CN1546892A - 矩形真空插板阀 - Google Patents
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Abstract
一种矩形真空插板阀，使用在半导体行业中的真空与大气的管路之间，用于阻隔或打通所输送的电子元器件，它是由阀体外壳(14)、阀门轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是在阀门轴(1）的下部安装有阀体(17)及矩形阀板(7)，当转动把手(13)带动阀门轴(1)转动，在阀门轴(1)的下部半圆偏心槽(B)的作用下，使矩形阀板(7)向左位移，而封堵住要封闭的矩形通道口，当反向转动把手(13)并上拉把手(13)便可打开被封闭的矩形通道口。本发明操作简单、结构简单、密封好、另件的通过率较好、可靠性高。
Description
技术领域：
本发明是关于阀门，特别是关于在半导体行业的真空系统中切断或接通不同的真空腔室所使用的阀门。
背景技术：
现在通用的插板阀，其阀口的形状一般为圆形，而且整个阀体的尺寸都比较大，而在半导体行业中，这样的阀门使用在真空与大气之间，这里希望阀门的口径尽量的小，另外穿梭于阀门之间的零件一般是扁平的硅片、CD碟、硬盘等，这样圆形口阀门在这里就不适用了。
发明内容：
本发明的目的就是要解决上述现有技术存在的问题，而提供一种矩形真空插板阀。
本发明的技术解决方案是由阀体外壳(14)、安装有操作把手(13)的阀门轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是上述阀门轴(1)的上部是通过阀体外壳(14)的上孔及密封圈(18)、垫圈(4)、压盖(2)及细钉(8)安装在阀体外壳(14)上，在上述阀门轴(1)的下部开有定位槽(A)，通过定位螺钉(16)安装有阀体(17)，同时在阀体(17)的左侧通过弹簧(10)、垫圈(11)及螺钉(12)安装有矩形阀板(7)，在阀板(7)的外侧安装有密封圈(5)，并通过压板(6)及细钉(9)来固定该密封圈(5)，同时在上述阀门轴(1)的下部还设有半圆偏心槽(B)，当顺时针转动把手(13)时，在半圆偏心槽(B)段及弹簧(10)的作用下能使阀体(17)和阀板(7)之间产生相对移动和复位，使阀板(7)向左移动使固定在阀板(7)上的密封圈(5)压紧要密封矩形通道口，而达到阀体两侧封闭的作用。
另外密封圈(3)及密封(15)分别用于安装矩形插板阀左右两个腔体相连的法兰面的密封。
采用本发明的矩形真空插板阀，结构简单、可靠，大大减小了阀体尺寸，而且密封良好，通过该阀门的零部件通过率高，而且可靠性好。
附图说明：
图1是本发明的主剖视结构图。
图2是本发明图1中带有局部剖视的俯视图。
图3是本发明图1的左视图。
具体实施方式：
结构附图1至3可知，把手(13)安装在阀门轴(1)上；该阀门轴(1)通过压盖(2)、螺钉(8)垫圈(4)和氟橡胶密封圈(18)安装在阀体外壳(14)上，以保证阀门轴(1)上下运动和转动时不漏气；压片(6)被细钉(9)固定在阀板(7)上，氟橡胶密封圈(5)被压片(6)固定在阀板(7)上；阀门轴(1)的下部穿过阀体(17)，定位螺钉(16)将阀体(17)固定在阀门轴(1)的下部；而螺钉(12)、弹簧(10)和垫圈(11)将阀体(17)和阀板(7)之间连接起来，在转动阀门轴(1)时，由于在其底部设有半圆偏心槽(B)而使阀体(17)及阀板(7)之间在弹簧(10)的共同作用下产生位移及复位。
当关闭阀门时，按下把手(13)，带动阀门杆(1)、阀体(17)、阀板(7)、压片(6)下移至底部，再顺时针转动把手(13)90度，利用阀门杆(1)的下部偏心槽(B)的作用，将阀板(7)和压片(6)及密封圈(5)向左位移，使密封圈(5)压紧在要密封的矩形通道口，而使两侧的真空腔体被隔开。
当打开阀门时，先将把手(13)逆时针转动90度，由于弹簧(10)的弹性使阀板(7)右移复位以减小密封圈(5)与被封闭的矩形通道口的摩擦，并拉起把手(13)，带动阀门轴(1)、阀体(17)、阀板(7)上移，实现插板阀两侧腔体的连通。
综上所述本领域的技术人员在不超出本发明权利要求保护范围的前提下做出各种改进是完全可能的。
Claims (1)
1、一种矩形真空插板阀是由阀体外壳(14)、安装有操作把手(13)的阀门轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是上述阀门轴(1)的上部是通过阀体外壳(14)的上孔及密封圈(18)、垫圈(4)、压盖(2)及细钉(8)安装在阀体外壳(14)上，在上述阀门轴(1)的下部开有定位槽(A)，通过定位螺钉(16)安装有阀体(17)，同时在阀体(17)的左侧通过弹簧(10)、垫圈(11)及螺钉(12)安装有矩形阀板(7)，在阀板(7)的外侧安装有密封圈(5)，并通过压板(6)及细钉(9)来固定该密封圈(5)，同时在上述阀门轴(1)的下部还设有半圆偏心槽(B)，当顺时针转动把手(13)时，在半圆偏心槽(B)段及弹簧(10)的作用下能使阀体(17)和阀板(7)之间产生相对移动和复位，使阀板(7)向左移动使固定在阀板(7)上的密封圈(5)压紧要密封矩形通道口，而达到阀体两侧封闭的作用。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102563112A (zh) * | 2011-12-31 | 2012-07-11 | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 | 真空室用的真空插板阀 |
| CN106838357A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-06-13 | 合肥固泰自动化有限公司 | 一种大压差手动密封插板门 |
| CN109707876A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-05-03 | 江苏明江阀业有限公司 | 一种单向空气阀门 |
| CN110500425A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-11-26 | 上海卫星装备研究所 | 一种多层高真空插板阀系统及其使用方法 |
| CN114310699A (zh) * | 2021-12-08 | 2022-04-12 | 上海裕达实业有限公司 | 插板阀装配定位装置及使用方法 |
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|---|---|---|---|---|
| CN1035566C (zh) * | 1994-12-28 | 1997-08-06 | 浙江大学 | 双向真空阀 |
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| KR100476391B1 (ko) * | 1999-06-02 | 2005-03-16 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체 처리 시스템의 게이트 밸브 |
| CN2674217Y (zh) * | 2003-12-03 | 2005-01-26 | 中国科学院电工研究所 | 矩形真空插板阀 |
-
2003
- 2003-12-03 CN CNB2003101168980A patent/CN1309978C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102563112A (zh) * | 2011-12-31 | 2012-07-11 | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 | 真空室用的真空插板阀 |
| CN102563112B (zh) * | 2011-12-31 | 2014-04-23 | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 | 真空室用的真空插板阀 |
| CN106838357A (zh) * | 2017-03-17 | 2017-06-13 | 合肥固泰自动化有限公司 | 一种大压差手动密封插板门 |
| CN106838357B (zh) * | 2017-03-17 | 2023-06-09 | 合肥固泰自动化有限公司 | 一种大压差手动密封插板门 |
| CN109707876A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-05-03 | 江苏明江阀业有限公司 | 一种单向空气阀门 |
| CN110500425A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-11-26 | 上海卫星装备研究所 | 一种多层高真空插板阀系统及其使用方法 |
| CN110500425B (zh) * | 2019-07-26 | 2021-05-11 | 上海卫星装备研究所 | 一种多层高真空插板阀系统及其使用方法 |
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