KR102224594B1 - 게이트 밸브 시스템 - Google Patents

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KR102224594B1
KR102224594B1 KR1020190073509A KR20190073509A KR102224594B1 KR 102224594 B1 KR102224594 B1 KR 102224594B1 KR 1020190073509 A KR1020190073509 A KR 1020190073509A KR 20190073509 A KR20190073509 A KR 20190073509A KR 102224594 B1 KR102224594 B1 KR 102224594B1
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최대규
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(주) 엔피홀딩스
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Abstract

본 발명은 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되는 모노 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.

Description

게이트 밸브 시스템{Gate valve system}
본 발명은 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어를 교체할 수 있는 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.
한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.
이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 밀봉 부재(오링)만을 교환할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.
그러나, 이러한 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.
또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.
한편, 종래에는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되어 비교적 구조가 간단하고 작동성이 우수한 모노 타입 게이트 밸브 시스템이 널리 적용되고 있다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 모노 타입 도어에서도 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및 상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 임시 밀폐 장치는, 밀폐문이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치 또는 밀폐문이 회전되는 회전식 밀폐 장치일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은, 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 지지하는 가동대; 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 컨베이어 장치를 이용하여 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 전진시키는 도어 순환 교체 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 컨베이어 장치는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠; 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠; 및 상기 제 1 스프로킷휠과 상기 제 2 스프로킷휠 사이에 순환되도록 권취되는 벨트;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 순환 교체 장치는, 상기 벨트에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어와 체결되어 상기 구형 도어를 상기 벨트 상에 안착시키는 도어 체결 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 체결 장치는, 상기 도어의 삽입홈에 삽입될 수 있는 삽입 돌기 또는 상기 도어가 삽입될 수 있는 수용홈부일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어; 상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치; 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고, 상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은, 도어 수용시, 상기 도어를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부에 안내 경사면이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓 전후진 장치는, 상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및 상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치는, 상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은 상기 도어의 중심부 하방에 배치되고, 상기 커넥팅 블록은, 상기 도어의 좌우 단부 하방에 각각 배치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계; 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치를 나타내는 사시도이다.
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.
도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 체결 장치를 나타내는 사시도이다.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.
도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 나타내는 단면도이다.
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 사시도이다.
도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 정면도이다.
도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 후진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 브라켓 전후진 장치를 나타내는 사시도이다.
도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 스토퍼를 나타내는 단면도이다.
도 41은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 42는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 43은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100~800)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 작동 도면들이다.
먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 모노 타입의 도어(20)와, 승하강대(30)와, 승하강축(40) 및 도어 교체용 이동 장치(50)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 모노 타입의 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 승하강대(30)와, 상기 승하강축(40) 및 상기 도어 교체용 이동 장치(50) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분에 개폐문(D)이 설치되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부 또는 상기 승하강대(30)에 상기 도어 교체 영역(A)의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 형상으로 형성되고, 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어(20)일 수 있다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어(20)의 일례를 나타내는 사시도이다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17에 도시된 바와 같이, 모노 타입의 도어(20)에 적용되는 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 도어(20)의 상승 동작만으로 수평 방향으로 형성된 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 3차원적으로 단차지게 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 도어(20)는 도 17에 국한되지 않고, 단일 동작만으로 상기 통로를 개폐시킬 수 있는 모노 타입의 모든 도어들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강대(30)는, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 수평 방향으로 연장되게 형성되는 테이블 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강축(40)은, 상기 승하강대(30)를 승하강시킬 수 있도록 상기 승하강대(30)의 하면으로부터 수직 방향으로 연장되는 막대 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역(A)으로 이동될 수 있도록 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 장치일 수 있다.
여기서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)에 설치되고, 상기 승하강대(30)를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치(51)일 수 있다.
이러한, 상기 승하강대 전후진 장치(51)는 각종 유압 또는 공압 실린더 장치나, 솔레노이드나, 모터 또는 리니어 모터 등 각종 구동 장치나 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있는 것으로서, 상세한 설명은 생략한다.
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강대 전후진 장치(51)에 의해서, 상기 승하강대(30)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.
이어서, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
그러므로, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치(52)와, 상기 승하강축(40)의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)에 형성되는 승하강축 가이드홀부(53) 및 상기 승하강축(40)과 상기 밸브 하우징(10)의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부(53)를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징(10)에 설치되는 벨로우즈관(54)을 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 전후진 장치(52)에 의해서, 상기 승하강축(40)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.
이어서, 도 4의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어 교체 영역(A)의 방향에 맞추어 상기 승하강축(40)의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치(55)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 각도 조절 장치(55)에 의해 수직으로 세워진 상기 승하강축(40)이 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 제 1 위치(제 1 각도)에서 제 2 위치(제 2 각도)로 기울어질 수 있다.
이어서, 도 6의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치(각도)로 기울어지면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강대(30)에 설치되고, 상기 도어(20)를 전후진시키는 도어 전후진 장치(56)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 도어 전후진 장치(56)에 의해서, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다.
이어서, 도 8의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 승하강대(30)에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
여기서, 상기 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 하단부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-1)일 수 있다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-2)일 수 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)을 나타내는 작동 도면들이다.
또한, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 전후진 장치(56)는, 또는 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 상기 승하강대(30)로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입 도어 전후진 장치(56-3)일 수 있다.
따라서, 이러한 상기 도어 전후진 장치(56)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 각종 동력 전달 장치나, 실린더나 모터나 리니어 모터 등 매우 다양한 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부에 개폐문(D)이 형성되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치(60)가 설치될 수 있다.
여기서, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치(61)일 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 13의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 14의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 신장되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 회전되는 회전식 밀폐 장치(62)일 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 15의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 15의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 16의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 16의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 회전되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 여기서, 도면에 예시된 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은 L타입을 예시하였으나, 상술된 모노 타입에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 단면도이다. 그리고, 도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 일례를 나타내는 평면도이고, 도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 다른 일례를 나타내는 평면도이고, 도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)를 나타내는 사시도이다.
먼저, 도 18 및 도 21에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 도어 이동 장치(40) 및 도어 순환 교체 장치(150)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 통로(10a)가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 도어 이동 장치(40) 및 상기 도어 순환 교체 장치(150) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 실링 부재(S)가 설치되고, 상기 가동대(30)와 착탈 가능하게 설치되며, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 도어(20)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 도어들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는, 상기 도어(20)를 착탈 가능하게 지지하는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 가동대(30)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 가동 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)는, 승하강축(41)을 이용하여 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상세하게 도시하진 않았지만, 각종 실린더나 모터나 리니어 모터 등 다양한 동력 전달 장치나 구동 장치를 포함하는 각종 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.
한편, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 도어 교환 영역(A)에 설치되고, 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계받아 컨베이어 장치(151)를 이용하여 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 전진시키는 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)의 상기 컨베이어 장치(151)는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠(152)과, 상기 제 1 스프로킷휠(152)에 의해 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠(153) 및 상기 제 1 스프로킷휠(152)과 상기 제 2 스프로킷휠(153) 사이에 순환되도록 권취되는 벨트(154)를 포함할 수 있다.
여기서, 이러한 상기 컨베이어 장치(151)는 도면에 반드시 국한되지 않고, 밸트 타입 컨베이어, 롤러 타입 컨베이어, 체인 타입 컨베이어, 무한궤도 타입 컨베이어, 타이밍 밸트 타입 컨베이어 등 매우 다양한 컨베이어 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 벨트(154)에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어(20-2)와 체결되어 상기 구형 도어(20-2)를 상기 벨트(154) 상에 안착시키는 도어 체결 장치(155)를 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 체결 장치(155)는, 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입될 수 있는 삽입 돌기(155-1)가 적용될 수 있다.
여기서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 상기 도어(20)와의 결합시 선택적으로 신장되어 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입되고, 상기 도어(20)와 분리된 다음, 상기 벨트(154)에 의해 이동시에는 공간을 활용할 수 있도록 수축이 가능한 신축형 삽입 돌기(155-1a)가 적용될 수 있다.
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 예컨대, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 신축이 불가능한 일반적인 삽입 돌기나, 마그넷 자석 부착 장치 등 매우 다양한 도어 체결 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 상기 가동대(30)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 낙하시키는 도어 분리 장치(160)을 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 도어 분리 장치(160)는, 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 도어(20)와 물림 결합되는 적어도 하나의 물림축(161) 및 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 물림축(161)로부터 상기 도어(20)를 분리시킬 수 있도록 상기 도어(20)를 가압하는 적어도 하나의 가압축(162)를 포함할 수 있다.
여기서, 예컨대, 도 19의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 가압축(162)가 설치되고, 중심에 상기 물림축(161)이 설치되는 경우, 도 19의 (b)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 20의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 물림축(161)이 설치되고, 중심에 상기 가압축(162)가 설치되는 경우, 도 20의 (b)에 도시된 바와 같이, 중심의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 2개의 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
따라서, 도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 22의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 폐쇄시에는, 상기 도어(20)가 상기 통로(10a) 방향으로 전진되어 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 이러한 과정을 반복하면서, 도 22의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 상기 도어 분리 장치(160)을 이용하여 상기 도어(20)를 분리시켜서 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 자연 낙하시킬 수 있다.
이어서, 도 22의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해 상기 가동대(30)는 상기 도어 순환 교체 장치(150)에서 대기 중인 신형 도어(20-1)와 체결될 수 있다.
이어서, 도 22의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 이용하여 낙하된 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시키는 동시에, 대기 중인 신형 도어(20-1) 및 수용된 구형 도어(20-2)를 전진시켜서, 새로 발생될 구형 도어(20-2)를 수용할 수 있는 공간을 미리 확보할 수 있다.
이어서, 도 22의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 과정들을 반복할 수 있다.
이후, 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 수용된 모든 도어(20)들이 구형화되면 외부로 언로딩시키고 새로운 도어들을 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 패키지 상태로 로딩할 수 있다.
그러므로, 복수개의 상기 도어(20)들을 동시에 컨베이어 형태로 전진시켜서 구형 도어(20-2)를 신형 도어(20-1)로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 신속한 교체가 가능하다.
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 일례를 나타내는 단면도들이다.
즉, 도 23의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 구형 도어(20-2)를 수용하고, 이를 전방으로 전진시켜서 새로운 공간을 확보하고, 다시 구형 도어(20-2)를 수용하는 일련의 단계들을 반복하면서 내부 진공을 깨뜨리지 않고도 복수개의 신형 도어(20-1)들을 장시간 사용할 수 있다.
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 24에 도시된 바와 같이, 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례로서, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 가이드 부재(G)에 의해 접철이 가능한 접철형 삽입 돌기(155-1b)일 수 있다.
여기서, 접철되는 방향은 전후방향 또는 좌우방향 또는 경사진 방향 등 다양한 각도로 접철될 수 있다.
따라서, 상기 삽입 돌기(155-1)들은 컨베이어 이송시 좁은 공간에서 선택적으로 신장과 수축이 가능하여 공간 확보 측면에서도 유리할 수 있다.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 25에 도시된 바와 같이, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례로서, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 도어(20)가 삽입될 수 있는 수용홈부(155-2)를 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)는 자유 낙하되어 상기 수용홈부(155-2)에 의해 안내 및 지지될 수 있다.
한편, 도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)에 설치된 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치(80)를 더 포함하 수 있다.
도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 식별 장치(80)는, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)의 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 장치로서, 예컨대, 상기 식별자(81)는 RFID 태그 등이 적용될 수 있고, 상기 식별 장치(80)는 RFID 센서나 RFID 제어 장치 등을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)들이 정품으로 식별되는 경우에만 장비의 가동을 가능하게 하여 제품의 안정성과 원활한 작동을 보장할 수 있다.
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 단면도이고, 도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 체결 장치(90)를 나타내는 사시도이다.
먼저, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 브라켓(70)과, 브라켓 전후진 장치(80)와, 체결 장치(90) 및 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 적어도 일부분에 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 전체적으로 통형상 또는 프레임 형상의 구조체일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 28에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 상기 통로(10a)가 형성되는 것으로서, 일반적으로 트랜스퍼 챔버와 공정 챔버 사이 또는 트랜스퍼 챔버 내부에 설치되는 모노 타입의 게이트 밸브 하우징일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되고, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 일종의 실링 플레이트로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 상기 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다. 여기서, 이러한 모노 타입의 도어는 도 17에 도시된 바와 같이, 3차원적인 형상으로 단차지거나 절곡된 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 상기 도어 교체 영역(A)에 설치되는 것으로서, 복수개의 상기 도어(20)를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부(71)가 형성되며, 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 일종의 가동체일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 장치이고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)와 선택적으로 체결되는 장치이며, 상기 승하강 장치(57)는 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 27 및 도 28에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)와 이웃하는 도어 수용홈부(71) 사이의 사이홈부(H4)에 설치되는 격리판(SP)을 더 포함할 수 있다.
여기서, 이러한 상기 격리판(SP)의 형상은 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분을 구분할 수 있도록 상기 도어 교체 영역(A)의 형상 또는 상기 도어(20)의 형상과 유사할 수 있다.
또한, 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 안정적으로 배치될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 국한되지 않고, 예컨대, 상기 브라켓(70)이 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 배치되고, 상기 체결 장치(90)가 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되는 등 다양한 배치 형태가 적용될 수 있다.
이러한 장치들에 대하여 보다 상세한 설명은 도 30 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 다양한 부품들을 통해서 이루어질 수 있다. 그러나 이러한 장치들은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 다양한 변경과 수정이 가능하다.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 나타내는 단면도이다.
도 30 및 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)에 하면에 형성된 체결홀(H2)에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기(92)가 형성되는 커넥팅 블록(91)을 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)의 상기 삽입 돌기(92)는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈(H3)이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면(GF)이 형성될 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)는 상기 체결 장치(90)와 체결되어 승하강하면서 상기 밸브 하우징(10)의 상기 통로(10a)를 개폐시킬 수 있다.
이 때, 상기 도어(20)는 처음에 상기 체결 장치(90)에 헐겁게 체결되더라도 상기 통로(10a)와 밀착되면서 상기 삽입 돌기(92)가 상기 도어(20)의 상기 체결홀(H2)에 완전히 삽입되어 억지 물림됨으로써 견고하게 고정될 수 있다.
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 사시도이고, 도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 정면도이고, 도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 후진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 브라켓 전후진 장치(80)를 나타내는 사시도이고, 도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 32 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 도어 수용시, 상기 도어(20)를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부(71)에 안내 경사면이 형성될 수 있다.
여기서, 상기 브라켓(70)은 전후진 방향으로 길게 장공이 형성된 상기 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능한 것으로서, 상기 브라켓(70)에는 상기 전후진 레일(R)과의 마찰력을 최소화할 수 있도록 예컨대, 복수개, 도면에서는 2개의 베어링(B) 등이 설치될 수 있다. 2개의 상기 베어링(B)이 설치되는 경우, 상기 브라켓(70)의 전후진시 상기 브라켓(70)의 각도를 항상 일정하게 유지할 수 있어서 상기 도어(20)의 수평 방향으로의 이동을 용이하게 할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 36에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)의 하면에 형성된 여유홈(H1)에 선단 돌기(T)가 물림 결합되고, 후단이 회전축(82)에 의해 회동되는 캠축 부재(81) 및 상기 캠축 부재(81)를 축회전시키는 회전 장치(83)를 포함할 수 있다.
따라서, 도 36의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 정회전하면 상기 브라켓(70)이 전진하거나 또는 도 36의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 역회전하면 상기 브라켓(70)이 후진할 수 있다.
그러므로, 도 37에 도시된 바와 같이, 예컨대, 3개의 상기 도어(20)가 적재된 경우, 도 37의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 0도인 경우, 첫 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있고, 도 37의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 90도인 경우, 두 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있으며, 도 37의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 180도인 경우, 세 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있도록 상기 브라켓(70)을 단계적으로 전후진시킬 수 있다.
그러므로, 내부의 진공을 깨뜨리지 않고도 모노 타입의 게이트 밸브에서도 복수개의 상기 도어(20)들을 쉽게 교체하면서 장기간 사용할 수 있다.
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 일례를 나타내는 단면도이고, 도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 38 및 도 39에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 상기 도어(20)가 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)에 임시 고정시키는 임시 고정 장치(E)를 더 포함할 수 있는 것으로서, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10)에 설치되고, 상기 도어(20)의 양측면을 탄성 가압하는 탄성체(E1)일 수 있다.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 탄성체(E1)가 상기 브라켓(70)에 견고하게 임시 고정시킴으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.
이외에도, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 브라켓(70)에 설치되고, 상기 도어(20)의 양측면에 설치된 자성체(M)와 자력에 의해 자성 결합되는 자성 부재(E2)일 수 있다.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 자성 부재(E2)의 자력에 의해 견고하게 임시 고정됨으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 스토퍼(ST)를 나타내는 단면도이다.
도 40에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 통로(10a)에 상기 도어(20)의 밀림 현상을 방지할 수 있도록 스토퍼(ST)가 설치될 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)의 밀림 현상 및 이탈 현상을 방지하여 장치의 내구성과 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 41 내지 도 43은 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 41 내지 도 43에 도시된 바와 같이, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 41에 도시된 바와 같이, 3개의 상기 도어(20)들을 수용한 경우, (1 Plate) 과정에서 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
이어서, (1 Plate Up) 과정에서 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 첫 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.
이어서, (1 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.
이어서, (90도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
이어서, (2 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 두 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.
이어서, (2 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.
이어서, (180도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 3 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
이어서, (3 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 세 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.
따라서, 3개의 상기 도어(20)들을 모두 사용할 때까지 진공을 깨뜨리고 상기 도어를 교체할 필요가 없기 때문에 장비의 중단 시간을 줄여서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
한편, 도 42는 2개의 상기 도어(20)들을 수용하면서 상기 통로(10a)의 방향이 뒤바뀐 다른 형태의 상기 밸브 하우징(10)에 적용된 경우인데, 이러한 경우에도, 도시된 (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)들 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 도 43에 도시된 바와 같이, (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)를 모두 승하강시키다가 어느 하나를 상기 도어 교체 영역(A)에 남겨두고 나머지 상기 도어(20)를 선택하여 사용하는 것도 가능하다.
이러한, 상기 도어(20)들의 선택 개수와 사용 개수는 작업 환경이나 다양한 장비들에 따라 다양한 개수와 형태로 적용될 수 있다.
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.
따라서, 도 26 내지 도 44에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S100)와, 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S200)와, 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S300)와, 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용하는 단계(S400)와, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S500)와, 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S600) 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S700)를 포함할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 밸브 하우징
10a: 통로
A: 도어 교체 영역
D: 개폐문
F1: 제 1 하면
F2: 제 2 하면
S1: 제 1 실링 부재
S2: 제 2 실링 부재
20: 도어
30: 승하강대
40: 승하강축
50: 도어 교체용 이동 장치
51: 승하강대 전후진 장치
52: 승하강축 전후진 장치
53: 승하강축 가이드홀부
54: 벨로우즈관
55: 승하강축 각도 조절 장치
56: 도어 전후진 장치
56-1, 56-2: 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치
56-3: 신축 타입 도어 전후진 장치
60: 임시 밀폐 장치
G: 밀폐문
61: 신축식 밀폐 장치
62: 회전식 밀폐 장치
100~800: 모노 타입 게이트 밸브 시스템
160: 도어 분리 장치
161: 물림축
162: 가압축
80: 식별 장치
81: 식별자
1100, 2100: 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템

Claims (10)

  1. 적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징;
    상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어;
    상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓;
    상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치;
    상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치;
    상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치; 및
    상기 밸브 하우징 또는 상기 브라켓에 설치되어 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;를 포함하고,
    상기 임시 고정 장치는,
    상기 밸브 하우징에 설치되어 상기 도어의 양측면을 탄성 가압하는 탄성체 또는 상기 밸브 하우징이나 상기 브라켓에 설치되어 상기 도어의 양측면에 설치된 자성체와 자력에 의해 자성 결합하는 자성 부재인, 게이트 밸브 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고,
    상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어인, 게이트 밸브 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;
    을 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 브라켓 전후진 장치는,
    상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및
    상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 체결 장치는,
    상기 도어의 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;
    을 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성되는, 게이트 밸브 시스템.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 밸브 하우징의 도어 교체 영역에 설치된 브라켓에 복수개의 도어가 임시 고정되도록 적재하는 단계;
    상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
    체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계;
    승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
    상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계;
    상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
    상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및
    상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;를 포함하고,
    상기 적재하는 단계에서,
    상기 도어는 상기 밸브 하우징 또는 상기 브라켓에 설치된 임시 고정 장치에 의해 상기 브라켓에 임시 고정되고,
    상기 임시 고정 장치는,
    상기 밸브 하우징에 설치되어 상기 도어의 양측면을 탄성 가압하는 탄성체 또는 상기 밸브 하우징이나 상기 브라켓에 설치되어 상기 도어의 양측면에 설치된 자성체와 자력에 의해 자성 결합하는 자성 부재인, 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법.
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