JP6714605B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

本発明は、軸線を有し、かつ、バルブシートにより囲まれているバルブ開口部を有するバルブハウジングと、前記バルブ開口部の開状態において前記バルブ開口部を開放し、前記バルブ開口部の閉状態において前記バルブシートに対して当接するバルブプレートと、前記バルブ開口部が開状態である第１位置と第２位置との間で前記バルブプレートを支持する支持ユニットと、を備え、前記バルブプレートが、前記支持ユニットの少なくとも２つの別個の駆動要素により前記支持ユニットに対して連結され、前記駆動要素により後退位置および前進位置の間で駆動可能とされ、前記支持ユニットの前記第２位置および前記バルブプレートの前進位置において前記バルブ開口部が閉状態にある真空バルブに関する。

上記のようなタイプの真空バルブが提案されている（例えば、特許文献１参照）。真空バルブは、その閉状態において第１バルブ開口部および第２バルブ開口部のそれぞれを閉塞する第１バルブプレートおよび第２バルブプレートを備えている。バルブプレートを支持する支持ユニットがバルブロッドに取り付けられ、当該バルブロッドの軸線方向の動きによって、真空バルブが開放されている第１位置および第２位置の間で駆動される。支持ユニットは、バルブプレートに対して連結され、かつ、支持ユニットが第２位置にある際に後退位置および前進位置の間で駆動されるピストンシリンダユニットの形態の支持要素を備えている。バルブプレートの前進位置において、バルブ開口部はバルブプレートによって閉塞されている。バルブプレートは、工具なしで支持ユニットから取り外されるように構成され、バルブプレートを支持ユニットに対して取り付けるため、バルブロッドのキノコ状のヘッドを回転させることができる収容部材の収容スリットに挿入され、伸長状態でバルブプレートを固定するために少なくとも１つの収容部材が回転可能である。

支持ユニットにより駆動される第１バルブプレートおよび第２バルブプレートを備え、当該支持ユニットがバルブプレートを駆動するための支持要素を有するさらなる真空バルブが提案されている（例えば、特許文献２〜４参照）。支持ユニットの支持要素により駆動される単一のバルブプレートを備えている真空バルブが提案されている（例えば、特許文献５参照）。バルブプレートおよびこれに対向する支持プレートが支持ユニットによって駆動され、支持要素によって変位可能である。閉状態において支持プレートは、バルブシートに対してバルブプレートを押圧するためにバルブハウジングに支持されている。

支持要素によって支持ユニットに対して連結されている際、一般的にバルブプレートには若干の間隙または可動性が残されている。このため、閉状態において、バルブシートのシール面に対して、バルブプレートに設けられた弾性のシール部材が均等に押し付けられるように許容誤差があってもよい。例えば、真空バルブの焼成時の温度変化による、バルブプレートと支持ユニットとの異なる熱膨張が許容される。

バルブプレートが取り外し可能な場合、支持ユニットにおける間隙により、バルブプレートと支持ユニットとの相対的な可動性が生じる（例えば、特許文献１参照）。

支持ユニットと（各）バルブプレートとの間の可動性または間隙の存在と、大きな開口幅を有する真空バルブに用いられる大きくて重いバルブプレートと、のうち一方または両方によって、支持ユニットが第１位置および第２位置の間で動かされる際に生じる加速度によりバルブプレートおよび支持ユニットが相対的に動く。部材同士の摺動によって真空にとって不要なパーティクルが発生し、かつ、不要な汚染が生じる。バルブプレートを支持ユニットの駆動部分、例えば駆動要素のピストンロッドに対してネジ止めする場合、加速度によって支持ユニットが第１位置および第２位置の間で動くことによりバルブプレートが搖動し、バルブプレートおよび支持ユニットの相互に連結された部分が振動し、不要なパーティクルが真空領域に発生する。

米国特許公開公報 ＵＳ２０１４／００２１３９５Ａ１ 国際公開公報 ＷＯ２０１１／０９６６１３Ａ１ 韓国特許公開公報 ＫＲ１０−２０１０−００６１２１４ 米国特許公開公報 ＵＳ２０１４／００２１３９５Ａ１ 米国特許公報 ＵＳ６８９９３１６Ｂ１ 米国特許公開公報 ＵＳ２０１４／００２１３９５Ａ１ 米国特許公報 ＵＳ６５６１４８４Ｂ２

本発明の目的は、第１位置と第２位置との間の支持ユニットの変位に際してパーティクルの発生の低減が図られる上記タイプの有利な真空バルブを提供することである。

本発明によれば、上記目的は、請求項１の特徴を有する真空バルブによって達成される。

本発明の真空バルブによれば、少なくとも１つのバルブプレートが設けられ、当該バルブプレートは、後退位置と前進位置との間でバルブプレートを駆動する少なくとも２つの駆動要素を介して支持ユニットに連結され、かつ、後退位置において合成樹脂製の少なくとも１つの支持要素により支持ユニットを支持している。バルブプレートの当該支持により、バルブプレートが後退位置で安定に維持される。支持ユニットが第１位置と第２位置との間で動く際にバルブプレートの動きによって不要な汚染が防止され、望ましくないパーティクルの発生が大幅に低減される。

バルブプレートが後退位置で支持ユニットを支持するところの少なくとも１つの支持要素は、支持ユニットに配置されていることが好ましい。原理的には、バルブプレートが後退位置で支持ユニットを支持するところの少なくとも１つの支持要素がバルブシートから離れているバルブプレートの背面に配置されてもよい。

本発明の好適な一実施形態において、支持ユニットは少なくとも１本のバルブロッドに取り付けられ、当該バルブロッドはその縦軸線の方向について直線的に支持ユニットを第１位置および第２位置の間で駆動する。

他の実施形態において、原理的には、支持ユニットが、バルブ開口部の軸線に対して平行な軸線回りに搖動可能なバルブロッドに支持されてもよい。

好ましくは少なくとも２つ、特に好ましくは３つの以上の合成樹脂製の支持要素が設けられ、バルブプレートの長手方向（好ましくは、少なくとも１つのバルブロッドの軸線に対して垂直であり、かつ、少なくとも１つのバルブ開口部の軸線に対して垂直である。）について相互に離間している。バルブプレートの長手方向に対して垂直な方向について相互に離間している少なくとも２つのバルブプレートが設けられていてもよい。

好適な実施形態において、合成樹脂製の支持要素は、支持ユニットの支持部材に取り付けられ、当該支持部材は支持ユニットの少なくとも１つの駆動部材に固定されている。例えば、支持ユニットは、長手方向が少なくとも１つのバルブ開口部の軸線に対して垂直かつ少なくとも１つのバルブロッドの縦軸線に対して垂直に延在するロッド状に形成された駆動部材を備えていてもよい。駆動要素がピストンシリンダユニットによって構成され、シリンダがロッド状に形成された駆動部材の間の中間空間に架橋し、かつ、ロッド状に形成された駆動部材に連結されていてもよい。このような支持ユニットのフレーム構造は、前記従来技術、特に上記特許文献１によって知られている。

本発明の一実施形態において、第１バルブプレートおよび第２バルブプレートが支持ユニットの対向する側に配置され、バルブハウジングの第１バルブ開口部および第２バルブ開口部のそれぞれを閉塞する役割を担い、かつ、支持ユニットの少なくとも２つの駆動要素に対して連結されている。後退位置において、両方のバルブプレートが、合成樹脂製の少なくとも１つの支持要素を介して支持ユニットを支持している。支持要素は、支持ユニットの支持部材とは反対向きの支持面に取り付けられていることが好ましい。

支持部材に取り付けられた少なくとも１つの支持要素の弾性率は、支持要素が取り付けられている支持部材の弾性率よりも低いことが好ましい。

本発明の好ましい実施例のさらなる特徴および詳細は、概略図に基づいて例示的に説明される。

本発明の位置実施形態の真空バルブの正面図。 図１のＡ−Ａ線に沿った真空バルブの断面図。 図１のＢ−Ｂ線に沿った真空バルブの断面図。 図１のＣ−Ｃ線に沿った真空バルブの断面図。 図１のＤ−Ｄ線に沿った真空バルブの断面図。 図５のＥ部分の拡大詳細説明図。 バルブプレートが後退位置にある状態における図４の対応断面図。 バルブプレートが後退位置にある状態における図５の対応断面図。 図８のＦ部分の拡大詳細説明図。 図７のＧ部分の拡大詳細説明図。 開状態における真空バルブの斜視図。 支持ユニットが第１位置にある状態における図７の対応断面図。 支持ユニットが第１位置にある状態における図８の対応断面図。 バルブプレート、バルブロッドおよびバルブロッド駆動機構を有する支持ユニットを備えているユニットの斜視図。 図１３のＨ部分の拡大詳細説明図。 図１３に示したユニットの側面図。 バルブプレートが省略された図１３の対応斜視図。 図１６のＩ部分の拡大詳細説明図。

本発明の一実施形態に係る真空バルブが図面に示されている。真空バルブは、平行な軸線４、５を有する第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３を有するバルブハウジング１を備えている。第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３は、バルブハウジング１の対向する壁部に配置され、かつ、相互に離間している。第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３を有する壁部には、第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３のそれぞれを囲んでいるバルブシート６、７が相互に対向する内側面に設けられている。

真空バルブの真空領域を形成するバルブハウジング１の内部空間８には、バルブプレート１０、１１を第１位置および第２位置の間で支持する支持ユニット９が配置されている。バルブプレート１０、１１は、真空バルブの閉状態においてバルブ開口部２、３を閉塞する役割を担う。この目的のため、バルブプレート１０、１１は、真空バルブの閉状態においてバルブシート６、７のシール面に押し付けられる弾性シールリング１２を備えている。

弾性シールリング１２がバルブシート６、７に配置され、真空バルブの閉状態においてバルブプレート１０、１１のシール面が、バルブシート６、７に配置された弾性シールリングに押し付けられてもよい。

支持ユニット９はバルブロッド１３に取り付けられている。バルブロッド１３は、バルブロッド駆動機構１４により、その縦軸線の方向について直線的に動くことができる。バルブロッド駆動機構１４は、２つのピストンシリンダユニット１６、１７によって構成されている。２つのピストンシリンダユニット１６、１７のシリンダはバルブハウジング１に対して連結され、ピストンロッドはヨーク１８に対して連結されている。ヨーク１８は、バルブハウジング１の外側にあるバルブロッド１３の部分、好ましくはバルブロッド１３の端部に対して連結されている。バルブロッド１３は、気密の直線導入通路を介してバルブハウジング１の内部空間８に案内されている。

バルブロッド駆動機構１４は、他の形態でも構成可能であり、例えば、単一のピストンシリンダユニットにより構成され、支持ユニット９が、真空バルブが開状態（図１１、図１２Ａおよび図１２Ｂ参照）にある第１位置と第２位置との間で駆動される。図１〜図１０において、支持ユニット９は第２位置にある。

バルブハウジング１に対して支持ユニット９を案内するため、例えば、支持ユニット９に対して回転可能に取り付けられたローラ１９が設けられ、バルブハウジング１の相互に対向する壁部に形成された、バルブロッド１３に対して平行に延在する溝状の案内軌道に沿って案内されてもよい。

バルブロッド１３は、バルブ開口部２、３の軸線４、５に対して実質的に垂直に延在している。支持ユニット９が取り付けられる２つ以上の平行なバルブロッド１３が設けられていてもよい。

本実施形態では、バルブプレート１０、１１およびバルブ開口部２、３は、実質的に矩形状であり、隅角部が丸い矩形状に形成されている。実質的に矩形状に形成されたバルブプレート１０、１１およびバルブ開口部２、３は、真空バルブのさまざまな応用場面、特に、平坦かつ比較的幅広の基板がバルブ開口部２、３を通じて案内される場面において有用である。このような真空バルブは、例えば、太陽電池モジュールまたはフラットパネルディスプレイの製造装置に応用される。真空バルブは、さらに、例えば、ガラスコーティング用の装置、または、ソーラーモジュールもしくは真空炉の製造装置にも適用される。

実質的に矩形状に形成されたバルブプレート１０、１１において、各バルブプレートの長辺の方向は「長手方向」として表現される。

バルブ開口部２、３の軸線４、５に対して垂直、かつ、バルブロッド１３の縦軸線１５に対して垂直な方向について、バルブ開口部２、３の径ａは好ましくは２メートル以上である。バルブロッド１３の縦軸線１５に対して平行な方向について、バルブ開口部２、３の幅ｂは好ましくは１５センチメートル以上である。

支持ユニット９は、その長手方向に相互に離間している複数の駆動要素２０を有している。支持ユニット９の長手方向は、バルブ開口部２、３の軸線４、５に対して垂直、かつ、バルブロッド１３の縦軸線１５に対して垂直である。

駆動要素２０は、ピストンシリンダユニットの形態で構成されている。各駆動要素２０の大部分を構成するシリンダ２１は、ピストン２４が収容される第１シリンダ空間２２および第２シリンダ空間２３を有している。シリンダ空間２２、２３から導出されたピストン２４に対してバルブプレート１０、１１が取り付けられている。

駆動要素２０は、簡略化されて図示されている。例えば、シリンダ空間２２、２３をバルブハウジング１の内部空間８に対して封止するため、各シリンダ２１および各ピストンロッド２５の間に延在する、弾性変形可能な膜部材が設けられていてもよい。ピストン２４を各シリンダ２１に対して案内するため、ピストン２４の凹部に突出するロッド状のガイド部材が設けられていてもよい。駆動要素２０は、例えば、公知技術、特に上記特許文献１に記載された技術にしたがって構成されてもよい。

本実施形態では、バルブプレート１０、１１は、ピストンロッド２５に対してネジ２８によって連結されている。例えば、焼成時における温度変化に伴うバルブプレート１０、１１および支持ユニット９の異なる熱膨張を可能にするため、ネジ２８と当該ネジ２８が貫通しているバルブプレート１０、１１の穴との間に間隙または遊びが存在していてもよい。例えば、固定点を構成する一の部分には間隙が存在しない一方、他の部分では間隙が存在するようなネジ２８が用いられてもよい。

ネジによる連結に代えて、例えば、公知技術、特に上記特許文献１に開示されているように、ツールを用いて開放可能な連結機構が用いられてもよい。

本実施形態では、支持ユニット９は、ロッド状の第１駆動部材２６および第２駆動部材２７を有している。第１駆動部材２６および第２駆動部材２７はその長手方向が相互に平行になるように、かつ、バルブ開口部２、３の軸線４、５およびバルブロッド１３の縦軸線１５のそれぞれに対して垂直に延在している。バルブロッド１３の縦軸線１５の方向について相互に離間しているロッド状の駆動要素２６、２７は、駆動要素２６、２７の間の中間空間を通じて架橋している駆動要素２０のシリンダ２１と相互に連結されている。

駆動要素２０により、バルブプレート１０、１１が前進位置（図１〜図６参照）および後退位置（図７〜図１０参照）の間で直線的に動かされる。バルブプレート１０、１１の当該直線変位は、好ましくはバルブ開口部２、３の軸線４、５に対して平行に実現される。

支持ユニット９がその第２位置にあり、かつ、バルブプレート１０、１１がその前進位置にある場合、両方のバルブ開口部２、３が閉状態にある。この状態は、真空バルブの全閉状態ともいうことができ、図１〜図５に示されている。

真空バルブを全閉状態から解放するため、両方のバルブプレート１０、１１がその前進位置から後退位置に動かされる。支持ユニット９はその第２位置に留まる。真空バルブのこの状態は、図７〜図１０に示されている。その結果、支持ユニット９は第２位置から第１位置に動かされ、真空バルブが全開状態になる（図１１、図１２Ａおよび図１２Ｂ参照）。

シールリング１２の交換等のために両方のバルブプレート１０、１１のうち一方のバルブプレート１０（１１）が点検・修理される場合、支持ユニット９が第２位置にあり、かつ、他方のバルブプレート１１（１０）が前進状態にある際に（両方のバルブプレート１０、１１の駆動要素２０が相互に独立に操作される際に）当該点検・修理が可能になる。当該他方のバルブプレート１１（１０）は、対応するバルブ開口部３（２）を封止し、かつ、当該バルブ開口部３（２）に接続された真空チャンバを封止することができる。なお、対応するバルブ開口部３（２）を封止する当該他方のバルブプレート１１（１０）が後退位置を有し、これにより支持ユニット９がその中央位置から変位し、支持ユニット９がロール１９により案内されて例えばロール１９の弾性によって、支持ユニット９がその中央位置から十分に変位することが許容されてもよい。内部空間８が大気圧であり、封止された真空チャンバが真空状態にある場合、発生する差圧が作用することによって支持ユニット９が中央位置から変位する。

バルブハウジング１の内部空間８は、図示されていない通気路を介して排気されてもよい。

駆動要素２０のための圧縮空気通路は、支持部材２６、２７の通路を通じて延在していてもよい。

支持ユニット９は、本実施形態では締結ネジ３０によってロッド状の駆動部材２６、２７に対して固定された複数の支持部材２９を有している。ロッド状の駆動部材２６、２７のそれぞれには、各駆動部材２６、２７の長手方向について離間している複数の支持部材２９が取り付けられている。支持部材２９は、ロッド状の駆動部材２６、２７のそれぞれにおいて駆動要素２０とは反対側に配置されていてもよい。

支持部材２９の相互に反対向きの側面３１、３２には、支持要素３３が取り付けられている。支持要素３３は合成樹脂により形成されているが、支持部材２９は好ましくは金属により形成されている。支持部材２９が、合成樹脂、特に支持要素３３よりも大きい弾性率を有する合成樹脂により構成されていてもよい。

支持部材２９の側面３１、３２に保持されている支持要素２２は、本実施形態では環状に形成されているが、当該形状は必須の形状ではない。

特に図４、図７および図１０からわかるように、例えば支持要素３３は、支持部材２９の側面３１、３２に設けられた溝に収容されるＯリングの形態で構成されている。例えば、支持要素３３は、側面３１、３２に加硫接合されていてもよい。

各支持部材２９の外側面から、締結ネジが貫通するネジ穴まで貫通する孔部３４は、ネジ穴の通気のために設けられている。

各バルブプレート１０、１１が、バルブプレートがその前進位置にある真空バルブの閉状態から、後退位置に動かされる際、すなわち、図１〜図６に示されている位置から、図７〜図１０に示されている位置に動かされる際、バルブシート６、７とは反対側にある各バルブプレート１０、１１の、最初は支持要素３３から離間している裏面３５が、支持要素３３に当接する。各バルブプレート１０、１１は、後退位置において支持ユニット９に支持され、対応するバルブシート６、７から離間している裏面３５において支持ユニット９の支持要素３３に対して当接している。

各バルブプレート１０、１１の前進状態において、対応する支持要素３３が支持部材２９の側面３１、３２よりも突出する。支持要素３３に当接しているバルブプレート１０、１１が後退する際、支持要素３３を構成する材料の弾性によって当該支持要素３３が十分に圧縮するので、バルブプレート１０、１１の後退位置において、バルブプレート１０、１１の裏面３５を支持部材２９の側面３１、３２に当接させることができる。支持部材２９の側面３１、３２およびバルブプレート１０、１１の裏面３５には、金属同士の接触を防止するために当接領域において合成樹脂のコーティングが設けられてもよい。バルブプレート１０、１１の背面３５は後退位置において支持要素３３に対してのみ当接し、支持部材２９の側面３１、３２から間隙を存して離間している。

プラスチックからなる支持要素３３は、バルブプレート１０、１１がそれぞれの後退位置に動かされる際、バルブプレート１０、１１の支持ユニット９の始動を減衰させる。このため、支持要素３３は減衰要素ということができる。支持要素３３は５ｋＮ／ｍｍ²未満、好ましくは１ｋＮ／ｍｍ²未満の十分に低い弾性率を有している。

好適な実施形態では、支持部材３３は、エラストマーまたは熱可塑性エラストマーからなる。支持部材３３は、熱可塑性材料からなっていてもよい。

支持要素３３の好適な材料はＦＫＭまたはＦＦＫＭであってもよい。例えば、支持要素３３がテフロン（登録商標）、ＰＡまたはＰＥＥＫにより作製されていてもよい。

支持要素３３を介して支持ユニット９を支持することにより、バルブプレート１０、１１は後退位置において安定であり、支持ユニット９が第１位置および第２位置の間で動く際にバルブプレート１０、１１の振動などの動きの大部分が防止される。支持要素３３が、適当な合成樹脂材料からなるため、バルブプレート１０、１１が後退位置に動く際にバルブプレート１０、１１の始動が減衰される。

本発明の前記実施形態は、特許請求の範囲に記載されている本発明の趣旨から逸脱しない範囲でさまざまに変更されてもよい。

例えば、支持ユニット９は、複数の平行なロッドに取り付けられてもよい。

本発明の他の実施形態では、真空バルブが単一のバルブプレートを備えていてもよい。支持要素が、単一のバルブプレートに対向する支持部材の側面のみに配置されてもよい。

支持部材２９は、バルブロッド１３の縦軸線１５に対して平行かつバルブ開口部２、３の軸線４、５に対して垂直に相互に離間して配列されたロッド状の複数の支持部材により構成されるなど、他の形態で構成されてもよい。駆動部材２６、２７に対して平行に延在するロッド状の支持部材が設けられ、または、駆動部材２６、２７が支持要素が直接的に配置されている支持部材を構成してもよい。

支持部材は、例えば、ボタン状またはストランド状であってもよく、特にロッド状の支持部材であってもよい。

支持ユニット９は、例えば、駆動要素が保持されるまたは駆動要素が一体化される平板状の部分を有するなど、他の形態で構成されてもよい。

各バルブプレート１０、１１には支持ユニットの単一の支持要素が配置されていてもよく、当該支持要素は例えば環状に形成され、当該環により囲まれている平面は、各バルブプレート１０、１１の裏面の面積の５０％を超えていることが好ましい。

支持要素または単一の環状の支持要素は、各バルブプレートの裏面に配置されてもよい。例えば、支持要素は各バルブプレートの裏面であってもよく、その形状、サイズおよび材料は、各バルブプレートの表面に配置されたシールリングに対応している。

駆動要素２０は、駆動機能を持たない単なる案内要素として構成されてもよく、例えば、駆動要素が省略され、その代わりにそのような案内要素が設けられていてもよい。当該案内要素は、各バルブプレート１０、１１を後退位置および前進位置の間で案内し、バルブプレート１０、１１の重量負荷の少なくとも一部を支持ユニット９に伝達する役割を担う。駆動要素２０は除外され、または、各バルブプレート１０、１１の重量負荷が作用しない駆動要素が設けられてもよい。案内要素は、駆動要素に加えて設けられてもよい。このような案内要素は、例えば前記先行技術文献、特に前記特許文献１に開示されている。

１‥バルブハウジング、２‥バルブ開口部、３‥バルブ開口部、４‥軸線、５‥軸線、６‥バルブシート、７‥バルブシート、８‥内部空間、９‥支持ユニット、１０‥バルブプレート、１１‥バルブプレート、１２‥シールリング、１３‥バルブロッド、１４‥バルブロッド駆動機構、１５‥縦軸線、１６‥ピストンシリンダユニット、１７‥ピストンシリンダユニット、１８‥ヨーク、１９‥ロール、２０‥駆動要素、２１‥シリンダ、２２‥第１シリンダ空間、２３‥第２シリンダ空間、２４‥ピストン、２５‥ピストンロッド、２６‥駆動部材、２７‥駆動部材、２８‥ネジ、２９‥支持部材、３０‥締結ネジ、３１‥側面、３２‥側面、３３‥支持要素、３４‥孔部、３５‥裏面。

Claims (12)

1. 軸線（４）（５）を有し、かつ、バルブシート（６）（７）により囲まれているバルブ開口部（２）（３）を有するバルブハウジング（１）と、
   前記バルブ開口部（２）（３）の開状態において前記バルブ開口部（２）（３）を開放し、前記バルブ開口部（２）（３）の閉状態において前記バルブシート（６）（７）に対して当接するバルブプレート（１０）（１１）と、
   バルブロッド（１３）に取り付けられ、バルブロッド駆動機構（１４）により、前記バルブロッド（１３）の縦軸線（１５）の方向に平行に前記バルブ開口部（２）（３）が開状態である第１位置と第２位置との間で動かされ、かつ、前記バルブプレート（１０）（１１）を支持する支持ユニット（９）と、を備え、
   前記バルブプレート（１０）（１１）が、前記支持ユニット（９）の少なくとも２つの離間した駆動要素（２０）により前記支持ユニット（９）に対して連結され、前記駆動要素（２０）により後退位置および前進位置の間で駆動可能とされ、前記支持ユニット（９）の前記第２位置および前記バルブプレート（１０）（１１）の前進位置において前記バルブ開口部（２）（３）が閉状態にある真空バルブであって、
   前記バルブプレート（１０）（１１）が、前記後退位置においてのみ合成樹脂製の複数の支持要素（３３）により支持され、前記複数の支持要素（３３）のすべてが、バルブハウジング（１）に対して変位せずに、バルブプレート（１０）（１１）が後退位置および前進位置の間で駆動されることを特徴とする真空バルブ。
2. 請求項１記載の真空バルブにおいて、前記支持要素（３３）が前記支持ユニット（９）に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
3. 請求項１または２記載の真空バルブにおいて、前記バルブプレート（１０）（１１）の長手方向について相互に離間している合成樹脂製の少なくとも２つの支持要素（３３）が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
4. 請求項１〜３のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記バルブプレート（１０）（１１）の長手方向に対して垂直な方向について相互に離間している合成樹脂製の少なくとも２つの支持要素（３３）が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記バルブプレート（１０）（１１）の後退位置において前記バルブプレート（１０）（１１）を支持するために、前記支持ユニット（９）の支持部材（２９）に配置されている、２つの以上の合成樹脂製の支持要素（３３）が設けられ、当該支持部材（２９）が前記支持ユニット（９）の少なくとも１つの駆動部材（２６）（２７）に対して固定されていることを特徴とする真空バルブ。
6. 請求項５に記載の真空バルブにおいて、前記支持要素（３３）が取り付けられている前記支持ユニット（９）の前記支持部材（２９）よりも、前記支持要素（３３）が低い弾性率を有することを特徴とする真空バルブ。
7. 請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記支持ユニット（９）が、ロッド状に形成された第１駆動部材（２６）および第２駆動部材（２７）を備え、
   前記駆動要素（２０）のシリンダ（２１）が前記第１駆動部材（２６）および前記第２駆動部材（２７）に対して堅固に連結され、前記駆動要素（２０）の前記シリンダ（２１）が、ロッド状に形成された前記第１駆動部材（２６）および前記第２駆動部材（２７）の間の中間空間で架橋されていることを特徴とする真空バルブ。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記真空バルブが前記バルブプレート（１０、１１）として第１バルブプレート（１０）および第２バルブプレート（１１）を備え、
   前記バルブハウジング（１）が、平行な軸線（４）（５）を有し、かつ、バルブシート（６）（７）により囲まれている第１バルブ開口部（２）および第２バルブ開口部（３）を有し、
   前記支持ユニット（９）により前記第１バルブプレート（１０）および第２バルブプレート（１１）が駆動され、前記第１バルブプレート（１０）および第２バルブプレート（１１）が、前記支持ユニット（９）の両側に配置され、
   前記第１バルブ開口部（２）および前記第２バルブ開口部（３）のそれぞれの開状態において、前記第１バルブプレート（１０）および前記第２バルブプレート（１１）のそれぞれが、前記第１バルブ開口部（２）および前記第２バルブ開口部（３）のそれぞれを開放し、前記第１バルブ開口部（２）および第２バルブ開口部（３）のそれぞれの閉状態において、前記第１バルブプレート（１０）および前記第２バルブプレート（１１）のそれぞれが、前記第１バルブ開口部（２）および前記第２バルブ開口部（３）のそれぞれのバルブシート（６）（７）に対して当接し、
   前記第１バルブプレート（１０）および前記第２バルブプレート（１１）が、前記支持ユニット（９）の少なくとも２つの離間している駆動要素（２０）により、前記支持ユニット（９）に対して連結され、当該駆動要素（２０）により後退位置および前進位置の間で駆動され、前記支持ユニット（９）の前記第２位置と、前記第１バルブプレート（１０）および前記第２バルブプレート（１１）のそれぞれの閉位置と、において前記第１バルブ開口部（２）および前記第２バルブ開口部（３）のそれぞれの閉状態が実現され、
   前記第１バルブプレート（１０）および前記第２バルブプレート（１１）のそれぞれが、後退位置において、合成樹脂製の少なくとも１つの支持要素（３３）により前記支持ユニット（９）に支持されていることを特徴とする真空バルブ。
9. 請求項８記載の真空バルブにおいて、前記支持ユニット（９）の支持部材（２９）の対向する側面（３１）（３２）に、合成樹脂製の少なくとも１つの支持要素（３３）が配置されていることを特徴とする真空バルブ。
10. 請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記駆動要素（２０）が、それぞれ少なくとも１つのシリンダ空間（２２）（２３）を有するシリンダ（２１）と、前記シリンダ空間（２２）（２３）に配置され、ピストンロッド（２５）を有する少なくとも１つのピストン（２４）と、を備え、
    前記ピストン（２４）の前記ピストンロッド（２５）が少なくとも１つのバルブプレート（１０）（１１）に対して連結されていることを特徴とする真空バルブ。
11. 請求項１〜１０のうちいずれか１つに記載の真空バルブにおいて、前記支持ユニット（９）が、少なくとも１つのバルブロッド（１３）に対して取り付けられ、前記バルブロッド（１３）が、その縦軸線（１５）の方向について前記第１位置および前記第２位置の間で前記支持ユニット（９）を駆動するために変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
12. 請求項７に記載の真空バルブにおいて、前記第１駆動部材（２６）および前記第２駆動部材（２７）のそれぞれにおいて前記駆動要素（２０）からみて反対側に前記支持ユニット（９）の支持部材（２９）が配置され、
    少なくとも２つの前記支持要素（３３）が、前記支持部材（２９）に配置されていることを特徴とする真空バルブ。