CN201695083U - 真空镀膜生产线用插板阀 - Google Patents

Abstract

一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体、第二真空箱体、插板阀、滑杆，所述第一真空箱体、第二真空箱体上设有通道口，所述插板阀包括第一阀门本体和第二阀门本体，所述第一阀门本体、第二阀门本体安装在所述滑杆的两侧并且可随滑杆沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆安装在所述第一真空箱体、第二真空箱体之间，所述第一阀门本体、第二阀门本体之间安装有回位拉簧及与外设压力气源连接的波纹气管，本实用新型具有使用方便、密封效果好、避免各腔体作业时产生互相干扰等优点，可替代现有真空镀膜生产线用的转板阀。

Description

真空镀膜生产线用插板阀

技术领域

本实用新型涉及一种紧闭机构，特别是一种真空镀膜生产线用插板阀。

背景技术

一般在连续式的真空镀膜设备中，由于各个腔体的功能有所不同，其所需要的真空度亦有所差异，因此腔体与腔体之间需要架设闸门阀，用于将腔体隔开，避免各腔体在作业时产生相互干扰的情形。

由于镀膜过程必须在真空环境下进行，因此该闸门阀的阀门板必须紧闭、密合，否则一旦有真空度不佳的现象发生，镀膜过程势必发生瑕疵而造成整批工件良品率不足的缺陷。

目前真空镀膜设备各真空箱体之间使用的的阀门为转板阀，即利用转动轴体带动阀板转动，然而，轴体带动阀板转动时，由于力臂短，在阀板升起或关闭时需要的力较大，而且阀板并不具备任何确保其闭合、密封的机制，可能致使镀膜过程因真空度不佳而发生制品瑕疵，在设计上确有其不周之处。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之不足而提供一种使用方便、密封效果好、避免各腔体作业时产生互相干扰的真空镀膜生产线用插板阀。

本实用新型的目的通过下述技术方案予以实现：

一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体、第二真空箱体、插板阀、滑杆，所述第一真空箱体、第二真空箱体上设有通道口，所述插板阀包括第一阀门本体和第二阀门本体，所述第一阀门本体、第二阀门本体安装在所述滑杆的两侧并且可随滑杆沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆安装在所述第一真空箱体、第二真空箱体之间，所述第一阀门本体、第二阀门本体之间安装有回位拉簧及与外设压力气源连接的波纹气管。

本实用新型中，在所述第一阀门本体、第二阀门本体上设有相互匹配的导向销及导向孔。

本实用新型中，所述第一阀门本体、第二阀门本体上设有与真空镀膜箱体上设置的通道口位置相对应的密封条。

本实用新型中，所述滑杆与外设液压油缸活塞连接驱动。

由于采用上述结构，关闭阀门的动作分为两个步骤，首先是外设液压油缸活塞推动滑杆移动，带动插板阀置于第一真空箱体、第二真空箱体的通道口之间，然后启动外设压力气源，将第一阀门本体、第二阀门本体顶压在通道口，密封通道口，采用这种方式阀门与通道口密封均匀，密封效果好。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1A-A面的截面图。

图3为图2阀门移出图。

附图1、2、3中：1---第二真空箱体，2---滑杆，3---滚轮，4---气泵，5---第二阀门本体，6---波纹气管，7---回位弹簧，8---第一阀门本体，9---第一真空箱体，10---通道口，11---密封条，12---导向孔，13---导向销。

具体实施方式

下面结合附图，来详细说明真空镀膜生产线用插板阀的具体实施方式。

如图1、2、3所示，一种真空镀膜生产线用插板阀，包括第一真空箱体9、第二真空箱体1、插板阀、滑杆2，所述第一真空箱体9、第二真空箱体1上设有通道口10，所述插板阀包括第一阀门本体8和第二阀门本体5，所述第一阀门本体8、第二阀门本体5安装在所述滑杆2的两侧并且可随滑杆2沿滑杆2轴线方向移动，所述滑杆2安装在所述第一真空箱体9、第二真空箱体1之间设置的滚轮3上，并通过外设液压油缸活塞与滑杆2连接驱动滑杆2来回移动，所述第一阀门本体8、第二阀门本体5之间安装有回位拉簧7及与外设压力气源连接的波纹气管6。在所述第一阀门本体8、第二阀门本体5上设有相互匹配的导向销13及导向孔12。

本实用新型中，所述第一本体8、第二阀门本体5与通道口10相对应的位置设有密封条11。

工作时，当需要镀膜的玻璃进入真空箱体后，在外设液压油缸活塞的推动下滑杆2在滚轮3上移动至第一真空箱体9、第二真空箱体1的通道口10之间，同时第一阀门本体8、第二阀门本体5处于与第一真空箱体9、第二真空箱体1的通道口10相对应的位置，随后启动外设压力气源，通过与外设压力气源连接的波纹气管6将第一阀门本体8、第二阀门本体5顶压在通道口10，将通道口10密封，同时，对真空箱体抽真空，待达到预定真空度时，外设压力气源停止工作，第一阀门本体8、第二阀门本体5在回位弹簧7的作用下与通道口10脱离，外设液压油缸活塞再次推动滑杆2带动第一阀门本体8、第二阀门本体5移出，完成插板阀的关闭与开启。同时，在插板阀开启时，需要镀膜的玻璃即可通过第一真空箱体9、第二真空箱体1的通道口10进行传送，进入下一个工位。

Claims (4)

1.一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于：包括第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)、插板阀、滑杆(2)，所述第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)上设有通道口(10)，所述插板阀包括第一阀门本体(8)和第二阀门本体(5)，所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)安装在所述滑杆(2)的两侧并且可随滑杆(2)沿滑杆轴线方向移动，所述滑杆(2)安装在所述第一真空箱体(9)、第二真空箱体(1)之间，所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)之间安装有回位拉簧(7)及与外设压力气源连接的波纹气管(6)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于：在所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)上设有相互匹配的导向销(13)及导向孔(12)。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于：所述滑杆(2)与外设液压油缸活塞连接驱动。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种真空镀膜生产线用插板阀，其特征在于：在所述第一阀门本体(8)、第二阀门本体(5)上设有与真空镀膜箱体上设置的通道口(10)位置相对应的密封条(11)。

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