KR102121057B1 - 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진 - Google Patents

실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진 Download PDF

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Abstract

본 발명은 진공 환경 하에서 실링 부재를 교체할 수 있는 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진에 관한 것으로서, 챔버의 통로를 개폐할 수 있는 밸브체; 및 사용시, 상기 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 실링 플레이트를 이용하여 진공 환경 하에서도 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트를 교체할 수 있는 실링 부재 교체 장치;를 포함할 수 있다.

Description

실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진{Sealing member exchange type gate valve system, sealing plate and magazine for sealing plate}
본 발명은 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 환경 하에서 실링 부재를 교체할 수 있는 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진에 관한 것이다.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.
이러한 종래 게이트 밸브의 기본 구성은, 대한민국 특허등록 제10-1252665호에서와 같이, 챔버 통로의 개폐를 위한 도어, 즉 밸브체가 밸브 하우징 내부에 장착되어져 있으며, 상기 밸브체는 구동 실린더나 액츄에이터의 구동에 의해 승하강 이동되면서 밸브 하우징의 통로를 선택적으로 개폐시킬 수 있는 구성이다.
상술된 종래의 게이트 밸브는 밸브체에 형성된 오링 등의 실링 부재가 재질의 특성상 연약하여 쉽게 손상될 수 있고, 더구나, 고온, 고압, 공정 가스 환경 등 상기 챔버 내부의 가혹한 공정 환경 하에 노출되어 더욱 쉽게 부식되거나 파손될 수 있었다.
따라서, 종래에는, 게이트 밸브의 노후된 실링 부재를 교체하기 위해서, 챔버나 밸브 하우징 내부의 진공 환경을 대기압 환경으로 전환시킨 다음, 작업자가 수작업으로 밸브 하우징의 뚜껑을 열어서 상기 밸브체에 형성된 노후 실링 부재를 손으로 교환하는 교환 작업을 반드시 수행해야만 했었다.
그러나, 이러한 종래의 수작업에 의존하는 실링 부재 교환 작업은, 상기 챔버 또는 밸브 하우징 내부에 어렵게 형성된 진공 환경을 깨는 것으로서, 공정 진행이 중단되는 것은 물론이고, 진공 압력을 다시 형성하기 위해서 많은 시간이 소요되는 등 생산성이 크게 떨어지며, 상기 챔버의 내부와 상기 밸브체가 외기에 노출되어 각종 이물질에 의해 오염될 수 있는 등 많은 문제점들이 있었다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 노후된 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 내부에서 교체하여 항상 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트를 사용할 수 있고, 매거진을 이용하여 복수개의 실링 부재 또는 실링 플레이트를 한꺼번에 로딩 및 언로딩할 수 있으며, 진공 환경 하에서도 실링 부재 또는 실링 플레이트의 로딩 및 언로딩이 가능하여 실링 부재 교체 시간을 최소화할 수 있고, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 외부로부터의 오염을 방지할 수 있게 하는 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템은, 챔버의 통로를 개폐할 수 있는 밸브체; 및 사용시, 상기 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 실링 플레이트를 이용하여 진공 환경 하에서도 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트를 교체할 수 있는 실링 부재 교체 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 대기 수용부는, 상기 밸브체를 둘러싸는 형상으로 형성되는 밸브 하우징의 내부에 형성되고, 적어도 하나 이상의 상기 실링 부재들 또는 상기 실링 플레이트들이 나란하게 적재되는 매거진과 대응되도록 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 매거진은, 상기 밸브체에 체결될 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트를 수용하는 제 1 매거진일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 매거진은, 상기 밸브체로부터 분리된 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 수용하는 제 2 매거진일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 매거진은, 상기 밸브체에 체결될 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트를 수용하는 제 1 매거진; 및 상기 밸브체로부터 분리된 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 수용하는 제 2 매거진;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 플레이트는, 앞면에 실링 부재가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부가 형성되며, 뒷면 타측에 맞물린 실링 플레이트의 실링 부재와 대응되는 실링 부재 홈부가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브체를 대기 위치에서 상기 통로 높이까지 상승시킬 수 있는 밸브체 승하강 장치; 및 상기 통로 높이까지 상승된 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 전후진시킬 수 있는 밸브체 전후진 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 부재 교체 장치는, 상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체가 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트와 체결될 수 있도록 상기 밸브체를 상기 대기 수용부 방향으로 이동시키는 밸브체 체결 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 부재 교체 장치는, 상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체에 체결된 복수개의 실링 부재들 또는 실링 플레이트들 중에서 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 분리할 수 있도록 상기 밸브체를 상기 대기 수용부 방향으로 이동시키는 밸브체 분리 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 부재 교체 장치는, 상기 밸브체에 체결된 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트의 개수에 따라 상기 밸브체의 전후진 위치를 정렬시키는 밸브체 정렬 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브체는, 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트와 체결되고, 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트 보다 큰 크기를 갖는 진공 유지형 실링 부재가 설치되는 진공 유지형 밸브체이고, 상기 대기 수용부는, 상기 챔버의 진공 환경을 유지할 수 있도록 일측에 상기 진공 유지형 밸브체의 상기 진공 유지형 실링 부재와 밀착되어 폐쇄될 수 있는 개폐입구부가 형성되고, 상기 개폐입구부가 폐쇄되면, 내부로 상기 실링 부재들 또는 상기 실링 플레이트들이 외부로부터 로딩 또는 언로딩될 수 있도록 덮개가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 대기 수용부는, 상기 개폐입구부 폐쇄시, 내부로 에어 또는 불활성 가스를 공급하여 대기압을 형성하는 가스 공급 라인; 및 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트의 로딩 또는 언로딩 이후에, 상기 덮개가 밀폐되면 내부에 진공 환경을 형성하는 진공압 형성 라인;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징에 설치되고, 대기시, 상기 실링 플레이트를 임시 지지할 수 있고, 실링 플레이트 교체시, 상기 밸브체와 간섭되지 않도록 상기 실링 플레이트로부터 이탈되는 실링 플레이트 홀더;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 플레이트 홀더는, 상기 밸브 하우징에 고정되는 홀더 몸체; 및 일측이 상기 홀더 몸체의 힌지축에 힌지 결합되고, 대기시, 상기 실링 플레이트를 임시 지지할 수 있도록 타측이 상기 실링 플레이트에 형성된 임시 결합홈에 임시 결합될 수 있는 임시 결합돌기가 형성되어 상기 실링 플레이트를 임시 지지하며, 실링 플레이트 교체시, 상기 밸브체와 간섭되지 않도록 상기 타측이 상기 임시 결합홈으로부터 이탈되어 상기 힌지축을 중심으로 회동 또는 낙하할 수 있는 적어도 하나의 홀더 핑거;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 플레이트 홀더는, 상기 홀더 몸체에 설치되고, 상기 홀더 핑거를 상기 힌지축을 중심으로 회동 또는 낙하하는 방향으로 복원력이 작용하는 탄성 부재;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 실링 플레이트는, 게이트 밸브 시스템의 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있도록 앞면 일측에 실링 부재가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부가 형성되며, 앞면 타측에 다른 실링 플레이트의 맞물림부와 대응되는 맞물림홈부가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 이웃하는 다른 실링 플레이트의 맞물림부와 상기 맞물림홈부의 맞물림 결합으로 인하여 발생되는 파티클의 비산을 방지할 수 있도록 상기 실링 부재는, 이웃하는 실링 플레이트와의 맞물림 결합 직전에, 이웃하는 상기 실링 플레이트의 후면과 미리 접촉되어 상기 파티클의 비산을 차단할 수 있는 형상으로 상기 맞물림홈부를 둘러싸는 형상으로 일정한 길이만큼 전방 돌출될 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 실링 플레이트용 매거진은, 게이트 밸브 시스템의 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있도록 앞면 일측에 실링 부재가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부가 형성되며, 앞면 타측에 다른 실링 플레이트의 맞물림부와 대응되는 맞물림홈부가 형성되는 적어도 하나의 실링 플레이트들을 수용할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 대기 수용부에 나란하게 복수개의 신품 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 실링 플레이트를 미리 수용하고, 이를 진공 환경 하에서 밸브체에 결합 또는 분리시킴으로써 노후된 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 내부에서 교체하여 항상 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트를 사용할 수 있고, 매거진을 이용하여 복수개의 실링 부재 또는 실링 플레이트를 한꺼번에 로딩 및 언로딩할 수 있으며, 진공 환경 하에서도 실링 부재 또는 실링 플레이트의 로딩 및 언로딩이 가능하여 실링 부재 교체 시간을 최소화할 수 있고, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 외부로부터의 오염을 방지할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진을 개념적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1의 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 3은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도들이다.
도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도들이다.
도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 17 내지 도 19는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도들이다.
도 20 내지 도 22는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도들이다.
도 23 내지 도 26은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도들이다.
도 27은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 개념도이다.
도 28은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 실링 부재 식별 장치를 나타내는 개념도이다.
도 29는 도 28의 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 식별 방법을 나타내는 순서도이다.
도 30은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 플레이트를 나타내는 도면이다.
도 31은 도 30의 실링 플레이트 배치 상태를 나타내는 측면도이다.
도 32는 도 30의 실링 플레이트 홀더를 교체 이전 상태를 나타내는 사시도이다.
도 33은 도 30의 실링 플레이트 홀더를 교체 이후 상태를 나타내는 사시도이다.
도 34는 도 30의 실링 플레이트 홀더의 홀더 핑거 회동 낙하 상태를 나타내는 확대 사시도이다.
도 35는 도 30의 실링 플레이트 홀더의 홀더 핑거 펼침 상태를 나타내는 확대 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템과, 실링 플레이트 및 실링 플레이트용 매거진을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(100)과, 실링 플레이트(SP) 및 실링 플레이트용 매거진(M)을 개념적으로 나타내는 개념도이다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(100)은, 피가공물(1)의 이동을 위한 챔버(C1)(C2)의 통로(P)를 선택적으로 개폐할 수 있는 것으로서, 크게 밸브체(10)와, 밸브체 이동 장치(20)와, 실링 부재 교체 장치(30) 및 제어부(40)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)는, 밸브 하우징(H)의 내부에 설치되는 것으로서, 상기 통로(P)와 대응되는 도어 형상으로 형성되는 구조체로서, 상기 밸브체 이동 장치(20)에 의해 승하강 이동 및 전후진 이동이 가능할 수 있다.
여기서, 상기 밸브 하우징(H)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태로 형성되는 일종의 케이스 구조체로서, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 각종 챔버(C1)(C2)들과 연결될 수 있는 통로(P)가 형성되는 구조체일 수 있다.
이러한 상기 밸브 하우징(H)은, 상술된 상기 밸브체(10)나, 상기 밸브체 이동 장치(20)나, 상기 실링 부재 교체 장치(30) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(H)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 이동 장치(20)는, 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 각종 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 마그넷 커플링, 기계 장치 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상이 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 실링 부재 교체 장치(30)는, 사용시, 상기 밸브체(10)에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상태로 대기 수용부(A)에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재(S) 또는 실링 부재(S)가 설치된 실링 플레이트(SP)를 이용하여 진공 환경 하에서도 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)를 교체할 수 있는 장치로서, 각종 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상이 적용될 수 있다.
여기서, 상기 밸브체 이동 장치(20)와 상기 실링 부재 교체 장치(30)는 각각 별도의 장치가 적용될 수 있고, 이외에도 상기 밸브체 이동 장치(20)가 상기 실링 부재 교체 장치(30)를 겸할 수 있다. 즉, 각각 별도의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 적용될 수도 있고, 하나의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 2가지 역할을 모두 하는 것도 가능하다.
또한, 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(40)는, 상기 밸브체(10)가 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결되거나, 또는 상기 밸브체(10)에 체결된 복수개의 실링 부재(S)들 또는 실링 플레이트(SP)들 중에서 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리할 수 있도록 상기 밸브체 이동 장치 및 상기 실링 부재 교체 장치에 제어 신호를 인가할 수 있는 장치로서, 각종 연산장치, 중앙처리장치, 마이크로프로세서, 집적 회로, 인쇄회로기판, 프로그램, 프로그램이 저장된 저장장치, 명령입력장치, 디스플레이장치, 전원 장치, 제어장치, 제어반, 전자부품, 네트워크장치, 원격제어장치 등이 모두 적용될 수 있다.
따라서, 상기 제어부(40)는, 사용자의 명령에 따르거나, 미리 입력된 실링 부재(S)의 수명이 도래되어 교체 명령 신호가 입력되거나, 실링 부재(S)의 노후도를 측정할 수 있는 센서부로부터 교체 신호가 입력되면, 상기 밸브체(10)가 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결되거나, 또는 상기 밸브체(10)에 체결된 복수개의 실링 부재(S)들 또는 실링 플레이트(SP)들 중에서 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리할 수 있도록 상기 밸브체 이동 장치 및 상기 실링 부재 교체 장치에 제어 신호를 인가할 수 있다.
그러므로, 상기 대기 수용부(A)에 나란하게 복수개의 신품 실링 부재(S1) 또는 실링 부재(S1)가 설치된 신품 실링 플레이트(SP1)를 미리 수용하고, 이를 진공 환경 하에서 상기 밸브체(10)에 결합 또는 분리시킴으로써 진공 환경을 깨지 않고도 노후된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 내부에서 교체하여 항상 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 사용할 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서도 실링 부재(S) 또는 실링 플레이트(SP)의 로딩 및 언로딩이 가능하여 실링 부재 교체 시간을 최소화할 수 있고, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 외부로부터의 오염을 방지할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 대기 수용부(A)는, 상기 밸브체(10)를 둘러싸는 형상으로 형성되는 밸브 하우징(H)의 내부에 형성되고, 적어도 하나 이상의 상기 실링 부재(S)들 또는 상기 실링 플레이트(SP)들이 나란하게 적재되는 매거진(M)과 대응되도록 형성될 수 있다.
여기서, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 매거진(M)은, 상기 밸브체(10)에 체결될 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 수용하는 제 1 매거진(M1)일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 이동 장치(20)는, 상기 밸브체(10)를 대기 위치에서 상기 통로 높이까지 상승시킬 수 있는 밸브체 승하강 장치(21) 및 상기 통로 높이까지 상승된 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 방향으로 전후진시킬 수 있는 밸브체 전후진 장치(22)를 포함할 수 있다.
또한, 더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 실링 부재 교체 장치(30)는, 상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체(10)가 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결될 수 있도록 상기 밸브체(10)를 상기 대기 수용부(A) 방향으로 이동시키는 밸브체 체결 장치(31)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 밸브체 승하강 장치(21)나, 상기 밸브체 전후진 장치(22)나, 상기 밸브체 체결 장치(31)는 각각 별도의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 적용될 수도 있고, 이외에도 하나의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 2가지 이상의 역할을 겸하여 적용될 수도 있다.
또한, 더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트(SP)는, 앞면에 실링 부재(S)가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부(T)가 형성되며, 뒷면 타측에 맞물린 실링 플레이트의 실링 부재와 대응되는 실링 부재 홈부(G)가 형성될 수 있다.
도 2는 도 1의 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
따라서, 도 2에 도시된 바와 같이, 도 1의 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 메거진(M1)에는 복수개의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)가 수용될 수 있다.
이어서, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)를 대기 위치로 하강시킬 수 있고, 이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 체결 장치(31)를 이용하여 상기 밸브체(10) 또는 상기 밸브체(10)에 결합된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 이동시켜서 상기 밸브체(10)나, 상기 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)에 상기 제 1 메거진(M1)의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)를 체결할 수 있다.
이어서, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 승하강 장치(21)를 이용하여 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 높이까지 상승시키고, 상기 밸브체 전후진 장치(22)를 이용하여 상기 밸브체(10)에 체결된 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)로 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
그러므로, 항상 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 사용할 수 있다. 이후에, 상기 제 1 매거진(M1)을 이용하여 복수개의 실링 부재(S) 또는 실링 플레이트(SP)를 한꺼번에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(200)의 매거진(M)은, 상기 밸브체(10)로부터 분리된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 수용하는 제 2 매거진(M2)일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 실링 부재 교체 장치(30)는, 상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체(10)에 체결된 복수개의 실링 부재(S)들 또는 실링 플레이트(SP)들 중에서 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리할 수 있도록 상기 밸브체(10)를 상기 대기 수용부(A) 방향으로 이동시키는 밸브체 분리 장치(32)를 포함할 수 있다.
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 복수개의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)들이 체결될 수 있고, 상기 제 2 매거진(M2)은 비어 있을 수 있다.
이어서, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 최외곽 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)가 노후화되면, 상기 밸브체(10)를 대기 위치로 하강시킬 수 있고, 이어서, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 분리 장치(32)를 이용하여 상기 밸브체(10)에 결합된 최외곽 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리시켜서 상기 제 2 매거진(M2)에 저장할 수 있다.
이어서, 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 승하강 장치(21)를 이용하여 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)만 남은 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 높이까지 상승시키고, 상기 밸브체 전후진 장치(22)를 이용하여 상기 밸브체(10)에 체결된 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)로 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
그러므로, 항상 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 사용할 수 있다. 이후에, 상기 제 2 매거진(M2)을 이용하여 복수개의 실링 부재(S) 또는 실링 플레이트(SP)를 한꺼번에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(300)의 매거진(M)은, 상기 밸브체(10)에 체결될 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 수용하는 제 1 매거진(M1) 및 상기 밸브체(10)로부터 분리된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 수용하는 제 2 매거진(M2)을 포함할 수 있다.
따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 메거진(M1)에는 복수개의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)가 수용될 수 있고, 상기 제 2 매거진(M2)은 비어 있을 수 있다.
이어서, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)와 체결된 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)가 노후화되면, 상기 밸브체(10)를 분리 대기 위치로 하강시킬 수 있고, 이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 분리 장치(32)를 이용하여 상기 밸브체(10)에 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리시켜서 상기 제 2 매거진(M2)에 저장할 수 있다.
이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)를 체결 대기 위치로 상승시킨 후, 상기 밸브체 체결 장치(31)를 이용하여 상기 밸브체(10)를 이동시켜서 상기 밸브체(10)에 상기 제 1 메거진(M1)의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)를 체결할 수 있다.
이어서, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 승하강 장치(21)를 이용하여 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 높이까지 상승시키고, 상기 밸브체 전후진 장치(22)를 이용하여 상기 밸브체(10)에 체결된 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)로 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
그러므로, 항상 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 사용할 수 있다. 이후에, 상기 제 1 매거진(M1) 및 제 2 매거진(M2)를 이용하여 복수개의 실링 부재(S) 또는 실링 플레이트(SP)를 한꺼번에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 단면도들이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(400)의 실링 부재 교체 장치(30)는, 상기 밸브체(10)에 체결된 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)의 개수에 따라 상기 밸브체(10)의 전후진 위치를 정렬시키는 밸브체 정렬 장치(33)를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)가 1개의 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)와 체결된 경우, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 밸브체 정렬 장치(33)에 의해 전진된 상태를 유지할 수 있고, 이어서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 체결 장치(31)에 의해 상기 밸브체(10)에 총 2개의 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)와 체결된 경우, 상기 밸브체 정렬 장치(33)에 의해 상기 실링 플레이트(SP)의 두께 만큼 후진 정렬시켜서, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)의 상승시 상기 통로(P)와 대응되는 최외곽 상기 신품 실링 부재(S1)의 밸브면의 위치를 항상 일정하게 유지시켜서, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 체결된 상기 실링 플레이트(SP)의 개수와 상관없이 항상 일정한 압력으로 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
즉, 도 8 및 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 1개의 상기 실링 플레이트(SP1)이 체결된 상태에서, 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 2개의 상기 실링 플레이트(SP1)이 체결되면, 상기 밸브체 정렬 장치(33)를 이용하여, 이에 해당되는 제 1 거리(L1) 만큼 후진시킬 수 있고, 도 9의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 3개의 상기 실링 플레이트(SP1)이 체결되면, 상기 밸브체 정렬 장치(33)를 이용하여, 이에 해당되는 제 2 거리(L2) 만큼 후진시킬 수 있다.
도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 단면도이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(500)의 밸브체 체결 장치는 폴(PO)를 이용한 인터록(interlock) 장치(B)가 적용될 수 있다.
따라서, 상기 인터록 장치(B)에 의해 상기 실링 플레이트(SP)에 삽입되는 상기 폴(PO)의 깊이에 따라 상기 밸브체(10)에 체결되는 상기 실링 플레이트(SP)들의 개수가 결정될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(600)을 나타내는 단면도이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(600)은, 상술된 상기 밸브체 정렬 장치(33)의 역할을 상기 밸브체 체결 장치(31)가 대신할 수 있다. 이 경우, 상기 밸브체 체결 장치(31)의 전후진 위치를 정밀하게 제어할 수 있는 각종 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 적용될 수도 있다.
도 12 내지 도 15는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(700)을 나타내는 단면도들이다.
도 12 내지 도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(700)은,
도 12 및 도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(400)의 실링 부재 교체 장치(30)는, 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)의 개수에 따라 상기 밸브체(10)의 전후진 위치를 정렬시키는 밸브체 정렬 장치(33)를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 도 13의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)가 복수개의 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)와 체결된 경우, 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 밸브체 정렬 장치(33)에 의해 후진된 상태를 유지할 수 있고, 이어서, 도 13의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 분리 장치(32)에 의해 상기 밸브체(10)로부터 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)와 분리된 경우, 상기 밸브체 정렬 장치(33)에 의해 상기 실링 플레이트(SP)의 두께 만큼 후진 정렬시켜서, 도 14의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)의 상승시 상기 통로(P)와 대응되는 최외곽 상기 신품 실링 부재(S1)의 밸브면의 위치를 항상 일정하게 유지시켜서, 도 14의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상기 실링 플레이트(SP)의 개수와 상관없이 항상 일정한 압력으로 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(800)을 나타내는 단면도이다.
도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(800)의 실링 부재 교체 장치(30)는, 상기 밸브체(10)에 체결되거나, 또는 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)의 개수에 따라 상기 밸브체(10)의 전후진 위치를 정렬시키는 밸브체 정렬 장치(33)를 더 포함할 수 있다.
즉, 예컨대, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 정렬 장치(33)를 이용하여 상기 밸브체(10)에 체결된 신품 실링 플레이트(SP1)의 개수에 따라 상기 밸브체(10)를 후진 또는 전진시키거나, 상기 밸브체(10)로부터 분리된 노후 실링 플레이트(SP2)의 개수에 따라 상기 밸브체(10)를 후진 또는 전진시킬 수 있다.
도 17 내지 도 19는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(900)을 나타내는 단면도들이다.
도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(900)의 밸브체(10)는, 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)와 체결되고, 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP) 보다 큰 크기를 갖는 진공 유지형 실링 부재(SS)가 설치되는 진공 유지형 밸브체(11)일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 대기 수용부(A)는, 상기 챔버(C1)(C2)의 진공 환경을 유지할 수 있도록 일측에 상기 진공 유지형 밸브체(10)의 상기 진공 유지형 실링 부재(S)와 밀착되어 폐쇄될 수 있는 개폐입구부(A1)가 형성되고, 상기 개폐입구부(A1)가 폐쇄되면, 내부로 상기 실링 부재(S)들 또는 상기 실링 플레이트(SP)들이 외부로부터 로딩 또는 언로딩될 수 있도록 덮개(A2)가 설치될 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17 내지 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 대기 수용부(A)는, 상기 개폐입구부(A1) 폐쇄시, 내부로 에어 또는 불활성 가스를 공급하여 대기압을 형성하는 가스 공급 라인(G1) 및 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)의 로딩 또는 언로딩 이후에, 상기 덮개(A2)가 밀폐되면 내부에 진공 환경을 형성하는 진공압 형성 라인(V1)을 포함할 수 있다.
따라서, 도 17 및 도 19에 도시된 바와 같이, 상기 진공 유지형 밸브체(11)를 이용하여 상기 개폐입구부(A1)를 폐쇄하고, 상기 가스 공급 라인(G1)을 이용하여 상기 대기 수용부(A)의 내부에 에어 또는 불활성 가스를 공급하면, 상기 대기 수용부(A) 내부의 압력이 대기 압력과 동일해 질 수 있기 때문에 상기 덮개(A2)를 분리하여 상기 노후 실링 부재(S2) 또는 상기 노후 실링 플레이트(SP2)를 외부로 언로딩하거나, 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)을 내부로 로딩할 수 있다.
이어서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 덮개(A2)를 폐쇄한 후, 상기 진공압 형성 라인(V1)을 이용하여 상기 대기 수용부(A)의 내부에 진공 환경을 형성한 다음, 상기 진공 유지형 밸브체(11)에 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)를 체결하여 상기 통로(P)를 폐쇄할 수 있다.
그러므로, 상기 챔버(C1)(C2) 및 상기 밸브 하우징(H) 내부의 진공 환경을 그대로 유지하면서 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)를 상기 대기 수용부(A)로 로딩 및 언로딩할 수 있다.
한편, 도면에 도시된 상기 매거진(M)의 형태는 매우 다양하거나 또는 생략되거나 또는 별도의 지그로 대체될 수 있는 것으로서, 도면에 반드시 국한되지 않는다.
도 20 내지 도 22는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1000)을 나타내는 단면도들이다.
도 20에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1000)의 상기 대기 수용부(A)는, 적어도 신형 실링 부재(S1) 또는 신형 실링 플레이트(SP1)가 대기하는 제 1 대기 수용부(A1) 및 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)가 대기하는 제 2 대기 수용부(A2)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 대기 수용부(A1)와 상기 제 2 대기 수용부(A2)는 상기 통로(P)의 상방과 하방에 각각 설치되는 것으로서, 도면에 반드시 국한되지 않고, 위치가 서로 바뀌거나 상방 또는 하방에 서로 이웃하게 설치되는 등 매우 다양한 형태로 적용될 수 있다.
따라서, 도 21의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)는 상기 제 1 대기 수용부(A1)의 높이에 대기하다가 도 21의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 통로(P) 높이까지 상승한 다음, 도 21의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 방향으로 전진시켜서 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 22의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 체결되어 노후된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)는 분리하여 상기 제 2 대기 수용부(A2)에 저장하고, 도 22의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)는 상기 제 1 대기 수용부(A1)의 높이로 상승하여 상기 제 1 대기 수용부(A1)에서 대기 중인 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)과 체결되어 항상 새로운 상태로 밸브 개폐 작업을 수행할 수 있다.
도 23 내지 도 26은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 단면도들이다.
도 23 내지 도 26에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 상기 대기 수용부(A)에 수용되는 적어도 하나 이상의 상기 실링 부재(S) 또는 실링 부재가 설치된 상기 실링 플레이트(SP) 또는 매거진(M)을 상기 대기 수용부(A)로부터 실링 부재 교체가 가능한 교체 위치까지 전후진시킬 수 있는 가동 교체 장치(60)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 도 24의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)는 상기 대기 수용부(A)의 높이에서 전진하여 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)과 체결되고, 도 24의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 통로(P) 높이까지 상승한 다음, 도 24의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)를 상기 통로(P) 방향으로 전진시켜서 상기 통로(P)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 25의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)에 체결되어 노후된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)가 발생되면, 도 25의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 대기 수용부(A)로부터 전진된 상기 가동 교체 장치(60)의 빈 공간에 저장한 후, 도 26의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동 교체 장치(60)를 후진시킬 수 있다.
이어서, 도 26의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)는 전진되어 상기 가동 교체 장치(60)의 후진 상태에서 수용된 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결되고, 도 26의 (c)에 도시된 바와 같이, 항상 새로운 상태로 밸브 개폐 작업을 수행할 수 있다.
도 27은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1200)을 나타내는 개념도이다.
도 27에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1200)은, 각종 압력 센서나 카메라 등 상기 실링 부재(S)의 노후 정도를 감지할 수 있는 노후도 감지 장치(D) 및 상기 노후도 감지 장치(D)로부터 교체 신호를 인가받아 상기 밸브체(10)가 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트와 체결되거나, 또는 상기 밸브체에 체결된 복수개의 실링 부재들 또는 실링 플레이트들 중에서 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 분리할 수 있도록 상기 밸브체 이동 장치(20) 및 상기 실링 부재 교체 장치(30)에 제어 신호를 인가하는 제어부(40)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제어부(40)는 장비의 메인 제어부(50)와 연결될 수 있는 것으로서, 이외에도 상기 제어부(40)는 상기 메인 제어부(50)의 역할을 겸할 수 있다.
따라서, 상기 실링 부재의 노후도를 자동으로 감지하여 진공 환경 하에서 자동으로 교체할 수 있는 등 모든 공정을 자동화할 수 있다.
도 28은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)의 실링 부재 식별 장치(90)를 나타내는 개념도이다.
도 28에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)은, 식별 정보 매칭시에만 실링 부재(S)의 교체가 가능하도록 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)의 식별 정보를 식별할 수 있는 실링 부재 식별 장치(90)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 식별 정보는 상기 실링 플레이트(SP)에 설치된 RFID를 갖는 RF 테그(TG)나 기타 각종 식별 정보를 포함하는 테그나 칩 등이 적용될 수 있고, 상기 실링 부재 식별 장치(90)는 이를 인식할 수 있는 RFID 식별 장치 등이 모두 적용될 수 있다.
도 29는 도 28의 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)의 식별 과정을 나타내는 순서도이다.
따라서, 도 28 및 도 29에 도시된 바와 같이, 도 28의 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템(1300)의 식별 과정을 설명하면, 상기 밸브체(10)의 상기 실링 플레이트(SP) 교체시, 상기 실링 부재 식별 장치(90)가 상기 테그(TG)를 인식하여 식별 정보를 감지하면(S11), 제어부가 매칭 여부를 판별하여(S12) 매칭되는 경우, 실링 부재의 교체를 허용하고(S13), 매칭이 되지 않는 경우, 실링 부재의 교체 불가 판정을 내릴 수 있다.
그러므로, 정식으로 식별 정보를 부여받은 실링 플레이트(SP)만 교체할 수 있게 하여 장비의 안전도를 높이고, 오동작이나 불법 사용을 사전에 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 플레이트(SP)는, 게이트 밸브 시스템(100)의 밸브체(10)에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상태로 대기 수용부(A)에 대기할 수 있도록 앞면에 실링 부재(S)가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부(T)가 형성되며, 뒷면 타측에 맞물린 실링 플레이트의 실링 부재와 대응되는 실링 부재 홈부(G)가 형성될 수 있다. 이러한, 본 발명의 상기 실링 플레이트(SP)의 구성과 역할은 상술된 상기 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 그것과 동일할 수 있기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
한편, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 플레이트용 매거진(M)은, 게이트 밸브 시스템(100)의 밸브체(10)에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상태로 대기 수용부(A)에 대기할 수 있도록 앞면에 실링 부재(S)가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부(T)가 형성되며, 뒷면 타측에 맞물린 실링 플레이트의 실링 부재와 대응되는 실링 부재 홈부(G)가 형성되는 복수개의 실링 플레이트(SP)들을 수용할 수 있다.
이러한, 본 발명의 상기 실링 플레이트용 매거진(M)의 구성과 역할은 상술된 상기 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 그것과 동일할 수 있기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
도 30은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실링 플레이트(SP)를 나타내는 도면이고, 도 31은 도 30의 실링 플레이트 배치 상태를 나타내는 측면도이다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 실링 플레이트(SP)는, 도 30의 (a), 즉 전면도와 (b), 즉 평면도에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브 시스템(100)의 상기 밸브체(10)에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체(10)로부터 분리된 상태로 대기 수용부(A)에 대기할 수 있도록 앞면 일측에 실링 부재(S)가 형성되고, 도 30의 (b)와 ㄹ, 즉 후면도에 도시된 바와 같이, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트(SP)가 맞물릴 수 있도록 맞물림부(T)가 형성되며, 앞면 타측에 다른 실링 플레이트의 맞물림부(T)와 대응되는 맞물림홈부(TH)가 형성될 수 있다. 또한, 상기 실링 플레이트(SP)의 양측부에는 임시 결합홈(TG)이 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 31에 도시된 바와 같이, 이웃하는 다른 실링 플레이트(SP)의 맞물림부(T)와 상기 맞물림홈부(TH)의 맞물림 결합으로 인하여 발생되는 파티클의 비산을 방지할 수 있도록 상기 실링 부재(S)는, 이웃하는 상기 실링 플레이트(SP)와의 맞물림 결합 직전에, 이웃하는 상기 실링 플레이트(SP)의 후면과 미리 접촉되어 상기 파티클의 비산을 차단할 수 있는 형상으로 상기 맞물림홈부(TH)를 둘러싸는 형상으로 일정한 길이만큼 전방 돌출될 수 있다.
이러한, 본 발명의 상기 실링 플레이트(SP)의 구성과 역할은 상술된 상기 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템의 그것과 동일할 수 있기 때문에 상세한 설명은 생략한다.
도 32는 도 30의 실링 플레이트 홀더를 교체 이전 상태를 나타내는 사시도이고, 도 33은 도 30의 실링 플레이트 홀더를 교체 이후 상태를 나타내는 사시도이고, 도 34는 도 30의 실링 플레이트 홀더의 홀더 핑거 회동 낙하 상태를 나타내는 확대 사시도이고, 도 35는 도 30의 실링 플레이트 홀더의 홀더 핑거 펼침 상태를 나타내는 확대 사시도이다.
도 32 내지 도 35에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템은, 상기 밸브 하우징(H)에 설치되고, 대기시, 상기 실링 플레이트(SP)를 임시 지지할 수 있고, 실링 플레이트 교체시, 상기 밸브체(10)와 간섭되지 않도록 상기 실링 플레이트(SP)로부터 이탈되는 실링 플레이트 홀더(70)를 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 실링 플레이트 홀더(HD)는, 상기 밸브 하우징(H)에 고정되는 홀더 몸체(71) 및 일측이 상기 홀더 몸체(71)의 힌지축(HS)에 힌지 결합되고, 대기시, 상기 실링 플레이트(SP)를 임시 지지할 수 있도록 타측이 상기 실링 플레이트(SP)에 형성된 임시 결합홈(TG)에 임시 결합될 수 있는 임시 결합돌기(TT)가 형성되어 상기 실링 플레이트(SP)를 임시 지지하며, 실링 플레이트 교체시, 상기 밸브체(10)와 간섭되지 않도록 상기 타측이 상기 임시 결합홈(TG)으로부터 이탈되어 상기 힌지축(HS)을 중심으로 회동 또는 낙하할 수 있는 적어도 하나의 홀더 핑거(72)를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실링 플레이트 홀더(70)는, 상기 홀더 몸체(71)에 설치되고, 상기 홀더 핑거(72)를 상기 힌지축(HS)을 중심으로 회동 또는 낙하하는 방향으로 복원력이 작용하는 탄성 부재(73)를 더 포함할 수 있다.
따라서, 도 32에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템은, 상기 밸브체(10)가 전진하면서 상기 실링 플레이트(SP)를 가압하면, 상기 밸브체(10)에 형성된 상기 맞물림홈부(TH)에 상기 실링 플레이트(SP)의 상기 맞물림부(T)가 삽입되면서 상기 밸브체(10)는 첫 번째 상기 실링 플레이트(SP)와 체결될 수 있다.
이 때, 첫 번째 상기 실링 플레이트(SP)는 다른 실링 플레이트(SP)들과 마찬가지로 초기 세팅시와 같이, 첫 번째 상기 홀더 핑거(72)의 임시 결합돌기(TT)가 상기 임시 결합홈(TG)에 임시 결합되어 상기 밸브체(10)의 전진시 상기 실링 플레이트(SP)를 충분히 지지할 수 있다.
이어서, 도 33에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(10)가 첫 번째 상기 실링 플레이트(SP)와 함께 후진되는 경우, 첫 번째 상기 홀더 핑거(72)는 임시 결합돌기(TT)는 상기 임시 결합홈(TG)으로부터 이탈되어 상술된 상기 탄성 부재(73) 또는 중력에 의해 도 34와 같이, 회동 낙하될 수 있다.
따라서, 이 후, 상기 밸브체(10)가 첫 번째 상기 실링 플레이트(SP)를 모두 사용한 다음, 두 번째 상기 실링 플레이트(SP)로 전진하는 경우, 첫 번째 상기 홀더 핑거(72)는 회동 낙하된 상태로서, 상기 밸브체(10)와 간섭을 일으키지 않고, 상기 밸브체가 두 번째 상기 실링 플레이트(SP)와 체결될 때, 도 35와 같이, 두 번째 상기 실링 플레이트(SP) 역시 두 번째 상기 홀더 핑거(72)에 의해 충분히 지지될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 피가공물
C1, C2: 챔버
P: 통로
10: 밸브체
11: 진공 유지형 밸브체
20: 밸브체 이동 장치
21: 밸브체 승하강 장치
22: 밸브체 전후진 장치
30: 실링 부재 교체 장치
31: 밸브체 체결 장치
32: 밸브체 분리 장치
33: 밸브체 정렬 장치
A: 대기 수용부
A1: 제 1 대기 수용부
A2: 제 2 대기 수용부
S: 실링 부재
SP: 실링 플레이트
S1: 신품 실링 부재
SP1: 신품 실링 플레이트
S2: 노후 실링 부재
SP2: 노후 실링 플레이트
40: 제어부
50: 메인 제어부
60: 가동 교체 장치
H: 밸브 하우징
M: 매거진
M1: 제 1 매거진
M2: 제 2 매거진
T: 맞물림부
G: 실링 부재 홈부
A1: 개폐입구부
A2: 덮개
G1: 가스 공급 라인
V1: 진공압 형성 라인
70: 실링 플레이트 홀더
71: 홀더 몸체
HS: 힌지축
72: 홀더 핑거
73: 탄성 부재
100~1300: 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템

Claims (22)

  1. 챔버의 통로를 개폐할 수 있는 밸브체; 및
    사용시 상기 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 실링 플레이트를 이용하여 진공 환경 하에서도 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트를 교체할 수 있는 실링 부재 교체 장치;를 포함하고,
    상기 대기 수용부는,
    상기 밸브체를 둘러싸는 형상으로 형성되는 밸브 하우징의 내부에 형성되고,
    적어도 하나 이상의 상기 실링 부재들 또는 상기 실링 플레이트들이 나란하게 적재되는 매거진과 대응되도록 형성되는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 매거진은, 상기 밸브체에 체결될 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트를 수용하는 제 1 매거진인, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 매거진은, 상기 밸브체로부터 분리된 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 수용하는 제 2 매거진인, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 매거진은,
    상기 밸브체에 체결될 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트를 수용하는 제 1 매거진; 및
    상기 밸브체로부터 분리된 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 수용하는 제 2 매거진;
    을 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 실링 플레이트는,
    앞면에 실링 부재가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부가 형성되며, 뒷면 타측에 맞물린 실링 플레이트의 실링 부재와 대응되는 실링 부재 홈부가 형성되는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 밸브체를 대기 위치에서 상기 통로 높이까지 상승시킬 수 있는 밸브체 승하강 장치; 및
    상기 통로 높이까지 상승된 상기 밸브체를 상기 통로 방향으로 전후진시킬 수 있는 밸브체 전후진 장치;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 실링 부재 교체 장치는,
    상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체가 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트와 체결될 수 있도록 상기 밸브체를 상기 대기 수용부 방향으로 이동시키는 밸브체 체결 장치;
    를 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 실링 부재 교체 장치는,
    상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체에 체결된 복수개의 실링 부재들 또는 실링 플레이트들 중에서 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 분리할 수 있도록 상기 밸브체를 상기 대기 수용부 방향으로 이동시키는 밸브체 분리 장치;
    를 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 실링 부재 교체 장치는,
    상기 밸브체에 체결된 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트의 개수에 따라 상기 밸브체의 전후진 위치를 정렬시키는 밸브체 정렬 장치;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브체는, 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트와 체결되고, 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트 보다 큰 크기를 갖는 진공 유지형 실링 부재가 설치되는 진공 유지형 밸브체이고,
    상기 대기 수용부는,
    상기 챔버의 진공 환경을 유지할 수 있도록 일측에 상기 진공 유지형 밸브체의 상기 진공 유지형 실링 부재와 밀착되어 폐쇄될 수 있는 개폐입구부가 형성되고, 상기 개폐입구부가 폐쇄되면, 내부로 상기 실링 부재들 또는 상기 실링 플레이트들이 외부로부터 로딩 또는 언로딩될 수 있도록 덮개가 설치되는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 대기 수용부는,
    상기 개폐입구부 폐쇄시, 내부로 에어 또는 불활성 가스를 공급하여 대기압을 형성하는 가스 공급 라인; 및
    상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트의 로딩 또는 언로딩 이후에, 상기 덮개가 밀폐되면 내부에 진공 환경을 형성하는 진공압 형성 라인;
    을 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 대기 수용부는, 적어도 신형 실링 부재 또는 신형 실링 플레이트가 대기하는 제 1 대기 수용부와, 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트가 대기하는 제 2 대기 수용부 및 이들의 조합 중 어느 하나 이상을 선택하여 이루어질 수 있고,
    상기 제 1 대기 수용부와 상기 제 2 대기 수용부는 상기 통로의 하방에 수용되거나, 또는 상기 통로를 기준으로 상방과 하방 또는 하방과 상방에 각각 설치되는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 대기 수용부에 수용되는 적어도 하나 이상의 상기 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 상기 실링 플레이트 또는 매거진을 상기 대기 수용부로부터 실링 부재 교체가 가능한 교체 위치까지 전후진시킬 수 있는 가동 교체 장치;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 실링 부재의 노후 정도를 감지할 수 있는 노후도 감지 장치; 및
    상기 노후도 감지 장치로부터 교체 신호를 인가받아 상기 밸브체가 신품 실링 부재 또는 신품 실링 플레이트와 체결되거나, 또는 상기 밸브체에 체결된 복수개의 실링 부재들 또는 실링 플레이트들 중에서 노후 실링 부재 또는 노후 실링 플레이트를 분리할 수 있도록 밸브체 이동 장치 및 상기 실링 부재 교체 장치에 제어 신호를 인가하는 제어부;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  16. 제 1 항에 있어서,
    식별 정보 매칭시에만 실링 부재의 교체가 가능하도록 상기 실링 부재 또는 상기 실링 플레이트의 식별 정보를 식별할 수 있는 실링 부재 식별 장치;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징에 설치되고, 대기시, 상기 실링 플레이트를 임시 지지할 수 있고, 실링 플레이트 교체시, 상기 밸브체와 간섭되지 않도록 상기 실링 플레이트로부터 이탈되는 실링 플레이트 홀더;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 실링 플레이트 홀더는,
    상기 밸브 하우징에 고정되는 홀더 몸체; 및
    일측이 상기 홀더 몸체의 힌지축에 힌지 결합되고, 대기시, 상기 실링 플레이트를 임시 지지할 수 있도록 타측이 상기 실링 플레이트에 형성된 임시 결합홈에 임시 결합될 수 있는 임시 결합돌기가 형성되어 상기 실링 플레이트를 임시 지지하며, 실링 플레이트 교체시, 상기 밸브체와 간섭되지 않도록 상기 타측이 상기 임시 결합홈으로부터 이탈되어 상기 힌지축을 중심으로 회동 또는 낙하할 수 있는 적어도 하나의 홀더 핑거;
    를 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 실링 플레이트 홀더는,
    상기 홀더 몸체에 설치되고, 상기 홀더 핑거를 상기 힌지축을 중심으로 회동 또는 낙하하는 방향으로 복원력이 작용하는 탄성 부재;
    를 더 포함하는, 실링 부재 교체형 게이트 밸브 시스템.
  20. 게이트 밸브 시스템의 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있도록 앞면 일측에 실링 부재가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부가 형성되며, 앞면 타측에 다른 실링 플레이트의 맞물림부와 대응되는 맞물림홈부가 형성되는, 실링 플레이트.
  21. 제 20 항에 있어서,
    이웃하는 다른 실링 플레이트의 맞물림부와 상기 맞물림홈부의 맞물림 결합으로 인하여 발생되는 파티클의 비산을 방지할 수 있도록 상기 실링 부재는, 이웃하는 실링 플레이트와의 맞물림 결합 직전에, 이웃하는 상기 실링 플레이트의 후면과 미리 접촉되어 상기 파티클의 비산을 차단할 수 있는 형상으로 상기 맞물림홈부를 둘러싸는 형상으로 일정한 길이만큼 전방 돌출되는, 실링 플레이트.
  22. 게이트 밸브 시스템의 밸브체에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체로부터 분리된 상태로 대기 수용부에 대기할 수 있도록 앞면 일측에 실링 부재가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부가 형성되며, 앞면 타측에 다른 실링 플레이트의 맞물림부와 대응되는 맞물림홈부가 형성되는 적어도 하나의 실링 플레이트들을 수용하는, 실링 플레이트용 매거진.
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KR100756110B1 (ko) * 2004-12-17 2007-09-05 동경 엘렉트론 주식회사 게이트 밸브 장치, 처리 시스템 및 밀봉 부재의 교환 방법
KR101416589B1 (ko) * 2012-10-17 2014-07-08 주식회사 선익시스템 공정 중 도가니의 교체가 가능한 하향식 증발원 및 이를 구비하는 박막 증착장치

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