CN102563112A - 真空室用的真空插板阀 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种真空室用的真空插板阀，包括气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。本真空插板阀克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，也可较好地应用于大型玻璃镀膜工艺用的真空镀膜室。同时，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形，加工及日常维护都较为方便。

Description

真空室用的真空插板阀
技术领域
本发明涉及玻璃真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空室用的真空插板阀。
背景技术
用于玻璃镀膜工艺的真空设备中，真空插板阀是任意两个相邻真空室之间必不可少的组成部件，其作用是：当需要对单个真空室进行维护或者在单个真空室内更换材料时，将相邻两个真空室隔绝，使真空室内的真空气氛不被破坏。目前常用的真空插板阀为翻板式结构，即在真空室内的工件通孔处设置真空插板阀，该真空插板阀主要为一个挡板，挡板顶部与真空室内的顶面铰接，当真空插板阀关闭时，挡板下翻，其侧面挡住工件通孔而实现密封，当真空插板阀打开时，挡板贴紧于真空室内的顶面。然而，该结构的真空插板阀由于挡板采用翻转式，所占的空间较大，真空插板阀关闭时由于挡板靠自重挡住工件通孔，挡板底部没有相应的固定机构，其密封效果不好；另外，该结构的真空插板阀必须设于真空室内部，其加工难度大，挡板易变形，日常的维护也相当困难；尤其是在大型玻璃镀膜工艺中，该结构的真空插板阀根本就不适用。
为此，申请号为200610169213.2的发明申请公开了一种摆阀和滑门真空阀，该结构的真空阀克服了传统真空插板阀气密性差的缺陷，但其结构复杂，各组成部件之间精度要求较高，因此其成本也较高。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足，针对工件通孔口径较大的真空室，提供一种密封性好、使用方便、所占空间小、加工和日常维护都较方便的真空室用的真空插板阀。
本发明的技术方案为：一种真空室用的真空插板阀，包括驱动元件、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与驱动元件末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。
所述阀芯组件中，驱动元件末端分别与呈上下设置的两个活动铰连接，位于上方的活动铰两侧分别与两个活动板的上部连接，位于下方的活动铰两侧分别与两个活动板的下部连接。当真空室的工件通孔较大时，活动板也相对较大，在活动板的上部和下部分别设置活动铰，可使活动板的运行更为平稳，使其密封效果得到保证。
所述驱动元件的个数为2个，2个驱动元件分别设于阀体通孔前后两端的阀体上方。根据工件通孔的实际尺寸，驱动元件个数可相应调整，但驱动元件末端需要相应设置活动铰。
所述两个活动板之间设有至少一个拉簧，各拉簧两端分别固定于两个活动板的侧壁上。在两个活动板之间设置拉簧，可防止活动板运动过快而产生碰撞，确保设备的正常运行。
所述阀体的中部空间中，阀体内底面为光滑面，结合活动板底部的导轮，光滑面可使活动板的运行更为顺畅。
所述阀体上方设有上盖板，驱动元件末端穿过上盖板和阀体顶部后与阀芯组件连接。上盖板的作用主要是作为阀体顶部的加强筋。
所述驱动元件与上盖板相接处设有密封件，可有效提高驱动元件运行的可靠性和阀体内部的密封性。
所述阀体下方设有下盖板，下盖板与阀体底部固定连接。下盖板的作用主要是作为阀体底部的加强筋。
所述各活动板与阀体的内侧壁相接触的侧面上分别开有设置密封圈用的密封槽，在活动板和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。
所述驱动元件为气缸、电机或液压传动件。
本真空室用的真空插板阀使用时，其原理是：当需要关闭真空插板阀时，驱动元件运行(当设有多个驱动元件时，各驱动元件同步运行)，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内向下运动，当阀芯组件下降至导轮与阀体内底面相接触时，驱动元件末端继续下降，通过各活动铰将两个活动板向两侧撑开，两个活动板在导轮的引导下滑向阀体中部空间的两侧壁，当两个活动板的外侧分别贴紧于阀体中部空间的两侧壁时，两个活动板分别封住相应的阀体通孔，从而隔开阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动元件运行，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内反向运动，通过活动铰先将两个活动板向中间收拢后，再使其上升至导轮高于阀体通孔所处的位置即可。
本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：
本真空室用的真空插板阀采用气缸带动阀芯组件上下运动实现其启闭，可有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，也可较好地应用于大型玻璃镀膜工艺用的真空镀膜室。同时，本真空插板阀关闭后，由于气缸及活动铰的作用，两个活动板可相应贴紧于阀体中部空间的内侧壁，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形。
本真空室用的真空插板阀设于相邻两个真空室之间，即设于真空室外部，其加工及日常维护都较为方便。
另外，本真空室用的真空插板阀还具有以下优点：结构简单、加工制造容易，可靠性比翻板阀大为提高；同时，密封效果更好，也更加耐用，维护间隔时间长。
附图说明
图1为本真空插板阀的结构示意图。
图2为图1的B向视图。
图3为图2的A-A视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种真空室用的真空插板阀，其结构如图1～3所示，包括气缸1、阀体4和阀芯组件，阀体4为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体4的左右两侧壁上分别开有阀体通孔10，阀体通孔10与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体4的中部空间内，气缸1末端穿过阀体4顶部并与阀芯组件连接；如图1所示，阀芯组件包括对称设置的两个活动板6，两个活动板6之间设置活动铰5并通过活动铰与气缸末端连接，两个活动板6的底部分别设有导轮8。
阀芯组件中，气缸1末端分别与呈上下设置的两个活动铰连接，位于上方的活动铰两侧分别与两个活动板的上部连接，位于下方的活动铰两侧分别与两个活动板的下部连接。当真空室的工件通孔较大时，活动板也相对较大，在活动板的上部和下部分别设置活动铰，可使活动板的运行更为平稳，使其密封效果得到保证。
气缸1的个数为2个，2个气缸分别设于阀体通孔前后两端的阀体上方。根据工件通孔的实际尺寸，气缸个数可相应调整，但气缸末端需要相应设置活动铰。
两个活动板6之间设有至少一个拉簧7，各拉簧两端分别固定于两个活动板的侧壁上。在两个活动板之间设置拉簧，可防止活动板运动过快而产生碰撞，确保设备的正常运行。
阀体4的中部空间中，阀体内底面为光滑面，结合活动板底部的导轮，光滑面可使活动板的运行更为顺畅。
阀体4上方设有上盖板3，气缸末端穿过上盖板和阀体顶部后与阀芯组件连接。上盖板的作用主要是作为阀体顶部的加强筋。
气缸1与上盖板3相接处设有密封件2，可有效提高气缸运行的可靠性和阀体内部的密封性。
阀体4下方设有下盖板9，下盖板与阀体底部固定连接。下盖板的作用主要是作为阀体底部的加强筋。
各活动板与阀体的内侧壁相接触的侧面上分别开有设置密封圈用的密封槽，在活动板和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。
本真空室用的真空插板阀使用时，其原理是：当需要关闭真空插板阀时，气缸1运行(当设有多个气缸时，各气缸同步运行)，其末端带动阀芯组件在阀体4中部空间内向下运动，当阀芯组件下降至导轮8与阀体内底面相接触时，气缸末端继续下降，通过各活动铰5将两个活动板6向两侧撑开，两个活动板6在导轮8的引导下滑向阀体中部空间的两侧壁，当两个活动板6的外侧分别贴紧于阀体中部空间的两侧壁时，两个活动板6分别封住相应的阀体通孔10，从而隔开阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，气缸运行，其末端带动阀芯组件在阀体中部空间内反向运动，通过活动铰先将两个活动板向中间收拢后，再使其上升至导轮高于阀体通孔所处的位置即可。
如上所述，便可较好地实现本发明，上述实施例仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；即凡依本发明内容所作的均等变化与修饰，都为本发明权利要求所要求保护的范围所涵盖。

Claims (10)

1.真空室用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接。
2.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与驱动元件末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。
3.根据权利要求2所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯组件中，驱动元件末端分别与呈上下设置的两个活动铰连接，位于上方的活动铰两侧分别与两个活动板的上部连接，位于下方的活动铰两侧分别与两个活动板的下部连接。
4.根据权利要求3所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件的个数为2个，2个驱动元件分别设于阀体通孔前后两端的阀体上方。
5.根据权利要求2所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述两个活动板之间设有至少一个拉簧，各拉簧两端分别固定于两个活动板的侧壁上。
6.根据权利要求2所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述各活动板与阀体的内侧壁相接触的侧面上分别开有设置密封圈用的密封槽。
7.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀体的中部空间中，阀体内底面为光滑面。
8.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀体上方设有上盖板，驱动元件末端穿过上盖板和阀体顶部后与阀芯组件连接。
9.根据权利要求8所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件与上盖板相接处设有密封件。
10.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀体下方设有下盖板，下盖板与阀体底部固定连接；
所述驱动元件为气缸、电机或液压传动件。
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