 1항의 특징들을 갖는 진공밸브 또는 진공도어를 통해 또는 청구항 2항의 특징들을 갖는 진공도어와 진공챔버와의 조합을 통해 달성된다.
본 발명에 따른 진공밸브에 있어서 또는 진공도어에 있어서 또는 진공도어와 진공챔버와의 조합에 있어서, 개구부를 구비하는 벽에 대해, 폐쇄위치에 있는 폐쇄 플레이트를 밀봉하기 위한 밀봉 유닛 (sealing unit) 이 제공되고, 상기 밀봉 유닛은 지지 프레임 (supporting frame) 을 구비한다. 상기 지지 프레임은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (first and second longitudinal legs) 과, 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들에 비하여 보다 짧은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 레그들을 갖는다.
특히, 상기 개구부의 마주 보고 있는 세로방향 가장자리들은 상기 개구부의 마주 보고 있는 가로방향 가장자리들보다 적어도 5배, 바람직하게는 적어도 10배 더 길고, 상기 지지 프레임의 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 레그들은 상기 지지 프레임의 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 레그들보다 적어도 5배, 바람직하게는 적어도 10배 더 길다. 이로써, 상기 개구부, 그리고 상응하여 상기 지지 프레임에 의해 에워싸인 프레임 개구부는 슬롯 모양이라 불릴 수 있다.
상기 지지 프레임의 일측에서는, 폐쇄 플레이트와 함께 작용하기 위한 에워싸는 폐쇄 플레이트-시일 (closure plate seal) 이 설치되고, 상기 지지 프레임의 다른 측에서는, 개구부를 구비하는 벽과 함께 작용하기 위한 에워싸는 벽-시일 (wall seal) 이 설치된다.
제 1 실시변형에 따르면, 상기 지지 프레임은 진공밸브의 기본 몸체의 또는 진공도어의 기본 몸체의 또는 진공도어가 설치되어 있는 진공챔버의, 개구부를 구비하는 벽에서의 고정 부위들에 고정된다. 이때, 적어도 상기 지지 프레임의 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 중앙 섹션들은 상기 벽에 대해 자유롭다. 제 2 실시변형에 따르면, 상기 지지 프레임은 폐쇄 플레이트에서의 고정 부위들에 고정된다. 이때, 적어도 상기 지지 프레임의 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 중앙 섹션들은 상기 폐쇄 플레이트에 대해 자유롭다.
상기 지지 프레임의 상기 세로방향 레그들의 이 ‘자유로운’섹션들은 유리하게는 상기 세로방향 레그들의 전체 길이의 적어도 절반에 걸쳐, 바람직하게는 적어도 3분의 2에 걸쳐 연장된다.
이로써 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 상기 중앙 섹션들에서, 상기 지지 프레임은 상기 지지 프레임의 구부림하에 상기 벽에 대해 (상기 벽에 상기 지지 프레임을 고정시킬 경우) 또는 상기 폐쇄 플레이트에 대해 (상기 폐쇄 플레이트에 고정시킬 경우) 가동성을 가지며, 즉 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 상기 중앙 섹션들은 상기 벽에 상기 지지 프레임을 고정시킬 경우에는 상기 벽에 대해 또는 상기 폐쇄 플레이트에 상기 지지 프레임을 고정시킬 경우에는 상기 폐쇄 플레이트에 대해 상기 지지 프레임의 변형하에 변위될 수 있다. 이 변위는 상기 지지 프레임이 놓여 있는 평면 (= 상기 지지 프레임의 중앙 평면) 에서 수행된다. 이 평면은 개구부가 놓여 있는 또는 개구부를 구비하는 벽이 놓여 있는 평면 (= 이 벽의 중앙 평면) 에 대해 평행으로 또는 폐쇄 플레이트가 놓여 있는 평면 (= 폐쇄 플레이트의 중앙 평면) 에 대해 평행으로 놓여 있다.
상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서, 진공밸브와 또는 진공도어와 연결되어 있는 그리고 진공챔버의 개구부가 상기 진공밸브 또는 진공도어에 의해 폐쇄 가능한 상기 진공챔버가 대기압력으로부터 시작하여 진공화되면 그리고 이를 통해 상기 개구부를 구비하는 이 벽의 변형이 발생하면 (상기 변형시 상기 개구부의 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들은 상기 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들의 세로방향 중앙 쪽으로 더욱 더 서로를 향해 움직이고, 즉 상기 개구부는 세로방향 중앙 쪽으로 가늘어진다), 본 발명에 따른 형성을 통해 상기 지지 프레임의 세로방향 레그들의 중앙 섹션들은 이 경우 상기 개구부에 이어지는 상기 벽의 섹션들의 변위의 일부에 걸쳐 동행될 수 있고, 이때 상기 각각의 세로방향 레그의 세로방향 중앙에서 이 부분은 바람직하게는, 상기 세로방향 가장자리의 세로방향 중앙의 영역에서, 상기 각각의 세로방향 레그가 놓여 있는 상기 개구부의 각각의 세로방향 가장자리에 이어지는 상기 벽의 섹션의 전체 변위의 3분의 1과 3분의 2 사이에 달한다. 이 동행은 상기 지지 프레임의 탄성적 복원력에 대항하여, 상기 벽-시일과, 상기 벽-시일이 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 밀착하는 벽 사이의 마찰을 통해 수행될 수 있다. 하지만 상기 지지 프레임이 갖는 상기 탄성적 복원력을 근거로, 상기 동행은 상기 개구부의 세로방향 가장자리에 이어지는 상기 벽의 섹션의 전체 변위보다 작다.
규정된 범위에서 상기 지지 프레임의 세로방향 레그들의 중앙 섹션들의 동행을 안전하게 하기 위해, 개구부를 구비하는 벽에는, 상기 지지 프레임의 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 중앙 섹션들과 함께 작용하기 위한 벽-스톱들 (wall-stops) 이, 특히 상기 세로방향 레그들의 세로방향 중앙의 영역에서, 제공될 수 있고 그리고/또는 상기 폐쇄 플레이트에는, 상기 지지 프레임의 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 중앙 섹션들과 함께 작용하기 위한 폐쇄 플레이트-스톱들 (closure plate-stops) 이, 특히 상기 세로방향 레그들의 세로방향 중앙의 영역에서, 제공될 수 있다.
본 발명의 유리한 실시형태에서, 상기 지지 프레임이 상기 벽에 또는 상기 폐쇄 플레이트에 고정되어 있는 고정 부위들은 상기 지지 프레임의 모서리 영역들에 놓여 있을 수 있고, 상기 모서리 영역들은 각각 세로방향 레그와, 상기 세로방향 레그에 이어지는 상기 지지 프레임의 가로방향 레그 사이에 형성된다. 그 대신에 또는 추가적으로, 고정 부위들은 가로방향 레그들의 영역에 제공될 수 있다. 예컨대, 고정 부위들은 상기 지지 프레임 안의 구멍들을 관통하는 나사들을 이용해 형성될 수 있다. 상기 지지 프레임을 고정시키기 위해, 그 대신에 또는 추가적으로 예컨대 스냅 요소들 (snap elements) 이 제공될 수 있다. 각각의 고정 부위는 상기 지지 프레임의 어느 정도 확장된 섹션에 걸쳐 연장될 수도 있다.
상기 지지 프레임의 두께는 적어도 상기 지지 프레임의 제 1 및 제 2 세로방향 레그들의 자유로운 중앙 섹션들의 영역들에서, 개구부를 구비하는 벽의 두께보다 작고, 유리하게는 절반보다 작고, 바람직하게는 3분의 1보다 작다 (이 두께들은 상기 개구부를 구비하는 벽의 평면에 대해 직각으로, 즉 상기 지지 프레임의 평면에 대해 직각으로 측정된다).
적어도 상기 지지 프레임의 상기 세로방향 레그들의 자유로운 중앙 섹션들의 영역들에서 상기 지지 프레임의 평면에 대해 평행으로 그리고 상기 각각의 세로방향 레그의 세로방향 연장에 대해 직각으로 측정된 상기 각각의 세로방향 레그의 폭은 유리하게는 개구부를 구비하는 벽의 두께보다 작다 (상기 벽의 두께는 상기 벽의 평면에 대해 직각으로 측정된다).
본 발명의 바람직한 실시형태는 상기 지지 프레임이 상기 폐쇄 플레이트-시일 옆에 그리고 상기 벽-시일 옆에 놓여 있는 받침 요소들을 구비하는 것을 제공한다. 상기 폐쇄 플레이트가 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 개구부를 구비하는 벽에 밀어붙여지면, 밀착면들을 갖는 상기 받침 요소들은 한편으로는 상기 벽에 밀착할 수 있게 되고, 다른 한편으로는 상기 폐쇄 플레이트에 밀착할 수 있게 된다. 이로써 상기 폐쇄 플레이트-시일의 최대 압축과 상기 벽-시일의 최대 압축이 제한된다.
상기 받침 요소들은 지지 프레임을 형성하는 상기 지지 프레임의 기본 재료의 융기부들에 의해 형성될 수 있다. 바람직한 바와 같이 상기 지지 프레임의 기본 재료가 금속, 특히 강철 또는 알루미늄이면, 상기 지지 프레임은 적어도 상기 받침 요소들의 상기 밀착면들의 영역들에서 미끄럼층 (sliding layer) 으로 코팅되고, 상기 미끄럼층은 유리하게는 상기 벽에 대해 그리고 상기 폐쇄 플레이트에 대해 적은 마찰을 갖는다. 예컨대, PTFE (테프론) 또는 PFA로 코팅이 제공될 수 있다.
변경된 실시형태에서, 플라스틱 (예컨대 PTFE 또는 PFA 또는 PEEK) 으로 만들어진 받침 요소들이 제공될 수 있고, 상기 받침 요소들은, 특히 금속으로 구성되는, 상기 지지 프레임의 기본 몸체에 설치되고, 예컨대 부착된다.
본 발명의 유리한 실시형태에서, 기본 몸체의 벽의 또는 진공챔버의 벽의 개구부의 세로방향 가장자리들은 1 m보다 큰 길이를 갖는다. 가로방향 가장자리들은 바람직하게는 30 cm보다 작은 길이를 갖는다.
벽의 평면에 대해 직각인 시선방향과 관련하여, 상기 지지 프레임은 유리하게는 상기 벽 안의 개구부의 가장자리들을 넘어 안쪽으로 돌출해 있지 않다. 이로써 상기 지지 프레임은 상기 개구부의 내측 폭을 감소시키지 않는다.
상기 폐쇄 플레이트-시일은 상기 지지 프레임의 그루브 (groove) 안에 배열된 O-링에 의해 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 폐쇄 플레이트-시일은 상기 지지 프레임에 가황 처리 (vulcanize) 될 수도 있다.
상기 벽-시일은 상기 지지 프레임의 그루브 안에 배열된 O-링에 의해 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 벽-시일은 상기 지지 프레임에 가황 처리될 수도 있다.
이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 진공밸브의 실시예를 사투상도로 나타내고;
도 2는 분해도를 나타내고;
도 3은 다른 시선방향으로부터의 분해도를 나타내고;
도 4는 폐쇄 플레이트의 개방위치에서 측면도를 나타내고;
도 5는 도 4의 선 AA를 따른 단면을 나타내고;
도 6은 도 4의 선 BB를 따른 단면을 나타내고;
도 7은 폐쇄 플레이트의 중간위치에서 도 5와 유사한 단면을 나타내고;
도 8은 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 도 5와 유사한 단면을 나타내고 (기본 몸체의 이완된 상태에서);
도 9는 도 8의 확대된 부분 C를 나타내고;
도 10은 제 1 측 위로의 밀봉 유닛의 측면도를 나타내고;
도 11은 마주 보고 있는 제 2 측 위로의 밀봉 유닛의 측면도를 나타내고;
도 12는 밀봉 유닛의 사투상도를 나타내고;
도 13은 본 발명의 제 2 실시예를 위한 제 1 측 위로의 밀봉 유닛의 측면도를 나타내고;
도 14는 도 13의 선 DD를 따른 단면을 나타내고;
도 15는 도 14의 확대된 부분 E를 나타내고;
도 16은 본 발명의 제 3 실시예를 위한, 도 6과 유사한 단면을 나타내고;
도 17 및 도 18은 기본 몸체의 이완된 그리고 변형된 상태에서 본 발명의 제 4 실시예를 위한 확대된 섹션들을 나타내고;
도 19는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 지지 프레임의, 도 15와 유사한 단면을 나타내고;
도 20은 본 발명의 제 1 실시예에 따라 2개의 진공챔버 사이에 조립된 진공밸브와, 본 발명에 따라 진공챔버들 중 하나에 조립된 진공도어의 사투상도를 나타내고;
도 21은 진공밸브와 진공도어의 폐쇄 플레이트의 개방위치에서 도 20의 장치를 통한 단면을 나타내고 (도 5와 유사한 절단선);
도 22는 진공밸브와 진공도어의 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 도 21에 상응하는 단면을 나타내고;
도 23은 본 발명의 그 밖의 실시예에 따라 진공챔버에 조립된 진공도어의 사투상도를 나타내고;
도 24는 진공도어의 폐쇄 플레이트의 개방위치에서 도 23의 장치의 단면을 나타내고 (도 5와 유사한 절단선);
도 25는 진공도어의 폐쇄 플레이트의 중간위치에서 도 24와 유사한 단면을 나타내고;
도 26은 진공도어의 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 도 24와 유사한 단면을 나타내고;
도 27은 변경된 그 밖의 실시형태를 위한, 도 24와 유사한 단면을 나타낸다.
도면들은 서로 다른 축척을 가지며, 부분적으로 간략화되고 도식화되어 있다.
도 2는 분해도를 나타내고;
도 3은 다른 시선방향으로부터의 분해도를 나타내고;
도 4는 폐쇄 플레이트의 개방위치에서 측면도를 나타내고;
도 5는 도 4의 선 AA를 따른 단면을 나타내고;
도 6은 도 4의 선 BB를 따른 단면을 나타내고;
도 7은 폐쇄 플레이트의 중간위치에서 도 5와 유사한 단면을 나타내고;
도 8은 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 도 5와 유사한 단면을 나타내고 (기본 몸체의 이완된 상태에서);
도 9는 도 8의 확대된 부분 C를 나타내고;
도 10은 제 1 측 위로의 밀봉 유닛의 측면도를 나타내고;
도 11은 마주 보고 있는 제 2 측 위로의 밀봉 유닛의 측면도를 나타내고;
도 12는 밀봉 유닛의 사투상도를 나타내고;
도 13은 본 발명의 제 2 실시예를 위한 제 1 측 위로의 밀봉 유닛의 측면도를 나타내고;
도 14는 도 13의 선 DD를 따른 단면을 나타내고;
도 15는 도 14의 확대된 부분 E를 나타내고;
도 16은 본 발명의 제 3 실시예를 위한, 도 6과 유사한 단면을 나타내고;
도 17 및 도 18은 기본 몸체의 이완된 그리고 변형된 상태에서 본 발명의 제 4 실시예를 위한 확대된 섹션들을 나타내고;
도 19는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 지지 프레임의, 도 15와 유사한 단면을 나타내고;
도 20은 본 발명의 제 1 실시예에 따라 2개의 진공챔버 사이에 조립된 진공밸브와, 본 발명에 따라 진공챔버들 중 하나에 조립된 진공도어의 사투상도를 나타내고;
도 21은 진공밸브와 진공도어의 폐쇄 플레이트의 개방위치에서 도 20의 장치를 통한 단면을 나타내고 (도 5와 유사한 절단선);
도 22는 진공밸브와 진공도어의 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 도 21에 상응하는 단면을 나타내고;
도 23은 본 발명의 그 밖의 실시예에 따라 진공챔버에 조립된 진공도어의 사투상도를 나타내고;
도 24는 진공도어의 폐쇄 플레이트의 개방위치에서 도 23의 장치의 단면을 나타내고 (도 5와 유사한 절단선);
도 25는 진공도어의 폐쇄 플레이트의 중간위치에서 도 24와 유사한 단면을 나타내고;
도 26은 진공도어의 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에서 도 24와 유사한 단면을 나타내고;
도 27은 변경된 그 밖의 실시형태를 위한, 도 24와 유사한 단면을 나타낸다.
도면들은 서로 다른 축척을 가지며, 부분적으로 간략화되고 도식화되어 있다.
본 발명에 따른 진공밸브의 제 1 실시예는 도 1 내지 도 12에 도시된다. 상기 진공밸브는 기본 몸체 (1) 를 구비하고, 상기 기본 몸체는 밸브 하우징을 의미하고 내부 공간 (2) 을 구비하고, 상기 내부 공간은 상기 진공밸브의 진공영역이다. 즉, 내부 공간 (2) 에 진공이 존재할 수 있다.
기본 몸체 (1) 는 마주 보고 있는 벽들 (3) 을 구비하고, 상기 벽들 안에 각각 하나의 개구부 (4) 가 배열된다.
밸브 로드 (5) 에 지지 유닛 (6) 이 설치되고, 상기 지지 유닛은 실시예에서 플레이트 모양의 2개의 폐쇄 플레이트 (7) 를 받치고 있다.
폐쇄 플레이트들 (7) 은 각각 각각의 할당된 개구부 (4) 가 개방되는 개방위치와 (도 5 및 도 6 참조), 폐쇄 플레이트 (7) 가 각각의 할당된 개구부 (4) 와 마주 보고 있는 (개구부 (4) 를 덮는, 개구부 (4) 의 축방향에서 볼 때), 하지만 폐쇄 플레이트 (7) 가 상기 할당된 개구부 (4) 를 구비하는 벽 (3) 에 대해 밀봉되어 있지 않은 (즉, 상기 폐쇄 플레이트와 상기 벽 사이의 영역에 열린 틈이 존재한다) 중간위치와 (도 7 참조), 폐쇄 플레이트 (7) 가 각각의 할당된 개구부 (4) 를 밀봉하는 폐쇄위치 (도 8 참조) 사이에서 이동 가능하다.
상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 폐쇄 플레이트 (7) 를 이동시키기 위해, 밸브 로드 (5) 는 상기 밸브 로드의 세로축 (10) (= 축방향으로) 에 대해 평행으로 이동된다. 밸브 로드 (5) 를 축방향으로 이동시키기 위해 실시예에서 피스톤-실린더-유닛 (8) 이 사용되고, 상기 피스톤-실린더-유닛의 피스톤 로드는 밸브 로드 (5) 를 형성한다. 피스톤-실린더-유닛 (8) 대신에 다른 액추에이터도 밸브 드라이브로서 제공될 수 있다.
상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 각각의 폐쇄 플레이트 (7) 를 이동시키기 위해, 각각의 피스톤-실린더-유닛 (9) 이 사용된다. 이 피스톤-실린더-유닛들 (9) 의 실린더 공간들은 지지 유닛 (6) 의 공동들에 의해 형성되고, 상기 공동들 안에 이 피스톤-실린더-유닛 (9) 의 피스톤들이 배열된다. 이 피스톤-실린더-유닛들의 피스톤 로드들에 폐쇄 플레이트들 (7) 이 설치된다.
상기 폐쇄 플레이트의 중간위치와 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치 사이에서의 각각의 폐쇄 플레이트 (7) 의 이동은 밸브 로드 (5) 의 세로축 (10) 에 대해 직각으로 수행된다.
도시된 실시예에서 피스톤-실린더-유닛 (9) 의 실린더 공간들은 분리되고, 즉 폐쇄 플레이트들 (7) 은 개별적으로 상기 폐쇄 플레이트들의 중간위치와 상기 폐쇄 플레이트들의 폐쇄위치 사이에서 이동될 수 있다. 하나의 공통의 이동이 충분한 경우, 피스톤-실린더-유닛들 (9) 의 피스톤들은 하나의 공통의 연속적인 실린더 공간에 배열될 수 있다.
두 폐쇄 플레이트들 (7) 중 하나가 생략될 수도 있고, 따라서 상기 진공밸브는 하나의 폐쇄 플레이트 (7) 와 하나의 밀봉 가능한 개구부 (4) 만 구비할 것이다. 폐쇄 플레이트 (7) 의 상기 개방위치에서 상기 기본 몸체를 통한 관통채널을 형성하기 위해, 특히 밀봉 가능한 개구부 (4) 의 맞은 편에, 밀봉 가능하지 않은 개구부가 상기 기본 몸체 안에 제공될 수 있다.
상기 폐쇄 플레이트의 개방위치와 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치 사이에서의 적어도 하나의 폐쇄 플레이트 (7) 의 이동은 이로써 실시예에서 L-밸브의 방식에 따라 수행된다.
알려져 있는 바와 같이, 특히 L-밸브의 방식에 따라, 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 상기 진공밸브의 적어도 하나의 폐쇄 플레이트의 이동의 다른 방식들이 제공될 수 있다. 이렇게, 진공밸브가 단지 하나의 개별적인 액추에이터를 구비하는 것도 생각할 수 있고 가능하며, 상기 액추에이터를 이용해 적어도 하나의 폐쇄 플레이트는 상기 개방위치로부터 상기 중간위치를 거쳐 상기 폐쇄위치로 이동되고, 반대로도 이동된다. 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해, 이 경우 상기 밸브 로드의 세로축 (10) 에 대해 직각으로 있는 그리고 적어도 하나의 개구부의 축에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레로 밸브 로드 (5) 의 선회도 수행될 수 있다. 이러한 선회는 알려져 있는 방식으로 연결 링크를 통해 제어될 수 있다. 진공밸브가 2개의 폐쇄 플레이트 (7) 를 구비하는 경우를 위해, 상기 폐쇄 플레이트들은 상기 중간위치로부터 출발하여 교대로, 밸브 로드 (5) 의 반대방향을 향한 선회를 통해 각각의 폐쇄위치로 이동될 수 있다.
애프터서비스를 가능하게 하기 위해, 기본 몸체 (1) 는 실시예에서 떼어낼 수 있는, 시일 (도시되지 않음) 에 의해 밀봉된 뚜껑 (11) 을 구비한다 (고정 나사들도 마찬가지로 도시되지 않음).
각각의 개구부 (4) 는 마주 보고 있는 제 1 세로방향 가장자리 (4a) 와 제 2 세로방향 가장자리 (4b) 에 의해 그리고 마주 보고 있는 제 1 가로방향 가장자리 (4c) 와 제 2 가로방향 가장자리 (4d) 에 의해 한정된다. 도면에서 볼 때 (도 4) 각각의 개구부 (4) 는 본질적으로 직사각형 형태를 가지며, 세로방향 가장자리들 (4a, 4b) 은 가로방향 가장자리들 (4c, 4d) 보다 훨씬 길고, 특히 5배보다 더 길고, 특히 바람직하게는 10배보다 더 길다. 이로써 개구부들 (4) 은 슬롯 모양이라 불릴 수 있다.
예컨대, 세로방향 가장자리들 (4a, 4b) 은 1 내지 4m의 범위에 있는 길이를 가질 수 있다. 가로방향 가장자리들 (4c, 4d) 은 예컨대 10 내지 30cm의 범위에 있는 길이를 가질 수 있다.
각각의 폐쇄 플레이트 (7) 와, 각각 할당된 개구부 (4) 를 구비하는 벽 (3) 사이를 밀봉하기 위해, 각각 하나의 밀봉 유닛 (12) 이 사용된다. 상기 밀봉 유닛은 한 평면에 놓여 있는 지지 프레임 (13) 을 구비한다. 상기 지지 프레임은 서로 간격을 둔 그리고 평행으로 연장되는 제 1 세로방향 레그 (14) 와 제 2 세로방향 레그 (15) 를 갖는다. 마주 보고 있는 세로방향 레그들 (14, 15) 은 가장자리측에서 마주 보고 있는 제 1 가로방향 레그 (16) 와 제 2 가로방향 레그 (17) 에 의해 연결된다. 즉, 세로방향 레그들과 가로방향 레그들 (14-17) 은 하나의 프레임 개구부를 에워싼다. 세로방향 레그들과 가로방향 레그들 (14-17) 은 가상의 직사각형의 측면들 위에 놓여 있다. 세로방향 레그들 (14, 15) 은 이 경우, 개구부들 (4) 의 형태에 상응하여, 가로방향 레그들 (16, 17) 보다 훨씬 길다. 특히, 세로방향 레그들 (14, 15) 은 가로방향 레그들 (16, 17) 의 길이의 5배보다 더 길고, 바람직하게는 10배보다 더 길다.
밀봉 유닛들 (12) 의 지지 프레임들 (13) 의 두께는 개구부들 (4) 을 구비하는 벽들 (3) 의 두께들보다 작고, 유리하게는 절반보다 작고, 바람직하게는 3분의 1보다 작다 (이 두께들은 상기 개구부를 구비하는 벽의 각각의 평면에 대해 직각으로, 즉 상기 각각의 지지 프레임의 평면에 대해 직각으로 측정된다).
각각의 지지 프레임 (13) 의 적어도 세로방향 레그들 (14, 15) 은 상기 지지 프레임의 평면에 대해 평행으로 그리고 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 의 세로방향 연장에 대해 직각으로 측정된 폭을 가지며, 상기 폭은 개구부 (4) 를 구비하는 각각의 벽 (3) 의 두께보다 작고, 상기 벽의 상기 두께는 벽 (3) 의 평면에 대해 직각으로 측정된다.
지지 프레임 (13) 의 중앙 평면에 대해 평행으로 놓여 있는 지지 프레임 (13) 의, 반대방향을 향한 측면들에는 각각 하나의 시일이 배열된다. 일측에서 상기 시일은 에워싸는 (= 고리 모양의) 폐쇄 플레이트-시일 (18) 이고, 다른 측에서 상기 시일은 에워싸는 (= 고리 모양의) 벽-시일 (19) 이다. 시일들 (18, 19) 은 각각 엘라스토머 재료, 예컨대 FKM (바이턴) 또는 FFKM으로 구성된다.
실시예에서 폐쇄 플레이트-시일 (18) 과 벽-시일 (19) 은 O-링의 형태로 형성되고, 상기 O-링들은 지지 프레임 (13) 의 그루브들 안에 배열되고, 이를 통해 지지 프레임 (13) 에 홀딩된다. 변경된 실시형태에서, 폐쇄 플레이트-시일 (18) 및/또는 벽-시일 (19) 은 지지 프레임 (13) 에 가황 처리될 수도 있다.
폐쇄 플레이트-시일 (18) 과 벽-시일 (19) 이 설치되어 있는 지지 프레임 (13) 측들에서, 지지 프레임 (13) 은 각각 시일들 (18, 19) 옆에 놓여 있는 융기부들을 구비하고, 상기 융기부들은 받침 요소들 (20) 을 형성한다. 상기 받침 요소들은 각각의 폐쇄 플레이트 (7) 의 상기 폐쇄위치에서 폐쇄 플레이트-시일 (18) 의 압축과 벽-시일 (19) 의 압축을 제한한다.
이 실시예에서 받침 요소들 (20) 은 지지 프레임 (13) 의 기본 재료에 의해 형성되고, 상기 기본 재료는 바람직하게는 금속, 특히 강철 또는 알루미늄이다. 지지 프레임 (13) 의 이 기본 재료는 적어도 폐쇄 플레이트 (7) 에 또는 벽 (3) 에 밀착하기 위해 사용되는 받침 요소들 (20) 의 밀착면들의 영역에서 폐쇄 플레이트 (7) 에 대해 그리고 벽 (3) 에 대해 마찰을 감소시키기 위해 미끄럼층으로 코팅되고, 상기 미끄럼층은 폐쇄 플레이트 (7) 에 대해 또는 벽 (3) 에 대해 작은 마찰계수를 갖는다. 폐쇄 플레이트 (7) 에 대한 또는 상기 벽에 대한 상기 미끄럼층의 재료, 예컨대 플라스틱의 마찰계수는 어쨌든 폐쇄 플레이트 (7) 에 대한 또는 벽 (3) 에 대한 지지 프레임 (13) 의 기본 재료의 마찰계수보다 작다. 지지 프레임 (13) 을 코팅하기 위해 예컨대 PTFE 또는 PFA가 제공될 수 있다.
플라스틱 재료, 특히 열경화성 수지로부터의 지지 프레임 (13) 의 전체적인 형성도 생각할 수 있고 가능하다.
벽 (3) 과 폐쇄 플레이트 (7) 는 바람직하게는 금속, 특히 강철로 구성된다.
실시예에서, 제 1 세로방향 레그 (14) 와 제 2 세로방향 레그 (15) 옆에, 각각 서로 간격을 둔 다수의 받침 요소들 (20) 이 배열된다. 예컨대, 연속적인 스트립 모양의 받침 요소도 제 1 세로방향 레그 (14) 와 제 2 세로방향 레그 (15) 옆에서 연장될 수 있다. 예컨대, 각각의 받침 요소로서 고리 모양의 스트립이 각각의 시일 (18, 19) 옆에서 연장되는 방식의 설계도 가능하다.
실시예에서, 받침 요소들 (20) 은 또한 방사상으로 시일들 (18, 19) 의 외부에 배열된다. 그 대신에 또는 추가적으로, 받침 요소들은 방사상으로 시일들 (18, 19) 의 내부에 배열될 수 있다.
각각의 지지 프레임 (13) 은 이 실시예에서 각각의 벽 (3) 에만 고정되고, 따라서 프레임 개구부는 각각의 개구부 (4) 를 에워싼다. 상기 고정은 이 경우 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그들 (14, 15) 이, 적어도 세로방향 레그들 (14, 15) 의 길이의 바람직하게는 적어도 절반, 특히 바람직하게는 적어도 3분의 2를 차지하는 중앙 섹션들에서 벽 (3) 에 대해 자유로이 있도록 수행된다. 실시예에서 상기 고정은 세로방향 레그들 (14, 15) 과 가로방향 레그들 (16, 17) 사이의 4개의 모서리 영역들에서 수행된다. 지지 프레임 (13) 은 이를 위해 이 모서리 영역들에서 구멍들 (21) 을 구비한다. 상기 구멍들을 통해 나사들 (22) 은 각각의 벽 (3) 의 나사 구멍들 안에 나사결합된다.
세로방향 레그들 (14, 15) 이 적어도 중앙 섹션들에서 자유로이 있음으로써, 탄성적으로 변형 가능한 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그들 (14, 15) 은 상기 지지 프레임의 변형하에 상기 세로방향 레그들이 상기 세로방향 레그들의 세로방향 중앙 쪽으로 더욱 더 서로 접근하는 식으로 구부러질 수 있다 (상기 세로방향 레그들 중 하나의 이러한 가능한 굽힘을 도식적으로 과장하여 도시하는 도 10 안의 파선 참조).
본 발명에 따른 진공밸브는 예컨대 2개의 진공챔버 사이에 배열하기 위한 트랜스퍼 밸브로서 이용될 수 있다. 그러면 상기 진공챔버들은 개구부들 (4) 과 일직선으로 늘어선 개구부들을 구비하고, 알려져 있는 것처럼 그리고 도면들에 상세히 도시되지 않은 것처럼 나사결합 및 시일들을 통하여 벽들 (3) 과 연결된다.
이제 상기 진공밸브가 2개의 진공챔버 사이에 배열되고, 상기 진공챔버들과 상기 진공밸브가 연결되어 있는 상황으로부터 시작한다. 상기 연결은 각각 다수의 나사를 통해 수행되고, 상기 나사들은 각각의 개구부 (4) 둘레의 영역에 배열되고, 개구부 (4) 를 구비하는 벽 (3) 과, 개구부 (4) 와 일직선으로 늘어선 상응하는 개구부를 구비하는 밸브챔버의 벽은 서로 나사결합된다.
상기 진공밸브와 이 방식으로 결합된 진공챔버가 대기압력으로부터 시작하여 펌핑 아웃되면 (pumped out), 상기 진공밸브의 벽 (3) 과 연결된 상기 진공챔버의 벽은, 이 벽 안의 슬롯 모양의 개구부의 폭이 중앙 쪽으로 약간 감소되는 식으로, 즉 상기 개구부의 세로방향 가장자리들의 중앙 섹션들, 그리고 상응하여 이 영역들 안의 상기 개구부에 이어지는 벽의 섹션들도 서로를 향해 움직이는 식으로 변형된다. 상기 진공밸브의 벽 (3) 과의 나사결합을 근거로, 벽 (3) 은 개구부 둘레의 영역에서 동일한 방식으로 변형된다. 즉, 상기 기본 몸체의 벽 (3) 안의 개구부 (4) 의 폭이 중앙 쪽으로 약간 감소되고, 즉 개구부 (4) 의 세로방향 가장자리들 (4a, 4b) 의 중앙 섹션들, 그리고 상응하여 이 영역들 안의 개구부 (4) 에 이어지는 벽 (3) 의 섹션들도 서로를 향해 움직이는 식으로, 즉 서로 접근하는 식으로 변위된다.
세로방향 가장자리 (4a, 4b) 의 세로방향 중앙의 영역에서, 이 접근은 예컨대 1.5 mm 내지 6 mm의 범위에 있을 수 있다. 도 9에서, 벽 (3) 의 변형된 상태에서의 개구부 (4) 의 세로방향 가장자리 (4a) 의 위치는 파선을 통해 도시된다. 벽 (3) 의 이완된 상태에 대한 변위는 a로 표시된다.
상기 폐쇄 플레이트가 벽 (3) 의 변형시 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄위치에 있으면, 즉 밀봉 유닛 (12) 이 벽 (3) 에 밀어붙여지면, 각각의 세로방향 가장자리 (4a, 4b) 에 이어지는 벽 (3) 의 섹션의 변위시 상기 지지 프레임의 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 는 상기 세로방향 레그에 작용하는 마찰력을 통해 적어도 부분적으로 동행된다. 이 동행은 이 경우 지지 프레임 (13) 의 탄성적 복원력에 대항하여 수행된다. 이로써 상기 동행은 각각의 세로방향 가장자리 (4a, 4b) 에 이어지는 벽 (4) 의 섹션의 운동 (a) 보다 작다. 벽 (3) 의 변형된 상태에서의 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그 (14) 의 위치는 도 9에 파선을 통해 도시되고, 벽 (3) 의 이완된 상태 (상기 이완된 상태는 실선으로 도시된다) 에 대한 변위는 b로 표시된다.
바람직하게는, 각각의 지지암 (13) 의 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 의 중앙의 변위 (b) 의 크기는 할당된 벽 (3) 의 변위 (a) 의 크기의 3분의 1 내지 3분의 2에 달하고, 약 1/2의 값이 특히 바람직하다. 이로써, 벽 (3) 과 폐쇄 플레이트 (7) 사이에 작용하는 개별적인 시일에 대해 두 시일 (18, 19) 각각은 보다 작은 전단 하중을 받는다. 이를 통해 사용 동안의 마멸이 감소되고, 이로써 입자발생도 감소된다. 이 경우, 닳아진 시일에 있어서의 입자발생이 닳지 않은 시일에서보다 훨씬 높다는 것이 고려되어야 한다. 본 발명을 통해 달성된, 입자발생의 감소는 이로써 시일의 이용 시간에 걸쳐 더욱 더 강하게 작용한다. 이로써 정비 간격도 길어질 수 있고, 이 경우 그럼에도 불구하고 입자발생하에서 통례적인 밸브에 머무를 수 있다.
밀봉 유닛 (12) 을 위한 제 2 실시예는 도 13 내지 도 15에 도시된다. 이하, 제 1 실시예에 대한 차이들이 설명되고, 설계는 그 밖에는 제 1 실시예의 설계에 상응한다. 받침 요소들 (20) 은 이 실시예에서 플라스틱 부품들에 의해 형성되고, 상기 플라스틱 부품들은 지지 프레임 (13) 의 기본 재료에 설치된다. 이 플라스틱 부품들은 상기 지지 프레임의 기본 재료로서 벽 (3) 에 대해 그리고 폐쇄 플레이트 (7) 에 대해 보다 작은 마찰계수를 갖는다.
제 3 실시예는 도 16에 도시된다. 이하, 제 1 실시예에 대한 차이들이 설명되고, 설계는 그 밖에는 제 1 실시예의 설계에 상응한다. 각각의 지지 프레임 (13) 은 여기서는 각각의 벽 (3) 에 고정되는 것이 아니라 각각의 폐쇄 플레이트 (7) 에만 고정된다. 폐쇄 플레이트 (7) 에서의 설치는 이 경우 제 1 실시예에서의 벽 (3) 에서의 설치와 유사한 방식으로 수행된다. 즉, 특히 지지 프레임 (13) 은 모서리 영역들에서 구멍들을 구비하고, 상기 구멍들은 나사들 (22) 에 의해 관통되고, 상기 나사들은 폐쇄 플레이트 (7) 의 나사 구멍들 안에 나사결합된다. 이로써, 세로방향 레그들 (14, 15) 의 길이의 바람직하게는 적어도 절반, 특히 바람직하게는 적어도 3분의 2에 달하는, 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그들 (14, 15) 의 적어도 중앙 섹션들은 폐쇄 플레이트 (7) 에 대해 자유롭다.
각각의 폐쇄 플레이트 (7) 의 상기 폐쇄위치에서 프레임 개구부는 벽 (3) 안의 개구부 (4) 를 에워싸고, 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들은, 벽 (3) 과 연결된 진공챔버를 펌핑 아웃함으로써 벽 (3) 의 그리고 이로써 개구부 (4) 의 변형시 제 1 실시예에서와 완전히 유사한 방식으로 구부러질 수 있다.
본 발명의 제 4 실시예는 도 17 및 도 18에 도시된다. 이하, 제 1 실시예에 대한 차이들이 설명되고, 설계는 그 밖에는 제 1 실시예의 설계에 상응한다.
이 실시예에서는, 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 의 동행의 크기가, 각각의 개구부에 이어지는 벽 (3) 의 섹션의 변형시 원하는 범위에 있는 것을 안전하게 하기 위해, 특히 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 의 세로방향 중앙에서 각각의 개구부 (4) 의 각각의 세로방향 가장자리 (4a, 4b) 의 세로방향 중앙의 변위의 크기의 3분의 1과 3분의 2 사이에 달하는 것을 안전하게 하기 위해, 벽-스톱들 (23) 과 폐쇄 플레이트-스톱들 (24) 이 제공된다.
벽-스톱들 (23) 과 폐쇄 플레이트-스톱들 (24) 은 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들과 함께, 특히 상기 세로방향 레그들의 세로방향 중앙의 영역에서, 작용한다.
도 17에는, 폐쇄 플레이트 (7) 가 상기 폐쇄위치에 있으면 그리고 기본 몸체 (1) 가 이완되면 존재하는 상태가 도시된다. 도 18에는, 벽 (3) 과 연결된 진공챔버를 펌핑 아웃함으로써 벽 (3) 이 변형되면 발생하는 상태가 도시된다.
도 17에는, 세로방향 가장자리의 세로방향 중앙에서 개구부 (4) 의 상기 세로방향 가장자리 (4a) 의 변위의 크기 (a) 가 도시된다. 값 (a) 만큼 벽-스톱 (23) 도 도 17의 상태와 도 18의 상태 사이에서 변위된다. 또한, 벽-스톱 (23) 과 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그 (14) 사이의 처음의 (= 기본 몸체 (1) 의 이완된 상태에서 존재하는) 간격 (c), 그리고 폐쇄 플레이트-스톱 (24) 과 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그 (14) 사이의 처음의 간격 (d) 이 도시된다. 즉, 스톱들 (23, 24) 은 지지 프레임 (13) 의 해당 세로방향 레그 (14, 15) 의 양측에 놓여 있고, 간격들 (c, d) 은 변위의 크기 (a) 보다 작다. 간격들 (c, d) 은 바람직하게는 각각 a의 크기의 3분의 1 내지 3분의 2의 범위에 있다. 간격들 (c, d) 의 합계는 적어도 a에 달하고, 바람직하게는 약간 더 크다 (값 (a) 의 허용오차에 있어서 세로방향 레그 (14, 15) 의 끼임을 예방하기 위해). 바람직하게는, c와 d의 합계는 a의 크기의 1과 3분의 1보다 작다.
만일 기본 몸체 (1) 를 펌핑 아웃할 때 각각의 세로방향 가장자리 (4a, 4b) 에 이어지는 벽의 섹션에서 상기 벽 (3) 의 변위시 세로방향 레그 (14, 15) 에 대한 마찰이, 상기 세로방향 레그가 동행되지 않을 정도로 또는 단지 약간 동행될 정도로 작으면, 스톱 (23) 은 벽 (3) 의 변위 동안 (아무리 빨라도 변위 거리 (c) 에 따라) 해당 세로방향 레그 (14, 15) 에 밀착하게 되고, 벽 (3) 의 그 밖의 변위시 세로방향 레그 (14, 15) 를 변위시킨다. 이 상황의 마지막 상태는 도 18에 도시된다.
만일 벽 (3) 의 변위시 해당 세로방향 레그 (14, 15) 에 대한 마찰이 상기 해당 세로방향 레그가 적어도 가능한 한 벽 (3) 의 상기 변위에 상응하여 동행될 정도로 크면, 벽 (3) 의 상기 변위 동안 해당 세로방향 레그 (14, 15) 는 폐쇄 플레이트-스톱 (24) 에 밀착하게 되고 (아무리 빨라도 변위 거리 (d) 에 따라) 그리고 벽 (3) 의 그 밖의 변위시 그 밖의 변위에 대항하여 봉쇄된다. 이 경우, 마지막 상태에서 해당 세로방향 레그 (14, 15) 는 폐쇄 플레이트-스톱 (24) 에 밀착한다 (도면들에 도시되지 않음).
세로방향 레그의 세로방향 중앙의 영역에서의 상기 세로방향 레그 (14) 의 변위 (b) 는 도 17에 마찬가지로 도시된다. 변위 (b) 의 크기는 이미 언급한 바와 같이 크기 (a) 의 3분의 1 내지 3분의 2의 범위에 있다.
그 밖의 변경된 실시예는 도 19에 도식적으로 도시된다. 여기서는 밀봉 재료가 지지 프레임 (13) 에 가황 처리되고, 상기 밀봉 재료는 연속적으로 상기 지지 프레임의 한 측으로부터 다른 측으로 연장되고, 이 경우 상기 지지 프레임의 가느다란 측을 거쳐 연장된다. 지지 프레임 (13) 의 마주 보고 있는 측들에 위치하는 이 밀봉 재료의 섹션들은 여기서 폐쇄 플레이트-시일 (18) 과 벽-시일 (19) 을 형성한다.
도 20 내지 도 22는 2개의 진공챔버 (25) 사이에 조립된 진공밸브 (50) 를 나타낸다. 진공밸브 (50) 는 본 발명의 제 1 실시예에 상응하여 형성되고, 도 20 및 도 21의 도면에서 폐쇄 플레이트 (7) 는 개방위치에 있고, 도 22에서는 폐쇄위치에 있다. 진공밸브 (50) 의 기본 몸체 (1) 는 개구부들 (4) 을 구비하는 벽들 (3) 과 함께 진공챔버들 (25) 의 이웃한 벽들 (27) 에 설치된다. 이때 진공밸브 (50) 의 기본 몸체 (1) 의 벽들 (3) 안의 개구부들 (4) 은 진공챔버 (25) 의 벽들 (27) 안의 개구부들 (28) 과 일직선으로 늘어서고, 즉 기본 몸체 (1) 의 개구부들 (4) 과 진공챔버들 (25) 의 벽들 (27) 의 개구부들 (28) 은 동일한 형태와 크기를 가지며, 상기 개구부들의 가장자리들은 나란히 늘어서 서로 이어진다. 진공밸브 (50) 의 벽들 (3) 과 진공챔버 (25) 의 벽들 (27) 사이를 진공 밀봉적으로 연결하기 위해, 도 20에 도시되지 않은 나사들과, 도 20에 마찬가지로 도시되지 않은, 개구부들 (4, 28) 을 에워싸는 밀봉링이 사용된다. 상기 나사들은 예컨대 각각의 진공챔버 (25) 의 내부 공간 (26) 으로부터 벽 (27) 안의 개구부들을 통해 진공밸브 (50) 의 기본 몸체 (1) 의 벽 (3) 안의 나사 구멍들에 나사결합될 수 있다. 이 경우, 개구부들 (4, 28) 을 고리 모양으로 에워싸는 다수의 나사가 존재한다 (상기 밀봉링의 내부에서 또는 외부에서). 기본 몸체 (1) 의 내부 공간 (2) 으로부터 시작하여 벽들 (3) 안의 개구부들을 통해 벽들 (27) 안의 나사 구멍들에의 반대의 나사결합도 제공될 수 있다.
진공챔버들 (25) 중 하나가 대기압력으로부터 시작하여 펌핑 아웃되면 (대기압력의 10분의 1보다 작은 압력으로), 개구부 (28) 가 변형되고, 이때 개구부 (28) 의 세로방향 가장자리들은 중간 섹션들에서 서로를 향해 움직인다. 이 영역들 안의 개구부 (28) 에 이어지는 벽 (27) 의 섹션들은 이때 서로를 향해 움직이고, 기본 몸체 (1) 의 할당된 벽 (3) 과의 나사결합을 통해 벽 (3) 의 상응하는 섹션들을 동행시키고, 따라서 개구부 (4) 도 이미 언급된 바와 같이 유사하게 변형된다.
도 20에서 오른쪽에 도시된 진공챔버 (25) 는 벽 (32) 안에 그 밖의 개구부 (29) 를 구비하고, 상기 그 밖의 개구부는 본 발명에 따른 진공도어 (51) 에 의해 폐쇄 가능하다. 진공도어 (51) 의 열린 상태에서 이 진공챔버 (25) 는 이로써 개구부 (29) 를 통하여 주변공간과 연결된다. 개구부 (29) 를 통해, 가공되어야 하는 기판이 진공 시설 안으로 도입될 수 있다.
진공도어 (51) 는 가능한 한 상기 진공밸브의 먼저 기술된 제 1 실시예와 유사하게 형성된다. 또한, 특히 이 진공밸브에 대한 차이들이 기술된다. 진공도어 (51) 를 위해 적어도 부분적으로 상기 진공밸브를 위한 것과 동일한 참조부호들이 사용된다.
본 발명에 따른 진공도어 (51) 의 이 실시예에 있어서, 기본 몸체 (30) 는 상기 진공밸브와 달리, 닫힌 내부 공간을 갖는 하우징으로서 형성되지 않는다. 하지만 상기 기본 몸체는 상기 진공밸브에 대해 완전히 유사한 방식으로 개구부 (4) 를 갖는 벽 (3) 을 구비하고, 상기 개구부는 상기 진공밸브와 관련하여 기술된 것과 동일한 방식으로 형성된다. 기본 몸체 (30) 의 벽 (3) 안의 개구부 (4) 를 개방 및 폐쇄하기 위해 또다시 폐쇄 플레이트 (7) 가 사용되고, 상기 폐쇄 플레이트는 개구부 (4) 가 개방되는 개방위치와, 개구부 (4) 가 진공 밀봉적으로 폐쇄되는 폐쇄위치 사이에서 이동 가능하다. 상기 이동은 상기 진공밸브와 관련하여 기술된 것과 똑같은 방식으로 중간위치를 거쳐 수행될 수 있고, 이를 위해 여기서 피스톤-실린더-유닛들 (8, 9) 이 사용된다. 상기 이동은 변경된 방식으로도 수행될 수 있고, 이를 위해 마찬가지로 상기 진공밸브와 관련된 설명을 참조하도록 한다.
폐쇄 플레이트 (7) 의 상기 폐쇄위치에서 폐쇄 플레이트 (7) 와 벽 (3) 사이를 밀봉하기 위해, 밀봉 유닛 (12) 이 사용되고, 상기 밀봉 유닛은 상기 진공밸브와 관련하여 기술된 밀봉 유닛 (12) 과 똑같이 형성된다.
이 실시예에서, 밀봉 유닛 (12) 은, 상기 진공밸브의 제 1 실시예와 관련하여 기술된 바와 같이, 벽 (3) 에 설치된다. 그 대신에, 진공도어 (51) 에 있어서도, 상기 진공밸브의 제 3 실시예와 관련하여 기술된 것처럼 (도 16 참조), 폐쇄 플레이트 (7) 에서의 밀봉 유닛 (12) 의 설치가 제공될 수 있다.
상기 진공밸브와 관련하여 기술된 다른 변경들은 진공도어 (51) 에 있어서 마찬가지로 가능하다. 이렇게, 예컨대 지지 프레임 (13) 의 세로방향 레그들 (14, 15) 의 구부림이 원하는 범위에 있는 것을 안전하게 하기 위해, 벽-스톱들과 밸브 플레이트-스톱들이 상기 진공밸브의 벽-스톱들 (23) 및 밸브 플레이트-스톱들 (24) 과 유사하게 존재할 수 있다. 또한, 받침 요소들 (20) 은 별도의 요소들에 의해 형성될 수 있다.
진공도어에 있어서도, 하우징 모양의 기본 몸체 (1) 가 이용되는 것을 생각할 수 있고 가능하다. 밸브 플레이트와 폐쇄 유닛을 통해 밀봉된 개구부와 마주 보고 있는 개구부는 이 경우 자유로이 있을 수 있고 또는 이 개구부는 마찬가지로 밸브 플레이트를 통해 밀봉 가능할 수 있다. 진공밸브들의 먼저 기술된 상기 실시형태들은 이로써 진공도어로서도 이용될 수 있다.
진공도어 (51) 의 그 밖의 변경된 실시형태는 도 23 내지 도 26에 도시된다. 먼저 기술된 진공도어의 실시형태들에 대한 차이는 여기서 밀봉 유닛 (12) 이 직접적으로 진공챔버 (25) 의 벽 (32) 과 함께 작용한다는 데에 있다. 진공도어 (51) 는 기본 몸체 (31) 를 통하여 진공챔버 (51) 에 고정된다. 하지만 기본 몸체 (31) 는 진공챔버 (25) 의 벽 (32) 의 개구부 (29) 와 일직선으로 늘어선 개구부 (4) 를 갖는 벽 (3) 을 구비하지 않는다.
진공챔버 (25) 가 대기압력으로부터 시작하여 펌핑 아웃되면 개구부가 변형되고, 이때 제 1 세로방향 가장자리 (29a) 와 제 2 세로방향 가장자리 (29b) 의 중앙 섹션들이 서로 접근한다. 밀봉 유닛 (12) 의 벽-시일 (19) 은 여기서 바로 벽 (32) 에 밀착한다. 기능 방식은 상기 진공밸브와 관련하여 기술된 것과 완전히 유사하다.
도 23 내지 도 26에 도시된 실시예에서, 또다시 먼저 기술된 것과 동일한 방식으로 형성된 밀봉 유닛 (12) 이 폐쇄 플레이트 (7) 에 설치된다 (마찬가지로 이미 기술된 바와 같이).
도 27은 그 밖의 변경을 나타낸다. 여기서, 밀봉 유닛은 진공챔버 (25) 의 벽 (32) 에 설치되고, 보다 정확히 말하면 기본 몸체 (1) 의 벽 (3) 에서의 설치의 경우와 완전히 유사한 방식으로 설치된다. 즉, 지지 프레임 (13) 은 상기 지지 프레임의 프레임 개구부와 함께 진공챔버 (25) 의 벽 (32) 의 개구부 (29) 를 에워싸고, 상기 지지 프레임의 제 1 세로방향 레그 (14) 와 제 2 세로방향 레그 (15) 의 적어도 중앙 섹션들은 벽 (32) 에 대해 자유로이 있다. 즉, 벽 (32) 에서의 고정 부위들은 다시 특히 세로방향 레그들과 가로방향 레그들 사이의 모서리 영역들에 그리고/또는 가로방향 레그들의 영역에 놓여 있다.
상기 진공밸브와 관련하여 기술된 그 밖의 변경들은 여기서도 유사한 방식으로 적용될 수 있다.
1 : 기본 몸체
2 : 내부 공간
3 : 벽 4 : 개구부
4a : 제 1 세로방향 가장자리 4b : 제 2 세로방향 가장자리
4c : 제 1 가로방향 가장자리 4d : 제 2 가로방향 가장자리
5 : 밸브 로드 6 : 지지 유닛
7 : 폐쇄 플레이트 8 : 피스톤-실린더-유닛
9 : 피스톤-실린더-유닛 10 : 세로축
11 : 뚜껑 12 : 밀봉 유닛
13 : 지지 프레임 14 : 제 1 세로방향 레그
15 : 제 2 세로방향 레그 16 : 제 1 가로방향 레그
17 : 제 2 가로방향 레그 18 : 폐쇄 플레이트-시일
19 : 벽-시일 20 : 받침 요소
21 : 구멍 22 : 나사
23 : 벽-스톱 24 : 폐쇄 플레이트-스톱
25 : 밸브 몸체 26 : 내부 공간
27 : 벽 28 : 개구부
29 : 개구부 29a : 제 1 세로방향 가장자리
29b : 제 2 세로방향 가장자리 30 : 기본 몸체
31 : 기본 몸체 32 : 벽
50 : 진공밸브 51 : 진공도어
3 : 벽 4 : 개구부
4a : 제 1 세로방향 가장자리 4b : 제 2 세로방향 가장자리
4c : 제 1 가로방향 가장자리 4d : 제 2 가로방향 가장자리
5 : 밸브 로드 6 : 지지 유닛
7 : 폐쇄 플레이트 8 : 피스톤-실린더-유닛
9 : 피스톤-실린더-유닛 10 : 세로축
11 : 뚜껑 12 : 밀봉 유닛
13 : 지지 프레임 14 : 제 1 세로방향 레그
15 : 제 2 세로방향 레그 16 : 제 1 가로방향 레그
17 : 제 2 가로방향 레그 18 : 폐쇄 플레이트-시일
19 : 벽-시일 20 : 받침 요소
21 : 구멍 22 : 나사
23 : 벽-스톱 24 : 폐쇄 플레이트-스톱
25 : 밸브 몸체 26 : 내부 공간
27 : 벽 28 : 개구부
29 : 개구부 29a : 제 1 세로방향 가장자리
29b : 제 2 세로방향 가장자리 30 : 기본 몸체
31 : 기본 몸체 32 : 벽
50 : 진공밸브 51 : 진공도어
Claims (16)
- 벽 (3, 32) 안에 배열된 개구부 (4, 29) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄 플레이트 (7) 를 갖는 진공밸브 또는 진공도어로서,
상기 개구부는 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들 (4a, 4b; 29a, 29b) 과, 상기 제 1 및 제 2 세로방향 가장자리들에 비하여 보다 짧은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 가장자리들 (4c, 4d) 을 구비하고, 상기 폐쇄 플레이트는 상기 벽 (3, 32) 의 상기 개구부 (4, 29) 가 개방되는 개방위치와, 상기 벽 (3, 32) 의 상기 개구부 (4, 29) 가 상기 폐쇄 플레이트 (7) 에 의해 폐쇄되는 폐쇄위치 사이에서 이동 가능하고,
상기 벽 (3, 32) 에 대해 상기 폐쇄 플레이트 (7) 를 밀봉하기 위해 밀봉 유닛 (12) 이 제공되고, 상기 밀봉 유닛은 지지 프레임 (13) 을 구비하고, 상기 지지 프레임은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 과, 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들에 비하여 보다 짧은 마주 보고 있는 제 1 및 제 2 가로방향 레그들 (17, 18) 을 구비하고, 상기 지지 프레임에는 일측에서는 에워싸는 폐쇄 플레이트-시일 (closure plate seal, 18) 이 설치되고, 다른 측에서는 에워싸는 벽-시일 (wall seal, 19) 이 설치되고, 상기 지지 프레임 (13) 은 상기 벽 (3, 32) 에서의 고정 부위들에 고정되거나 또는 고정 가능하고, 이때 적어도 상기 지지 프레임 (13) 의 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들은 상기 벽 (3, 32) 에 대해 자유롭고, 또는 상기 지지 프레임 (13) 은 상기 폐쇄 플레이트 (7) 에서의 고정 부위들에 고정되고, 이때 적어도 상기 지지 프레임 (13) 의 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들은 상기 폐쇄 플레이트 (7) 에 대해 자유로운 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 상기 자유로운 중앙 섹션들은 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 길이의 적어도 절반에 걸쳐 연장되는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 상기 자유로운 중앙 섹션들은 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 길이의 적어도 3분의 2에 걸쳐 연장되는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 고정 부위들은 상기 세로방향 레그들 (14, 15) 과 가로방향 레그들 (16, 17) 사이의 모서리 영역들에 그리고/또는 상기 가로방향 레그들 (16, 17) 의 영역들에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 4 항에 있어서,
상기 지지 프레임은 상기 세로방향 레그들 (14, 15) 과 가로방향 레그들 (16, 17) 사이의 모서리 영역들에서 그리고/또는 상기 가로방향 레그들 (16, 17) 의 영역들에서 구멍들 (21) 을 구비하고, 상기 구멍들을 통해, 상기 벽 (3, 32) 에 또는 상기 폐쇄 플레이트 (7) 에 상기 지지 프레임 (13) 을 고정시키기 위한 나사들은 상기 벽 (3, 32) 안의 또는 상기 폐쇄 플레이트 (7) 안의 나사 구멍들 (threaded bores) 안에 나사결합 가능한 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개구부 (4, 29) 를 구비하는 상기 벽 (3, 32) 과, 상기 지지 프레임 (13) 은 평행하는 평면들에 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지 프레임 (13) 은 상기 폐쇄 플레이트-시일 (18) 옆에 그리고 상기 벽-시일 (19) 옆에 배열된 받침 요소들 (20) 을 구비하는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 7 항에 있어서,
상기 받침 요소들 (20) 은 플라스틱으로 구성되고 또는 상기 지지 프레임 (13) 은 적어도 상기 받침 요소들 (20) 의 밀착면들의 영역들에서 미끄럼층으로 코팅되는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 상기 자유로운 중앙 섹션들에서의 상기 지지 프레임 (13) 의 두께는 상기 개구부 (4, 29) 를 구비하는 상기 벽 (3, 32) 의 두께보다 작고, 바람직하게는 절반보다 작은 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 상기 지지 프레임 (13) 의 상기 세로방향 레그들 (14, 15) 의 상기 자유로운 중앙 섹션들의 영역들에서 상기 지지 프레임 (13) 의 평면에 대해 평행으로 그리고 상기 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 의 세로방향 연장에 대해 직각으로 측정된 상기 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 의 폭은 상기 개구부 (4, 29) 를 구비하는 상기 벽 (3, 32) 의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 벽 (3, 32) 은 상기 지지 프레임 (13) 의 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 상기 중앙 섹션들과 함께 작용하기 위해 제공된 벽-스톱들 (wall-stops, 23) 을 구비하고, 상기 벽-스톱들은 상기 밸브 플레이트 (7) 의 상기 폐쇄위치에서 그리고 상기 벽 (3, 32) 의 이완된 상태에서 상기 지지 프레임 (13) 의 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 로부터 각각 간격을 두고 있는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄 플레이트 (7) 는 상기 제 1 및 제 2 세로방향 레그들 (14, 15) 의 중앙 섹션들과 함께 작용하기 위해 폐쇄 플레이트-스톱들 (closure plate-stops, 24) 을 구비하고, 상기 폐쇄 플레이트-스톱들은 상기 폐쇄 플레이트 (7) 의 상기 폐쇄위치에서 그리고 상기 벽 (3, 32) 의 이완된 상태에서 상기 지지 프레임 (13) 의 상기 각각의 세로방향 레그 (14, 15) 로부터 각각 간격을 두고 있는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄 플레이트 (7) 는 상기 개방위치로부터 출발하여, 상기 폐쇄 플레이트가 상기 개구부 (4, 29) 를 덮는, 하지만 상기 폐쇄 플레이트 (7) 와 상기 벽 (3, 32) 에 설치된 상기 밀봉 유닛 (12) 사이에 또는 상기 폐쇄 플레이트 (7) 에 설치된 상기 밀봉 유닛 (12) 과 상기 벽 (3, 32) 사이에 틈이 존재하는 중간위치를 거쳐, 상기 폐쇄위치로 이동 가능한 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개구부 (4) 는 상기 진공밸브의 또는 상기 진공도어의 기본 몸체 (1, 30) 의 벽 (3) 안에 배열되는 것을 특징으로 하는, 진공밸브 또는 진공도어. - 제 14 항에 따른 진공밸브 또는 진공도어를 갖는 진공 배열체에 있어서,
상기 개구부 (4) 를 구비하는 상기 기본 몸체 (1, 30) 의 상기 벽 (3) 은 나사결합을 통하여 진공챔버의 벽과 연결되는 것을 특징으로 하는, 진공 배열체. - 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개구부 (29) 는 진공챔버 (25) 의 벽 (32) 안에 배열되고, 상기 진공챔버에 상기 진공도어가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공도어.
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