CN110242758B - 密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种能够在真空环境下更换密封构件的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，可包括：阀体，能够开闭腔室的通道；以及密封构件更换装置，利用至少一个以上密封构件或者设置有密封构件的密封板，即使在真空环境下也能够更换所述密封构件或者所述密封板，所述密封构件使用时，能够紧固到所述阀体，不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机。

Description

密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒

技术领域

本发明涉及一种密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，更详细而言，涉及一种能够在真空环境下更换密封构件的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒。

背景技术

通常，腔室是用于制造要求真空或者高洁净作业环境的半导体芯片、晶圆、LCD面板、OLED面板等尖端半导体装置或显示装置或者其他医疗设备的工业设备设施，是如下装置：设置在这种腔室的闸阀作为腔室的进出口发挥作用，打开入口将半导体芯片或晶圆等移动至腔室空间内，再次关闭入口使腔室内维持气密状态的装置。

这种现有闸阀的基本结构，如韩国专利授权第10-1252665号所记载，在阀壳内部安装用于开闭腔室通道的入口即阀体，所述阀体是通过驱动缸或致动器的驱动升降移动，从而能够选择性地开闭阀壳的通道的结构。

发明内容

技术问题

上述的现有的闸阀因形成于阀体的O型环等密封构件由于其材质特性弱，可能容易损坏，而且，暴露在高温、高压、工艺气体环境等所述腔室内部的严酷工序环境下，可能更容易腐蚀或损耗。

因此，以往为了更换闸阀中老化的密封构件，必须将腔室或阀壳内部的真空环境转换为大气环境之后，进行作业人员手动打开阀壳的盖，用手更换在所述阀体中的老化密封构件的更换作业。

然而，这种现有的依赖手动作业的密封构件更换作业存在如下诸多问题：打破所述腔室或者阀壳内部好不容易形成的真空环境，不仅中断工序进展，为了再次形成真空压力耗费大量时间等，导致大幅降低生产效率，且还存在所述腔室的内部和所述阀体暴露在外部空气中，可能被各种杂质污染等问题。

本发明旨在于为了解决这些问题点，提供密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒，其在内部更换老化的老化密封构件或者老化密封板，而能够始终使用全新密封构件或者全新密封板，利用料盒能够一次性装载及卸载多个密封构件或者密封板，即使在真空环境下也能够装载及卸载密封构件或者密封板，从而最大限度地降低密封构件更换时间，能够大幅提高生产效率，能够防止来自外部的污染。

然而，这些课题是例示性的，并非由此限定本发明的范围。

技术方案

用于解决所述课题的根据本发明的密封构件更换型闸阀系统可包括：阀体，能够开闭腔室的通道；以及密封构件更换装置，利用至少一个以上的密封构件或者设置有密封构件的密封板，即使在真空环境下也能够更换所述密封构件或者所述密封板，所述密封构件使用时，能够紧固到所述阀体，不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机。

另外，根据本发明，所述待机容纳部可形成于阀壳的内部，与整齐地装有至少一个以上的所述密封构件或者所述密封板的料盒相对应地形成，所述阀壳形成为包围所述阀体的形状。

另外，根据本发明，所述料盒可以为第一料盒，所述第一料盒用于容纳将紧固到所述阀体的全新密封构件或者全新密封板。

另外，根据本发明，所述料盒可以为第二料盒，所述第二料盒用于容纳从所述阀体分离的老化密封构件或者老化密封板。

另外，根据本发明，所述料盒可包括：第一料盒，用于容纳将紧固到所述阀体的全新密封构件或者全新密封板；以及第二料盒，用于容纳从所述阀体分离的老化密封构件或者老化密封板。

另外，根据本发明，所述密封板可在前表面形成密封构件，在背面一侧形成啮合部，以便能够使另一密封板啮合，在背面另一侧形成与啮合的密封板的密封构件相对应的密封构件槽部。

另外，根据本发明，还可包括：阀体升降装置，能够使所述阀体从待机位置上升至所述通道高度；以及阀体进退装置，能够使上升至所述通道高度的所述阀体沿所述通道方向进行进退。

另外，根据本发明，所述密封构件更换装置可包括阀体紧固装置，所述阀体紧固装置使所述阀体朝向所述待机容纳部方向移动，以便下降至所述待机位置的所述阀体能够与全新密封构件或者全新密封板进行紧固。

另外，根据本发明，所述密封构件更换装置可包括阀体分离装置，所述阀体分离装置使所述阀体朝向所述待机容纳部方向移动，以便能够从紧固到下降至所述待机位置的所述阀体的多个密封构件或者密封板中分离老化密封构件或者老化密封板。

另外，根据本发明，所述密封构件更换装置还可包括阀体排列装置，根据紧固到所述阀体的所述密封构件或者所述密封板的数量，排列所述阀体的进退位置。

另外，根据本发明，所述阀体可以为保持真空型阀体，所述保持真空型阀体与所述密封构件或者所述密封板进行紧固，且具备大小比所述密封构件或者所述密封板大的保持真空型密封构件；所述待机容纳部在一侧形成与所述保持真空型阀体的所述保持真空型密封构件紧贴而能够封闭的开闭入口部，以便能够维持所述腔室的真空环境，且设置有盖，以便所述开闭入口部被封闭时，能够向内部装载或者从外部卸载所述密封构件或者所述密封板。

另外，根据本发明，所述待机容纳部可包括：气体供给管路，所述开闭入口部封闭时，向内部供给空气或惰性气体来形成大气压；以及真空压形成管路，装载或者卸载所述密封构件或者所述密封板之后，所述盖被封闭时，在内部形成真空环境。

另外，根据本发明，还可包括密封板支架，设置于所述阀壳，待机时，能够临时支撑所述密封板，更换密封板时，从所述密封板脱离，以免干扰所述阀体。

另外，根据本发明，所述密封板支架可包括：支架本体，固定于所述阀壳；以及至少一个夹持件，在一侧铰接于所述支架本体的铰链轴，在另一侧形成能够与形成于所述密封板的临时结合槽临时结合的临时结合凸起，来临时支撑所述密封板，以便待机时能够临时支撑所述密封板，更换密封板时，所述另一侧脱离所述临时结合槽而能够以所述铰链轴为中心转动或者下降，以免与所述阀体发生干扰。

另外，根据本发明，所述密封板支架还可包括弹性构件，所述弹性构件设置于所述支架本体，对所述夹持件施加以所述铰链轴为中心转动或者下降的方向的复原力。

另一方面，用于解决所述课题的本发明的旨的密封板能够紧固到闸阀系统的阀体；可在前表面一侧形成密封构件，以便不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机；在背面一侧形成啮合部，以便能够使另一密封板啮合，在前表面另一侧形成于另一密封板的啮合部相对应的啮合槽部。

另外，根据本发明，为了能够防止因相邻的另一密封板的啮合部与所述啮合槽部的啮合结合导致颗粒飞散，所述密封构件在与相邻的密封板啮合结合之前，预先与相邻的所述密封板的背面接触，可以以能够阻断所述颗粒飞散的形状、包围所述啮合槽部的形状向前方突出一定长度。

另一方面，用于解决所述课题的本发明的旨的密封板用料盒能够紧固到闸阀系统的阀体；在前表面一侧形成密封构件，以便在不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机；在背面一侧形成啮合部，以便能够使另一密封板啮合，在前表面另一侧能够容纳形成与另一密封板的啮合部相对应的啮合槽部的至少一个密封板。

有益效果

根据如上所述的本发明的部分实施例，在待机容纳部预先容纳多个全新密封构件或者设置有密封构件的密封板，通过在真空环境下将其与阀体结合或者分离，在内部更换老化的老化密封构件或者老化密封板，从而能够始终使用全新密封构件或者全新密封板，利用料盒能够一次性装载及卸载多个密封构件或者密封板，即使在真空环境下也可以装载及卸载密封构件或者密封板，能够最大限度地降低密封构件更换时间，能够大幅提高生产效率，能够防止来自外部的污染。当然，本发明的范围不限定于这些效果。

附图说明

图1是示意地示出本发明部分实施例的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒的示意图。

图2是阶段性地示出图1的密封构件更换型闸阀系统的工作过程的剖视图。

图3是阶段性示出本发明另一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统工作过程的剖视图。

图4是阶段性示出本发明又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统工作过程的剖视图。

图5至图9是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图10是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图11是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图12至图15是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图16是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图17至图19是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图20至图22是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图23至图26是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的剖视图。

图27是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统的示意图。

图28是示出本发明又一多个实施例密封构件更换型闸阀系统密封构件识别装置的示意图。

图29是示出图28的密封构件更换型闸阀系统的识别方法的顺序图。

图30是示出本发明部分实施例的密封板的图。

图31是示出图30的密封板配置状态的侧视图。

图32是示出更换图30的密封板支架之前的状态的立体图。

图33是示出更换图30的密封板支架之后的状态的立体图。

图34是示出图30的密封板支架的夹持件转动下降状态的放大立体图。

图35是示出图30的密封板支架的夹持件展开状态的放大立体图。

附图标记的说明

1：被加工物；C1、C2：腔室；P：通道；10：阀体；11：保持真空型阀体；20：阀体移动装置；21：阀体升降装置；22：阀体进退装置；30：密封构件更换装置；31：阀体紧固装置；32：阀体分离装置；33：阀体排列装置；A：待机容纳部；A1：第一待机容纳部；A2：第二待机容纳部；S：密封构件；SP：密封板；S1：全新密封构件；SP1：全新密封板；S2：老化密封构件；SP2：老化密封板；40：控制部；50：主控制部；60：运转更换装置；H：阀壳；M：料盒；M1：第一料盒；M2：第二料盒；T：啮合部；G：密封构件槽部；A1：开闭入口部；A2：盖；G1：气体供给管路；V1：真空压形成管路；70：密封板支架；71：支架本体；HS：铰链轴；72：夹持件；73：弹性构件；100～1300：密封构件更换型闸阀系统

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的多个实施例进行详细说明。

本发明的实施例是为了向本领域技术人员更完整地说明本发明而提供的，下述实施例可以以多种方式变更，本发明的范围不限于下述实施例。反而这些实施例是为了使本公开更充实且完整，向本领域技术人员完整地传达本发明的思想而提供的。并且，为了便于说明和明确性，附图中可以放大各层的厚度或大小。

本说明书中所使用的术语是为了说明特定实施例而使用的，而并非限定本发明。如本说明书所使用，单数形式若未明确指出上下文中不同的情况，则可以包括复数形式。并且，本说明书中所使用的情况下，“包括(comprise)”和/或“所包括的(comprising)”是特定所涉及的形状、数字、步骤、动作、构件、要件和/或这些分组的存在，并不排除一个以上的其他形状、数字、动作、构件、要件和/或这些分组的存在或者附加内容。

以下，参照示意示出本发明的理想实施例的附图，对本发明的实施例进行说明。附图中，例如，可以根据制造技术和/或公差(tolerance)，预想到图示形状的变形。因此，本发明思想的实施例不应解释为限定本说明书中图示的区域的特定形状，例如应包括制造方面产生的形状的变化。

以下，参照附图，对本发明多个实施例的密封构件更换型闸阀系统、密封板及密封板用料盒进行详细说明。

图1是示意地示出本发明部分实施例的密封构件更换型闸阀系统100、密封板SP及密封板用料盒M的示意图。

首先，如图1所示，本发明部分实施例的密封构件更换型闸阀系统100能够选择性地开闭用于被加工物1移动的腔室C1、C2的通道P，可大致包括阀体10、阀体移动装置20、密封构件更换装置30及控制部40。

例如，如图1所示，所述阀体10设置于阀壳H的内部，是形成为与所述通道P对应的入口形状的结构体，通过所述阀体移动装置20能够进行升降移动及进退移动。

其中，所述阀壳H可以是如下结构体：整体以空心的箱型形成的壳体结构体，形成有能够与各种腔室C1、C2连接的通道P，以便使各种对象物如半导体芯片、晶圆、LCD面板、OLED面板等尖端半导体装置或显示装置或其他医疗设备等进出。

这种所述阀壳H可以是如下结构体：能够支撑上述的所述阀体10或所述阀体移动装置20或所述密封构件更换装置30等，具备足够的强度和耐久性，以便能够与各种腔室连接。但是，这种所述阀壳H如图中示意地示出，并非限定于图示，非常多样的种类和形态的外壳均可适用。

另外，例如，如图1所示，所述阀体移动装置20是能够使所述阀体10沿所述通道P方向移动的装置，可以适用各种马达、线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、磁性联轴节、机械装置及它们的组合中任意一个以上。

另外，例如，如图1所示，所述密封构件更换装置30利用至少一个以上的密封构件S或者设置有密封构件S的密封板SP，即使在真空环境下也能够更换所述密封构件S或者所述密封板SP，所述密封构件S使用时，能够紧固到所述阀体10，不使用时，能够以从所述阀体10分离的状态在待机容纳部A进行待机，密封构件更换装置30可以适用各种马达、线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、机械装置、磁性联轴节及它们的组合中任意一个以上。

其中，所述阀体移动装置20和所述密封构件更换装置30可以适用分别独立的装置，此外，所述阀体移动装置20可以兼做所述密封构件更换装置30。即，可以适用分别独立的马达、线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、机械装置、磁性联轴节等，也可以使用一个马达、线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、机械装置、磁性联轴节等能够起到两种作用的。

另外，例如，如图1所示，所述控制部40是向所述阀体移动装置及所述密封构件更换装置施加控制信号，以使所述阀体10紧固到全新密封构件S1或者全新密封板SP1，或者使紧固到所述阀体10的多个密封构件S或者密封板SP中，分离老化密封构件S2或者老化密封板SP2的装置，各种运算装置、中央处理装置、微处理器、集成电路、印刷电路基板、程序、存储有程序的存储装置、命令输入装置，显示装置、电源装置、控制装置、控制盘、电子器件、网络装置、远程控制装置等均可适用。

因此，所述控制部40遵照用户的命令、或预先输入的密封构件S的寿命临近而输入更换命令信号，或由能够测定密封构件S的老化度的传感器输入更换信号时，可向所述阀体移动装置及所述密封构件更换装置施加控制信号，以使所述阀体10紧固到全新密封构件S1或者全新密封板SP1，或者使紧固到所述阀体10的多个密封构件S或者密封板SP中老化的密封构件S2或者老化的密封板SP2分离。

因此，在所述待机容纳部A整齐地预先容纳多个全新密封构件S1或者设置有密封构件S1的全新密封板SP1，通过使其在真空环境下与所述阀体10结合或者分离，不打破真空环境而从内部更换老化的老化密封构件S2或者老化密封板SP2，从而始终能够使用全新密封构件S1或者全新密封板SP1，由此，即使在真空环境下也可以装载及卸载密封构件S或者密封板SP，能够最大限度地降低密封构件更换时间，能够大幅提高生产效率，能够防止来自外部的污染。

另外，例如，如图1所示，所述待机容纳部A形成于以围绕所述阀体10的形状形成的阀壳H的内部，以与整齐地装有至少一个以上的所述密封构件S或者所述密封板SP的料盒M相对应的方式形成。

其中，如图1所示，所述料盒M可以是第一料盒M1，所述密封构件更换装置30容纳将紧固到所述阀体10的全新密封构件S1或者全新密封板SP1。

更具体而言，例如，如图1所示，所述阀体移动装置20可包括：阀体升降装置21，使所述阀体10从待机位置上升至所述通道高度；以及阀体进退装置22，能够使上升至所述通道高度的所述阀体10沿所述通道P方向进行进退。

另外，更具体而言，例如，如图1所示，所述密封构件更换装置30可包括阀体紧固装置31，所述阀体紧固装置31使所述阀体10朝向所述待机容纳部A方向移动，以使下降至所述待机位置的所述阀体10能够与全新密封构件S1或者全新密封板SP1进行紧固。

其中，所述阀体升降装置21、或所述阀体进退装置22、或所述阀体紧固装置31可以适用分别独立的马达，线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、机械装置、磁性联轴节等，此外还可以适用一个马达、线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、机械装置、磁性联轴节等兼具两种以上的功能的。

另外，更具体而言，例如，如图1所示，在所述密封板SP的前表面形成密封构件S，在背面一侧形成有啮合部T，以便另一密封板啮合，在背面另一侧形成与啮合的密封板的密封构件相对应的密封构件槽部G。

图2是阶段性地示出图1的密封构件更换型闸阀系统100的工作过程的剖视图。

因此，如图2所示，阶段性地说明图1的密封构件更换型闸阀系统100的工作过程，如图2的(a)所示，所述第一料盒M1能够容纳多个所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1。

接着，如图2的(b)所示，能够使所述阀体10下降至待机位置，接着，如图2的(c)所示，利用所述阀体紧固装置31使所述阀体10或者结合到所述阀体10的老化密封构件S2或者老化密封板SP2移动，而能够在所述阀体10、或所述老化密封构件S2或者老化密封板SP2紧固所述第一料盒M1的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1。

接着，如图2的(d)所示，利用所述阀体升降装置21使所述阀体10上升至所述通道P高度，利用所述阀体进退装置22通过紧固到所述阀体10的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1封闭所述通道P。

因此，能够始终使用全新密封构件S1或者全新密封板SP1。之后，利用所述第一料盒M1能够一次性装载及卸载多个密封构件S或者密封板SP。

图3是阶段性地示出本发明的另一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统200的工作过程的剖视图。

如图3所示，本发明的另一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统200的料盒M可以是第二料盒M2，所述第二料盒M2容纳从所述阀体10分离的老化密封构件S2或者老化密封板SP2。

另外，例如，如图3所示，所述密封构件更换装置30可包括阀体分离装置32，所述阀体分离装置32使所述阀体10朝向所述待机容纳部A方向移动，以便能够从紧固到下降至所述待机位置的所述阀体10的多个密封构件S或者密封板SP中分离老化密封构件S2或者老化密封板SP2。

因此，如图3所示，阶段性地说明本发明的另一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统200的工作过程，如图3的(a)所示，在所述阀体10能够紧固多个所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1，所述第二料盒M2可以空置。

接着，如图3的(b)所示，最外围的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1老化时，可以使所述阀体10下降至待机位置，接着，如图3的(c)所示，可利用所述阀体分离装置32分离出结合到所述阀体10的最外围的老化密封构件S2或者老化密封板SP2，并存储于所述第二料盒M2。

接着，如图3的(d)所示，利用所述阀体升降装置21使仅剩下所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1的所述阀体10上升至所述通道P高度；利用所述阀体进退装置22通过紧固到所述阀体10的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1能够封闭所述通道P。

因此，能够始终使用全新密封构件S1或者全新密封板SP1。之后，利用所述第二料盒M2能够一次性装载及卸载多个密封构件S或者密封板SP。

图4是阶段性地示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统300的工作过程的剖视图。

如图4所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统300的料盒M可包括：第一料盒M1，容纳将紧固到所述阀体10的全新密封构件S1或者全新密封板SP1；以及第二料盒M2，容纳从所述阀体10分离的老化密封构件S2或者老化密封板SP2。

因此，如图4所示，阶段性地说明本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统300的工作过程，如图4的(a)所示，在所述第一料盒M1可容纳多个所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1，所述第二料盒M2可以空置。

接着，如图4的(b)所示，紧固到所述阀体10的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1老化时，使所述阀体10下降至分离待机位置，接着，如图4的(c)所示，利用所述阀体分离装置32从所述阀体10分离老化密封构件S2或者老化密封板SP2，并能够存储于所述第二料盒M2。

接着，如图4的(c)所示，使所述阀体10上升至紧固待机位置之后，利用所述阀体紧固装置31使所述阀体10移动，而将所述第一料盒M1的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1紧固到所述阀体10。

接着，如图4的(d)所示，利用所述阀体升降装置21使所述阀体10上升至所述通道P高度；利用所述阀体进退装置22通过紧固到所述阀体10的所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1能够封闭所述通道P。

因此，能够始终使用全新密封构件S1或者全新密封板SP1。之后，利用所述第一料盒M1及第二料盒M2能够一次性装载及卸载多个密封构件S或者密封板SP。

图5至图9是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统400的剖视图。

如图5所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统400的密封构件更换装置30还可包括阀体排列装置33，所述阀体排列装置33根据紧固到所述阀体10的所述密封构件S或者所述密封板SP的数量，排列所述阀体10的进退位置。

例如，如图6的(a)所示，所述阀体10与一个所述密封构件S或者所述密封板SP进行紧固的情况下，如图6的(b)所示，通过所述阀体排列装置33能够维持前进的状态，接着，如图6的(c)所示，通过所述阀体紧固装置31所述阀体10与一共两个所述密封构件S或者所述密封板SP进行紧固的情况下，通过所述阀体排列装置33以所述密封板SP的厚度进行后退排列，如图7的(a)所示，所述阀体10上升时，始终恒定维持与所述通道P相对应的最外围的所述全新密封构件S1的阀面的位置，如图7的(b)所示，与紧固到所述阀体10的所述密封板SP的数量无关，能够始终以一定的压力封闭所述通道P。

即，如图8及图9的(a)所示，在所述阀体10紧固一个所述密封板SP1的状态下，如图9的(b)所示，在所述阀体10紧固两个所述密封板SP1时，利用所述阀体排列装置33，能够以与此相应的第一距离L1进行后退，如图9的(c)所示，在所述阀体10紧固三个所述密封板SP1时，利用所述阀体排列装置33能够以与此相应的第二距离L2进行后退。

图10是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统500的剖视图。

如图10所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统500的阀体紧固装置可以适用利用撑杆PO的互锁(interlock)装置B。

因此，根据通过所述互锁装置B插入到所述密封板SP的所述撑杆PO的深度，能够决定紧固到所述阀体10的所述密封板SP的数量。

图11是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统600的剖视图。

如图11所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统600中，所述阀体紧固装置31可以代替上述的所述阀体排列装置33的功能。该情况下，可以适用能够对所述阀体紧固装置31的进退位置进行精密控制的各种马达、线形马达、气缸、致动器、动力传递装置、机械装置、磁性联轴节等。

图12至图15是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统700的剖视图。

如图12至图15所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统700中，如图12及图15所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统400的密封构件更换装置30还可包括阀体排列装置33，所述阀体排列装置33根据从所述阀体10分离的所述密封构件S或者所述密封板SP的数量，排列所述阀体10的进退位置。

例如，如图13的(a)所示，所述阀体10与多个所述密封构件S或者所述密封板SP进行紧固的情况下，如图13的(b)所示，能够维持通过所述阀体排列装置33后退的状态，接着，如图13的(c)所示，通过所述阀体分离装置32从所述阀体10与所述密封构件S或者所述密封板SP分离的情况下，通过所述阀体排列装置33以所述密封板SP的厚度进行后退排列，如图14的(a)所示，所述阀体10上升时，始终恒定维持与所述通道P对应的最外围的所述全新密封构件S1的阀面的位置，如图14的(b)所示，与从所述阀体10分离的所述密封板SP的数量无关，能够始终以一定的压力封闭所述通道P。

图16是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统800的剖视图。

如图16所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统800的密封构件更换装置30还可包括阀体排列装置33，所述阀体排列装置33根据紧固到所述阀体10、或者从所述阀体10分离的所述密封构件S或者所述密封板SP的数量，排列所述阀体10的进退位置。

即，例如，如图16所示，利用所述阀体排列装置33根据紧固到所述阀体10的全新密封板SP1的数量，可以使所述阀体10后退或者前进、或者根据从所述阀体10分离的老化密封板SP2的数量，可以使所述阀体10后退或者前进。

图17至图19是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统900的剖视图。

如图17至图19所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统900的阀体10可以是保持真空型阀体11，该保持真空型阀体11与所述密封构件S或所述密封板SP进行紧固，设置有具有比所述密封构件S或者所述密封板SP更大的大小的保持真空型密封构件SS。

另外，例如，如图17至图19所示，所述待机容纳部A在一侧形成有开闭入口部A1，所述开闭入口部A1与所述保持真空型阀体10的所述保持真空型密封构件S紧贴而密封，以便能够维持所述腔室C1、C2的真空环境，且可设置盖A2，若所述开闭入口部A1封闭，则所述密封构件S或者所述密封板SP装载到内部或者从外部卸载。

更具体地，例如，如图17至图19所示，所述待机容纳部A可包括：气体供给管路G1，所述开闭入口部A1封闭时，向内部供给空气或惰性气体来形成大气压；以及真空压形成管路V1，装载或卸载所述密封构件S或所述密封板SP之后，封闭所述盖A2，在内部形成真空环境。

因此，如图17及图19所示，利用所述保持真空型阀体11封闭所述开闭入口部A1，利用所述气体供给管路G1向所述待机容纳部A的内部供给空气或惰性气体时，所述待机容纳部A内部的压力可能与大气压相同，因此分离所述盖A2而向外部卸载所述老化密封构件S2或者所述老化密封板SP2，或者可以将所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1装载到内部。

接着，如图18所示，封闭所述盖A2之后，利用所述真空压形成管路V1在所述待机容纳部A的内部形成真空环境之后，可在所述保持真空型阀体11紧固所述全新密封构件S1或者所述全新密封板SP1来封闭所述通道P。

因此，维持所述腔室C1、C2及所述阀壳H内部的真空环境不变的同时，能够将所述密封构件S或者所述密封板SP装载到所述待机容纳部A及从其卸载。

另一方面，图示的述料盒M的形态非常多样或者可省略或者额外的卡具来代替，并非限定于附图。

图20至图22是示出明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1000的剖视图。

如图20所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1000的所述待机容纳部A可至少包括：第一待机容纳部A1，在其中密封构件S1或者全新密封板SP1进行待机；以及第二待机容纳部A2，在其中老化密封构件S2或者老化密封板SP2进行待机。

其中，所述第一待机容纳部A1和所述第二待机容纳部A2分别设置于所述通道P的上方和下方，并非限定于附图，可以互换位置或在上方或下方相互相邻设置等可以以多种形态适用。

因此，如图21的(a)所示，所述阀体10在所述第一待机容纳部A1的高度进行待机，之后如图21的(b)所示，上升至所述通道P高度之后，如图21的(c)所示，使所述阀体10朝向所述通道P方向前进来封闭所述通道P。

接着，如图22的(a)所示，紧固到所述阀体10而老化的老化密封构件S2或者老化密封板SP2分离，并存储于所述第二待机容纳部A2，如图22的(b)所示，所述阀体10上升至所述第一待机容纳部A1的高度，与在所述第一待机容纳部A1进行待机的全新密封构件S1或者全新密封板SP1进行紧固，始终能够以崭新的状态执行阀开闭作业。

图23至图26是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1100的剖视图。

如图23至图26所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1100还可包括运转更换装置60，所述运转更换装置60能够使容纳于所述待机容纳部A的至少一个以上的所述密封构件S或者设置有密封构件的所述密封板SP或者料盒M从所述待机容纳部A进退至可更换密封构件的更换位置。

因此，如图24的(a)所示，所述阀体10沿所述待机容纳部A的高度前进而与全新密封构件S1或者全新密封板SP1进行紧固，如图24的(b)所示，上升至所述通道P高度之后，如图24的(c)所示，使所述阀体10朝向所述通道P方向前进来封闭所述通道P。

接着，如图25的(a)所示，产生紧固到所述阀体10而老化的老化密封构件S2或者老化密封板SP2时，如图25的(b)所示，存储于从所述待机容纳部A前进的所述运转更换装置60的空置空间之后，如图26的(a)所示，可使所述运转更换装置60后退。

接着，如图26的(b)所示，所述阀体10前进与在所述运转更换装置60的后退状态下容纳的全新密封构件S1或者全新密封板SP1进行紧固，如图26的(c)所示，始终能够以崭新的状态执行阀开闭作业。

图27是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1200的示意图。

如图27所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1200还可包括：老化度传感装置D，如各种压力传感器或摄像头等，能够感知所述密封构件S的老化程度；以及控制部40，从所述老化度传感装置D接收更换信号，向所述阀体移动装置20及所述密封构件更换装置30施加控制信号，以使所述阀体10与全新密封构件或者全新密封板进行紧固，或者紧固到所述阀体的多个密封构件或者密封板中分离老化密封构件或者老化密封板。其中，所述控制部40可以与设备的主控制部50连接，此外所述控制部40还可兼做所述主控制部50的功能。

因此，能够实现自动感知所述密封构件的老化度，能够在真空环境下进行自动更换等所有工序的自动化。

图28是示出本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1300的密封构件识别装置90的示意图。

如图28所示，本发明的又一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统1300还可包括密封构件识别装置90，所述密封构件识别装置90能够识别所述密封构件S或者所述密封板SP的识别信息，以便仅在识别信息匹配时能够更换密封构件S。

其中，所述识别信息可以适用设置于所述密封板SP的具备RFID的RF标签TG或包含其他各种识别信息的标签或芯片等，所述密封构件识别装置90能够适用所有能够识别这些标签或芯片的RFID识别装置等。

图29是示出图28的密封构件更换型闸阀系统1300的识别过程的顺序图。

因此，如图28及图29所示，对图28的密封构件更换型闸阀系统1300的识别过程进行说明，在所述阀体10的所述密封板SP更换时，所述密封构件识别装置90识别所述标签TG，对识别信息进行感知(S11)时，控制部判断是否匹配(S12)，在匹配的情况下允许密封构件的更换(S13)，不匹配的情况下，可作出不可更换密封构件的判断。

因此，仅能够更换正式赋予识别信息的密封板SP，提高设备的安全性，能够预先防止误操作或违规使用。

另一方面，本发明部分实施例的密封板SP能够紧固到闸阀系统100的阀体10；在前表面形成密封构件S，以便在不使用时，以从所述阀体10分离的状态在待机容纳部A进行待机；在背面一侧形成啮合部T，以便与另一密封板啮合；在背面另一侧形成与啮合的密封板的密封构件相对应的密封构件槽部G。这种本发明的所述密封板SP的结构和作用与上述的所述密封构件更换型闸阀系统的相同，因此省略详细说明。

另一方面，本发明部分实施例的密封板用料盒M能够紧固到闸阀系统100的阀体10；在前表面形成密封构件S，以便在不使用时，以从所述阀体10分离的状态在待机容纳部A进行待机；在背面一侧形成有啮合部T，以便与另一密封板啮合；在背面另一侧能够容纳形成有与啮合的密封板的密封构件相对应的密封构件槽部G的多个密封板SP。

这种本发明的所述密封板用料盒M的结构和作用与上述的所述密封构件更换型闸阀系统的相同，因此省略详细说明。

图30是示出本发明部分实施例的密封板SP的图，图31是示出图30的密封板配置状态的侧视图。

另一方面，根据用于解决所述课题的本发明的旨的密封板SP如图30的(a)即主视图和图30的(b)即俯视图所示，能够紧固到闸阀系统100的所述阀体10；在前表面一侧形成密封构件S，以便在不使用时以从所述阀体10分离的状态在待机容纳部A进行待机；如图30的(b)和(c)，即后视图所示，在背面一侧形成啮合部T，以便另一密封板SP啮合；在前表面另一侧形成与另一密封板的啮合部T对应的啮合槽部TH。另外，可在所述密封板SP的两侧部形成临时结合槽TG。

另外，例如，如图31所示，为了防止因相邻的另一密封板SP的啮合部T与所述啮合槽部TH的啮合结构导致颗粒飞散，所述密封构件S在与相邻的所述密封板SP啮合结合之前，预先与相邻的所述密封板SP的背面接触，以能够阻断所述颗粒飞散的形状、包围所述啮合槽部TH的形状向前方突出一定长度。

这种，本发明的所述密封板SP的结构和作用与上述的所述密封构件更换型闸阀系统的相同，因此省略详细说明。

图32是示出更换图30的密封板支架之前状态的立体图，图33是示出更换图30的密封板支架之后状态的立体图，图34式示出图30的密封板支架的夹持件转动下降状态的放大立体图，图35使示出图30的密封板支架的夹持件展开状态的放大立体图。

如图32至图35所示，本发明的另一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统还可包括密封板支架70，所述密封板支架70设置于所述阀壳H，待机时，能够临时支撑所述密封板SP，更换密封板时，从所述密封板SP脱离，以免与所述阀体10发生干扰。

更具体而言，例如，所述密封板支架HD可包括：支架本体71，固定于所述阀壳H；以及能够以所述铰链轴HS为中心转动或者下降的至少一个夹持件72，一侧铰接于所述支架本体71的铰链轴HS，在另一侧形成能够与形成于所述密封板SP的临时结合槽TG临时结合的临时结合凸起TT，以便待机时，能够临时支撑所述密封板SP，更换密封板时，从所述另一侧所述临时结合槽TG脱离，以免与所述阀体10发生干扰。

另外，根据本发明，所述密封板支架70还可包括弹性构件73，所述弹性构件73设置于所述支架本体71，向所述夹持件72施加以所述铰链轴HS为中心转动或者下降的方向的复原力。

因此，如图32所示，本发明的另一多个实施例的密封构件更换型闸阀系统只能怪，所述阀体10前进的同时对所述密封板SP加压时，所述密封板SP的所述啮合部T插入到形成于所述阀体10的所述啮合槽部TH，所述阀体10能够与第一个所述密封板SP进行紧固。

此时，第一个所述密封板SP与其他密封板SP相同，与初期设置时相同，第一个所述夹持件72的临时结合凸起TT临时结合到所述临时结合槽TG，而在所述阀体10前进时能够充分支撑所述密封板SP。

接着，如图33所示，所述阀体10与第一个所述密封板SP一同后退的情况下，第一个所述夹持件72的临时结合凸起TT从所述临时结合槽TG脱离，可能通过上述的所述弹性构件73，或者如图34那样，因重力进行转动下降。

因此，之后，所述阀体10用尽第一个所述密封板SP之后，朝向第二个所述密封板SP前进的情况下，第一个所述夹持件72成为转动下降的状态，不与所述阀体10发生干扰，所述阀体与第二个所述密封板SP进行紧固时，如图35那样，第二个所述密封板SP也同样能够被第二个所述夹持件72充分支撑。

本发明将附图所示的实施例为参考进行了说明，但这只是例示，本领域技术人员应理解为由此可以实施多种变形和等价的其它实施例。因此，本发明的真正的技术保护范围应由权利要求书的技术思想来确定。

Claims (10)

1.一种密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，包括：

阀体，能够开闭腔室的通道；以及

密封构件更换装置，利用至少一个以上的密封构件或者设置有密封构件的密封板，在真空环境下能够更换所述密封构件或者所述密封板，所述密封构件使用时，能够紧固到所述阀体，不使用时，能够以从所述阀体分离的状态在待机容纳部进行待机；

所述待机容纳部形成于以包围所述阀体的形状形成的阀壳的内部，

与整齐地装有至少一个以上的所述密封构件或者所述密封板的料盒相对应地形成。

2.根据权利要求1所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

所述料盒为第一料盒或者第二料盒，所述第一料盒用于容纳将紧固到所述阀体的全新密封构件或者全新密封板，所述第二料盒用于容纳从所述阀体分离的老化密封构件或者老化密封板。

3.根据权利要求1所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

所述密封板在前表面形成密封构件，在背面一侧形成啮合部，以便能够使另一密封板啮合，在背面另一侧形成与啮合的密封板的密封构件相对应的密封构件槽部。

4.根据权利要求3所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，还包括：

阀体升降装置，能够使所述阀体从待机位置上升至所述通道高度；以及

阀体进退装置，能够使上升至所述通道高度的所述阀体沿所述通道方向进行进退。

5.根据权利要求4所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

所述密封构件更换装置包括阀体紧固装置，所述阀体紧固装置使所述阀体朝向所述待机容纳部方向移动，以便下降至所述待机位置的所述阀体能够与全新密封构件或者全新密封板进行紧固；或者

包括阀体分离装置，所述阀体分离装置使所述阀体朝向所述待机容纳部方向移动阀体分离装置，以便能够从下降至所述待机位置的紧固到所述阀体的多个密封构件或者密封板中分离老化密封构件或者老化密封板。

6.根据权利要求5所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

所述密封构件更换装置还包括阀体排列装置，所述阀体排列装置根据紧固到所述阀体的所述密封构件或者所述密封板的数量，排列所述阀体的进退位置。

7.根据权利要求1所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，所述阀体是保持真空型阀体，所述保持真空型阀体与所述密封构件或者所述密封板进行紧固，设置有具备大小比所述密封构件或者所述密封板大的保持真空型密封构件，

所述待机容纳部在一侧形成与所述保持真空型阀体的所述保持真空型密封构件紧贴而能够封闭的开闭入口部，以便能够维持所述腔室的真空环境，且设置有盖，以便所述开闭入口部被封闭时，能够向内部装载或者从外部卸载所述密封构件或者所述密封板，

所述待机容纳部包括：

气体供给管路，所述开闭入口部封闭时，向内部供给空气或惰性气体来形成大气压；以及

真空压形成管路，装载或者卸载所述密封构件或者所述密封板之后，所述盖被封闭时，在内部形成真空环境。

8.根据权利要求1所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

所述待机容纳部至少选自第一待机容纳部、第二待机容纳部及它们的组合中任意一种以上，全新密封构件或者全新密封板在所述第一待机容纳部进行待机，老化密封构件或者老化密封板在所述第二待机容纳部进行待机，

所述第一待机容纳部和所述第二待机容纳部容纳于所述通道的下方，或者以所述通道为基准分别设置于上方和下方或者下方和上方。

9.根据权利要求1所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

还包括密封构件识别装置，所述密封构件识别装置能够识别所述密封构件或者所述密封板的识别信息，以便仅在识别信息匹配时能够更换密封构件。

10.根据权利要求1所述的密封构件更换型闸阀系统，其特征在于，

还包括密封板支架，所述密封板支架设置于所述阀壳，待机时，能够临时支撑所述密封板，更换密封板时，从所述密封板脱离，以免与所述阀体发生干扰，

所述密封板支架还包括：

支架本体，固定于所述阀壳；

至少一个夹持件，一侧铰接于所述支架本体的铰链轴，在另一侧形成能够与形成于所述密封板的临时结合槽临时结合的临时结合凸起，来临时支撑所述密封板，以便待机时能够临时支撑所述密封板，更换密封板时，所述另一侧脱离所述临时结合槽而能够以所述铰链轴为中心转动或者下降，以免与所述阀体发生干扰；以及

弹性构件，设置于所述支架本体，对所述夹持件施加以所述铰链轴为中心转动或者下降的方向的复原力。

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