DE3720001A1 - Vakuumventil - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil mit einem Gehäuse, in dem eine Ventilplatte über einen Antrieb von einer Schließstellung in eine Offenstellung des Ventils bzw. umgekehrt bewegt werden kann.

Bei Vakuumventilen, wie sie in der Vakuumtechnik verwendet werden, müssen Druckunterschiede in Größenordnungen von 1 bar beherrscht werden. Ein gegenständliches Vakuumventil dient dazu, z.B. eine Rohrleitung vakuumdicht gegenüber einem Vakuum abzudichten. Wenn man z.B. einen Rezipienten hat und dazwischen eine Pumpe, benötigt man ein derartiges Vakuumventil, um zwischen diesen beiden Teilen abzudichten, um das Vakuum nach erfolgter Evakuierung des Rezipienten aufrechtzuerhalten. Wenn also die Pumpe z.B. für Revisionszwecke abgeschaltet werden soll, benötigt man ein derartiges Vakuumventil, um das Vakuum im Rezipienten aufrechtzu­ erhalten. Ferner werden derartige Vakuumventile benötigt, um zwischen zwei evakuierten Rezipienten abzudichten.

Ein derartiges Vakuumschieberventil besteht bekannterweise aus einem Gehäuse, aus einer im Gehäuse verschiebbar angebrachten Ventilplatte und aus einem Antriebsmechanismus für diese Ventilplatte.

Bisher war es in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung bekannt, die Ventilplatte vor eine Flanschöffnung mit ihrem Dichtsitz zu fahren und durch eine Hubbewegung zur Anlage an die Innenseite der Flanschöffnung im Bereich des Gehäuses zu bringen, um dort den erforderlichen Dichtsitz zu erreichen.

Zum Öffnen der Ventilplatte war es ferner bekannt, die Ventilplatte von ihrem Dichtsitz abzuheben und vollumfänglich aus dem Bereich der Flanschöffnung herauszufahren.

Hierzu hat man bisher Antriebsmechanismen gekannt, die Roll- oder Spreizkörper verwenden. Bisher war ebenfalls bekannt, die Ventilplatte (nachfolgend Teller genannt) mit Hilfe von Roll- oder Spreizkörpern bewegbar im Gehäuse zu lagern, um eine Verschiebung und eine Hubbewegung dieses Tellers zu erreichen.

Bei den Anordnungen des Standes der Technik werden hierzu zwei Teller oder in manchen Ausführungen sogar drei Teller verwendet.

Ein erster Teller trägt hierbei die Dichtung und führt die Abdichtung am Gehäuserand flanschinnenseitig herbei, ein zweiter Teller, der die Roll- oder Spreizkörper trägt, wobei sich an diesen Zweit-Teller an den Roll- oder Spreizkörpern des zweiten Tellers der erste Teller abstützt, und ein dritter Teller, um die auf den die Abdichtung herbeiführenden Teller wirkenden Dichtkräfte auf das Gehäuse abzuleiten.

Es besteht aber dabei der Nachteil, daß man die Rückhubbewegung des Tellers, d.h. also die Absetzbewegung des Tellers von dem Dichtsitz, mit sogenannten Rückzugsfedern erreicht.

Damit besteht der Nachteil, daß derartige Rückzugfedern außerordentlich groß dimensioniert werden müssen, um die Federkräfte zu erzielen, die erforderlich sind, um den Teller (Dichtplatte) unter der Wirkung des anliegenden Vakuums gegen die Atmosphäre abzuheben. Hierbei ist es nebensächlich, ob ein Hochvakuum oder ein Grobvakuum anliegt, denn die Abhebekräfte unterscheiden sich hierbei nur unwesentlich voneinander.

Wenn man die Rückzugsfedern bei einem bar Druckdifferenz so groß dimensionieren muß, um die erforderlichen Abhebekräfte zu erreichen, dann besteht der Nachteil, daß die Roll- oder Spreizkörper zur Verriegelung der Teller überlastet werden und hierdurch die Lebensdauer der bekannten Vakuumschieberventile stark begrenzt wird.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Vakuumschieberventil der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß das Ventil bei wesentlich geringeren Herstellungskosten auch bei Differenzdrücken sicher geöffnet werden kann.

Zur Lösung der gestellten Aufgabe ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß die Abhebebewegung des Tellers (Dichtplatte) nun erfindungsgemäß nicht mehr unter Federkraft erfolgt, sondern mechanisch zwangsgeführt, dadurch, indem man den Teller vorzugsweise durch Wälzkörper oder durch Kniehebel vom Gehäuse zwangsgeführt abdrückt.

Wesentliches Merkmal der vorliegenden Erfindung ist also, daß die bekannten Federn nun erfindungsgemäß vermieden werden und daß statt dessen ein Abdrückmechanismus vorgeschlagen wird, der dazu führt, daß derartige Federn eingespart werden, denn es wird eine Relativverschiebung zwischen einer mittleren Führungsplatte und dem Teller dazu ausgenützt, daß gleichzeitig aufgrund dieser Relativverschiebung dieser beiden Teile ein Abdrücken des Tellers von dem Gehäuse und damit von dem Dichtsitz an der Flanschinnenseite erreicht wird.

Mit der geschilderten Zwangsführung ist, um eine Abhebebewegung des Tellers von dem Dichtsitz an der Flanschinnenseite des Gehäuses zu erreichen, der wesentliche Vorteil verbunden, daß nun auch hohe Differenzdrücke sicher beherrscht werden können, ohne daß man hierfür einen der mechanischen Ermüdung ausgesetzten Kraftspeicher benötigt, wie es bei den hinlänglich bekannten Federn der Fall war.

Eine derartige Zwangsführung zur Erreichtung einer Abhebebewegung des Tellers von dem gehäuseseitigen Dichtsitz kann über mehrere Ausführungsformen erreicht werden.

Eine erste Ausführungsform sieht vor, daß im Gehäuse eine Platte längsverschiebbar geführt ist, wobei diese Platte über Rollen längsverschiebbar im Gehäuse angeordnet ist. Die Rollen stützen sich hierbei an seitlichen Führungsschienen des Gehäuses ab.

Der Verschiebeantrieb der Platte erfolgt hierbei über einen Antriebsmechanismus, für den es mehrere Möglichkeiten gibt.

Die Erfindung wird in folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert, aus denen sich weitere wichtige Merkmale ergeben.

Es zeigt:

Fig. 1 einen Schnitt längs der Linie A-A von Fig. 2 durch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumventils, wobei der Antrieb für die Abhebebewegung über Wälzkörper mit Hilfe einer Platte erfolgt;

Fig. 2 eine Draufsicht auf Fig. 1, teilweise geschnitten;

Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie B-B von Fig. 2 in geöffnetem Zustand des Ventils;

Fig. 4 einen Schnitt entsprechend Fig. 3 in verriegeltem Zustand des Ventils;

Fig. 5 eine Darstellung der bei dieser Ausführungsform zum Einsatz kommenden Kugeln in Verbindung mit ihrem Kugelkäfig und einer Feder in Ansicht;

Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie VI-VI von Fig. 2;

Fig. 7 einen Schnitt längs der Linie VII-VII von Fig. 2;

Fig. 8 einen Längsschnitt ähnlich Fig. 1 zur Erläuterung einer zweiten Ausführungsform, die mit Kniehebeln arbeitet;

Fig. 9 einen Längsschnitt durch die wesentlichen Bauelemente des Vakuumventils bei einer dritten Ausführungsform, bei der die Zwangsführung mit Wälzkörpern erzielt wird, und zwar in gekoppelter Stellung zwischen Teller und Platte;

Fig. 10 einen Schnitt entsprechend Fig. 9 in entkoppelter Stellung zwischen Teller und Platte.

Zunächst sei die erste Ausführungsform anhand der Fig. 1 bis 7 erläutert. Das gezeigte Ventil besteht aus einem Gehäuse , welches im vorliegenden Fall aus den Teilen Deckblech 1 a, seitliche Führungsschienen 1 b, Abschlußleiste 1 c, Antriebsflansch 1 e und aus den zwei Anschlußflanschen 1 f besteht. Das Gehäuse, wie es hier gezeichnet wurde, ist eine Löt-Konstruktion. Es lassen sich aber auch andere Varianten denken, sofern sie die Forderungen nach Genauigkeit und seitlicher Führung der Mechanik erfüllen.

In diesem Gehäuse 1 ist verschiebbar gelagert eine mittlere Führungsplatte 2, welche mittels Rollenpaare 3 in einer Führungsnut gelagert ist. Diese Führungsplatte 2 kann über die ganze Länge des Gehäuses verschoben werden und gibt dabei entweder den Leitungsquerschnitt 4 völlig frei oder nicht.

An einem Ende des Gehäuses befindet sich eine Öffnung, über welche die gesamte Mechanik montiert werden kann. Diese Öffnung wird mit dem Deckel 5 und der Dichtung 6 (im vorliegenden Fall eine Flachdichtung) vakuumdicht verschlossen.

Diese mittlere Führungsplatte 2 weist mehrere Halterungen 7 für Kugelpaare 8 auf. Im vorliegenden Fall sind es sechs solcher Kugelpaare, bei größeren Ventilen muß die Anzahl entsprechend erhöht werden. Im Teller 9 ist auf der einen Seite eine Nut eingearbeitet, welche einen O-Ring 10 aufnimmt. Auf der gegenüberliegenden Seite des O-Ringes, also der mittleren Führungsplatte 2 zugewandt, sind Ausnehmungen 11 eingearbeitet, in welche die Kugelpaare 8 eingreifen und - je nach Stellung von Teller 9 und Führungsplatte 2 zueinander - Dichtkräfte in axialer Richtung aufbringen.

Um eine Drehachse 12 drehbar gelagert ist ein Hebel 13 mit einer Rolle 14, welche in einer Kulisse in beide Platten 2 und 9 eingreift. Diese Kulisse ist auf einem weiten Teil des Drehweges (während dem Drehwinkel alpha) deckungsgleich, auf dem Drehwinkel beta, welcher auch Verriegelungsweg genannt werden kann, sind diese Kulissen nicht deckungsgleich. Die Kulisse 15 im Teller 9 ist derart geformt, daß der Teller während dem Verriegelungsweg beta stehen bleibt und keine Verschiebe-Bewegung in Richtung des Ventilgehäuses macht. Die Kulisse 16 in der mittleren Führungsplatte 2 ist so ausgeformt, daß während dem Verriegelungsweg beta eine Verschiebebewegung in Richtung des Ventilgehäuses ausgeführt wird. Auch beim Entriegeln wirken diese zwei Kulissen 15 und 16 zusammen mit der Rolle 14 in gleicher Weise und sorgen an dieser Stelle für eine Zwangsrückführung.

Nach Fig. 4 stützen sich die Kugelpaare 8 auf dem Gehäuse ab und leiten so die Kräfte vom Gehäuse über die Kugelpaare 8 und den Teller 9 auf den O-Ring 10 weiter.

In der mittleren Führungsplatte sind im vorliegenden Fall vier Stück Halterungen 17 für Kugelpaare 18 untergebracht, die gegensinnig zu den Kugelpaaren 8 angeordnet sind und sich wohl am Gehäuse - wie die Kugelpaare 8 - aber auf der Ventilsitzseite abstützen können. Während dem Schließvorgang haben diese Kugelpaare 18 keine Funktion.

Der Öffnungsvorgang spielt sich wie folgt ab: Im geschlossenen Zustand ist der Abstand zwischen Gehäuse-Deckblech 1 a und einem Pratzen 19 an der Berührungsstelle 20 der Kugel 18 genau gleich wie die zwei Kugeln 18 Platz brauchen. Macht die mittlere Führungsplatte 2 ihre Relativbewegung (Entriegelungsweg, Winkel beta) gegenüber dem Teller 9, so rollen sich die zwei Kugeln 18 dementsprechend ab. Die Fläche 20 ist dieser Bewegung angepaßt, so daß der Teller 9 vom Dichtsitz (O-Ring 10) am Gehäuse 1 a abgedrückt wird. Es ist also auch an dieser Stelle eine zwangsweise Entriegelung vorhanden.

Im gesamten Bewegungsablauf befinden sich also keinerlei vorgespannte Federelemente, sondern jede Bewegung - ob Verriegeln oder Entriegeln - wird erzwungen, weil zwangsgeführt.

In der Halterung 17 der Kugelpaare 18 befindet sich eine schwache Schraubendruckfeder 21. Diese Feder hat die Aufgabe, während dem Hub beta, das ist die Freigabe des Leitungsquerschnittes 4, den Teller 9 und die mittlere Führungsplatte 2 gegeneinander zu drücken, so daß die Kugelpaare 18 nicht dauernd dem Gehäuse entlang rutschen und Teller 9 und Platte 2 nicht klappern können.

Die Halterung 17 ist eine metallische Zylinderbüchse, die über einen Absatz 22 mit der Platte 2 verbunden ist. An ihrem gegenüberliegenden Ende bildet sie einen weiteren Absatz 23, der als Widerlager für die Feder 21 dient, die sich mit ihrem anderen Ende an einem Absatz 24 eines Kugelkäfigs 25 abstützt. Im Kugelkäfig 25 sind die Kugeln 18 drehbar, jedoch unverschiebbar gehalten. Die Feder 21 drückt die Halterung 17 in axialer Richtung von dem Kugelkäfig 25 ab, dadurch werden die Platten 2 und 9 gegeneinander gedrückt, weil die Pratze 19 von der Platte 2 federbelastet entfernt wird und die Pratze 19 über eine rechtwinklige Abkröpfung 6 in die Platte 9 übergeht, die damit die Platte 2 übergreift.

Die Kugelpaare 8 können aufgrund einer vergrößerten Ausnehmung 27 in der Platte 9, welche den Kugeln 8 ein axiales Spiel verleiht - wie im Schnitt B-B sichtbar - an dem Gehäuse entlangschleifen, jedoch nur mit ihrem Eigengewicht. Dieser Effekt ist nicht störend. Falls dieser Umstand doch beseitigt werden möchte, kann auch in diese Kugelpaare 8 derselbe Federmechanismus wie in der Halterung 17 eingebaut werden.

In dieser ersten Ausführungsform ist also der Antriebsflansch 1 e an der Unterseite des Gehäuses 1 a angebracht und dieser Antriebsflansch nimmt über Kugellager 29 eine Welle 30 auf, die drehfest mit einem Ritzel 31 verbunden ist. Das Ritzel 31 kämmt mit einer Spindel 32, die aus dem Antriebsflansch 1 e herausgeführt ist und mit einem nicht näher dargestellten Drehantrieb verbunden ist. Über den Antrieb der Spindel 32 wird damit die Welle 30 verdreht und damit der Hebel 13 um den Winkel Alpha plus Beta verschwenkt.

Am freien, schwenkbaren Ende des Hebels 13 ist eine Rolle 14 angeordnet, welche in eine Kulisse 16 der Führungsplatte 2 eingreift, wobei die Kulisse 16 als gerade ausgebildetes Langloch vorgesehen ist, welches sich in seiner Längserstreckung senkrecht zum Verschiebeweg in Pfeilrichtung 28 der Führungsplatte 2 erstreckt.

Die Rolle 14 greift gleichzeitig fluchtend in eine weitere Kulisse 15 ein, welche als zum Teil bogenförmig und zum Teil gerades Langloch in dem Teller 9 angebracht ist.

Gemäß der Darstellung in Fig. 2 ist der obere Teil der Kulisse 15 als bogenförmiges Langloch ausgebildet, wobei sich der bogenförmige Teil bis unterhalb der Mittenlängslinie des Gehäuses 1 a erstreckt und dann deckungsgleich mit dem unteren, geraden Teil der unteren Kulisse 16 für die untere Platte 2 verläuft.

Der Hub Alpha des Hebels 13 ist nun der Bereich, bei dem sich beide Platten decken, d.h. bei dem beide Platten 2, 9 relativ nicht zueinander verschoben werden, während der Hub Beta der Bereich ist, in dem der Teller 9 relativ zur Platte 2 verschoben wird, d.h. wo ein Verriegelungshub zwischen beiden Platten 2, 9 stattfindet.

Beim Hub Alpha, wenn also der Hebel 13 auf dem Radius 33 in Pfeilrichtung 34 verschwenkt wird, werden also beide Platten 2, 9 synchron mitgenommen, wobei der Teller 9 in seiner Öffnungsposition gemäß Fig. 1, d.h. der O-Ring 10 ist von seinem Dichtsitz 35 an der Flanschinnenseite des Gehäuses 1 a abgehoben.

Die beiden Platten 2, 9 werden dann vollkommen aus dem Leitungsquerschnitt 4 des Flansches 1 f entfernt, so daß der Anschlußflansch 1 f vollkommen durchgängig ist und durch keinerlei Einbauten behindert ist.

Verschwenkt nun der Hebel 13 in Gegenrichtung zur Pfeilrichtung 34, nämlich in Pfeilrichtung 36, dann gelangt die Rolle 14 ab der in Fig. 2 dargestellten Lage in den bogenförmigen, oberen Bereich der Kulisse 15 der Platte 9 und dadurch verbleibt die Platte 9 genau an ihrer Stelle, wie in Fig. 1 gezeichnet, d.h. zwar in geöffneter Position, aber in genau fluchtender Gegenüberlage des O-Ringes 10 zu dem flanschseitigen Dichtsitz 35 am Anschlußflansch 1 f.

Grund dafür ist, daß der Radius 37 des bogenförmigen Teils der Kulisse 15 deckungsgleich ist mit dem Radius 33, so daß es hier zu keiner Relativverschiebung mehr der Platte 9 kommt, wenn der Hebel 13 in Pfeilrichtung 36 um den Winkel Beta verschwenkt wird.

Während dieser Schwenkbewegung kommt es nun zu dem Verriegelungshub, d.h. die Platte 9 wird in Pfeilrichtung 38 angehoben, so daß am Ende des Verriegelungshubes der O-Ring 10 mit großer Kraft auf dem flanschseitigen Dichtsitz 35 angepreßt ist.

Dieser Verriegelungshub in Pfeilrichtung 38 wird wie folgt erreicht.

Wenn die Rolle 14 also in Pfeilrichtung 36 in den bogenförmigen Teil mit dem Radius 37 der Kulisse 15 gelangt, läuft sie gleichzeitig auch in dem geraden Abschnitt 39 der gerade ausgebildeten Kulisse 16 der unteren Platte 2. Hierdurch zwingt sie die Platte 2 zu einer Relativbewegung in Pfeilrichtung 28, wobei sich die Platte 2 also relativ zu dem Gehäuse 1 a verschiebt und auch relativ zu dem Teller 9.

Diese Relativbewegung erfolgt in den Fig. 3 und 4 senkrecht zur Zeichenebene, und in Fig. 1 ist diese Verschiebung in Pfeilrichtung 28 erkennbar.

Hierbei rollen die Kugeln 8 auf gehäuseseitigen Flächen 39 ab.

Die erforderliche Hubbewegung zwischen dem Teller 9 und der Platte 2 erfolgt nun folgendermaßen:

Gemäß den Fig. 3, 4 und 6 ist gezeigt, daß die obere Kugel 8 bei einer Relativverschiebung zwischen dem Teller 9 und der Platte 2 in den Bereich von Ausnehmungen 11 gelangt, wobei jedem Kugelpaar 8 eine Ausnehmung 11 in dem Teller 9 zugeordnet ist, diese Ausnehmungen 11 sind beispielhaft gestrichelt in Fig. 2 eingetragen. Fig. 6 zeigt nun, daß die Verriegelung dadurch erreicht wird, daß die Platte 2 in Pfeilrichtung 28 verschoben wird; hierdurch gelangt die obere Kugel 8 der Platte 2 in den Bereich einer Schräge 42 der Ausnehmung 11, wodurch die Platte 9 angehoben wird und der O-Ring 10 damit an dem flanschseitigen Dichtsitz 35 angepreßt wird. Diese Verriegelungsstellung der Kugel 8 ist mit Pos. 40 in Fig. 6 und Fig. 4 eingetragen.

Zur Entriegelung wird die Platte 2 in Pfeilrichtung 28 a in Fig. 6 nach rechts bewegt, wodurch die Kugel 8 auf einer Schräge 42 aufwärts bis zur Position 27 gelangt und hierdurch die Platte 9 in Gegenrichtung zur eingezeichneten Pfeilrichtung 38 nach unten bewegt wird, d.h. die Platte freigibt.

Der Federmechanismus ist in Form der Kugeln 18 in Verbindung mit dem Kugelkäfig und der Feder vorgesehen.

Wichtig hierbei ist, daß die Abhebebewegung des Tellers 9 mit seinem O-Ring 10 von dem flanschseitigen Ventilsitz 35 unter keinerlei Federkraft erfolgt, sondern daß hier eine Zwangsführung vorgesehen ist.

Wie in Fig. 3 nämlich erkennbar, greift der Teller 9 mit Hilfe einer Abkröpfung 26 durch die Platte 2 hindurch und greift unter die Platte 2 mit einer Pratze 19. Auf der Pratze 19 ist nun wiederum ein Kugelpaar 18 angeordnet, wobei dieses Kugelpaar 18 nur um wenige Zehntel mm unter Federkraft axial verschiebbar in der als Zylinderbüchse ausgebildeten Halterung 17 angeordnet ist.

Die Halterung 17 selbst ist fest mit der Platte 2 verbunden.

Wichtig ist nun, daß gemäß Fig. 3 und Fig. 7 zunächst die Abkröpfung 26 die Platte 2 durchgreift und unten rechtwinklig in der Pratze 19 endet, die selbst keilförmig ausgebildet ist, wie dies Fig. 7 darstellt.

Wird nun die Platte 2 gemäß Fig. 7 in Pfeilrichtung 28 a verschoben, dann rollen die im wesentlichen fest mit der Platte 2 verbundenen Kugeln 18 auf der keilförmig ausgebildeten Pratze 19 nach oben und dadurch wird der Teller 9 in Gegenrichtung zur eingezeichneten Pfeilrichtung 38 nach Fig. 1 nach unten bewegt und hierdurch die erforderliche Abhebebewegung ohne jegliche Federkraft und ohne jeglichen anderen Kraftspeicher erreicht. Es handelt sich hier also um eine Zwangsführung aufgrund von der Relativbewegung konischer Flächen, unterstützt durch entsprechende Wälzkörper, so daß also keinerlei Federspeicher oder andere mechanische Verbindungsglieder, die ermüden können, zur Erreichung der Abhebebewegung der Platte 9 in Gegenrichtung zur eingezeichneten Pfeilrichtung 38 benötigt werden.

Die Fig. 7 zeigt hierbei eine Stirnansicht auf eine Lagerung zwischen dem Teller 9 und der Platte 2 in Richtung des Pfeiles VII in Fig. 2.

Die Fig. 8 zeigt, wie man auch mit anderen Mitteln, nämlich mit Kniehebeln, eine derartige zwangsgeführte Abhebebewegung des Tellers 9 von einer Platte 2 erreichen kann.

Der Kulissenantrieb mit Hilfe der Rolle 14 und den Kulissen 15, 16 ist genau gleich wie in den Fig. 1 bis 7 gewählt. Er kann selbstverständlich auch durch andere Antriebe ersetzt werden, wie dies z.B. in den Fig. 9 und 10 dargestellt ist.

Hier ist wiederum erkennbar, daß die Platte 2 in den Pfeilrichtungen 28, 28 a relativ verschiebbar zu dem Teller 9 ist, wobei Hebel (Kniehebel) 43 zwischen dem Teller 9 und der Platte 3 verschwenkbar angeordnet sind. Wird die Platte 2 beispielsweise in Pfeilrichtung 28 relativ zum Gehäuse 1 a und zum Teller 9 verschoben, dann verschwenkt der Kniehebel 43 in Pfeilrichtung 44, d.h. im Uhrzeigersinn um seinen Drehpunkt an der Platte 2, wodurch sich der Teller 9 in Pfeilrichtung 38 anhebt und damit seinen O-Ring 10 zur Anlage an dem flanschseitigen Dichtsitz 35 bringt.

Soll nun der Teller 9 in Gegenrichtung zur eingezeichneten Pfeilrichtung 38 von dem Gehäuse 1 a abgehoben werden, dann wird die Platte 2 in Pfeilrichtung 28 a nach rechts bewegt, der Kniehebel verschwenkt hierbei in Pfeilrichtung 45 und es sind ein oder mehrere weitere Kniehebel 46 vorhanden, die einen Drehpunkt 47 an dem Teller 9 aufweisen und ferner mit einer langlochförmigen Ausnehmung 48 an einem mit der Platte 2 fest verbundenen Bolzen 49 eingreifen.

Am freien, schwenkbaren Ende des Kniehebels 46 ist eine Rolle 50 angeordnet.

Wird nun die Platte 2 in Pfeilrichtung 28 a nach rechts verschwenkt, dann bewegt sich der Bolzen 49 in dem Langloch 48 und verschwenkt den Kniehebel 46 im Gegenuhrzeigersinn um seinen Drehpunkt 47, wodurch die Rolle 50 sich gegen die obere Seite des Gehäuses 1 a anliegt und den Teller 9 in Gegenrichtung zur Pfeilrichtung 38 nach unten drückt.

Damit ist also wiederum eine Zwangsführung gezeigt, wie sie im Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 7 durch die keilförmige Schräge der Pratze 19 erreicht wurde.

Die Fig. 9 und 10 zeigen nur eine weitere Möglichkeit der Zwangsführung zwischen dem Teller 9 und der Platte 2, welche also die Kulissenführung mit den Kulissen 15, 16 nach dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1-7 ersetzt.

Hierbei ist erkennbar, daß in der gekoppelten Stellung zwischen dem Teller 9 und der Platte 2, wie sie im Bereich des Drehwinkels Alpha in Fig. 2 bei dem dortigen Ausführungsbeispiel gegeben ist, im Ausführungsbeispiel nach Fig. 9 dadurch erreicht wird, daß ein Wälzkörperpaar 51 in zwei fluchtend übereinander angeordneten Ausnehmungen 52, 53 von Teller 9 und Platte 2 angeordnet sind. Die Wälzkörper 51 rollen hierbei in ihrer gekoppelten Stellung zwischen Teller 9 und Platte 2 auf einer Ebene 60 des Gehäuses 1 a ab.

Zur Entriegelung der beiden Teile 2, 9, wie sie im Bereich des Winkels Beta in Fig. 2 notwendig ist, d.h. also um eine Relativverschiebung zwischen beiden Teilen 2, 9 zu erreichen, ist vorgesehen, daß der untere Wälzkörper 51 auf eine Nocke 54 am Gehäuse aufläuft und hierdurch beide Wälzkörper in ihren Ausnehmungen 52, 53 so weit angehoben werden, daß eine Trennungsebene 55 zwischen den beiden Wälzkörpern genau fluchtend kommt zu einer Berührungsebene 56 zwischen dem Teller 9 und der Platte 2.

Wegen dieser fluchtenden Übereinanderlage der Trennungsebene 55 der Wälzkörper 51 mit der Berührungsebene 56 zwischen Platte 2 und Teller 9 können nun die beiden Teile relativ gegeneinander verschoben werden, wobei der obere Wälzkörper 51 in den Bereich einer Ausnehmung 57 des Gehäuses 1 a gelangt, um damit eine Verschiebungsbegrenzung des Tellers 9 in bezug zur Platte 2 und Gehäuse 1 zu erreichen. Gleichzeitig ist es erforderlich, daß zwischen dem Teller 9 und der Platte 2 ein Anschlag 58 vorgesehen ist, um zu verhindern, daß unbeabsichtigt im entkoppelten Zustand die Platte 2 sich allein ohne den Teller 9 nach rechts in Fig. 9 oder 10 in die offene Stellung bewegt.

Es handelt sich bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 9 und 10 also um eine Alternative zu der Kulissenführung nach Fig. 1 und 2.

Die Verschiebung der Platte 2 in Pfeilrichtung 28 erfolgt hier nicht über einen Hebel mit Kulisse, sondern z.B. über eine Hubstange, Spindel und dergleichen.

Die Wälzkörper 51 können wie hier gezeigt als Kugeln oder auch als Walzen, Rollen oder Stifte ausgebildet werden. Das Prinzip aber von den Trennungsebenen 56 bleibt davon unberührt.

• Zeichnungs-Legende  1 Gehäuse
   1 a Deckblech
   1 b Führungsschiene
   1 c Abschlußleiste
   1 e Antriebsflansch
   1 f Anschlußflansch
   2 Platte
   3 Rollen
   4 Leitungsquerschnitt
   5 Deckel
   6 Dichtung
   7 Halterung
   8 Kugelpaar
   9 Teller, Platte
  10 O-Ring
  11 Ausnehmung
  12 Drehachse
  13 Hebel
  14 Rolle
  15 Kulisse
  16 Kulisse
  17 Halterung
  18 Kugelpaar
  19 Pratze
  20 Schrägfläche
  21 Schraubendruckfeder
  22 Absatz
  23 Absatz
  24 Absatz
  25 Kugelkäfig
  26 Abkröpfung
  27 Pfeil
  28 Kugellager
  30 Welle
  31 Ritzel
  32 Spindel
  33 Radius
  34 Pfeil
  35 Dichtsitz
  36 Pfeil
  37 Radius
  38 Pfeil
  39 gerader Abschnitt, Fläche
  40 Verriegelungsstellung
  42 Schrägfläche
  43 (Knie)Hebel
  44 Pfeil
  45 Pfeil
  46 Kniehebel
  47 Drehpunkt
  48 Ausnehmung, Langloch
  49 Bolzen
  50 Rolle
  51 Wälzkörper(paar)
  52 Ausnehmung
  53 Ausnehmung
  54 Nocke
  55 Trennungsebene
  56 Berührungsebene
  57 Ausnehmung
  58 Anschlag
  60 Ebene

Claims (2)

1. Vakuumventil mit einem Gehäuse , in dem eine Ventilplatte über einen Antrieb von einer Schließstellung in eine Offenstellung des Ventils bzw. umgekehrt bewegt werden kann, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb für die Abhebebewegung der tellerförmigen Ventilplatte (9) von ihrem Dichtsitz (35) mechanisch zwangsgeführt und ohne Unterstützung durch eine Federkraft erfolgt.

2. Vakuumventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb über Wälzkörper , Hebel und/oder Kniehebel die Ventilplatte (9) von ihrem Dichtsitz (35) zwangsgeführt abdrückt.