CN107407428B - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀，包括阀壳体(1)、阀板(10、11)、承载着所述阀板(10、11)的承载单元(9)，所述阀壳体带有阀开口(2、3)，所述阀开口具有轴线(4、5)且被阀座(6、7)包围，所述阀板在所述阀开口(2、3)的打开状态下将所述阀开口(2、3)打开，且在所述阀开口(2、3)的关闭状态下贴靠在所述阀座(6、7)上，所述承载单元可在第一位置与第二位置之间移动，在第一位置存在所述阀开口(2、3)的打开状态，其中，所述阀板(10、11)通过所述承载单元(9)的至少两个间隔开的传动元件(20)与所述承载单元(9)连接，且可由所述传动元件(20)在收回位置与进给位置之间移动。在所述承载单元(9)的第二位置和所述阀板(10、11)的进给位置存在所述阀开口(2、3)的关闭状态。所述阀板(10、11)在收回位置通过至少一个由塑料构成的支撑元件(33)支撑在所述承载单元(9)上。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，其包括阀壳体、阀板、承载着阀板的承载单元，阀壳体带有阀开口，阀开口具有轴线且被阀座包围，阀板在阀开口的打开状态下将阀开口释放，且在阀开口的关闭状态下贴靠在阀座上，承载单元可在第一位置与第二位置之间移动，在第一位置存在阀开口的打开状态，其中，阀板通过承载单元的至少两个间隔开的传动元件与承载单元连接，且可由这些传动元件在收回位置与进给位置之间移动，其中，在承载单元的第二位置和阀板的进给位置存在阀开口的关闭状态。
背景技术
这种真空阀由US 2014/0021395 A1已知。该真空阀包括第一和第二阀板，这些阀板在真空阀的关闭状态下将第一和第二阀开口封闭。承载着阀板的承载单元安置在阀杆上，通过该阀杆的沿着其纵轴线的方向的推移，承载单元在第一位置和第二位置之间移动，真空阀在第一位置打开。承载单元具有活塞-汽缸单元形式的传动元件，这些传动元件与阀板连接，这些阀板在承载单元的第二位置在收回位置与进给位置之间移动。在阀板的进给位置，阀开口被阀板封闭。阀板构造成可在无工具情况下从承载单元取下，其中，为了使得阀板与承载单元连接，可把阀杆的蘑菇状端头插入到容纳部分的容纳狭槽中，且为了固定阀板在至少一个容纳部分的推开状态下可转动。
由WO 2011/096613 A1、KR 10-2010-0061214和US 2006/0225811 A1已知带有第一和第二由承载单元承载的阀板的其它真空阀，其中，该承载单元具有用于使得阀板移动的传动元件。由US 6,899,316 B2已知一种带有一个单独的阀板的真空阀，该阀板被承载单元的传动元件承载。US 2004/0079915 A1和US 6,561,484 B2公开了一些真空阀，其中，阀板和相对的支撑板被承载单元承载，且可借助传动元件移动。在关闭状态下，支撑板支撑在阀壳体上，以便将阀板顶压到阀座上。
对于与承载单元的传动元件连接的阀板而言，通常允许阀板的一定的间隙或一定的可运动性。由此可以接受误差，以便实现在关闭状态下把设置在阀板上的弹性密封件均匀地压靠在阀座的密封面上。由此也可以接受在温度变化时例如在真空阀变热时阀板的和承载单元的不同的延展。
在比如由US 2014/0021395 A1已知的阀板的可取下的构造情况下，通过在连接装置中的间隙，也在阀板与承载单元之间出现运动。
恰恰在承载单元与(相应的)阀板之间存在运动或间隙情况下，和/或对于比如在具有大的打开宽度的真空阀中采用的大的、重的阀板，当承载单元在第一和第二位置之间移动时，通过所出现的加速，在阀板与承载单元之间出现运动。由于在这种情况下相互摩擦的部分，在真空中出现并非所愿的颗粒产生，结果也会出现并非所愿的噪声产生。但即使把阀板与承载单元的承载该阀板的部分、例如传动元件的活塞杆旋拧起来，当承载单元在第一和第二位置之间移动时，由于作用的加速度，也会出现阀板振动，因而在阀板的和承载单元的相互连接的部分之间出现微运动，从而在真空中产生并非所愿的颗粒。
发明内容
本发明的目的是，提出一种开篇所述类型的有利的真空阀，其中，当承载单元在第一位置和第二位置之间移动时，很少产生颗粒。根据本发明，这通过具有如下技术方案的特征的真空阀来实现。一种真空阀，包括阀壳体、阀板、承载着所述阀板的承载单元，所述阀壳体带有阀开口，所述阀开口具有轴线且被阀座包围，所述阀板在所述阀开口的打开状态下将所述阀开口释放，且在所述阀开口的关闭状态下贴靠在所述阀座上，所述承载单元能在第一位置与第二位置之间移动，在第一位置存在所述阀开口的打开状态，其中，所述阀板通过所述承载单元的至少两个间隔开的传动元件与所述承载单元连接，且能由所述传动元件在收回位置与进给位置之间移动，其中，在所述承载单元的第二位置和所述阀板的进给位置中存在所述阀开口的关闭状态，其中，所述阀板在收回位置中通过至少一个由塑料构成的支撑元件支撑在所述承载单元上。
对于根据本发明的真空阀，存在至少一个阀板，该阀板通过至少两个传动元件与承载单元连接，由这些传动元件可使得阀板在收回位置与进给位置之间移动，该阀板在收回位置通过至少一个由塑料构成的支撑元件支撑在承载单元上。通过对阀板的这种支撑，阀板被稳定在收回位置。当承载单元在第一位置和第二位置之间移动时因阀板的运动造成的并非所愿的噪声由此可以得到防止，且可以明显减少并非所愿的颗粒产生。
优选地，至少一个支撑元件设置在承载单元上，阀板在其收回位置通过所述支撑元件被支撑在承载单元上。原则上也可考虑且可行的是，至少一个支撑元件设置在阀板的离开阀座朝向的背面上，阀板在其收回位置通过所述支撑元件被支撑在承载单元上。
在本发明的一种有利的实施方式中，承载单元安置在至少一个阀杆上，为了使得承载单元在第一位置和第二位置之间移动，该阀杆可沿着阀杆的纵轴线方向直线地移动。
在一种替代的实施方式中，原则上可考虑且可行的是，承载单元安置在阀杆上，该阀杆可围绕平行于阀开口轴线的轴线摆动。
有益地，优选在承载单元上存在至少两个、特别优选三个或更多个由塑料构成的支撑元件，这些支撑元件在阀板的纵向延伸方向上彼此间隔开，该方向优选垂直于至少一个阀杆的纵轴线，且垂直于至少一个阀开口的轴线。在此可以存在至少两个由塑料构成的沿垂直于阀板纵向延伸的方向彼此间隔开的支撑元件。
一种有利的实施方式规定，由塑料构成的支撑元件安置在承载单元的支撑部分上，这些支撑部分固定在承载单元的至少一个承载部分上。例如，承载单元可以具有杆形地构造的承载部分，这些承载部分的纵向延展垂直于至少一个阀开口的轴线，且垂直于至少一个阀杆的纵轴线。在此，传动元件可以由活塞-汽缸单元构成，这些单元的汽缸跨接在杆形地构造的承载部分之间的中间腔，且在此连接杆形地构造的承载部分。承载单元的这种框架结构由开篇所述的现有技术、特别是US 2014/0021395A1已知。
在本发明的一种可行的实施方式中，在承载单元的相对侧设置了第一和第二阀板，这些阀板用来封闭阀壳体的第一和第二阀开口，且分别与承载单元的至少两个传动元件连接。在其收回位置，两个阀板分别通过至少一个由塑料构成的支撑元件支撑在承载单元上。有益地，这些支撑元件在此可以安置在承载单元的支撑部分的指向相反方向的支撑面上。
有利地，安置在支撑部分上的至少一个支撑元件的弹性模量小于在其上安置有支撑元件的支撑部分的弹性模量。
附图说明
下面参照附图介绍本发明的其它优点和细节。其中：
图1为本发明的真空阀的实施例的视图；
图2为沿着图1的线A-A剖切的剖视图；
图3为沿着图1的线B-B剖切的剖视图；
图4为沿着图1的线C-C剖切的剖视图；
图5为沿着图1的线D-D剖切的剖视图；
图6示出图5的放大的细节E；
图7和8为类似于图4和5的剖视图，但在阀板的收回位置；
图9示出图8的放大的细节F；
图10示出图7的放大的细节G；
图11为处于打开状态下的真空阀的斜视图；
图12和12a为类似于图7和8的剖视图，但在承载单元的第一位置；
图13为包括承载单元的单元的斜视图，其带有安置于其上的阀板、阀杆和阀杆-传动件；
图14示出图13的放大的细节H；
图15为图13中所示的单元的侧视图；
图16为类似于图13的斜视图，但没有阀板；
图17示出图16的放大的细节I。
具体实施方式
在这些附图中示出了根据本发明的真空阀的一个实施例。该真空阀包括带有第一和第二阀开口2、3的阀壳体1，这些阀开口具有平行的轴线4、5。阀开口2、3设置在阀壳体1的相对的壁上，并相互对齐。具有阀开口2、3的壁在其彼此相向的内侧上有阀座6、7，这些阀座包围阀开口2、3。
在阀壳体1的内腔8中设置着承载单元9，该内腔由真空阀的真空区域构成，由该承载单元承载着第一和第二阀板10、11。阀板10、11用于在真空阀的关闭状态下密封阀开口2、3。为此，阀板10、11具有弹性的密封圈12，这些密封圈在真空阀的关闭状态下顶压到相应阀座6、7的密封面上。
弹性的密封圈12也可以设置在阀座6、7上，阀板10、11的密封面可以在真空阀的关闭状态下顶压到设置在阀座上的密封圈上。
承载单元9安置在阀杆13上。阀杆13可以由阀杆-传动件14沿着其纵轴线15的方向直线地推移。阀杆-传动件14在此由两个活塞-汽缸单元16、17构成，它们的汽缸与阀壳体1连接，它们的活塞杆与轭形件18连接，该轭形件本身与阀杆13的位于阀壳体1外部的区段连接，优选与阀杆13的端部连接。阀杆13通过密封的直线穿引部伸入到阀壳体1的内腔8中。
借助于阀杆-传动件14，承载单元9在第一位置和第二位置之间移动，该阀杆-传动件也可以采用其它方式构造，例如可以只有一个单独的活塞-汽缸单元，在第一位置，真空阀处于打开的状态(参见图11至12a)。在图1至10中，承载单元9处于其第二位置。
为了相对于阀壳体1引导承载单元9，例如可以设置可旋转地安置在承载单元9上的滚轮19，这些滚轮在平行于阀杆13延伸的槽状的引导轨中滚动，这些引导轨在阀壳体1的相对的壁上构造。
阀杆13垂直于阀开口2、3的轴线4、5延伸。也可以设置两个或多个平行的阀杆13，在这些阀杆上安置着承载单元9。
阀板10、11和阀开口2、3在该实施例中基本上矩形地构造，确切地说，构造成带倒圆顶角的矩形。阀板10、11和阀开口2、3的至少基本上矩形的构造在这种真空阀的不同的应用领域中是有益的，特别是当要把扁平的、但比较宽的衬底穿过阀开口2、3时。这种真空阀的应用领域例如是用于制造光伏模块或平面显示屏的设备。其它应用领域例如是用于玻璃涂层的设备，或者是用于制造太阳能模块或真空炉的设备。
就阀板10、11的这种至少基本上矩形的构造而言，相应阀板的沿较长的矩形边方向的延展称为相应阀板的“纵向延伸”。
优选地，阀开口2、3的在垂直于阀开口2、3的轴线4、5且垂直于阀杆13的纵轴线15的方向上测得的长度a至少为2m。阀开口2、3的在平行于阀杆13的纵轴线15的方向上测得的宽度b优选至少为15cm。
承载单元9具有多个在承载单元9的纵向延伸方向上彼此间隔开的传动元件20。承载单元9的纵向延展垂直于阀开口2、3的轴线4、5，且垂直于阀杆13的纵轴线15。
这些传动元件20分别构造成活塞-汽缸单元的形式。相应传动元件20的特别是多组件式地构造的汽缸21具有第一和第二汽缸腔22、23，在这些汽缸腔中分别容纳着活塞24。从汽缸腔22、23伸出的活塞杆25由活塞24引出，在这些活塞杆上安置着阀板10、11。
传动元件20在这些图中被简化地示出。例如，为了相对于阀壳体1的内腔8密封汽缸腔22、23，可以在相应汽缸21和相应活塞杆25之间设置伸展的、可弹性变形的膜片。为了相对于相应汽缸21引导活塞24，可以在活塞24的内凹中设置突伸的杆形的导向元件。传动元件20例如可以采用由开篇所述的现有技术、特别是US2014/0021395A1已知的方式构造。
阀板10、11在附图所示的实施例中借助螺钉28与活塞杆25连接。为了在温度变化时例如在加热时实现阀板10、11和承载单元9的不同的热膨胀，在螺钉28和被螺钉28穿过的阀板10、11上的孔之间至少部分地存在间隙。例如，对于形成固定点的这种螺钉28可以不设置间隙，而对于其它螺钉28则存在间隙。
代替螺钉连接，例如也可以通过在无工具情况下即可打开的连接装置进行连接，比如由开篇所述的现有技术、特别是US 2014/0021395A1已知。
承载单元9在该实施例中具有第一和第二杆形的承载部分26、27。这些承载部分以其纵向延展相互平行，且垂直于阀开口的轴线4、5，以及垂直于阀杆13。在阀杆13的纵轴线15的方向上彼此间隔开的杆形的承载部分26、27通过传动元件20的汽缸21相互连接，这些汽缸跨接在所述杆形的承载部分26、27之间的中间腔。
借助于传动元件20，阀板10、11可以在进给位置(参见图1至6)和收回位置(参见图7至10)之间直线地推移。阀板10、11的这种直线推移优选平行于阀开口2、3的轴线4、5进行。
如果承载单元9处于其第二位置，且阀板10、11处于其进给位置，则处于两个阀开口2、3的关闭状态。这也可以称为真空阀的完全关闭的状态，该状态在图1至5中示出。
为了使得真空阀从其完全关闭的状态打开，首先把两个阀板10、11从其进给位置移动至其收回位置。承载单元9在这种情况下保持在其第二位置。真空阀的这种状态在图7至10中示出。结果，承载单元从其第二位置移动至其第一位置，然后，真空阀处于完全打开的状态，参见图11至12a。
如果要对两个阀板10、11进行维护，例如为了更换密封圈12，则这可以在承载单元9的第二位置且在阀板10、11中的另一阀板的进给状态下进行(如果两个阀板10、11的传动元件20对于两个阀板10、11来说可以彼此独立地予以操纵)。阀板10、11中的所述另一阀板在这种情况下因而可以像以前一样密封配属于它的阀开口2、3，进而密封与该阀开口2、3连接的真空腔。但这里也可以规定，把配属于它的阀开口2、3密封的另一阀板10、11也具有其收回位置，但承载单元9从其中央位置推移，其中，利用滚轮19对承载单元9的导向为此允许承载单元9从其中央位置充分地推移，例如利用滚轮19的弹性。在这里，承载单元从中央位置的推移是通过当前的差压引起的，如果在内腔8中存在大气压力，且在像以前一样密封的真空腔中存在真空的话。
阀壳体1的内腔8可以通过在图中未示出的管路被泵空以及通风。
用于传动元件20的压缩空气管路可以延伸穿过在承载部分26、27中的通道。
承载单元9具有多个支撑部分29，这些支撑部分在该实施例中借助固定螺钉30被固定在杆形的承载部分26、27上。在每个杆形的承载部分26、27上都安置了多个在相应的承载部分26、27的纵向方向上间隔开的支撑部分29。这些支撑部分29可以如所示那样设置在相应的杆形的承载部分26、27的背离传动元件20的侧面上。
在支撑部分29的指向相反方向的侧面31、32上设置着支撑元件33，这些支撑元件由塑料构成，而支撑部分29优选由金属构成。可考虑且可行的是，支撑部分29由塑料构成，特别是由具有比支撑元件33大的弹性模量的塑料构成。
保持在支撑部分29的侧面31、32上的支撑元件33在所示实施例中环形地构造，但这并非强制性的。
例如，支撑元件33可以构造成O形圈的形式，如特别是由图4、7和10可见，这些O形圈容纳在支撑部分29的侧面31、32上的槽中。例如，支撑元件33也可以硫化(anvulkanisieren)到侧面31、32上。
从相应的支撑部分的外表面贯穿到螺旋孔眼的孔34被有利地设置用于给该螺旋孔眼通风，固定螺钉30延伸穿过该螺旋孔眼。
如果相应的阀板10、11从真空阀的关闭状态(阀板在该关闭状态下处于其进给位置)移动至其收回位置，即从在图1至6中所示的位置移动到在图7至10中所示的位置，则相应阀板10、11的离开阀座朝向的起初与支撑元件33间隔开的背面35顶靠到支撑元件33上。相应的阀板10、11因而在其收回位置支撑在承载单元9上，其中，该阀板以其背离分配给它的阀座6、7的背面35贴靠在承载单元9的支撑元件33上。
在相应阀板10、11的进给状态下，分配给它们的支撑元件33突出于支撑部分29的相关的侧面31、32。如果在收回时顶靠到支撑元件33上的阀板10、11由于支撑元件33的材料弹性而充分地压缩所述支撑元件，则在阀板10、11的收回位置也会出现阀板10、11的背面35贴靠在支撑部分29的侧面31、32上。支撑部分29的侧面31、32和/或阀板的背面35于是可以在贴靠区域中设有由塑料构成的涂层，以便避免金属与金属的接触。但优选地，阀板的背面35在其收回位置仅仅贴靠在支撑元件33上，并与支撑部分29的侧面31、32被一间隙间隔开。
由塑料构成的支撑元件33由此阻抑在相应的阀板10、11移动至其收回位置时相应的阀板10、11在承载单元9上的起动。支撑元件33由此也可以称为阻抑部件。支撑元件33为此具有足够低的优选小于5kN/mm2、特别优选小于1kN/mm2的弹性模量。
在有利的实施方式中，支撑元件33由弹性体或热塑性的弹性体构成。例如也可考虑且可行的是，由热塑性塑料构成。
可以构成支撑元件33的有利的材料是FKM或FFKM。例如也可考虑且可行的是，由特氟龙、PA构成，或者也可由PEEK构成。
由于其通过支撑元件33支撑在承载单元9上，阀板10、11稳定在其收回位置，从而至少在很大程度上避免当承载单元9在其第一位置与其第二位置之间移动时阀板10、11发生运动比如振动。通过支撑元件33由合适的塑料材料构成，对在阀板10、11移动至其收回位置时阀板10、11的起动进行阻抑。
在不偏离比如由本公开所已知的发明范畴情况下，本发明的所示实施例的不同改型是可考虑且可行的。
这样就可以把承载单元9例如安置在多个平行的阀杆13上。
在本发明的其它实施例中，真空阀也可以只有一个单独的阀板。于是，支撑元件可以只设置在支撑部分的面向该单独的阀板的侧面上。
支撑部分29也可以具有其它形式，例如可以存在多个杆形的支撑部分，这些支撑部分平行于阀杆13的纵轴线15朝向，且在垂直于阀杆13的纵轴线且垂直于阀开口2、3的轴线4、5的方向上彼此间隔开。也可以设置杆形的支撑部分，这些支撑部分平行于承载部分26、27，或者承载部分26、27可以形成支撑部分，在这些支撑部分上直接设置着支撑元件。
支撑元件例如也可以构造成钮扣形或杆形，特别是对于杆形的支撑部分就是如此。
承载单元9也可以采用不同于所示的方式予以构造，例如也可以具有板形的部分，在该部分上保持着传动元件，或者在所述部分中集成着传动元件。
也可以规定，给相应的阀板10、11只指配承载单元的一个单独的支撑元件，该支撑元件于是例如可以环形地构造，其中，被该环围起来的面积有益地多于相应阀板10、11的背面面积的50％。
多个支撑元件或者一个单独的环形的支撑元件也可以设置在相应阀板的背面上。例如，可以在相应阀板的背面上设置一个支撑元件，该支撑元件的形状和大小和材料相应于设置在阀板正面上的密封圈。
图中所示的传动元件20的一部分也可以构造成无传动功能的纯导向部件，例如可以省去中间的传动元件，替代地采用这种导向元件。这种导向元件用于在收回位置与进给位置之间引导相应的阀板10、11，且用于把阀板10、11的重量载荷的至少一部分传递到承载单元上。传动元件20由此得到卸载，或者也可以设置一些传动元件，相应的阀板10、11的重量载荷并不作用到这些传动元件上。附加于所示的传动元件20，也可以存在这种导向元件。这种导向元件例如由开篇所述的现有技术、特别是根据US2014/0021395A1已知。
附图标记清单
1阀壳体 19滚轮
2阀开口 20传动元件
3阀开口 21汽缸
4轴线 22第一汽缸腔
5轴线 23第二汽缸腔
6阀座 24活塞
7阀座 25活塞杆
8内腔 26承载部分
9承载单元 27承载部分
10阀板 28螺钉
11阀板 29支撑部分
12密封圈 30固定螺钉
13阀杆 31侧面
14阀杆-传动件 32侧面
15纵轴线 33支撑元件
16活塞-汽缸单元 34孔
17活塞-汽缸单元 35背面
18轭形件

Claims (11)

1.一种真空阀，包括阀壳体(1)、阀板(10、11)、承载着所述阀板(10、11)的承载单元(9)，所述阀壳体带有阀开口(2、3)，所述阀开口具有轴线(4、5)且被阀座(6、7)包围，所述阀板在所述阀开口(2、3)的打开状态下将所述阀开口(2、3)释放，且在所述阀开口(2、3)的关闭状态下贴靠在所述阀座(6、7)上，所述承载单元能在第一位置与第二位置之间移动，在第一位置存在所述阀开口(2、3)的打开状态，其中，所述阀板(10、11)通过所述承载单元(9)的至少两个间隔开的传动元件(20)与所述承载单元(9)连接，且能由所述传动元件(20)在收回位置与进给位置之间移动，其中，在所述承载单元(9)的第二位置和所述阀板(10、11)的进给位置中存在所述阀开口(2、3)的关闭状态，其特征在于，所述阀板(10、11)在收回位置中通过至少一个由塑料构成的支撑元件(33)支撑在所述承载单元(9)上。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述支撑元件(33)设置在所述承载单元(9)上。
3.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，存在由塑料构成的、在所述阀板的纵向延伸方向上彼此间隔开的至少两个支撑元件(33)。
4.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，存在由塑料构成的、在垂直于所述阀板(10、11)的纵向延伸的方向上彼此间隔开的至少两个支撑元件(33)。
5.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，为了在所述阀板(10、11)的收回位置支撑所述阀板(10、11)，设置了两个或多个由塑料构成的、布置在所述承载单元(9)的支撑部分(29)上的支撑元件(33)，所述支撑部分分别固定在所述承载单元(9)的至少一个承载部分(26、27)上。
6.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述承载单元(9)具有第一和第二杆形地构造的承载部分(26、27)，所述传动元件(20)的汽缸(21)与所述承载部分刚性地连接，其中，所述传动元件(20)的汽缸(21)跨接在杆形地构造的承载部分(26、27)之间的中间腔。
7.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述阀壳体(1)具有第一和第二阀开口(2、3)，所述阀开口具有平行的轴线(4、5)且分别被阀座(6、7)包围，由所述承载单元(9)承载着第一和第二阀板(10、11)，所述阀板设置在所述承载单元(9)的相对侧，且分别在分配给相应阀板(10、11)的阀开口(2、3)的打开状态下将分配给相应阀板(10、11)的所述阀开口(2、3)释放，且在分配给相应阀板(10、11)的所述阀开口(2、3)的关闭状态下贴靠在分配给相应阀板(10、11)的所述阀开口(2、3)的所述阀座(6、7)上，其中，无论第一还是第二阀板(10、11)都通过所述承载单元(9)的至少两个间隔开的传动元件(20)与所述承载单元(9)连接，且能由所述传动元件(20)在收回位置与进给位置之间移动，其中，在所述承载单元(9)的第二位置和相应阀板的进给位置中存在分配给相应阀板(10、11)的所述阀开口(2、3)的关闭状态，其中，无论第一阀板(10)还是第二阀板(11)都在其收回位置通过至少一个由塑料构成的支撑元件(33)支撑在所述承载单元(9)上。
8.如权利要求7所述的真空阀，其特征在于，在所述承载单元(9)的支撑部分(29)的指向相反方向的侧面(31、32)上分别设置至少一个由塑料构成的支撑元件(33)。
9.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述传动元件(20)分别包括汽缸(21)和至少一个活塞(24)，所述汽缸具有至少一个汽缸腔(22、23)，所述活塞设置在所述汽缸腔(22、23)中且带有活塞杆(25)，其中，所述活塞(24)的活塞杆(25)与至少一个阀板(10、11)连接。
10.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述承载单元(9)安置在至少一个阀杆(13)上，为了使得所述承载单元(9)在第一位置和第二位置之间移动，该阀杆能沿着所述阀杆(13)的纵轴线(15)的方向移动。
11.如权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述支撑元件(33)具有比所述承载单元(9)的支撑部分(29)小的弹性模量，所述支撑元件安置在所述支撑部分上。
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