JP5905504B2 - 半導体ウェハをローディングおよびアンローディングするための装置 - Google Patents
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Description
− 移動チャンバおよび処理チャンバの間から選択される第1の設備に接続するための手段を備える第1の開口部と、
− ウェハをそれぞれ保管するように構成された一連の平行に積み重ねられたトレーを備え、かつ装置内で搬送することができるバスケットを収容する、ウェハ搬送ケースに接続するための手段を備える第2の開口部と、
− バスケットを搬送ケースから、ならびに搬送ケースまで移動させるための手段と、
− トレーを固定するための手段と
を備える装置において、
− EFEMモジュールおよび移動チャンバの間から選択される第2の設備に接続するための手段を備える第3の開口部と、
− ウェハが第2の開口部および/または第3の開口部を通過することを可能にするために、ウェハの配置および支持とウェハの移動手段の機能の両方を保証する、ウェハを設備まで移動させるための手段と
をさらに備えることを特徴とする装置である。
Claims (7)
- 少なくとも2つのウェハ取扱い設備と組み合わすことが可能であり、真空下に置かれることが可能な装置であって、
− 真空下に維持される移動チャンバおよびウェハ処理チャンバのうちから選択される第1のウェハ取扱い設備に接続するための漏れ止め手段を備えた第1の開口部と、
− ウェハ搬送ケースに接続するための漏れ止め手段を備えた第2の開口部と、
− ウェハ搬送ケースに収容することができ、ウェハのそれぞれとトレーおよびウェハ間に配置される複数の楔とを保管するように構成された一連の平行に積み重ねられたトレーを備え、かつ装置およびウェハ搬送ケースの両方が真空下に維持された状態で装置の壁の内側に搬送されることが可能なバスケットと、
− 真空下でバスケットをウェハ搬送ケースからおよびウェハ搬送ケースまで移動させるための手段と、
− バスケットのトレーのいくつかを、他のトレーが自由に移動するのを可能にしながら、所与の場所に固定するための手段と、
− 第1の開口部と対向して位置しており、EFEMモジュールおよび移動チャンバのうちから選択される第2のウェハ取扱い設備に接続するための漏れ止め手段を備えた第3の開口部と、
− ウェハが第1の開口部か第3の開口部のいずれかを通過することを可能にするために、第1のウェハ取扱い設備または第2のウェハ取扱い設備におけるウェハを移動させるための手段と協働する、所与の位置にウェハを配置および支持するための手段とを備えており、
ウェハを配置および支持するための手段が、
− 移動することができ、第1及び第3の開口部が配置された装置の壁に垂直な2つの壁にそれぞれ、互いに向かい合って位置決めされた2つの配置アームと、
− トレーとウェハとの間に配置されており、配置アームの通過を可能にする複数の楔とを備えている、前記装置。 - 扉が閉じられたとき装置が真空下に維持されるように、各開口部をそれぞれ塞ぐ扉を開閉するための扉作動手段をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 装置は、第1の開口部が第1の設備に結合されたときに装置および第1の設備内の真空を維持する手段も備える、請求項1に記載の装置。
- トレーを固定するための手段が係止ピンを備え、係止ピンは、該係止ピンを作動させるための手段を用いて動くようになっている、請求項1に記載の装置。
- 前記係止ピンに、トレーと係合するノッチが設けられている、請求項4に記載の装置。
- ウェハを配置および支持するための手段が、配置アーム、およびトレーとウェハの間に配置された楔の組み合わせを備え、前記アームを作動させるための手段を用いて動くようになっている、請求項1に記載の装置。
- 第1の移動チャンバに連通するウェハ処理チャンバと、
少なくとも2つのウェハ取扱い設備と組み合わすことが可能であり、真空下に置かれることが可能な装置とを備えており、該装置が、
− 真空下に維持される第1の移動チャンバおよびウェハ処理チャンバのうちから選択される第1のウェハ取扱い設備に接続するための漏れ止め手段を備えた第1の開口部と、
− ウェハ搬送ケースに接続するための漏れ止め手段を備えた第2の開口部と、
− ウェハ搬送ケースに収容することができ、ウェハのそれぞれとトレーおよびウェハ間に配置される複数の楔とを保管するように構成された一連の平行に積み重ねられたトレーを備え、かつ装置およびウェハ搬送ケースの両方が真空下に維持された状態で装置の壁の内側に搬送されることが可能なバスケットと、
− 真空下でバスケットをウェハ搬送ケースからおよびウェハ搬送ケースまで移動させるための手段と、
− バスケットのトレーのいくつかを、他のトレーが自由に移動するのを可能にしながら、所与の場所に固定するための手段と、
− 第1の開口部と対向して位置しており、EFEMモジュールおよび第2の移動チャンバのうちから選択される第2のウェハ取扱い設備に接続するための漏れ止め手段を備えた第3の開口部と、
− ウェハが第1の開口部か第3の開口部のいずれかを通過することを可能にするために、第1のウェハ取扱い設備または第2のウェハ取扱い設備におけるウェハを移動させるための手段と協働する、所与の位置にウェハを配置および支持するための手段とを備えており、
ウェハを配置および支持するための手段が、
− 移動することができ、第1及び第3の開口部が配置された装置の壁に垂直な2つの壁にそれぞれ、互いに向かい合って位置決めされた2つの配置アームと、
− トレーとウェハとの間に配置されており、配置アームの通過を可能にする複数の楔とを備えており、
前記装置が、第1の移動チャンバと、EFEMモジュールまたは第2の移動チャンバと、ウェハ搬送ケースとに連通している、ウェハを処理するためのシステム。
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