KR20220090434A - 듀얼 게이트 밸브 - Google Patents

듀얼 게이트 밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR20220090434A
KR20220090434A KR1020210179651A KR20210179651A KR20220090434A KR 20220090434 A KR20220090434 A KR 20220090434A KR 1020210179651 A KR1020210179651 A KR 1020210179651A KR 20210179651 A KR20210179651 A KR 20210179651A KR 20220090434 A KR20220090434 A KR 20220090434A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
valve
support bar
sidewall
elastic member
screw
Prior art date
Application number
KR1020210179651A
Other languages
English (en)
Inventor
히로미 시모다
히로시 오가와
타카시 나가오
Original Assignee
에스엠시 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에스엠시 가부시키가이샤 filed Critical 에스엠시 가부시키가이샤
Publication of KR20220090434A publication Critical patent/KR20220090434A/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/0272—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor permitting easy assembly or disassembly
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/029—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with two or more gates
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/50—Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
    • F16K31/528—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam with pin and slot
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K2200/00—Details of valves
    • F16K2200/10—Means for compensation of misalignment between seat and closure member
    • F16K2200/101—Means for compensation of misalignment between seat and closure member closure member self-aligning to seat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)

Abstract

(과제) 밸브박스의 2개의 개구를 2개의 밸브판으로 개폐하는 게이트 밸브를 얻는다.
(해결 수단) 밸브박스(2)의 2개의 개구(3,3)를 개폐하는 2개의 밸브판(4,4)과, 상기 2개의 밸브판(4,4)을 지지하는 서포트 바(5)와, 상기 서포트 바(5)에 연결된 1개의 밸브 로드(6)와, 상기 밸브 로드(6)를 통해 상기 2개의 밸브판(4,4)을 개폐 조작하는 조작부(7)를 갖고, 상기 서포트 바(5) 및 밸브판(4)은 상기 밸브 로드(6)의 중심축(L)과 직교하는 가로방향으로 직선으로 또한 가늘고 길게 연장되고, 상기 서포트 바(5)의 길이방향의 중앙부에 상기 밸브 로드(6)가 연결되고, 상기 서포트 바(5)의 길이방향의 일단 및 타단에 상기 2개의 밸브판(4,4)의 한쪽 및 다른쪽이 각각 탄성부재(12)를 통해 경동 가능하게 부착되어 있다.

Description

듀얼 게이트 밸브{DUAL GATE VALVE}
본 발명은 밸브박스의 2개의 개구를 2개의 밸브판에 의해 개폐하는 듀얼 게이트 밸브에 관한 것이다.
반도체 처리 장치에 있어서는 진공 쳄버에 형성된 게이트의 개폐에 게이트 밸브가 사용된다. 이 게이트 밸브는 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 조작부에 의해 조작되는 밸브 로드의 선단에 밸브판을 부착하고, 이 밸브판을 밸브박스 내에 수용하고, 이 밸브박스를 진공 쳄버에 부착하고, 상기 밸브박스의 측벽에 상기 게이트에 통하도록 형성된 개구를 상기 밸브판으로 개폐하는 것이다.
그런데, 상기 반도체 처리 장치에 있어서는 진공 쳄버가 2개의 게이트를 구비하고 있는 경우도 있다. 이러한 경우, 통상은 2대의 게이트 밸브가 사용되지만, 게이트 밸브를 2대 사용하면, 비용이 드는 것 뿐만 아니라, 상기 2개의 게이트간의 거리에 따라서는 2대의 게이트 밸브를 나란히 부착하는 것이 곤란한 경우도 있다.
그래서, 1대의 게이트 밸브의 밸브 로드에 2개의 밸브판을 부착하고, 상기 2개의 밸브판으로, 상기 진공 쳄버의 2개의 게이트, 즉 밸브박스에 형성된 2개의 개구를 동시에 개폐하도록 구성하는 것이 고려된다.
그런데, 그렇게 구성한 경우, 상기 2개의 게이트간의 거리가 크면, 상기 밸브박스에 형성되는 2개의 개구간의 거리도 그것에 따라 커지므로, 상기 2개의 개구를 상기 2개의 밸브판에 의해 균등하게 개폐하는 것이 어렵게 된다.
일본 특허공개 2010-121682호 공보
본 발명의 기술적 과제는 밸브박스의 2개의 개구를 2개의 밸브판에 의해 동시에 또한 균등하게 개폐할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의하면, 밸브박스의 2개의 개구를 개폐하는 2개의 밸브판과, 상기 2개의 밸브판을 지지하는 서포트 바와, 상기 서포트 바에 연결된 1개의 밸브 로드와, 상기 밸브 로드를 통해 상기 2개의 밸브판을 개폐 조작하는 조작부를 갖고, 상기 서포트 바 및 밸브판은 상기 밸브 로드의 중심축과 직교하는 가로방향으로 직선으로 또한 가늘고 길게 연장되고, 상기 서포트 바의 길이방향의 중앙부에 상기 밸브 로드가 연결되고, 상기 서포트 바의 길이방향의 일단 및 타단에 상기 2개의 밸브판의 한쪽 및 다른쪽이 각각 탄성부재를 통해 경동 가능하게 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브가 제공된다.
본 발명에 있어서, 상기 탄성부재는 서로 평행을 이루는 제 1 측벽 및 제 2 측벽과, 상기 제 1 측벽 및 제 2 측벽의 가로폭방향의 일단끼리를 연결하는 곡절부를 갖고, 상기 곡절부의 볼록면을 상기 서포트 바의 길이방향 외측을 향한 자세로 설치되고, 상기 제 1 측벽이 상기 밸브판의 배면 중앙부에 연결되고, 상기 제 2 측벽이 상기 서포트 바의 앞면 단부에 연결되어 있어도 좋다.
이 경우, 상기 탄성부재의 상기 제 1 측벽은 상기 밸브판의 배면에 상기 제 2 측벽측으로부터 상기 제 1 측벽의 나사 삽입통과 구멍을 통과해서 상기 밸브판의 제 1 나사구멍에 나사 부착된 복수의 제 1 나사에 의해 연결되고, 상기 제 2 측벽에는 상기 제 1 나사에 대향하는 위치에 상기 제 1 나사를 공구로 비틀어 넣을 때에 상기 공구가 감합하는 복수의 제 2 노치부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한 상기 탄성부재의 상기 제 2 측벽은 상기 서포트 바의 앞면에 상기 제 1 측벽측으로부터 상기 제 2 측벽의 나사 삽입통과 구멍을 통과해서 상기 서포트 바의 제 2 나사구멍에 나사 부착된 복수의 제 2 나사에 의해 연결되고, 상기 제 1 측벽에는 상기 제 2 나사에 대향하는 위치에 상기 제 2 나사를 공구로 비틀어 넣을 때에 상기 공구가 감합하는 복수의 제 1 노치부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또는 상기 탄성부재의 상기 제 2 측벽은 상기 서포트 바의 앞면에 상기 서포트 바의 배면측으로부터 상기 서포트 바의 나사 삽입통과 구멍을 통과해서 상기 제 2 측벽의 제 2 나사구멍에 나사 부착된 복수의 제 2 나사에 의해 연결되어 있어도 좋다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 탄성부재의 제 1 측벽 및 상기 밸브판 중 어느 한쪽에 적어도 1개의 제 1 위치 결정 핀이 설치됨과 아울러, 다른쪽에 적어도 1개의 제 1 위치 결정 홈이 형성되고, 상기 제 1 위치 결정 홈에 상기 제 1 위치 결정 핀이 감합함으로써 상기 탄성부재와 상기 밸브판이 서로 위치 결정되고, 상기 탄성부재의 제 2 측벽 및 상기 서포트 바 중 어느 한쪽에 적어도 1개의 제 2 위치 결정 핀이 설치됨과 아울러, 다른쪽에 적어도 1개의 제 2 위치 결정 홈이 형성되고, 상기 제 2 위치 결정 홈에 상기 제 2 위치 결정 핀이 감합함으로써 상기 탄성부재와 상기 서포트 바가 서로 위치 결정되어 있는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 제 1 위치 결정 핀은 상기 밸브판의 배면의 상단부 부근의 위치에 설치되고, 상기 제 1 위치 결정 홈은 상기 제 1 측벽의 상단으로부터 하방을 향해서 일정 깊이 절입된 세로홈이어도 좋고, 또는 상기 제 1 위치 결정 핀은 상기 제 1 측벽의 하단 부근의 위치에 설치되고, 상기 제 1 위치 결정 홈은 상기 밸브판의 하단으로부터 상방을 향해서 일정 깊이 절입된 세로홈이어도 좋다.
한편, 상기 제 2 위치 결정 핀은 상기 제 2 측벽의 높이방향의 중간위치에 설치되거나 또는 상기 서포트 바의 앞면의 상하방향의 중간위치에 설치되고, 상기 제 2 위치 결정 홈은 상기 서포트 바의 앞면의 상하방향의 중간위치 또는 상기 제 2 측벽의 높이방향의 중간위치에 있어서, 상기 서포트 바의 측단부 또는 상기 제 2 측벽의 측단부로부터 가로방향으로 일정 깊이 절입된 가로홈이어도 좋다.
또한 본 발명에 있어서, 상기 밸브 로드는 상기 서포트 바의 앞면에 연결되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 탄성부재의 높이는 상기 밸브판의 상하폭과 동등하거나 또는 그 이하이며, 상기 서포트 바의 상하폭은 상기 밸브판의 상하폭과 동등하거나 또는 그 이하인 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 밸브 로드의 선단에 서포트 바를 부착하고, 상기 서포트 바의 일단 및 타단에 상기 2개의 밸브판의 한쪽 및 다른쪽을 탄성부재를 통해 경동 가능하게 부착했으므로, 상기 밸브 로드에 의한 조작력으로 상기 서포트 바가 조금 만곡하고, 상기 서포트 바에 의한 압박력이 상기 탄성부재에 비스듬히 작용했다고 해도, 상기 탄성부재가 탄성 변형함으로써 상기 압박력이 밸브판에 비스듬히 작용하는 것이 방지되고, 상기 밸브판 전체가 상기 밸브 시트에 균등하게 압박된다.
도 1은 제１실시형태의 게이트 밸브를 앞면측 경사 상방으로부터 본 사시도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브를 배면측 경사 상방으로부터 본 사시도이다.
도 3은 도 1의 게이트 밸브를 1개의 밸브판의 위치에서 단면으로 한 요부 종단면도이다.
도 4는 도 1의 게이트 밸브의 밸브박스 및 조작부를 생략한 상태의 사시도이다.
도 5는 도 4의 게이트 밸브를 배면측으로부터 본 사시도이다.
도 6은 도 4의 게이트 밸브의 평면도이다.
도 7은 도 6을 VII-VII선으로 절단한 확대 단면도이다.
도 8은 밸브 로드와 서포트 바의 연결 부분을 분해해서 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 8을 배면측으로부터 본 사시도이다.
도 10은 밸브판과 서포트 바의 연결 부분을 분해해서 나타내는 사시도이다.
도 11은 도 10을 배면측으로부터 본 사시도이다.
도 12는 제 2 실시형태의 게이트 밸브의 밸브박스 및 조작부를 생략한 상태의 사시도이다.
도 13은 도 12의 게이트 밸브의 일부를 분해한 요부 확대 사시도이다.
도 14는 도 13을 배면측으로부터 본 사시도이다.
도 1-도 11에는 제１실시형태의 게이트 밸브(1)가 나타내어져 있다. 이 게이트 밸브(1)는 2개의 게이트를 갖는 도면에 나타내지 않는 진공 쳄버에 부착해서 사용하는 것으로, 도 1-도 3에 나타내듯이, 상기 진공 쳄버의 2개의 게이트에 개별적으로 통하는 2개의 개구(3,3)를 구비한 밸브박스(2)와, 상기 밸브박스(2)의 내부에 수용되어서 상기 2개의 개구(3,3)를 개별적으로 개폐하는 2개의 밸브판(4,4)과, 상기 2개의 밸브판(4,4)을 지지하는 1개의 서포트 바(5)와, 상기 서포트 바(5)에 연결된 1개의 밸브 로드(6)와, 상기 밸브 로드(6)를 통해 상기 2개의 밸브판(4,4)을 개폐 조작하는 조작부(7)를 갖고 있다. 그리고, 상기 조작부(7)로 상기 밸브 로드(6)를 조작함으로써, 도 3에 나타내듯이, 상기 밸브판(4)을, 상기 개구(3)를 폐쇄하는 실선의 폐쇄 위치와, 상기 개구(3)를 개방하는 쇄선의 대피 위치에 승강시킨다.
또, 상기 조작부(7)에는 에어실린더 등의 구동기구가 설치되어 있지만, 상기 조작부(7)의 구성 및 작용은 공지이므로, 여기에서의 설명은 생략하는 것으로 한다.
상기 밸브박스(2)는 옆으로 가늘고 긴 직사각형의 박스형을 하고 있고, 상기 밸브박스(2)의 앞벽(2a)에 옆으로 가늘고 긴 직사각형상을 한 상기 2개의 개구(3,3)와, 각 개구(3)의 주위를 둘러싸는 평면형상의 밸브 시트(8)가 형성되고, 상기 밸브판(4)의 폐쇄 위치에 있어서, 각 밸브판(4)에 부착된 밸브 시일(9)이 상기 밸브 시트(8)에 압박됨으로써, 상기 2개의 개구(3,3)가 상기 2개의 밸브판(4,4)에 의해 동시에 폐쇄된다.
상기 2개의 개구(3,3)는 상기 개구(3)의 길이방향(가로방향)으로 간격을 두고 병렬로 배치되어 있고, 상기 2개의 개구(3,3)의 주위의 2개의 밸브 시트(8,8)는 서로 동일평면 상에 위치하고 있다.
상기 밸브박스(2)의 뒷벽(2b)에는 상기 2개의 개구(3,3)를 둘러싸는 크기를 갖는 1개의 창구멍(10)이 형성되고, 이 창구멍(10)으로부터, 상기 개구(3)를 통해서, 상기 진공 쳄버 내에 반도체 웨이퍼를 반입하거나 상기 진공 쳄버 내의 반도체 웨이퍼를 반출하거나 한다.
상기 밸브판(4)은 도 4-도 6으로부터 명백하듯이, 옆으로 가늘고 긴 직사각형의 판형상을 하고 있고, 상기 개구(3)측을 향하는 앞면(4a)과, 상기 앞면(4a)의 반대측의 배면(4b)을 갖고 있고, 상기 앞면(4a)에 상기 밸브 시일(9)이 부착되고, 상기 배면(4b)에는 슬림화를 위한 함몰부(11)가 복수 형성되어 있다.
또한 상기 서포트 바(5)도 옆으로 가늘고 긴 직사각형의 판형상을 한 부재로 이루어져 있고, 상기 밸브판(4)이 부착된 측인 앞면(5a)과, 그 반대측의 배면(5b)을 갖고 있다. 그리고, 상기 서포트 바(5)의 길이방향의 중앙부에 상기 밸브 로드(6)의 상단부가 연결되고, 상기 서포트 바(5)의 길이방향의 일단 및 타단에 상기 2개의 밸브판(4,4)의 한쪽 및 다른쪽이 각각 탄성부재(12)를 통해 상기 밸브판(4)의 길이방향으로 경동 가능하도록 부착되어 있다.
상기 밸브 로드(6)를 상기 서포트 바(5)에 연결하기 위해서, 도 7-도 9로부터도 명백하듯이, 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a)의 중앙부에는 오목홈(16)을 갖는 직사각형의 프레임판(15)이 복수(도면에서는 8개)의 프레임판 고정 나사(17)에 의해 고정되고, 상기 프레임판(15)의 상기 오목홈(16)과 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a) 사이에 상기 서포트 바(5)의 폭방향(세로방향)으로 연장되는 직사각형 단면의 연결 구멍(18)이 형성되어 있다.
또, 본 발명에 있어서, 상기 서포트 바(5)와 밸브 로드(6)의 연결, 및, 상기 서포트 바(5)와 상기 밸브판(4)의 연결에 사용되고 있는 나사는 모두 6각 구멍이 형성된 볼트이며, 그 나사 삽입 조작을 행하는 공구에는 6각봉 렌치가 사용된다.
한편, 상기 밸브 로드(6)의 선단부(상단부)에는 원기둥형상을 한 상기 밸브 로드(6)의 앞면측 및 배면측의 일부를 각각 평면형상으로 절제함으로써, 대략 직사각형의 단면형상을 갖는 각기둥형상의 연결부(6a)가 형성되고, 상기 연결부(6a)가 상기 연결 구멍(18) 내에 상기 서포트 바(5)의 하방측으로부터 삽입되어 있다. 그리고, 상기 서포트 바(5)의 배면(5b)측으로부터, 복수(도면에서는 2개)의 로드 연결 나사(19)를 상기 서포트 바(5)에 형성한 복수의 조작 구멍(5c)과, 상기 연결부(6a)에 형성한 복수의 나사 삽입통과 구멍(6b)을 통해서, 상기 프레임판(15)에 형성된 복수의 나사구멍(15a)에 나사 부착함으로써, 상기 밸브 로드(6)의 선단에 상기 서포트 바(5)가 상기 밸브 로드(6)의 중심축(L)(도 5 참조)과 직교하는 가로방향으로 직선으로 연장되도록 연결되어 있다. 이 때, 상기 로드 연결 나사(19)의 머리부(19a)는 상기 연결부(6a)에 형성된 스폿 페이싱부(6c) 내에서 상기 밸브 로드(6)에 록킹한다.
이렇게 해서 상기 밸브 로드(6)를 상기 서포트 바(5)의 상기 밸브판(4)이 연결되어 있는 앞면(5a)측에 연결한 것에 의해, 상기 프레임판(15)이나 밸브 로드(6)의 연결부(6a) 등이 상기 서포트 바(5)의 배면(5b)측으로 돌출하는 것을 피할 수 있고, 그 결과, 상기 밸브박스(2)를 포함하는 게이트 밸브(1) 전체의 전후폭을 작게 해서 소형화를 꾀할 수 있다.
계속해서, 상기 서포트 바(5)와 각 밸브판(4)의 연결에 대해서 설명한다.
도 10 및 도 11에 한쪽의 밸브판(4)과 서포트 바(5)의 연결에 대해서 나타내듯이, 상기 탄성부재(12)는 균일 두께의 금속판을 U자형으로 곡절해서 형성한 판스프링으로 이루어져 있고, 서로 평행을 이루는 제 1 측벽(12a) 및 제 2 측벽(12b)과, 상기 제 1 측벽(12a) 및 제 2 측벽(12b)의 가로폭(W1)(도 6 참조) 방향의 일단끼리를 연결하는 원호상을 한 곡절부(12c)를 갖고 있다. 그리고, 상기 탄성부재(12)는 상기 곡절부(12c)의 볼록면(12d)을 상기 서포트 바(5)의 길이방향 외측(밸브 로드(6)로부터 떨어지는 방향)을 향한 자세로 배치되고, 상기 제 1 측벽(12a)이 상기 밸브판(4)의 배면(4b)의 중앙부에 2개의 제 1 나사(21,21)로 연결됨과 아울러, 상기 제 2 측벽(12b)이 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a)의 단부에 2개의 제 2 나사(22,22)로 연결되어 있다.
더욱 상세하게 설명하면 상기 탄성부재(12)의 상기 제 1 측벽(12a)에는 상기 제 1 측벽(12a)의 가로폭(W1) 방향의 중앙보다 상기 곡절부(12c)측에 가까운 위치에 상기 제 1 나사(21)를 삽입통과하기 위한 나사 삽입통과 구멍(23a)이 상하에 2개 형성됨과 아울러, 상기 중앙보다 상기 제 1 측벽(12a)의 자유단측에 가까운 위치에 제 1 노치부(24)가 상하 상대하는 위치에 2개 형성되어 있다. 상기 나사 삽입통과 구멍(23a)은 원형의 구멍이며, 상기 제 1 노치부(24)는 상기 제 1 측벽(12a)의 상단 또는 하단으로부터 하방 또는 상방을 향해서 각각 일정한 깊이까지 절입된 세로홈이다.
상기 제 1 노치부(24)는 상기 제 2 측벽(12b)을 상기 제 2 나사(22)로 상기 서포트 바(5)에 연결할 때에 상기 제 2 나사(22)를 상기 제 2 측벽(12b)의 나사 삽입통과 구멍(23b) 내에 삽입하기 위한 것임과 동시에 삽입한 상기 제 2 나사(22)를 비틀어 넣는 데에 사용하는 6각봉 렌치를 통과시키기 위한 것이다.
한편, 상기 탄성부재(12)의 상기 제 2 측벽(12b)에는 상기 제 1 측벽(12a)의 2개의 상기 제 1 노치부(24,24)와 대향하는 위치에 상기 제 2 나사(22)를 삽입통과시키기 위한 상기 나사 삽입통과 구멍(23b)이 상하에 2개 형성됨과 아울러, 상기 제 1 측벽(12a)의 2개의 상기 나사 삽입통과 구멍(23a,23a)과 대향하는 위치에 2개의 제 2 노치부(25,25)가 형성되어 있다. 상기 나사 삽입통과 구멍(23b)은 원형의 구멍이며, 상기 제 2 노치부(25)는 상기 제 2 측벽(12b)의 상단 또는 하단으로부터 하방 또는 상방을 향해서 각각 일정한 깊이까지 절입된 세로홈이다.
상기 제 2 노치부(25)는 상기 제 1 측벽(12a)을 상기 제 1 나사(21)로 상기 밸브판(4)에 연결할 때에 상기 제 1 나사(21)를 상기 제 1 측벽(12a)의 상기 나사 삽입통과 구멍(23a) 내에 삽입하기 위한 것임과 동시에 삽입한 상기 제 1 나사(21)를 비틀어 넣는 데에 사용하는 6각봉 렌치를 통과시키기 위한 것이다.
또한 상기 제 2 측벽(12b)에 있어서의 상기 2개의 나사 삽입통과 구멍(23b,23b)의 중간의 위치에는 상기 서포트 바(5)에 설치된 제 2 위치 결정 핀(28)이 감합하는 제 2 위치 결정 홈(29)이 상기 제 2 측벽(12b)의 측단으로부터 가로방향으로 연장되도록 형성되어 있다.
이에 대하여 상기 밸브판(4)의 배면(4b)에는 상기 배면(4b)의 길이방향의 외측 반부에 오목 단차부(33)가 형성되고, 상기 오목 단차부(33)의 내측단 부근의 위치에 상기 제 1 측벽(12a)의 2개의 나사 삽입통과 구멍(23a,23a)과 대응하도록 상하 2개의 제 1 나사구멍(34,34)이 형성됨과 아울러, 상기 제 1 측벽(12a)의 2개의 제 1 노치부(24,24) 중 상방의 제 1 노치부(24)와 대응하는 위치에 원기둥형상을 한 제 1 위치 결정 핀(26)이 1개 부착되어 있다.
또한 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a)의 단부에는 상기 탄성부재(12)의 제 2 측벽(12b)이 접촉하는 오목 단차부(37)가 형성되고, 상기 오목 단차부(37)에 상기 2개의 제 2 나사(22,22)를 나사 부착하기 위한 2개의 제 2 나사구멍(38,38)이 상하에 형성됨과 아울러, 상기 2개의 제 2 나사구멍(38,38)의 중간의 위치에 상기 제 2 위치 결정 핀(28)이 1개 부착되고, 또한 상기 서포트 바(5)의 폭방향의 일단(상단) 및 타단(하단)에 상기 제 2 측벽(12b)에 형성된 2개의 상기 제 2 노치부(25,25)에 개별적으로 대응하도록, 단면 원호상을 한 홈으로 이루어지는 2개의 제 3 노치부(39,39)가 형성되어 있다.
그리고, 우선, 상기 탄성부재(12)의 제 2 측벽(12b)을 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a)에 접촉시킨 상태에서, 상기 탄성부재(12)의 내부측으로부터 상기 제 2 측벽(12b)의 나사 삽입통과 구멍(23b)에 삽입통과한 상기 제 2 나사(22)를 6각봉 렌치로 상기 서포트 바(5)의 제 2 나사구멍(38)에 나사 부착함으로써, 상기 서포트 바(5)에 상기 탄성부재(12)를 연결한다. 이 때, 상기 6각봉 렌치에 의한 상기 제 2 나사(22)의 나사 삽입 조작은 상기 제 1 측벽(12a)에 형성된 제 1 노치부(24)를 통해서 행해진다. 또한 상기 서포트 바(5)에 부착된 제 2 위치 결정 핀(28)이 상기 제 2 측벽(12b)의 제 2 위치 결정 홈(29)에 감합함과 동시에, 상기 제 2 측벽(12b)의 측단부가 상기 오목 단차부(37)의 단차벽(37a)에 접촉함으로써, 상기 탄성부재(12)와 서포트 바(5)가 위치 결정된다.
계속해서, 상기 탄성부재(12)의 제 1 측벽(12a)을 상기 밸브판(4)의 배면(4b)에 접촉시키고, 상기 탄성부재(12)의 내부측으로부터 상기 제 1 측벽(12a)의 나사 삽입통과 구멍(23a)에 미리 삽입통과해 둔 제 1 나사(21)를 6각봉 렌치로 상기 밸브판(4)의 제 1 나사구멍(34)에 나사 부착함으로써, 상기 밸브판(4)과 상기 탄성부재(12)를 연결한다. 이 때, 상기 6각봉 렌치에 의한 상기 제 1 나사(21)의 나사 삽입 조작은 상기 서포트 바(5)에 형성된 제 3 노치부(39) 및 상기 제 2 측벽(12b)에 형성된 제 2 노치부(25)를 통해서 행해진다. 또한 상기 밸브판(4)에 부착된 상기 제 1 위치 결정 핀(26)이 상기 제 1 측벽(12a)의 상단의 상기 제 1 노치부(24)에 감합하는 동시에, 상기 제 1 측벽(12a)의 측단부가 상기 오목 단차부(33)의 단차벽(33a)에 접촉함으로써, 상기 탄성부재(12)와 밸브판(4)이 위치 결정된다. 따라서, 상기 제 1 노치부(24)는 상기 제 1 위치 결정 핀(26)이 감합하는 제 1 위치 결정 홈(27)을 겸용하는 것이다.
이상과 같이 해서, 상기 서포트 바(5)의 양단에 상기 밸브판(4)이 각각 부착되어 있다. 이 때, 상기 2개의 탄성부재(12,12)의 곡절부(12c)의 상기 볼록면(12d)은 서로 역방향을 향하고 있다.
또한 상기 2개의 탄성부재(12,12)는 상기 중심축(L)을 포함하는 평면에 대하여 서로 대칭을 이루는 형상으로 형성되어 있고, 도시의 예에서는 서로 동일형상을 이루고 있다.
또, 상기 제 1 측벽(12a) 및 제 2 측벽(12b)의 가로폭(W1)은 서로 동일한 직경이지만, 상기 제 1 측벽(12a)의 가로폭이 상기 제 2 측벽(12b)의 가로폭보다 커도 좋고, 또는 그 반대이어도 상관없다.
또한 도 3에 나타내듯이, 상기 탄성부재(12)의 높이(H1)는 상기 밸브판(4)의 상하폭(H2)과 동등하거나 또는 그것보다 조금 작고, 또한 상기 서포트 바(5)의 상하폭(H3)은 상기 밸브판(4)의 상하폭(H2)과 동등하거나 또는 그것보다 조금 작은 것이 바람직하다.
상기 구성을 갖는 게이트 밸브(1)는 상기 밸브박스(2)를 진공 쳄버에 부착하고, 상기 2개의 밸브판(4,4)으로 상기 밸브박스(2)의 2개의 개구(3,3)를 개폐함으로써, 상기 진공 쳄버의 2개의 게이트를 개폐하는 것이다. 그리고, 상기 밸브판(4,4)에 의해 상기 밸브박스(2)의 개구(3,3)를 폐쇄할 때는 도 3에 나타내듯이, 상기 조작부(7)(도 1 및 도 2 참조)에 의해 상기 밸브 로드(6) 및 밸브판(4,4)을 쇄선위치로부터 실선위치까지 상승시킴과 아울러, 상기 서포트 바(5)를 통해 상기 2개의 밸브판(4,4)의 밸브 시일(9,9)을 상기 2개의 개구(3,3)의 밸브 시트(8,8)에 동시에 압박한다.
이 때, 상기 밸브 로드(6)의 조작력이 상기 서포트 바(5)의 중앙부에 작용 함으로써, 상기 서포트 바(5)가 앞면(5a)측을 향해서 볼록한 상태로 휘고, 상기 서포트 바(5)에 의한 압박력이 상기 탄성부재(12)의 제 2 측벽(12b)에 비스듬히 작용하는 일이 있어도, 상기 탄성부재(12)의 곡절부(12c)가 탄성 변형해서 그 힘을 흡수하고, 제 1 측벽(12a)측에 비스듬히 작용하는 것을 방지하므로, 상기 밸브판(4) 전체가 상기 밸브 시트(8)에 균등하게 압박된다. 이 결과, 상기 2개의 밸브판(4,4)은 상기 2개의 개구(3,3)를 항상 균등하게 시일하게 된다.
또한 상기 서포트 바(5)와 상기 탄성부재(12) 사이, 및, 상기 탄성부재(12)와 상기 밸브판(4) 사이에 서로 마찰되는 부분이 없으므로, 발진의 우려가 없다.
상기 게이트 밸브(1,1B)의 보수, 점검 등을 행하기 위해서 상기 밸브판(4)을 밸브박스(2)로부터 취출할 때는 상기 밸브박스(2)의 배면의 창구멍(10)으로부터 상기 밸브박스(2) 내에 6각봉 렌치를 삽입하고, 상기 서포트 바(5)의 배면(5b)측으로부터, 상기 탄성부재(12)의 제 1 측벽(12a)과 상기 밸브판(4)을 연결하고 있는 2개의 제 1 나사(21,21)를 푼 후, 상기 밸브판(4)을 상방으로 들어 올리고, 상기 제 1 위치 결정 핀(26)을 상기 제 1 위치 결정 홈(27)(제 1 노치부(24))으로부터 상방으로 탈출시킴으로써, 상기 밸브판(4)을 상기 탄성부재(12)로부터 완전하게 분리시킨다. 그렇게 하면, 상기 밸브판(4)을 상기 창구멍(10)으로부터 밸브박스(2)의 외부로 취출할 수 있다. 상기 밸브박스(2)의 상면에 창구멍이 있으면, 상기 상면으로부터 취출할 수도 있다.
도시한 예에서는 상기 제 1 위치 결정 핀(26) 및 제 2 위치 결정 핀(28)이 각각 1개씩 설치되어 있지만, 상기 제 1 위치 결정 핀(26) 및 제 2 위치 결정 핀(28)은 각각 복수 설치되어 있어도 좋다. 이 경우, 제 1 위치 결정 홈(27) 및 제 2 위치 결정 홈(29)도 복수 형성된다.
또한 상기 제 1 위치 결정 핀(26)을 상기 탄성부재(12)에 설치하고, 상기 제 1 위치 결정 홈(27)을 상기 밸브판(4)에 형성해도 좋고, 마찬가지로, 상기 제 2 위치 결정 핀(28)을 상기 탄성부재(12)에 설치하고, 상기 제 2 위치 결정 홈(29)을 상기 서포트 바(5)에 형성해도 좋다.
도 12-도 14에는 제 2 실시형태의 게이트 밸브(101)가 밸브박스를 생략한 상태로 나타내어져 있다. 이 게이트 밸브(101)가 상기 제１실시형태의 게이트 밸브(1)와 서로 다른 점은 탄성부재(112)의 구성과, 상기 탄성부재(112)에 의한 서포트 바(5)와 밸브판(4)의 연결에 관련되는 구성이며, 그 이외의 구성은 상기 제１실시형태의 게이트 밸브(1)와 같다. 그 때문에 양자의 서로 다른 구성에 대해서 이하에 설명하고, 그 이외의 구성에 대해서는 양자의 주요한 동일 구성 부분에 제１실시형태의 게이트 밸브(1)와 동일한 부호를 붙여서 그 설명은 생략한다.
상기 탄성부재(112)의 두께는 상기 제１실시형태에 있어서의 상기 탄성부재(12)의 두께보다 크고, 곡절부(112c)의 볼록면(112d)은 제 1 측벽(112a) 및 제 2 측벽(112b)의 외측면에 직각으로 연결되는 평면을 이루고 있다. 그러나, 상기 곡절부(112c)의 내측의 오목면(112e)은 원호상을 이루고 있다.
그리고, 상기 제 1 측벽(112a)에는 상기 제 1 측벽(112a)의 가로폭방향의 중앙보다 상기 곡절부(112c)측에 가까운 위치에 제 1 나사(121)를 삽입통과시키기 위한 나사 삽입통과 구멍(123a)이 상하에 2개 형성됨과 아울러, 상기 중앙보다 상기 제 1 측벽(112a)의 자유단측에 가까운 위치의 하단부에 제 1 위치 결정 핀(126)이 설치되어 있다.
한편, 상기 탄성부재(112)의 상기 제 2 측벽(112b)에는 상기 제 1 측벽(112a)의 2개의 나사 삽입통과 구멍(123a,123a)과 대향하는 위치에 세로홈으로 이루어지는 상하 2개의 제 2 노치부(125,125)가 형성됨과 아울러, 상기 제 2 측벽(112b)의 가로폭방향의 중앙보다 자유단측에 가까운 위치에 상하 2개의 제 2 나사구멍(138,138)이 형성되고, 또한 상기 2개의 제 2 나사구멍(138,138)의 중간위치에 제 2 위치 결정 핀(128)이 설치되어 있다.
이에 대하여 상기 밸브판(4)의 배면(4b)에는 상기 배면(4b)의 길이방향의 외측 반부에 형성된 오목 단차부(33)의 내측단 부근의 위치에 상기 제 1 측벽(112a)의 2개의 나사 삽입통과 구멍(123a,123a)과 대응하도록 상하 2개의 제 1 나사구멍(134,134)이 형성됨과 아울러, 상기 밸브판(4)의 하단부 부근의 위치에 상기 제 1 측벽(112a)의 제 1 위치 결정 핀(126)이 감합하는 제 1 위치 결정 홈(127)이 형성되어 있다. 상기 제 1 위치 결정 홈(127)은 상기 밸브판(4)의 하단부로부터 상방을 향해서 일정한 깊이 절입되어 있지만, 상기 밸브판(4)을 전후방향(두께방향)으로 관통하고 있지 않다.
또한 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a)의 단부에는 상기 탄성부재(112)의 상기 제 2 측벽(112b)에 접촉하는 오목 단차부(37)가 형성되고, 상기 오목 단차부(37)에 상기 탄성부재(112)의 제 2 측벽(112b)에 형성된 2개의 제 2 나사구멍(138,138)에 대응하도록 상하 2개의 나사 삽입통과 구멍(123b,123b)이 형성됨과 아울러, 상기 2개의 나사 삽입통과 구멍(123b,123b)의 중간의 위치에 상기 제 2 위치 결정 핀(128)이 감합하는 제 2 위치 결정 홈(129)이 형성되어 있다.
상기 오목 단차부(37)의 가로폭은 상기 제 2 측벽(112b)의 가로폭보다 작고, 상기 제 2 측벽(112b)의 자유단측의 반부만큼에 접촉하는 크기이며, 상기 제 2 노치부(125)까지는 도달하지 않는다.
또한 상기 제 2 위치 결정 홈(129)은 상기 서포트 바(5)의 앞면(5a)에 상기 서포트 바(5)의 측단으로부터 가로방향으로 일정한 깊이 절입된 가로홈으로 이루어지는 것이며, 상기 서포트 바(5)를 배면(5b)측까지 관통하지 않는다.
그리고, 상기 탄성부재(112)의 제 1 측벽(112a)을 상기 밸브판(4)의 배면(4b)에 접촉시키고, 상기 탄성부재(112)의 내부측으로부터 상기 제 1 측벽(112a)의 나사 삽입통과 구멍(123a)에 미리 삽입통과한 상기 제 1 나사(121)를 6각봉 렌치로 상기 밸브판(4)의 제 1 나사구멍(134)에 나사 부착함으로써, 상기 밸브판(4)과 상기 탄성부재(112)를 연결한다. 상기 6각봉 렌치에 의한 상기 제 1 나사(121)의 나사 삽입 조작은 상기 제 2 측벽(112b)에 형성된 제 2 노치부(125)를 통해서 행해진다. 또한 상기 제 1 측벽(112a)의 하단부에 설치된 상기 제 1 위치 결정 핀(126)이 상기 밸브판(4)의 하단부에 형성된 제 1 위치 결정 홈(127)에 맞물림과 아울러, 상기 제 1 측벽(112a)의 측단부가 상기 오목 단차부(33)의 단차벽(33a)에 접촉함으로써, 상기 탄성부재(112)와 밸브판(4)이 위치 결정된다.
또, 도시한 예에서는 상기 밸브판(4)의 배면(4b)의 상단부에 상기 제 1 위치 결정 홈(127)과 동일한 세로홈(127a)이 하향으로 형성되어 있지만, 이 세로홈(127a)은 특별한 기능을 갖지 않는다.
다음에 상기 탄성부재(112)의 제 2 측벽(112b)을 상기 서포트 바(5)의 상기 오목 단차부(37)의 앞면에 접촉시킨 상태에서, 상기 서포트 바(5)의 배면(5b)측으로부터, 제 2 나사(122)를 상기 서포트 바(5)의 나사 삽입통과 구멍(123b)을 통해서 상기 제 2 측벽(112b)의 제 2 나사구멍(138)에 비틀어 넣음으로써, 상기 서포트 바(5)에 상기 탄성부재(112)를 연결한다. 이 때, 상기 제 2 측벽(112b)의 제 2 위치 결정 핀(128)이 상기 서포트 바(5)의 제 2 위치 결정 홈(129)에 감합함과 아울러, 상기 제 2 측벽(112b)의 측단부가 상기 오목 단차부(37)의 단차벽(37a)에 접촉함으로써, 상기 탄성부재(112)와 서포트 바(5)가 위치 결정된다.
상기 탄성부재(112)를 통해 상기 서포트 바(5)와 밸브판(4)을 연결하는 순서는 상술한 설명과 반대이어도 좋고, 상기 탄성부재(112)를 상기 서포트 바(5)에 부착한 후, 상기 탄성부재(112)에 상기 밸브판(4)을 부착할 수도 있다.
상기 제 2 실시형태의 게이트 밸브(101)의 작용은 상기 제１실시형태의 게이트 밸브(1)와 같기 때문에, 중복을 피하는 의미에서 그 설명은 생략한다.
또한 상기 게이트 밸브(101)의 보수, 점검 등을 행함에 있어서 상기 밸브판(4)을 분리할 때는 상기 서포트 바(5)의 배면(5b)측으로부터, 상기 탄성부재(112)의 제 1 측벽(112a)과 상기 밸브판(4)을 연결하고 있는 2개의 제 1 나사(121,121)를 6각봉 렌치로 분리한 후, 상기 밸브판(4)을 상방으로 들어 올리면, 상기 밸브판(4)의 상기 제 1 위치 결정 홈(127)이 상기 탄성부재(112)의 제 1 위치 결정 핀(126)으로부터 빠지므로, 상기 밸브판(4)을 단독으로 분리할 수 있다.
한편, 상기 밸브판(4)을 상기 탄성부재(112)에 연결한 상태 그대로 상기 탄성부재(112)와 함께 분리할 때는 6각봉 렌치로 상기 제 2 나사(122)를 분리한 후, 상기 밸브판(4)과 탄성부재(112)를 함께 가로이동시키면, 상기 탄성부재(112)의 제 2 위치 결정 핀(128)이 상기 서포트 바(5)의 제 2 위치 결정 홈(129)으로부터 빠져 나오므로, 상기 밸브판(4)과 상기 탄성부재(112)를 일체가 된 상태로 분리할 수 있다.
1, 101: 게이트 밸브
2: 밸브박스
3: 개구
4: 밸브판
4b: 배면
5: 서포트 바
5a: 앞면
5b: 배면
6: 밸브 로드
7: 조작부
12, 112: 탄성부재
12a, 112a: 제 1 측벽
12b, 112b: 제 2 측벽
12c, 112c: 곡절부
12d, 112d: 볼록면
21, 121: 제 1 나사
22, 122: 제 2 나사
23a, 123a: 나사 삽입통과 구멍
23b, 123b: 나사 삽입통과 구멍
24: 제 1 노치부
25, 125: 제 2 노치부
26, 126: 제 1 위치 결정 핀
27, 127: 제 1 위치 결정 홈
28, 128: 제 2 위치 결정 핀
29, 129: 제 2 위치 결정 홈
34, 134: 제 1 나사구멍
38, 138: 제 2 나사구멍
L: 중심축
H1: 높이
H2, H3: 상하폭

Claims (11)

  1. 밸브박스의 2개의 개구를 개폐하는 2개의 밸브판과, 상기 2개의 밸브판을 지지하는 서포트 바와, 상기 서포트 바에 연결된 1개의 밸브 로드와, 상기 밸브 로드를 통해 상기 2개의 밸브판을 개폐 조작하는 조작부를 갖고,
    상기 서포트 바 및 밸브판은 상기 밸브 로드의 중심축과 직교하는 가로방향으로 직선으로 또한 가늘고 길게 연장되고, 상기 서포트 바의 길이방향의 중앙부에 상기 밸브 로드가 연결되고, 상기 서포트 바의 길이방향의 일단 및 타단에 상기 2개의 밸브판의 한쪽 및 다른쪽이 각각 탄성부재를 통해 경동 가능하게 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재는 서로 평행을 이루는 제 1 측벽 및 제 2 측벽과, 상기 제 1 측벽 및 제 2 측벽의 가로폭방향의 일단끼리를 연결하는 곡절부를 갖고, 상기 곡절부의 볼록면을 상기 서포트 바의 길이방향 외측을 향한 자세로 설치되고, 상기 제 1 측벽이 상기 밸브판의 배면 중앙부에 연결되고, 상기 제 2 측벽이 상기 서포트 바의 앞면 단부에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 상기 제 1 측벽은 상기 밸브판의 배면에 상기 제 2 측벽측으로부터 상기 제 1 측벽의 나사 삽입통과 구멍을 통과해서 상기 밸브판의 제 1 나사구멍에 나사 부착된 복수의 제 1 나사에 의해 연결되고,
    상기 제 2 측벽에는 상기 제 1 나사에 대향하는 위치에 상기 제 1 나사를 공구로 비틀어 넣을 때에 상기 공구가 감합하는 복수의 제 2 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 상기 제 2 측벽은 상기 서포트 바의 앞면에 상기 제 1 측벽측으로부터 상기 제 2 측벽의 나사 삽입통과 구멍을 통과해서 상기 서포트 바의 제 2 나사구멍에 나사 부착된 복수의 제 2 나사에 의해 연결되고,
    상기 제 1 측벽에는 상기 제 2 나사에 대향하는 위치에 상기 제 2 나사를 공구로 비틀어 넣을 때에 상기 공구가 감합하는 복수의 제 1 노치부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 상기 제 2 측벽은 상기 서포트 바의 앞면에 상기 서포트 바의 배면측으로부터 상기 서포트 바의 나사 삽입통과 구멍을 통과해서 상기 제 2 측벽의 제 2 나사구멍에 나사 부착된 복수의 제 2 나사에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 제 1 측벽 및 상기 밸브판 중 어느 한쪽에 적어도 1개의 제 1 위치 결정 핀이 설치됨과 아울러, 다른쪽에 적어도 1개의 제 1 위치 결정 홈이 형성되고, 상기 제 1 위치 결정 홈에 상기 제 1 위치 결정 핀이 감합함으로써 상기 탄성부재와 상기 밸브판이 서로 위치 결정되고,
    상기 탄성부재의 제 2 측벽 및 상기 서포트 바 중 어느 한쪽에 적어도 1개의 제 2 위치 결정 핀이 설치됨과 아울러, 다른쪽에 적어도 1개의 제 2 위치 결정 홈이 형성되고, 상기 제 2 위치 결정 홈에 상기 제 2 위치 결정 핀이 감합함으로써 상기 탄성부재와 상기 서포트 바가 서로 위치 결정되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 위치 결정 핀은 상기 밸브판의 배면의 상단부 부근의 위치에 설치되고,
    상기 제 1 위치 결정 홈은 상기 제 1 측벽의 상단으로부터 하방을 향해서 일정 깊이 절입된 세로홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 위치 결정 핀은 상기 제 1 측벽의 하단 부근의 위치에 설치되고,
    상기 제 1 위치 결정 홈은 상기 밸브판의 하단으로부터 상방을 향해서 일정 깊이 절입된 세로홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 위치 결정 핀은 상기 제 2 측벽의 높이방향의 중간위치에 설치되거나 또는 상기 서포트 바의 앞면의 상하방향의 중간위치에 설치되고,
    상기 제 2 위치 결정 홈은 상기 서포트 바의 앞면의 상하방향의 중간위치 또는 상기 제 2 측벽의 높이방향의 중간위치에 있어서, 상기 서포트 바의 측단부 또는 상기 제 2 측벽의 측단부로부터 가로방향으로 일정 깊이 절입된 가로홈으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  10. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브 로드는 상기 서포트 바의 앞면에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
  11. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성부재의 높이는 상기 밸브판의 상하폭과 동등하거나 또는 그 이하이며, 상기 서포트 바의 상하폭은 상기 밸브판의 상하폭과 동등하거나 또는 그 이하인 것을 특징으로 하는 듀얼 게이트 밸브.
KR1020210179651A 2020-12-22 2021-12-15 듀얼 게이트 밸브 KR20220090434A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020212602A JP7089245B1 (ja) 2020-12-22 2020-12-22 デュアルゲートバルブ
JPJP-P-2020-212602 2020-12-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220090434A true KR20220090434A (ko) 2022-06-29

Family

ID=78824663

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210179651A KR20220090434A (ko) 2020-12-22 2021-12-15 듀얼 게이트 밸브

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11668401B2 (ko)
EP (1) EP4023915B1 (ko)
JP (1) JP7089245B1 (ko)
KR (1) KR20220090434A (ko)
CN (1) CN114658873A (ko)
TW (1) TW202233979A (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230059635A (ko) * 2021-10-26 2023-05-03 삼성전자주식회사 밸브 구조체 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010121682A (ja) 2008-11-18 2010-06-03 Smc Corp ゲートバルブ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH692821A5 (de) * 1998-02-04 2002-11-15 Unaxis Trading Ag Vakuumventilplatte und Vakuumkammeranordnung mit einer solchen.
US6854708B2 (en) * 2002-07-22 2005-02-15 Mdc Vacuum Products Corporation High-vacuum valve with retractable valve plate to eliminate abrasion
US6899316B2 (en) * 2003-04-16 2005-05-31 Vat Holding Ag Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall
US7494107B2 (en) * 2005-03-30 2009-02-24 Supercritical Systems, Inc. Gate valve for plus-atmospheric pressure semiconductor process vessels
KR20070113122A (ko) * 2006-05-24 2007-11-28 배트 홀딩 아게 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치
TWI447319B (zh) * 2007-12-20 2014-08-01 Tel Solar Ag 真空室之閘閥及真空室
DE102008061315B4 (de) 2008-12-11 2012-11-15 Vat Holding Ag Aufhängung einer Ventilplatte an einer Ventilstange
CN102668022B (zh) 2010-01-18 2014-12-03 普利西斯株式会社 门阀
CN102713388B (zh) 2010-01-29 2014-05-07 Vat控股公司 用于封闭开口的门
GB2499618A (en) 2012-02-22 2013-08-28 Isentropic Ltd Screen valve
WO2016139073A1 (de) * 2015-03-05 2016-09-09 Vat Holding Ag Vakuumventil
KR101784839B1 (ko) * 2015-09-25 2017-11-06 프리시스 주식회사 양방향 게이트밸브
JP7479587B2 (ja) 2020-02-28 2024-05-09 Smc株式会社 ゲートバルブ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010121682A (ja) 2008-11-18 2010-06-03 Smc Corp ゲートバルブ

Also Published As

Publication number Publication date
JP7089245B1 (ja) 2022-06-22
CN114658873A (zh) 2022-06-24
US11668401B2 (en) 2023-06-06
US20220196156A1 (en) 2022-06-23
TW202233979A (zh) 2022-09-01
EP4023915A1 (en) 2022-07-06
JP2022098925A (ja) 2022-07-04
EP4023915B1 (en) 2024-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7188832B2 (en) Locating and clamping apparatus
US8297673B2 (en) Gripper with central support
KR20220090434A (ko) 듀얼 게이트 밸브
KR100943391B1 (ko) 힌지장치 및 도어기구
KR20080100374A (ko) 힌지 및 그 부품
EP1624139B1 (en) Door handle device
CN1788900A (zh) 锯片夹紧装置
JP4762951B2 (ja) ケーブルチェーン用角度規制体
CN109296768B (zh) 闸阀门的安装构造
KR20160130574A (ko) 진공밸브용 블레이드
US8172582B2 (en) IC socket having a housing provided with a reinforced plate to support a latch member
JP4546892B2 (ja) 間仕切パネル装置
JP2002012130A (ja) ワイパおよびワイパブレード取付具
JP2005186338A (ja) 対象物保持脱着装置
CN210049695U (zh) 执手装置及门窗系统
KR100972685B1 (ko) 도어힌지
JP4743405B2 (ja) 超音波加工用工具ホーン
KR200267218Y1 (ko) 냉장고 상부 힌지 조립체
JP5157679B2 (ja) 窓ステー用窓枠取付材及びその製造方法
EP1462598A1 (en) Hinge for metal window and door frames
JP2003013656A (ja) 調整丁番
JP2003249147A (ja) スイッチ
JPH0893297A (ja) 打掛金物の受金具
KR200267217Y1 (ko) 냉장고 상부 힌지 조립체
KR101243780B1 (ko) 리모트 컨트롤러 어셈블리용 케이블 고정부재