KR100900206B1 - 양방향 게이트 밸브 - Google Patents

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KR100900206B1
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김경수
이향주
박정훈
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주식회사 에이티에스엔지니어링
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Abstract

본 발명은 양방향 게이트 밸브에 관한 것으로, 그 구성은 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하되 상기 가압수단이 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 가압수단과 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다.
튜브, 실링판, 양방향, 압지판, 공기 주입관, 게이트 밸브

Description

양방향 게이트 밸브{Bidirectional gate valve of vacuum processing apparatus}
본 발명은 양방향 게이트 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 양방향 게이트 밸브에 관한 것이다.
통상적으로 반도체 웨이퍼 또는 액정기판을 처리하기 위한 장치에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정기판은 진공챔버에 구비되는 기판 이송통로를 통하여 여러 처리실로부터 삽입 또는 반출되는데, 이러한 기판 이송통로에는 이 통로를 개폐하는 게이트 밸브가 구비된다.
이러한 게이트 밸브의 대표적인 종래기술로써 도 1에 도시된 바와 같이, 진공챔버(1) 일측에 마련된 개폐구(2)상에 상기 개폐구와 대응되는 크기를 갖는 실링판(33)을 마련하고, 상기 실링판(33)을 수평 및 수직 이동시킬 수 있게 하는 수직실린더(31)와 수평실린더(35)를 다수개 구비하여 상기 수직실린더(31)는 수직로드(33)와 브라겟(34)에 의해 수평실린더(35)를 연결하고 있으며, 상기 수평실린더(35)는 실링판(33)와 연결되어 실링판(35)을 수평 수직 이동시켜 진공챔버를 개 폐하게 되는 것이다.
그러나 이러한 종래기술의 경우 진공챔버 내부에서 발생하는 진공압에 의해 수평실린더(35)가 강한 압력을 받게 된다. 이때 받게 되는 압력이 각각의 수평실린더에 대해 균일하게 대응되어야 하는데 각각의 수평실린더에 따라 압력차가 발생하여 일부분에서 압력 불균형에 의해 진공이 깨지는 문제점이 있었다.
또한 상기 게이트 밸브의 경우 실링판을 수평 및 수직 이동시킴으로 인해 구조가 복잡해지고 실린더를 이중으로 제어해야 하는 문제점이 있었다.
그리고, 도 2에 도시된 게이트 밸브(40)의 경우 실링판(45)을 로드(42)를 이용해 직접 연결하고, 상기 로드(42)와 연결되는 캠축(43)을 마련하여 상기 캠축(43)이 실린더 하우징(46)에 마련된 캠(44)을 따라 이동할 수 있게 하고 있다. 이는 상기 로드(42)의 수직 이동을 캠축(43)이 캠(44)의 경사면을 따라 이동하며 실링판(45)을 경사 이동할 수 있게 함으로써 개폐구를 차폐할 수 있게 하고 것이다.
그러나 이 경우 실린더에 의해 실링판을 지지하고 있어 상기 실린더가 진공압과 대응되는 힘을 갖고 있어야하므로 상대적으로 실린더의 부피가 커지는 문제점이 있었으며, 또한 상기 로드의 수직 이동을 캠에 의해 경사 이동으로 전환함으로 인해 실린더의 가압력 분산으로 인해 실린더가 더욱 커져야 하는 문제점이 있었다.
그리고 계속적인 반복 운동으로 발생하는 오차로 인해 기밀성이 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 양방향 게이트 밸브를 제공함에 있다.
본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.
본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하되 상기 가압수단이 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 가압수단과 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되 게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.
또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.
그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 사각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하고, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하되 어느 하나 측면에는 패킹이 내설되는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되 되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단와 이웃하게 위치하되 상기 가압수단가 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 한쌍의 가압수단 중 어느 하나와 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.
또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.
그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도 록 하며, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이를 연결하는 하우징; 상기 하우징에 내설되어 각각의 챔버와 연결되는 개폐구를 수단 운동에 단속하게 하는 밸브 몸체; 상기 하우징 외부로부터 상기 밸브 몸체 측으로 연결되어 외부 공기를 공급하게 하는 밸로우즈; 및 일측은 상기 하우징 외부 마련되고, 타측은 상기 하우징 내부에 마련되어 상기 밸브 몸체를 승강시키게 하는 승강수단;을 포함하여 이루어진다.
또한 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 튜브와, 상기 튜브 일측에 마련되는 압지판과, 상기 압지판에 고정축에 의해 고정되어 돌출된 실링판과, 상기 브라켓 몸체에 결합되고 덮개와, 상기 압지판과 덮개 사이에 마련되어 상호 지지하게 하는 스프링으로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 상기 밸로우즈로부터 상기 튜브측으로 공기를 공급하게 유출공이 형성되어 상기 유출공에서 공급되는 공기에 의해 튜브를 가압하여 실링판을 수평이동하게 한다.
그리고 상기 덮개에는 상기 압지판을 안내하게 하는 가이드 축;이 더 마련되게 하며, 상기 덮개에는 덮개에 형성된 홈이 외부로 연결되어 홈 내부 압력을 항시 일정하게 유지할 수 있게 하는 배출공;을 더 마련하고, 상기 튜브는 상기 홈 내부에 적어도 하나 이상이 내설되게 하며, 상기 튜브는 외부의 형상이 각형 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 한다.
또한 상기 밸브 몸체는 공급되는 공기에 의해 실링판과 브라켓 몸체가 순차적으로 동작하게 하며, 상기 밸브 몸체는 상기 실링판이 우선하여 동작하게 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 승강수단은 실린더와, 상기 실린더에서 연장된 실린더 로드와 결합하는 브라켓과, 상기 브라켓에 내설되어 상기 밸브 몸체와 연결되는 수평이송부재로 이루어지며, 상기 수평이송부재는 상기 브라켓에 내설되는 가압판과, 일측은 가압판에 지지되고, 타측은 브라켓에 지지되는 탄성체와, 일측은 가압판에 결합되고, 타측은 브라켓 몸체와 연결되는 연장축으로 이루어진다.
또한 상기 탄성체는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하며, 상기 브라켓에는 일측을 연장 돌출된 돌출편;이 더 마련되고, 상기 브라켓 몸체 일측에 상기 돌출편과 근접하게 마련되는 스토퍼;를 더 마련하여 상기 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하도록 한다.
본 발명에 따르면, 기밀성을 균일하게 유지시킴과 동시에 실린더 의존성을 최소화하며 압력을 균일하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다.
또한 양측에 작용하는 외부 압력에 대해 각각 다른 압력을 갖고 대응할 수 있는 효과를 가진다.
그리고 실링판을 탈부착 가능하게 함으로써 유지보수를 수월하게 할 수 있게 하는 효과를 가진다.
또한 밸브 몸체 압력을 항사 균일하게 할 수 있게 하여 챔버에서 발생되는 진공에 의해 실링판의 밀폐가 영향받는 것을 방지하게 하는 효과가 있다.
그리고 튜브 구성을 간단하게 하여 한번의 조작으로 양측의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 효과가 있다.
본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단과 이웃하게 위치하되 상기 가압수단이 서로 탄성지지되게 하는 지지수단; 및 상기 가압수단과 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.
또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.
그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 사각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하고, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이에 위치하되 상기 각각의 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓; 상기 챔버와 챔버 사이에 마련하되 상기 브라켓의 상면과 소정 간격 이격되게 위치하는 밸브 몸체; 상기 밸브 몸체의 측부에 위치하되 외부에서 공급되는 공기에 의해 수평 이동하되 어느 하나 측면에는 패킹이 내설되는 한쌍의 가압수단; 상기 브라켓에 고정되되 상기 밸브 몸체의 중심과 연결되어 상기 밸브 몸체를 승하강하게 하는 실린더; 상기 가압수단와 이웃하게 위치하되 상기 가압수단가 서로 탄성지지되게 하는 지지 수단; 및 상기 한쌍의 가압수단 중 어느 하나와 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며, 상기 가압수단의 수평 이동에 의해 상기 실링판으로 하여금 상기 챔버와 챔버 사이의 개폐구를 단속할 수 있게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 가압수단은 상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 위치하는 압지판과, 상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 위치하는 한쌍의 튜브와, 상기 튜브와 연결되어 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관에 의해 상기 압지판을 수평 이동되게 하며, 상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 지지수단은 상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판과, 상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축과, 상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링에 의해 상기 압지판이 밸브 몸체 방향으로 항시 밀착될 수 있게 하며, 상기 지지수단에는 상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 더 구비한다.
또한 상기 지지수단은 상기 튜브와 이웃하게 위치하되 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 각각 중 어느 하나 곳에 위치되도록 한다.
그리고 상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하며, 상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
한편 본 발명의 양방향 게이트 밸브는, 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서, 상기 챔버와 챔버 사이를 연결하는 하우징; 상기 하우징에 내설되어 각각의 챔버와 연결되는 개폐구를 수단 운동에 단속하게 하는 밸브 몸체; 상기 하우징 외부로부터 상기 밸브 몸체 측으로 연결되어 외부 공기를 공급하게 하는 밸로우즈; 및 일측은 상기 하우징 외부 마련되고, 타측은 상기 하우징 내부에 마련되어 상기 밸브 몸체를 승강시키게 하는 승강수단;을 포함하여 이루어진다.
또한 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 튜브와, 상기 튜브 일측에 마련되는 압지판과, 상기 압지판에 고정축에 의해 고정되어 돌출된 실링판과, 상기 브라켓 몸체에 결합되고 덮개와, 상기 압지판과 덮개 사이에 마련되어 상호 지지하게 하는 스프링으로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 상기 밸로우즈로부터 상기 튜브측으로 공기를 공급하게 유출공이 형성되어 상기 유출공에서 공급되는 공기에 의해 튜브를 가압하여 실링판을 수평이동하게 한다.
그리고 상기 덮개에는 상기 압지판을 안내하게 하는 가이드 축;이 더 마련되게 하며, 상기 덮개에는 덮개에 형성된 홈이 외부로 연결되어 홈 내부 압력을 항시 일정하게 유지할 수 있게 하는 배출공;을 더 마련하고, 상기 튜브는 상기 홈 내부에 적어도 하나 이상이 내설되게 하며, 상기 튜브는 외부의 형상이 각형 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 한다.
또한 상기 밸브 몸체는 공급되는 공기에 의해 실링판과 브라켓 몸체가 순차 적으로 동작하게 하며, 상기 밸브 몸체는 상기 실링판이 우선하여 동작하게 하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 승강수단은 실린더와, 상기 실린더에서 연장된 실린더 로드와 결합하는 브라켓과, 상기 브라켓에 내설되어 상기 밸브 몸체와 연결되는 수평이송부재로 이루어지며, 상기 수평이송부재는 상기 브라켓에 내설되는 가압판과, 일측은 가압판에 지지되고, 타측은 브라켓에 지지되는 탄성체와, 일측은 가압판에 결합되고, 타측은 브라켓 몸체와 연결되는 연장축으로 이루어진다.
또한 상기 탄성체는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하며, 상기 브라켓에는 일측을 연장 돌출된 돌출편;이 더 마련되고, 상기 브라켓 몸체 일측에 상기 돌출편과 근접하게 마련되는 스토퍼;를 더 마련하여 상기 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하도록 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 제1 실시예를 설명한다.
도 3 또는 도 4에 도시된 방에 의하면, 상기 양방향 게이트 밸브(100)는 브라켓(110), 밸브 몸체(120), 가압수단(130), 실린더(140), 지지수단(150) 및 실링판(160)으로 이루어진다.
상기 브라켓(110)은 장방향의 평판으로 이루어져 챔버(200)와 챔버(210)의 사이 저면 또는 상면 중 어느 하나에 위치하게 하고 있다. 본 발명의 바람직한 실시예로서 챔버의 저면에 결합되는 것으로 설명한다.
상기 밸브 몸체(120)는 상기 브라켓(110)의 상면과 소정 간격 이격되게 위치 하되 상기 실린더(140)에 의해 상기 브라켓과 연결되게 하고 있으며, 상기 밸브 몸체 폭 방향 양측에는 무한궤도 형태의 튜브 삽입홈(121)을 형성하고, 상기 밸브 몸체(120) 양측에 형성되되 상기 튜브 삽입홈(121) 내주상에 4개의 고정판 삽입홈(122)을 형성하며 상기 고정판 삽입홈(122)를 관통하는 축 삽입공(124) 형성한다. 그리고 상기 밸브 몸체 상부로에서 상기 축 삽입공을 연결하는 고정핀 삽입홈(123)을 상기 축 삽입홈과 갯수로 형성시킨다.
상기 가압수단(130)은 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 밸브 몸체(120)의 하부로부터 내측으로 삽입되는 공기 주입관(132)과, 상기 튜브 삽입홈(121)에 내설되어 상기 공기 주입관(132)의 양측으로 위치되어 상기 공기 주입관과 연결되는 튜브(131)와, 상기 밸브 몸체(120) 양측면에 밀착되게 마련되는 압지판(133)으로 이루진다.
상기 튜브(131)는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지며, 상기 튜브는 그 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 할 수 있다. 또한 상기 튜브는 무한궤도 형태를 갖고 형성되어 상기 튜브 삽입홈(121)에 내설 된다. 이는 상기 공기 주입관(132)으로부터 공급된 공기를 이용해 튜브를 팽창시켜 밸브 몸체(120) 양측에 위치한 압지판(133)을 가압하여 수평 이동시켜 실링판을 이동할 수 있게 하기 위함이다.
상기 공기 주입관(132)은 상기 브라켓(110)으로부터 상부로 연장되어 상기 밸브 몸체(120) 내부에 삽입 결합되도록 하고 있으며, 상기 밸브 몸체(120)의 길이 방향에 각각 2개를 마련하여 상기 좌우측에 마련된 튜브와 연결되게 하고 있다. 이 는 2개의 공기 주입관을 각각 튜브와 독립되게 연결함으로써 양측에서 작용하는 압력에 대해 다른 압력을 갖고 작용할 수 있게 하기 위함이다.
상기 압지판(133)은 상기 밸브 몸체(120)의 양측부에 위치하여 상기 튜브에 의해 수평 이동될 수 있게 하고 있으며, 상기 압지판(133) 상단에 길이 방향을 따라 형성된 단턱(133a)을 마련하고 있어서 실링판(160)에 마련된 단턱(161)과 결합될 수 있게 하고 있다.
상기 실린더(140)는 상기 브라켓(110) 저면 중심부 상에 결합되어 있으며, 상기 실린더(140)에서 연장된 실린더 로드(141)를 상기 브라켓(110) 상부측으로 인출시켜 상기 밸브 몸체(120)내부에 삽입 결합하여 상기 밸브 몸체를 실린더로 하여금 승하강할 수 있게 하고 있다.
상기 지지수단(150)은 도 4 또는 도 6에 도시된 바와 같이 스프링 고정판(151), 연결축(152) 및 스프링(154)으로 이루어져 상기 밸브 몸체(120) 길이 방향을 따라 4개가 일정하게 배치되는데, 상기 공기 주입관(132)과 실린더 로드(141)의 사이 사이에 위치하게 된다. 이는 상기 가압수단(130)에 의해 실링판(160)이 수평 이동하여 개폐구(211,201)를 단속시 실링판 전체면적에 대해 균일한 압력을 받도록 하여 압력의 분산시킬 수 있게 하기 위함이다.
상기 스프링 고정판(151)은 상기 밸브 몸체 내부에 내설되되 압지판(133)과 결합되는 면을 밸브 몸체 측면과 수평을 이루게 형성하며, 일측은 개방시켜 스프링 홈(151a)을 형성하고, 상기 스프링 홈(151a)과 연결되는 관통공(미도시)을 관통시키고 있다.
상기 연결축(152)은 상기 밸브 몸체(120)의 폭 방향과 대응되는 크기의 환봉으로 형성되며, 그 양단에 돌출편(152a)을 마련하여 돌출편(152a) 중 하나는 나사(미도시) 의해 탈착될 수 있게 한다. 그리고 상기 스프링 고정판(151)에 스프링(154)과 같이 삽입시켜 압지판(133)을 탄성지지하도록 하고 있다.
여기서 상기 연결축(152)에는 상기 밸브 몸체(120) 상부로부터 삽입되어 연결축과 결합되는 고정핀(153)을 더 마련하여 상기 고정핀으로 하여금 연결축이 밸브 몸체 내부에서 유동하는 것을 방지토록 하는 것이 바람직하다.
도 7은 본 발명에 따른 제2 실시예로서 이를 참조하면, 상기 양방향 게이트 밸브(300)는 앞서 설명한 구성요소는 동일한 구성할 하되 상기 밸브 몸체(320) 양측에 마련되는 압지판(333) 중 어느 하나에만 실링판(360)을 마련하고 타측은 패킹(334)을 내설시켜 상기 압지판으로 하여금 실링판과 동일한 역할을 할 수 있게 하고 있다. 이는 각각의 챔버 중 어느 하나는 기판(미도시)에 공정을 실행하기 위한 공정챔버이나 상기 공정챔버 타측에 위치한 챔버는 공정을 실시하고나 공정이 끝난 기판을 외부로 반송 또는 반입하기 위한 반송챔버의 역할을 하고 있어서 플라즈마 가스에 의한 영향을 적어 실링판을 교체할 필요가 없기 때문이다.
또한 본 발명의 다른 실시예로서 도면상에 도시하고 있지는 않지만 상기 튜브를 밸브 몸체 양측면 중심에 관형태로 위치시키고 상기 튜브를 중심으로 상하부에 대칭되게 지지수단을 위치시켜 실링판을 작동시키는 것도 가능하다.
본 발명의 양방향 게이트 밸브의 결합관계를 설명하면, 먼저 일측에 압지판 과 스프링 고정판을 위치하고 상기 스프링 고정판에 형성된 스프링 홈(151a)에 스프링(154)을 삽입한다. 그리고 상기 스프링(154)의 내주를 따라 연결축(152)을 삽입하여 스프링 고정판 외부로 돌출되게 한다. 이 상태에서 상기 스프링 고정판과 압지판을 볼트(미도시)를 이용해 결합하면 스프링(154)이 스프링 고장판과 압지판의 사이에 연결축에 의해 위치하게 된다. 한편 외부로 돌출된 연결축을 밸브 몸체(120)에 형성된 축 삽입홈(124) 결합시켜 스프링 고정판이 고정판 삽입홈(122)에 결합됨과 동시에 압지판이 밸브 몸체 측면에 밀착될 수 있게 한다. 이때 상기 튜브 삽입홈(121)에는 튜브(131)를 삽입한 상태이어야 한다. 그리고 상기 압지판과 스프링 고정판의 결합 순서와 동일하게 타측을 결합시키면 밸브 몸체 양측면부에 압지판이 밀착되게 되며 스프링에 의해 양측의 압지판이 밸브 몸체측으로 밀착되게 된다. 그리고 상기 고정핀(153)을 고정핀(123)을 따라 삽입시켜 연결축(152)를 고정시키면 밸브 몸체 내부에서 연결축이 유동하는 것을 방지하게 한다.
또한 상기 밸브 몸체(120)의 하면에서 공기 주입관(132)를 삽입하고 상기 공기 주입관과 튜브(131)가 각각 독립되게 연결시켜 결합한다. 즉, 하나의 공기 주입관은 좌측에 위치한 튜브에 연결되게 하고 다른 하나는 우측에 위치한 튜브와 연결되게 하여 공기를 각각의 튜브에 독립되게 공급한다.
그리고 상기 실린더 로드(141) 끝단을 밸브 몸체(120) 하부 중심부분으로 삽입시켜 고정하고, 상기 실린더(140)와 공기 주입관(132)을 브라켓(110)에 고정시켜 상기 밸브 몸체가 브라켓에서 소정 간격 이격된 상태로 위치할 수 있게 한다. 또한 상기 브라켓(110)을 상기 챔버(200,210) 저면측에 고정하고 밀폐시켜 진공을 유지할 수 있게 한다.
상기 밸브 몸체 내부를 가압수단(130), 실린더 로드(141), 지지수단(150)이 내설될 수 있게 튜브 삽입홈(121), 고정판 삽입홈(122)과 고정핀 삽입공(123)을 형성시킨다.
이하, 본 발명에 따른 제1,2 실시예의 작동상태를 설명한다.
도 7에 도시된 바에 의하면, 상기 양방향 게이트 밸브는 브라켓(110)에 의해 챔버(200)와 챔버(210) 사이에 밀폐 결합되어 있으며, 상기 개폐구(201,211)은 개방된 상태로 있게 된다. 그리고 상기 각각의 챔버는 동일조건의 대기압 또는 진공상태를 유지하고 있게 된다. 이때 상기 브라켓(110) 저면으로 돌출된 실린더(140)를 작동시켜 상기 실린더 로드(141)를 상승시켜 밸브 몸체(120)를 상기 개폐구(201,211)와 수평한 상태로 위치하게 한다.
그리고, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 공기 주입관(132)을 통해 외부의 공기를 공급하여 튜브(131)를 팽창시키면, 상기 튜브에 의해 실리판(160) 및 압지판(133)이 가압되며 양방향으로 수평 이동하고, 이와 동시에 스프링(154)을 압축하며 상기 실링판에 의해 개폐구(201,211)가 차단되는 것이다. 이때 상기 2개의 공기 주입관은 각각 튜브와 독립되게 연결되어 있어서, 상기 각각의 챔버(200,210)에 작용하는 진공압에 따라 다른 압력으로 작동될 수 있게 된다. 예컨대 상기 챔버(200)를 대기압 상태로 유지하고 별도의 챔버(210)를 진공상태를 유지시키게 되면 대기압 상태의 챔버(200)에는 이와 대응되는 압력으로 공기를 공급하고, 반대로 진공상 태의 챔버(210)에는 진공상태와 대응되는 압력으로 공기를 공급하여 각각 다른 압력으로 작동될 수 있게 하는 것이다.
또한 상기 각각의 챔버를 개방시에는 공기 주입관을 이용해 튜브에서 공기를 제거하며 압축된 스프링에 의해 밸브 몸체 측으로 자동으로 밀착되며 개폐구가 개방되게 하고, 실린더를 작동시켜 밸브 몸체를 하강시키면 개폐구(201,210)가 서로 마주본 상태로 개방되면 다음 공정을 실시하게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제3 실시예를 설명한다.
도 10에 도시된 바에 의하면, 상기 게이트 밸브(400)는 하우징(410), 승강수단(420), 밸브 몸체(430) 및 밸로우즈(440)으로 이루어진다.
상기 하우징(410)은 속이 힌 박스 형태를 한 상태로 챔버와 챔버 사이에 마련되어 각각의 챔버가 마주보는 위치를 개구시킨 개폐구 측에 결함하도록 되어 있다.
도 11 내지 도 14에 도시된 바에 의하면, 상기 밸브 몸체(430)는 브라켓 몸체(431), 튜브(432), 압지판(433), 가이드 축(434), 고정축(435), 덮개(436), 고정판(437), 실링판(438) 및 스프링(439)를 포함하여 이루어진다.
상기 브라켓 몸체(431)는 외측 길이 방향을 따라 홈(431a)이 등간격 배치되고, 상기 홈(431a)과 연결되는 유출구(431b)이 각각의 홈(431a) 마다 개구되어 있다. 또한 상기 브라켓 몸체(431)에는 상기 홈(431a)과 연결되는 별도의 배출구(431c)를 더 형성하게 한다.
상기 튜브(432)는 탄성력을 갖는 속이빈 형태이며, 일측에는 구멍(미도시)이 개구된 상태이고, 외주의 형태가 각 형태 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어진다.
상기 압지판(433)은 판체로 이루어지며, 상하 수직 부분을 관통하는 한쌍의 통공(433a)이 형성되고, 상기 통공(433a)에 대해 수평 방향으로 배열된 안착홈(433b)이 형성되어 있다. 즉, 통공과 안착홈은 서로 십자 형태로 직교하게 배치되게 된다.
상기 가이드 축(434)은 단차진 환봉이며, 상기 덮개(436)는 상기 홈(431a)을 덮기 위한 수단으로써 판체로 이루어진다. 또한 상기 덮개(436) 중심면을 관통하는 통공(436b)을 개구시킨고 있다. 그리고 상기 홈과 마주보는 면상에 상기 안착홈(433b)과 대향되는 위치상에 가이드 홈(436a)이 형성되어 있다.
상기 고정판(437)은 판체로 이루어지며, 상기 실링판(438)은 상기 브라켓 몸체(431)와 대향되는 크기를 갖고 형성되는 판체이다. 또한 상기 실링판(438) 일측에서는 둘래면을 따라 패킹이 내설되어 있다.
도 15에 도시된 바에 의하면, 상기 밸로우즈(440)는 상기 브라켓 몸체(431)에 형성된 홈 사이에 위치 고정되며, 상기 하우징(410) 외부로 돌출되어 있다. 그리고 상기 밸로우즈(440) 내주에는 유출관로(442)와 배출관로(443)가 형성되며, 에어 공급 브라켓(441)에 의해 외부로 연장된 상태이다.
도 16에 도시된 바와 같이 상기 승강수단(420)은 하우징(410) 저면에 위치하는 실린더(422)와 상기 실린더(422) 하우징 내부로 인입되어 브라켓 몸체(431)측면 에 위치하게 되는 실린더 로드(423)와, 상기 실린더 로드(423)가 삽입 고정되는 브라켓(421)과 상기 브라켓에 내설되는 수평이송부재(450)로 이루어진다.
또한, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 수평이송부재(450)는 상기 브라켓(421)에 일정 공간을 갖고 내설되는 가압판(452)과 상기 가압판(452) 측면에 결합되는 연장축(451)과 상기 브라켓(421)에 내설되되 상기 가압판(452)과 밀착되어 탄지하는 탄성체(453)로 이루어진다. 여기서 상기 탄성체(453)는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하며, 바람직하게는 코일 스프링을 이용한다. 한편, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 브라켓(421) 일측으로 연장 돌출된 돌출편(421a);을 더 구비하고, 상기 돌출편(421a)와 대응되는 위치에 스토퍼(460);를 더 마련하여 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하게 한다.
여기서, 도면에는 도시하지 않았지만 다른 실시 예의 상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체, 홈, 실린더(도면에 미도시), 덮개 및 실링판으로 이루어지며, 상기 실린더를 제외한 나머지 구성요소는 앞선 실시 예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
다만, 에어가 구동원인 상기 실린더 몸체가 상기 홈에 결합되어 고정되고 실린더 로드가 상기 홈의 선단에 고정되는 덮개에서 전후 이동되며 상기 실린더 로드의 선단이 실링판에 고정되는 것이다.
상기 제3 실시예의 결합관계를 살펴보면, 먼저 상기 브라켓 몸체(431)를 위 치시킨 상태에서 상기 브라켓 몸체(431)의 홈(431a) 상에 튜브(432)를 고정하는데, 튜브에 형성된 구멍(미도시)과 상기 브라켓 몸체(431)에 형성된 유출구(431b)가 서로 일치할 수 있게 한다. 여기서 상기 튜브(432)는 홈(431a) 내에 적어도 하나 이상이 마련되며, 바람직하게는 복수개로 마련되게 한다.
다음으로, 상기 압지판(433)을 상기 튜브(432) 일측에 밀착되게 마련한 후 상기 압지판(433)과 고정축(435)을 볼트를 이용해 결합한다.
다음으로, 상기 브라켓 몸체(431) 측으로 덮개(436)를 위치시킨 상태에서 상기 덮개(436) 상에 원주 중심이 튜브(432) 측으로 돌출되게 가이드 축(434)을 볼트 결합한다. 이때 상기 가이드 축(434)은 홈에 고정된 복수개의 튜브 사이에 상기 홈(431a) 저면과 일정 간격 이격된 상태로 위치하게 된다.
다음으로, 상기 덮개(436)를 상기 브라켓 몸체(431)과 볼트를 이용해 결합하기 전에 상기 덮개(436)에 형성된 가이드 홈(436a) 상에 스프링(439)을 삽입한 후 상기 스프링(439)이 압지판(433)에 형성된 안착홈(433b)에 삽입될 수 있게 위치시킨 상태에서 고정한다. 상기 덮개에는 덮개면을 따라 패킹(미도시)이 마련되어 있어 브라켓 몸체와 결합시 밀폐되게 된다. 이때 상기 고정축(435)은 상기 덮개(436)에 형성된 통공(436b)을 통해 외부로 돌출되게 되며, 상기 통공과 고정축 사이는 패킹에 의해 밀폐되게 된다. 또한 상기 압지판(433)과 덮개(436) 사이에는 압지판이 이동할 수 있는 공간이 형성된 상태이다.
다음으로, 상기 고정축(436) 단부에 고정판(437)을 볼트 결합한 후 상기 실링판(438)을 상기 고정판에 고정한다.
다음으로, 상기 브라켓 몸체(410)에 결합된 다수개의 덮개(436) 사이에 에어 공급 브라켓(441)을 위치시킨 후 상기 브라켓(441)에 형성된 유출관로(442)는 유출구(431b)와 연결되게 하고, 상기 배출관로(443)는 배출구(431c)와 연결되게 고정한다. 그리고 상기 에어 공급 브라켓 하단에 밸로우즈(440)를 연장 고정시켜 외부와 연결되게 한다.
다음으로, 상기 브라켓 몸체(431)와 승강수단(420)을 결합하는데 앞서 먼저 상기 승강수단(420)의 브라켓(421)에 실린더(432)를 위치시키고, 상기 실런더에서 연장된 실린더 로드(433)을 브라켓(421)에 삽입 고정한다. 그리고 상기 브라켓(421)에 형성된 공간에 가압판(452)을 삽입한 후 상기 가압판과 밀착되게 탄성체(453) 삽입한 상태에서 상기 브라켓 몸체(431)를 관통 고정된 연장축(451)과 브라켓에 삽입된 가압판을 결합시켜 브라켓 몸체와 브라켓이 연결될 수 있게 한다. 예컨대 상기 승강수단은 연장축(451)에 의해 브라켓 몸체와 연결되는 것이다.
다음으로, 상기 하우징(410)을 마련하는데, 상기 하우징(410)은 판체를 이용해 육면체로 형성된 것으로 하단에 해당하는 판체 상에 상기 승강수단(420)과 밸브 몸체(430)를 위치시킨 상태에서 상기 브라켓 몸체 측과 브라켓이 판체의 상단에 위치하게 하고 하단에는 밸로우즈와 실린더가 위치되게 고정시킨다. 그리고 상기 각각의 판체를 결합시켜 박스 형태의 하우징을 형성하게 한다. 이때 상기 하우징의 양 측면에 해당하는 판체 상에는 챔버에 형성된 개폐구와 같은 크기를 갖는 통공(미도시)이 형성되게 된다.
다음으로, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 하우징(410)을 챔버(200)와 챔 버(210) 사이에 위치시킨 후 챔버(200,210)의 개폐구(201,211)와 결합시켜 챔버(200)와 챔버(210)를 연통되게 하면, 상기 게이트 밸브에 의해 챔버와 챔버를 각각 단속할 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 작동상태를 설명한다.
도 20을 참조하면, 상기 하우징에 형성된 통공(미도시)과 챔버에 형성된 개폐구(201,211)가 각각 개방된 상태에서 상기 밸브 몸체(430)는 실린더(423)를 이용해 상승시켜 상기 밸브 몸체가 개폐구와 수평한 상태가 되게 한다.
다음으로, 도 21을 참조하면, 상승한 밸브 몸체(430)는 브라켓 몸체(431) 측에서 실링판(438)이 수평 이동하며 일측에 위치한 개폐구(201)를 단속하게 되는데, 이때 상기 실링판(438)은 도 13에 도시된 바와 같이 브라켓 몸체(431)에 형성된 유출구(431b)를 통해 상기 튜브(432) 측으로 공기를 공급한다. 공급된 공기는 튜브를 팽창시켜 압지판(433)을 가압하게 되고, 가압된 압지판은 도면 상의 화살표 방향으로 이동하게 되어 실링판(438)으로 하여금 개폐구 측을 단속하게 한다.
다음으로, 도 22를 참조하면, 상기 실링판을 계속적으로 가압하게 되면, 실링판의 가압력에 의해 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 몸체(431)가 브라켓(421)에서 이격되어 떨어지게 되는데, 이때 상기 가압판(452)이 브라켓 내에서 탄성체(453)를 압축시키게 되고, 브라켓 몸체는 실링판의 반대 방향으로 이동하며 상기 챔버(210)의 개폐구(211)를 단속하게 된다. 즉, 공급되는 공기가 브라켓 몸체를 따라 이용하여 튜브를 팽창시키면 튜브의 팽창력에 의해 압지판이 이동하게 되 고 이를 이용해 실링판을 개폐구 측으로 이동시켜 개폐구를 단속하게 되는데, 상기 실링판에 의해 개폐된 챔버 측을 계속적으로 가압하게 되면 실링판의 가압력을 이용해 브라켓 몸체를 타측의 개폐구 측으로 이동시켜 단속하게 되는 것이다.
한편 상기 브라켓 몸체(431)에 형성된 배출구(431c)는 밸로우즈의 배출관로와 연결시켜 외부와 연통되게 함으로써 상기 밸브 몸체의 작동시 발생하는 압력과 챔버에서 발생하는 압력차에 의해 실링판의 단속 압력이 유실되는 것을 방지하기 위하여 밸브 몸체 내부를 항시 대기압상태로 유지시킬 수 있게 하고 있다. 즉, 유출구을 통해 공급되는 공기와 상관없이 배출구는 항시 외부와 연통된 상태를 유지함으로써 챔버와 밸브 몸체간의 압력차를 항시 균일하게 유지할 수 있게 하는 것이다.
도 1은 종래 기술의 게이트 밸브를 나타내는 개략도.
도 2는 종래 기술의 다른 게이트 밸브를 나타내는 개략도.
도 3은 본 발명의 양방향 게이트 밸브를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 양방향 게이트 밸브의 제1실시예를 나타내는 정면도.
도 5는 도 4에 도시된 양방향 게이트 밸브의 A-A선 단면도.
도 6은 도 4에 도신된 양방향 게이트 밸브의 B-B선 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 양방향 게이트 밸브의 제2 실시예를 나타내는 단면도.
도 8 내지 도 9는 본 발명에 따른 양방향 게이트 밸브의 작동상태를 나타내는 단면도.
도 10은 본 발명에 따른 양방향 게이트 밸브의 제3 실시예를 나타내는 사시도.
도 11은 도 10에 도시된 밸브 몸체를 나타내는 사시도.
도 12는 도 11에 도시된 A 부분을 부분 확대하여 나타내는 분해 사시도.
도 13은 도 11에 도시된 B-B 부분을 나타내는 단면도.
도 14는 도 11에 도시된 C-C 부분을 나타내는 단면도.
도 15는 도 11에 도시된 D-D 부분을 나타내는 단면도.
도 16은 도 10에 도시된 승강수단을 나타내는 부분 확대 사시도.
도 17은 도 16에 도시된 승강수단을 나타내는 단면도.
도 18은 도 16에 도시된 승강수단이 작동되는 상태를 나타내는 단면도.
도 19는 도 16에 도시된 승강수단의 다른 실시예를 나타내는 부분 평면도.
도 20 내지 도 22는 본 발명의 양방향 게이트 밸브의 제3 실시예의 작동 상태를 나타내는 단면도.
<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100,300,400 : 게이트 밸브 110 : 브라켓
120,320,430 : 밸브 몸체 121: 튜브 삽입홈
130 : 가압수단 131: 튜브
132 : 공기 주입관 133,333 : 압지판
133a,161 : 단턱 140 : 실린더
141 : 실린더 로드 150 : 지지수단
151 : 스프링 고정판 151a : 스프링 홈
152 : 연결축 152a : 돌출편
153 : 고정핀 154 : 스프링
160,360 : 실링판 200,210 : 챔버
201,211 : 개폐구 334 : 패킹
410 : 하우징 420 : 승강수단

Claims (31)

  1. 챔버와 챔버 사이에 위치하여 각 챔버에 형성된 게이트를 단속하는 양방향 게이트 밸브에 있어서,
    상기 챔버와 챔버 사이에 위치되며, 상기 각 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓;
    상기 브라켓과 소정 간격 이격되어 상기 각 챔버의 게이트와 대응되는 위치에 설치되는 밸브 몸체;
    상기 밸브 몸체의 양 측부에 각각 별도로 설치되며, 외부에서 공급되는 공기압에 의해 상기 각 챔버의 게이트 방향으로 수평 이동하여 상기 게이트를 폐쇄하는 한쌍의 가압수단;
    상기 브라켓에 고정되며, 상기 밸브 몸체와 연결되어 상기 밸브 몸체를 승강하게 하는 실린더;
    상기 밸브 몸체 내부에 설치되며, 상기 가압수단을 탄성적으로 지지하는 지지수단; 및
    상기 가압수단 외면에 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며,
    상기 가압수단은,
    상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 배치되는 압지판;
    상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 상기 압지판의 가장 자리를 따라 환상으로 배치되며, 외부에서 공급되는 공기압에 의하여 상기 압지판을 수평 이동시키는 한쌍의 튜브;
    상기 밸브 몸체의 양 단부에서 튜브와 연결되어 상기 튜브에 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관;을 포함하며,
    상기 지지수단은,
    상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판;
    상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축;
    상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링;
    상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지수단은 상기 밸브 몸체 중심부 또는 상하측 중 선택된 어느 한 곳에 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 튜브는 그 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 튜브는 단면 형상 일측이 주름진 형태를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  10. 챔버와 챔버 사이에 위치하여 각 챔버에 형성된 게이트를 단속하는 양방향 게이트 밸브에 있어서,
    상기 챔버와 챔버 사이에 위치되며, 상기 각 챔버 저면 또는 상면과 결합되는 브라켓;
    상기 브라켓과 소정 간격 이격되어 상기 각 챔버의 게이트와 대응되는 위치에 설치되는 밸브 몸체;
    상기 밸브 몸체의 양 측부에 각각 별도로 설치되며, 외부에서 공급되는 공기압에 의해 상기 각 챔버의 게이트 방향으로 수평 이동하여 상기 게이트를 폐쇄하는 한쌍의 가압수단;
    상기 브라켓에 고정되며, 상기 밸브 몸체와 연결되어 상기 밸브 몸체를 승강하게 하는 실린더;
    상기 밸브 몸체 내부에 설치되며, 상기 가압수단을 탄성적으로 지지하는 지지수단; 및
    상기 가압수단 중 어느 하나와 탈착 가능하게 결합되는 실링판;을 포함하며,
    상기 가압수단은,
    상기 밸브 몸체의 측부와 밀착되게 배치되는 압지판;
    상기 밸브 몸체와 압지판의 사이에 상기 압지판의 가장 자리를 따라 환상으로 배치되며, 외부에서 공급되는 공기압에 의하여 상기 압지판을 수평 이동시키는 한쌍의 튜브;
    상기 밸브 몸체의 양 단부에서 튜브와 연결되어 상기 튜브에 외부 공기를 공급하는 한쌍의 공기 주입관;을 포함하며,
    상기 지지수단은,
    상기 지지수단은,
    상기 밸브 몸체에 내설되어 상기 압지판에 고정되는 한쌍의 스프링 고정판;
    상기 한쌍의 스프링 고정판을 상호 연결되게 하는 연결축;
    상기 연결축의 외주면을 감싸되 상기 스프링 고정판에 내설되어 상기 압지판을 탄성지지하게 하는 스프링;
    상기 연결축의 유동을 방지하게 하는 고정핀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 튜브는 상기 공기 주입관과 각각 독립되게 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 튜브는 단면의 형상이 다각, 원형 또는 타원형태 중 선택된 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 튜브는 단면 형상의 일측이 주름진 형태를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 튜브는 무한궤도 또는 관 형태 중 선택된 어느 하나로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  19. 챔버와 챔버 사이에 위치하여 챔버 각각을 단속할 수 있게 하는 양방향 게이트 밸브에 있어서,
    상기 챔버와 챔버 사이를 연결하는 하우징;
    상기 하우징에 내설되어 각각의 챔버와 연결되는 개폐구를 단속하는 밸브 몸체;
    상기 하우징 외부로부터 상기 밸브 몸체 측으로 연결되어 외부 공기를 공급하게 하는 밸로우즈; 및
    일측은 상기 하우징 외부에 마련되고, 타측은 상기 하우징 내부에 마련되어 상기 밸브 몸체를 승강시키게 하는 승강수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 튜브와, 상기 튜브 일측에 마련되는 압지판과, 상기 압지판에 고정축에 의해 고정되어 돌출된 실링판과, 상기 브라켓 몸체에 결합되고 덮개와, 상기 압지판과 덮개 사이에 마련되어 상호 지지하게 하는 스프링으로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 상기 밸로우즈로부터 상기 튜브측으로 공기를 공급하게 유출공이 형성되어 상기 유출공에서 공급되는 공기에 의해 튜브를 가압하여 실링판을 수평이동하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 덮개에는 상기 압지판을 안내하게 하는 가이드 축;이 더 마련되게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 덮개에는 덮개에 형성된 홈이 외부로 연결되어 홈 내부 압력을 항시 일정하게 유지할 수 있게 하는 배출공;을 더 마련하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 튜브는 상기 홈 내부에 복수개가 내설되는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 튜브는 외부의 형상이 각형 또는 원형 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  25. 제 20 항에 있어서,
    상기 밸브 몸체는 공급되는 공기에 의해 실링판과 브라켓 몸체가 순차적으로 동작하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  26. 삭제
  27. 제 19 항에 있어서,
    상기 승강수단은 실린더와, 상기 실린더에서 연장된 실린더 로드와 결합하는 브라켓과, 상기 브라켓에 내설되어 상기 밸브 몸체와 연결되는 수평이송부재로 이 루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 수평이송부재는 상기 브라켓에 내설되는 가압판과, 일측은 가압판에 지지되고, 타측은 브라켓에 지지되는 탄성체와, 일측은 가압판에 결합되고, 타측은 브라켓 몸체와 연결되는 연장축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 탄성체는 우레탄, 판 스프링 또는 코일 스프링 중 선택된 어느 하나로 이루어지게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  30. 제 27 항에 있어서,
    상기 브라켓에는 일측을 연장 돌출된 돌출편;이 더 마련되고, 상기 브라켓 몸체 일측에 상기 돌출편과 근접하게 마련되는 스토퍼;를 더 마련하여 상기 브라켓이 브라켓 몸체 측으로 밀리는 것을 방지하도록 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
  31. 제 19 항에 있어서,
    상기 밸브 몸체는 브라켓 몸체와, 상기 브라켓 몸체 길이 방향을 따라 적어 도 하나 이상이 마련되는 홈과, 상기 홈에 내설되는 실린더와 상기 브라켓 몸체의 선단에 결합되는 덮개로 이루어지며, 상기 브라켓 몸체에는 실린더 로드의 선단에 고정된 실링판을 수평이동하게 하는 것을 특징으로 하는 양방향 게이트 밸브.
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