JP3007853B2 - 半導体製造装置用無摺動ゲートバルブ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置用
無摺動ゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のゲートバルブは、図９、図１０に
示すように流体流通路の途中に直交して配設され、シリ
ンダーに空気圧を供給することにより、又はハンドル車
を回転することにより、アーム５１に連結されているゲ
ート押し５２とゲート５３を移動し、開閉する。即ち、
図９に示すようにゲート５３がローラー５４に接する
と、カム５５（又はリンク）により力の方向が変換され
てゲート５３の周囲の溝に嵌め込まれているＯリング５
６を、本体５７の内壁に設けられたバルブシート面５８
に押し付け、完全閉止状態とすることができる。これと
は逆に、Ｏリング５６によりバルブシート面５８に圧着
されているゲート５３をスプリング５９の引張力により
一旦バルブシート面５８から引き離し、その状態から更
にアーム５１を引き戻すことにより、図１０に示すよう
にゲート押し５２とゲート５３を移動させてゲート５３
を開放することができる。従って、Ｏリング５６はバル
ブシート面５８に圧着されるのみで、全く摺動しないと
されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このゲート
バルブは、前記のようにゲート５３を閉じる動きを図１
１（ａ），（ｂ）に示すように台形状のカム５５で作動
させるが、開く動作はスプリング５９の引張力によるも
のであった。

【０００４】そのため、Ｏリング５６がバルブシート面
５８に張り付いてしまうと、スプリング５９の引張力で
はゲート５３が開かず、ゲート５３をアーム５１、ゲー
ト押し５２の後退に伴う引き上げ力で開くことになり、
Ｏリング５６がバルブシート面５８をこすることとな
る。また、ゲート５３の裏面から圧力が加わる逆圧状態
でもスプリング５９の引張力だけではゲート５３を開く
ことができず、結局、ゲート５３を引き上げる力で開く
ことになり、Ｏリング５６がバルブシート面５８をこす
ることになる。

【０００５】このようにＯリング５６がバルブシート面
５８をこすることは、パーティクルの発生が増大するの
で、半導体製造装置においてはぜひとも回避しなければ
ならない問題である。また、前記の無摺動ゲートバルブ
の構造では、バルブの内側にカム５５やローラー５４な
どの摺動部を有するので、発塵し易かった。さらに反応
ガスが触れる部位で使用される場合、ゲート５３は、生
成物が付着しないようにヒーターにより加熱するように
するが、その場合、Ｏリング５６が熱によりバルブシー
ト面５８に粘着し易くなり、ゲート５３を開く時、Ｏリ
ング５３のこすれ現象は免れることができなくなる。

【０００６】そこで本発明は、Ｏリングが貼り付いて
も、また、ゲートの裏面から圧力が加わる逆圧状態でも
ゲートをほぼ水平方向に移動させて開閉し、上下できる
ようにして、Ｏリングのこすれ現象を無くし、ゲートを
スムーズに、且つ確実に開閉できるとともに、パーティ
クルの発生を抑制できるようにした半導体製造装置用無
摺動ゲートバルブを提供しようとするものである。ま
た、本発明は、ゲートを均一に加熱でき、Ｏリングがバ
ルブシート面に粘着し易くなってもゲートを開く時にＯ
リングのこすれ現象を無くし、ゲートをスムーズに、且
つ確実に開閉できるとともに、パーティクルの発生を抑
制できるようにした半導体製造装置用無摺動ゲートバル
ブを提供しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の半導体製造装置用無摺動ゲートバルブは、流
路口を開閉するゲートの表面周縁部にＯリングが備えら
れ、ゲートのステムがベローズに挿通され、前記ステム
における前記ベローズの上方突出部と上端部に夫々ステ
ムホルダーとローラーホルダーが取付けられ、ゲート開
閉用の左右両側のシリンダーのピストンロッド上端にカ
ムプレートが結合され、このカムプレートの下側に前記
ゲート開閉用のカム溝を有するローラーカムが左右一対
設けられ、前記ステムホルダーの左右に支点ローラーが
軸支され、前記ステムおよびステムホルダーを介し、前
記ゲートを前記流路口との対向位置と、前記流路口の開
放位置とに前記流路口の軸心と直角方向に移動させるこ
とができ、且つ前記ゲートを前記流路口に対向させた位
置で前記流路口を開閉することができるように、前記支
点ローラーが夫々前記シリンダーのハウジング外側面に
おける垂直溝に上下動可能に、且つ回転可能に嵌合さ
れ、前記ローラーホルダーに左右一対のカム用ローラー
が支持され、これらのカム用ローラーが前記ローラーカ
ムのカム溝に係合され、前記ステムホルダーの左右両側
上面と前記ローラーカムの左右両側下面との間で夫々前
記ステム、ゲート等を前記流路口の開放側へ回転させる
ように付勢する方向にスプリングが張設され、前記ロー
ラーカムのカム溝は、このローラーカムの移動方向にお
いて前記スプリングにより付勢された前記カム用ローラ
ーを係合する円弧状の係合部に続いて前記カム用ローラ
ーを前記スプリングの弾性に抗して乗り越えさせる頂点
部により緩やかに屈折する形状に形成され、前記カム用
ローラーが前記係合部に係合された状態で前記ステム、
ゲート等が前記スプリングの引張力により前記支点ロー
ラーを中心として前記流路口の開放位置に回動した状態
に保持され、前記カム用ローラーが前記係合部から前記
頂点部を、前記ローラーカムの移動方向において前記頂
点部の高さと同じ、若しくは前記頂点部より僅に低くな
る位置に乗り越えることにより、前記ステム、ゲート等
が前記スプリングの引張力に抗し、前記支点ローラーを
中心として前記流路口の閉塞位置に回動した状態に保持
されるように構成されていることを特徴とするものであ
る。

【０００８】上記課題を解決するための本発明の他の半
導体製造装置用無摺動ゲートバルブは、上記構成におい
て、ゲートの裏面側にこのゲートを加熱するためのゲー
トヒーターが設けられたことを特徴とするものである。

【０００９】上記課題を解決するための本発明の更に他
の半導体製造装置用無摺動ゲートバルブは、前記ゲート
ヒーターに加えてベローズの外周側にシーズヒーターを
備えたことを特徴とするものである。

【００１０】前記のように構成された本発明の半導体製
造装置用無摺動ゲートバルブによれば、ゲートが流路口
に対向した位置でシリンダーの推力により流路の外部に
設けたカム機構を動作させ、ゲートをほぼ水平方向に移
動させて流路口を開閉することができる。そして、カム
機構においてカム溝は、スプリングにより付勢されたカ
ム用ローラーを係合する円弧状の係合部に続いて前記カ
ム用ローラーを前記スプリングの弾性に抗して乗り越え
させる頂点部により緩やかに屈折する形状に形成されて
いるので、シリンダーの推力によりゲートが流路口の開
放状態で上下動する間、カム用ローラーをカム溝の係合
部に係合し、カム用ローラー２４がカム溝において頂点
部を乗り越えなければステム、ゲート等を支点ローラー
を中心として回動させて流路口を閉じることができない
ようになっている。したがって、カム用ローラーが頂点
部を乗り越える荷重が大きくなるので、スプリングの引
張力が小さくても、本ゲートバルブを上下逆向きの配置
で使用した場合など、ゲート等の自重と慣性でゲートが
流路口に対向する以前に閉鎖位置へ揺動するのを防止す
ることができる。また、ゲートで流路口を閉塞する際、
カム用ローラーがカム溝における頂点部を、ローラーカ
ムの移動方向において頂点部の高さと同じ、若しくは頂
点部より僅に低くなる位置に乗り越えることで、ゲート
の締め付け推力を大きくすることができ、シリンダーの
操作圧力がなくなっても流路口の閉塞状態にロックする
ことができる。このように流路の外部にカム機構を設
け、流路の内部に摺動部が無いので、発塵を防止するこ
とができる。また、ゲートの裏面から圧力がかかる逆圧
状態でも同様にゲートの開動作を行うことにより、Ｏリ
ングのこすれ現象はなくなる。

【００１１】また、ゲートをその裏面側に設けられたゲ
ートヒーターにより加熱することにより、Ｏリングは粘
着し易くなるが、ゲートを開放するには、前記のように
シリンダー推力で強制的にカム機構を動作させることに
より、ゲートをほぼ水平に移動させるので、Ｏリングの
こすれ現象はなくなる。したがって、パーティクルの発
生も無くなり、ゲートの開閉はスムーズに安定して行う
ことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の半導体製造装置用
無摺動ゲートバルブの実施形態を反応ガスが触れる部位
で使用した場合について説明する。図１〜図６におい
て、１はボディ、２はボディ１の前面側に設けられた流
路口３を開閉するゲートで、このゲート２の表面は上部
が厚く、下部が薄くなるように僅かにテーパが付され、
表面周縁部に形成された溝にフッ素ゴム製Ｏリング４が
備えられ、裏面側にゲートヒーターが設けられている。
ゲートヒーターは、ゲート２の裏面に配置され、ゲート
２と同じ大きさのホットプレート６とシールプレート５
とにシーズヒーター９が内蔵されている。ゲートヒータ
ーは、ホットプレート６の背面に取付けられたコネクタ
ー７を介してステム８の下端部に接続されている。ステ
ム８の下側でゲート２がゲートヒーターのシールプレー
ト５上に重ねられ、ホットプレート６の背面側からボル
ト４６により取り付けられている。ステム８の下端部内
側の空所にはシーズヒーター９の外部接続部９ａ及び温
度調節用の熱電対１０が収められている。

【００１３】ボディ１の上面にボンネット１１が固設さ
れ、ボンネット１１の中央透孔１２にステム８が挿通さ
れている。ステム８の突出部外周にはベローズ１４が設
けられ、ベローズ１４は中央透孔１２の下縁周縁に固設
されたフランジ１３とステム８の上端側外周に固設され
た支持部材とに取付けられている。ベローズ１４は外周
側にシーズヒーター１６及び熱電対１７が備えられてい
る。ステム８の上端部にはステムホルダー１５が取り付
けられ、ステムホルダー１５の左右両側下部には支点ロ
ーラー１８が回転可能に軸支されている。ボンネット１
１上の左右両側にゲート開閉用のシリンダー１９が立設
され、前記左右の支点ローラー１８がシリンダー１９の
ハウジング２０における外側面に形成された垂直溝２１
に上下動可能に嵌合されている。そして、ステム８、ゲ
ート２等が垂直溝２１と支点ローラー１８との案内によ
り流路口３の軸心と直角方向で上下動し、上昇によりゲ
ート２が流路口３の上方へ離脱し、支点ローラー１８が
垂直溝２１の下端部に係合した下降位置でゲート２が流
路口３に対向し、この下降位置で支点ローラー１８を中
心としてステム８、ゲート２等が回動してゲート２によ
り流路口３をほぼ水平方向（軸心に沿う方向）で開閉し
得るようになっている。

【００１４】左右両側のシリンダー１９のピストンロッ
ド２２の上端にはカムプレート２３の左右両端部が結合
されている。カムプレート２３にはローラーカム２６が
左右一対設けられ、この左右一対のローラーカム２６は
ゲート２を開閉するためのカム溝２５を有している。ス
テム８の上端にローラーホルダー２７が結合され、ロー
ラーホルダー２７に左右一対のカム用ローラー２４が回
転可能に支持され、各カム用ローラー２４がカム溝２５
に係合されている。

【００１５】各ローラーカム２６のカム溝２５は、ロー
ラーカム２６の上下方向への移動方向において、後述す
るスプリング３０により付勢されたカム用ローラー２４
を係合する円弧状の係合部２５ｂに続いてカム用ローラ
ー２４をスプリング３０の弾性に抗して乗り越えさせる
頂点部２５ａにより緩やかに屈折する傾斜面２５ｃに形
成されている。そして、カム用ローラー２４が係合部２
５ｂに係合された状態（図２、図５および図３の実線参
照）で、ステム８、ゲート２等が支点ローラー１８を中
心として流路口３の開放位置に回動した状態に保持さ
れ、カム用ローラー２４が頂点部２５ａを傾斜面２５ｃ
側でローラーカム２６の移動方向にいて頂点部２５ａの
高さと同じ、若しくは頂点部２５ａより僅に低くなる位
置に乗り越えることにより（図６および図３の鎖線参
照）、ステム８、ゲート２等が支点ローラー１８を中心
として流路口３の閉塞位置に回動し得るように設定され
ている（なお、図３においては、図示の便宜上、カム用
ローラー２４を上下に移動させて示しているが、ゲート
２による流路口３に対向した流路口３の開閉位置ではカ
ム用ローラー２４は上下に移動せず、ローラーカム２６
が上下に移動する。）。ステムホルダー１５の左右両側
上面の後端部にはスプリング用フック２８が設けられ、
ローラーカム２６の左右両側下面の前端部にはスプリン
グ用フック２９が設けられ、これらスプリング用フック
２８、２９間に夫々前後方向、即ち、ステム８、ゲート
２等を流路口３の開放側へ回動させるように付勢するス
プリング３０が張設されている。

【００１６】尚、３１は左右両側のシリンダー１９にワ
ンタッチ継手３２にて接続した流体供給管、３３は流体
流量を制御してシリンダー１９の作動速度を調整するス
ピードコントローラ、３４はサイドプレート、３５はア
ッパープレート、３６はカバープレート、３７、３８は
シーズヒーター９、シーズヒーター１６の端子板、３９
はヒーターのコードで、ホルダー４０に保持されてい
る。

【００１７】前記シリンダー１９の図１に示すストロー
クＡは、ゲートの図２に示すストロークＢにローラーカ
ム２６の図３に示す作動ストロークＣを加えたもので、
作動ストロークＣは図３に示す水平方向の動きＤに変換
されるものである。

【００１８】このように構成された本実施形態の半導体
製造装置用無摺動ゲートバルブは、例えば、ＣＶＤ装置
の反応炉とロードロック室の仕切りに用いられる。今、
図１、図２に示すように、ステム８、ゲート２等が上昇
し、カム用ローラー２４がローラーカム２６のカム溝２
５における係合部２５ｂに係合し、流路口３を開放した
状態に保持しているとする。この状態から流路口３を閉
じるには、左右両側のシリンダー１９の上室にエアーを
供給し、ピストンロッド２２の上端に結合されたカムプ
レート２３およびローラーカム２６を図４、図５に示す
ように下降させる。これに伴い、スプリング３０の引張
力によりカム溝２５の係合部２５ｂに係合状態に保持さ
れているカム用ローラー２４を介してローラーホルダー
２７、ステム８、ゲート２、ステムホルダー１５等が垂
直溝２１と支点ローラー１８の案内によりベローズ１４
を圧縮させて下降する。ゲート２がボディ１の流路口３
に対面するレベルまで下降すると、ステムホルダー１５
の左右両側下部に軸支された支点ローラー１８がシリン
ダー１９のハウジング２０における垂直溝２１の下端に
係合して停止する。これにより、ステムホルダー１５に
保持されたステム８の下降も停止する結果、ゲート２は
ストロークＢで下降が停止する。

【００１９】続いて、シリンダー１９の作動によりカム
プレート２３およびローラーカム２６が図３に示すスト
ロークＣだけ下降すると、スプリング３０の引張力に抗
してカム用ローラー２４をカム溝２５の係合部２５ｂか
ら頂点部２５ａを傾斜面２５ｃ側へ乗り越えさせて後方
に距離Ｄだけほぼ水平移動する結果、カム用ローラー２
４を保持せるローラーホルダー２７、ステムホルダー１
５、スムテ８、ゲート２等が支点ローラー１８を支点に
して図６に示すように傾動し、表面にテーパが付された
ゲート２の表面が垂直となって流路口３を閉じることに
なる。そして、ゲート２の表面周縁部のＯリング４は流
路口３の周縁部に密着し、確実にシールすることにな
る。このとき、前記のようにカム用ローラー２４が頂点
部２５ａをローラーカム２６の移動方向において頂点部
２５ａの高さと同じ、若しくは頂点部２５ａより僅に低
くなる位置に乗り越えるようにして、ステム８、ゲート
２等がほとんど傾動しないようにしている。したがっ
て、カム用ローラー２４がカム溝２５の頂点部２５ａに
位置するゲート２による流路口３の閉状態で、ゲート２
の推力が最大となり、Ｏリング４やステム８の弾性によ
りシール荷重を保持するように設定しておくことによ
り、ローラーカム２６が前記のように頂点部２５ａを乗
り越えたゲート２による流路口３の閉状態でゲート２の
推力をほとんど弱めることなく、確実にシールした閉状
態でロックすることができる。

【００２０】これとは逆に、流路口３を開放するには、
左右両側のシリンダー１９の下室にエアーを供給し、ピ
ストンロッド２２の上端に結合されたカムプレート２３
およびローラーカム２６を図４、図５に示すように上昇
させる。この上昇に伴い、まず、ローラーカム２６が図
３に示すストロークＣだけ上昇すると、カム溝２５にお
ける頂点部２５ａを傾斜面２５ｃ側に乗り越えた状態に
保持されているカム用ローラー２４が頂点部２５ａを乗
り越えてスプリング３０の引張力により前方に距離Ｄだ
けほぼ水平移動して係合部２５ｂに落ち込んで係合する
結果、カム用ローラー２４を保持せるローラーホルダー
２７、ステムホルダー１５、ステム８、ゲート２等が支
点ローラー１８を支点にして回動し、垂直に起立してゲ
ート２が流路口３の周縁より離れる。

【００２１】続いて、カムプレート２３、ローラーカム
２６、ローラーカム２６のカム溝２５における係合部２
５ｂにスプリング３０の引張力により係合状態に保持さ
れたカム用ローラー２４、ローラーホルダー２７、ステ
ム８、ゲート２、ステムホルダー１５等が垂直溝２１と
支点ローラー１８との案内によりベローズ１４を伸長し
て上昇する。ゲート２が図１、図２に示すように流路口
３を開放するレベルまでストロークＢだけ上昇すると、
シリンダー１９のストロークがＡ＝Ｂ＋Ｃの上昇限とな
り、ゲート２の上昇は停止する。

【００２２】そして、前記のようにシリンダー１９の作
動によりゲート２が流路口３の開放状態で上下動する
間、カム用ローラー２４をカム溝２５の係合部２５ｂに
係合し、カム用ローラー２４がカム溝２５の頂点部２５
ａを傾斜面２５ｃ側へ乗り越えなければステム８、ゲー
ト２等を回動させて流路口３を閉じることができないよ
うになっている。したがって、カム用ローラー２４が頂
点部２５ａを乗り越える荷重が大きくなるので、スプリ
ング３０の引張力が小さくても、本ゲートバルブを上下
逆向きに配置した場合など、ゲート２等の自重と慣性で
ゲート２が流路口３に対向する以前に流路口３の閉鎖位
置へ揺動するのを防止し、Ｏリング４を流路口３の周縁
でこすらないようにすることができる。また、ゲート２
で流路口３を閉塞する際、カム用ローラー２４がカム溝
２５における頂点部２５ａを乗り越えることで、ゲート
２の締め付け推力を大きくすることができ、シリンダー
１９の操作圧力がなくともロックすることができる。

【００２３】かかる無摺動ゲートバルブは、ゲート２を
裏面側のホットプレート６に収めたシーズヒーター９に
よりシールプレート５を介して加熱しているので、、ゲ
ート２やＯリング４にＣＶＤ装置の反応炉で生成した反
応生成物が付着しないようにすることができる。また、
ステム８を上下動するように挿通したベローズ１４を外
周側からシーズヒーター１６により加熱しているので、
ベローズ１４に反応生成物が付着しないようにすること
ができる。また、ゲート２の加熱によりＯリング４の流
路口３周囲に対する粘着性が生じても、ローラーカム２
６のカム溝２５とカム用ローラー２４との係合によるカ
ム機構をシリンダー１９の推力により強制的に動作させ
て、ゲート２を流路口３の軸線方向に沿うようにほぼ水
平方向に移動させて開くので、Ｏリング４は流路口３の
周縁をこすることがなく、パーティクルの発生を抑制で
きる。また、ゲート２の裏面から圧力が加わる逆圧状態
でも、シリンダー１９の推力で強制的にカム機構を動作
し、ゲート２をほぼ水平方向に移動させて開くので、Ｏ
リング４は流路口３の周縁をこすることがなく、パーテ
ィクルの発生を抑制できる。

【００２４】上記実施形態におけるゲートバルブは、反
応ガスが触れる部位で使用しているが、反応ガスが触れ
ず、生成物等が付着することのない部位で使用する場合
には、ゲート２の裏面側にゲートヒーターを内蔵する必
要がなく、また、ベローズ１４の外周側にシーズヒータ
ー１６を備える必要はない。

【００２５】次に、上記実施形態の半導体製造装置用無
摺動ゲートバルブにおいて用いられるゲートヒーターの
他の例について説明する。図７（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）に示すように、軸中心部に透孔４１を設
けたステム８′の下端部がホットプレート６′の上板中
央に貫通されてホットプレート６′の上端中央に結合さ
れ、上板中央の貫通部周縁とステム８′とがシール溶接
されている。ホットプレート６′のゲート２側の表面周
縁部に溝４２が形成され、この溝４２内にカートリッジ
ヒーター４３が収められ、カートリッジヒーター４３の
電線４４がステム８′の軸中心部の透孔４１に通され、
図１に示されるハウジング２０の上側のサイドプレート
３４に取り付けられている端子板３７に接続されてい
る。ホットプレート６′の表面にシールプレート５′が
当てがわれ、それらの全周にシール溶接４５が施されて
カートリッジヒーター４３が密閉されている。そして、
前記のように構成されたゲートヒーターにおけるシール
プレート５′の表面に同じ大きさのゲート２が重ねら
れ、ホットプレート６′の背面からボルト４６にて締め
付けられてゲート２がゲートヒーターに取外し可能に取
り付けられている。

【００２６】次に、上記実施形態の半導体製造装置用無
摺動ゲートバルブに用いられるゲートヒーターの更に他
の例について説明する。図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、
（ｄ）に示すように、ホットプレート６′のゲート２側
の表面周縁部に溝状の熱媒流路４２が形成されている。
ステム８′の軸中心部に設けた透孔４１に熱媒供給管４
８の一端がステム８′の上端にねじにより固定した熱媒
給排ブロック４７の熱媒供給口４７ａに接続され、熱媒
供給管４８の他端がＬ形の継手管４９を介して熱媒流路
４２に接続されている。熱媒供給管４８の外周の熱媒排
出路４８′が熱媒給排ブロック４７における熱媒排出口
４７ｂを横向きに有する熱媒排出路４８″に接続されて
いる。ホットプレート６′の表面にシールプレート５′
が当てがわれ、それらの全周にシール溶接４５が施され
て熱媒流路４２が密閉されている。そして、前記のよう
に構成されたゲートヒーターにおけるシールプレート
５′の表面に同じ大きさのゲート２が重ねられ、ホット
プレート６′の背面からボルト４６にて締め付けられて
ゲート２がゲートヒーターに取外し可能に取り付けられ
ている。

【００２７】前記ゲートヒーターのように、カートリッ
ジヒーター４３や熱媒循環方式のヒーターを収めたホッ
トプレート６′をシールプレート５′にて完全密閉する
ことにより、大気圧から真空への圧力変化があっても温
度が不均一となることがなく、ゲート２は均一に加熱さ
れる。

【００２８】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、ゲートを
ほぼ水平方向に移動させて流路口を開閉するようにした
半導体製造装置用無摺動ゲートバルブにおいて、シリン
ダー推力で強制的にカム機構を動作させることにより、
ゲートの裏側から圧力が加わる逆圧状態でも、ゲートを
ほぼ水平方向に移動させて流路口を開閉することがで
き、しかも、シール用Ｏリングは流路口の周縁をこすら
ないようにすることができるので、ゲートをスムーズ
に、且つ確実に開閉することができるとともに、パーテ
ィクルの発生を抑制することができる。

【００２９】また、反応ガスが触れる部位、例えばＣＶ
Ｄ装置等の反応炉の仕切りに使用する場合、ゲートやシ
ール用Ｏリングに反応生成物が付着しないようにゲート
を加熱することにより、シール用Ｏリングが粘着しても
前記と同様にシール用Ｏリングは流路口の周縁をこする
ことがなく、ゲートをスムーズに、且つ確実に開閉する
ことができるとともに、パーティクルの発生を抑制する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の半導体製造装置用無摺動ゲートバルブ
の一実施形態を示す開状態の縦断正面図である。

【図２】同半導体製造装置用無摺動ゲートバルブを示
し、図１のＩ−Ｉ線縦断側面図である。

【図３】同半導体製造装置用無摺動ゲートバルブに用い
るカム機構を示す縦断面図である。

【図４】同半導体製造装置用無摺動ゲートバルブを示
し、流路口を閉じるためにゲートを垂直に下降した状態
の縦断面図である。

【図５】同半導体製造装置用無摺動ゲートバルブを示
し、図４のII−II線縦断側面図である。

【図６】同半導体製造装置用無摺動ゲートバルブを示
し、ゲートを傾動して流路口を閉鎖した状態の縦断側面
図である。

【図７】本発明の半導体製造装置用無摺動ゲートバルブ
に用いるゲートヒーターの他の例を示し、（ａ）はゲー
ト取付け前の一部縦断正面図、（ｂ）は（ａ）のIII−I
II線縦断側面図、（ｃ）は（ａ）の側面図、（ｄ）はゲ
ートを取付けた状態における（ａ）のIV−IV線断面矢視
図である。

【図８】本発明の半導体製造装置用無摺動ゲートバルブ
に用いるゲートヒーターの更に他の例を示し、（ａ）は
ゲート取付け前の一部縦断正面図、（ｂ）は（ａ）のＶ
−Ｖ線縦断側面図、（ｃ）は（ａ）の側面図、（ｄ）は
ゲートを取付けた状態における（ａ）のVI−VI線断面矢
視図である。

【図９】従来のゲートバルブを示し、閉状態の縦断側面
図である。

【図１０】同ゲートバルブを示し、開状態の縦断側面図
である。

【図１１】同ゲートバルブにおけるゲートを閉じるカム
機構を示し、（ａ）はゲートが開いたとき、（ｂ）はゲ
ートを閉じたときの状態を示す一部拡大図である。

【符号の説明】

１ ボディ ２ ゲート ３ 流路口 ４ Ｏリング ５，５′ シールプレート ６，６′ ホットプレート ８，８′ ステム ９ シーズヒーター １４ ベローズ １５ ステムホルダー １６ シーズヒーター １８ 支点ローラー １９ シリンダー ２０ ハウジング ２１ 垂直溝 ２２ ピストンロッド ２３ カムプレート ２４ カム用ローラー ２５ カム溝 ２６ ローラーカム ２７ ローラーホルダー ３０ スプリング ４２ 熱媒流路 ４３ カートリッジヒーター ４５ シール溶接 ４６ ボルト ４７ 熱媒給排ブロック

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路口を開閉するゲートの表面周縁部に
   Ｏリングが備えられ、ゲートのステムがベローズに挿通
   され、前記ステムにおける前記ベローズの上方突出部と
   上端部に夫々ステムホルダーとローラーホルダーが取付
   けられ、ゲート開閉用の左右両側のシリンダーのピスト
   ンロッド上端にカムプレートが結合され、このカムプレ
   ートの下側に前記ゲート開閉用のカム溝を有するローラ
   ーカムが左右一対設けられ、前記ステムホルダーの左右
   に支点ローラーが軸支され、前記ステムおよびステムホ
   ルダーを介し、前記ゲートを前記流路口との対向位置
   と、前記流路口の開放位置とに前記流路口の軸心と直角
   方向に移動させることができ、且つ前記ゲートを前記流
   路口に対向させた位置で前記流路口を開閉することがで
   きるように、前記支点ローラーが夫々前記シリンダーの
   ハウジング外側面における垂直溝に上下動可能に、且つ
   回転可能に嵌合され、前記ローラーホルダーに左右一対
   のカム用ローラーが支持され、これらのカム用ローラー
   が前記ローラーカムのカム溝に係合され、前記ステムホ
   ルダーの左右両側上面と前記ローラーカムの左右両側下
   面との間で夫々前記ステム、ゲート等を前記流路口の開
   放側へ回転させるように付勢する方向にスプリングが張
   設され、前記ローラーカムのカム溝は、このローラーカ
   ムの移動方向において前記スプリングにより付勢された
   前記カム用ローラーを係合する円弧状の係合部に続いて
   前記カム用ローラーを前記スプリングの弾性に抗して乗
   り越えさせる頂点部により緩やかに屈折する形状に形成
   され、前記カム用ローラーが前記係合部に係合された状
   態で前記ステム、ゲート等が前記スプリングの引張力に
   より前記支点ローラーを中心として前記流路口の開放位
   置に回動した状態に保持され、前記カム用ローラーが前
   記係合部から前記頂点部を、前記ローラーカムの移動方
   向において前記頂点部の高さと同じ、若しくは前記頂点
   部より僅に低くなる位置に乗り越えることにより、前記
   ステム、ゲート等が前記スプリングの引張力に抗し、前
   記支点ローラーを中心として前記流路口の閉塞位置に回
   動した状態に保持されるように構成されていることを特
   徴とする半導体製造装置用無摺動ゲートバルブ。
2. 【請求項２】 ゲートの裏面側にこのゲートを加熱する
   ためのゲートヒーターが設けられていることを特徴とす
   る請求項１記載の半導体製造装置用無摺動ゲートバル
   ブ。
3. 【請求項３】 ベローズの外周部にシーズヒーターが備
   えられていることを特徴とする請求項２記載の半導体製
   造装置用無摺動ゲートバルブ。