KR102072758B1 - 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수개의 도어들을 회전시켜서 구형 도어를 신형 도어로 교환할 수 있는 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 지지하는 가동대; 상기 도어를 상기 통로 방향 및 상기 도어 교환 영역 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 상기 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 회전시키는 도어 회전 교환 장치;를 포함할 수 있다.

Description

회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템{Rotary replacement type gate valve system}
본 발명은 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수개의 도어들을 회전시켜서 구형 도어를 신형 도어로 교환할 수 있는 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.
한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.
이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 밀봉 부재(오링)만을 교환할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.
그러나, 이러한 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.
또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.
한편, 종래에는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되어 비교적 구조가 간단하고 작동성이 우수한 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템이 널리 적용되고 있다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 복수개의 도어들을 동시에 회전시켜서 구형 도어를 신형 도어로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템은, 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 지지하는 가동대; 상기 도어를 상기 통로 방향 및 상기 도어 교환 영역 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 상기 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 회전시키는 도어 회전 교환 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 회전 교환 장치는, 전방 또는 후방에 수용된 적어도 하나의 구형 도어와 후방 또는 전방에 수용된 적어도 하나의 신형 도어와 모두 체결될 수 있도록 양면에 체결부가 형성되는 더미 도어;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 복수개의 도어들이 서로 체결될 수 있도록 후면에 체결부가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 회전 교환 장치는, 상기 도어들 각각의 양측면을 선택적으로 홀딩할 수 있는 적어도 하나의 측면 홀더; 상기 측면 홀더들을 지지하는 회동대; 및 상기 회동대를 회전시키는 회전축;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 회전 교환 장치는, 상기 도어들 각각의 양측면에 형성된 적어도 2개의 측면홀에 선택적으로 삽입될 수 있는 삽입핀; 상기 삽입핀들을 지지하는 회동대; 및 상기 회동대를 회전시키는 회전축;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 회전 교환 장치는, 상기 도어들을 수용할 수 있는 원통형 케이지; 및 상기 원통형 케이지를 회전시키는 회전축;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 복수개의 도어들을 동시에 회전시켜서 구형 도어를 신형 도어로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 회전 교환 장치의 일례를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 회전 교환 장치의 다른 일례를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 회전 교환 장치의 또 다른 일례를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템의 식별 장치를 나타내는 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 도어 이동 장치(40) 및 도어 회전 교환 장치(50)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 통로(10a)가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 도어 이동 장치(40) 및 상기 도어 회전 교환 장치(50) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 실링 부재(S)가 설치되고, 상기 가동대(30)와 착탈 가능하게 설치되며, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 도어(20)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 도어들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는 상기 도어(20)를 착탈 가능하게 지지할 수 있는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 가동대(30)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 가동 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)는, 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향 및 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상세하게 도시하진 않았지만, 각종 실린더나 모터나 리니어 모터 등 다양한 동력 전달 장치나 구동 장치를 포함하는 각종 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는, 상기 도어 교환 영역(A)에 설치되고, 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 회전시키는 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는, 전방 또는 후방에 수용된 적어도 하나의 구형 도어(20-2)와 후방 또는 전방에 수용된 적어도 하나의 신형 도어(20-1)와 모두 체결될 수 있도록 양면에 체결부(F)가 형성되는 더미 도어(DD)를 포함할 수 있다.
또한, 예컨대, 상기 도어(20)는, 복수개의 도어(20)들이 서로 체결될 수 있도록 후면에 체결부(F)가 형성될 수 있다.
따라서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 도어 이동 장치(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 통로(10a) 방향으로 상승 후, 전진되어 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 이러한 과정을 반복하면서, 도 1의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화될 수 있다.
이어서, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해서, 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시킬 수 있다.
이어서, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 구형 도어(20-2)가 상기 가동대(30)로부터 분리되어 상기 더미 도어(DD)에 결합되면, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 회전시킬 수 있다.
이어서, 도 2의 (f)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는 상기 신형 도어(20-1)와 결합되어 도 2의 (g)에 도시된 바와 같이, 교환된 상기 신형 도어(20-1)를, 도 2의 (h)에 도시된 바와 같이, 상기 신형 도어(20-1)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시켜서 상기 통로(10a)를 폐쇄시키는 교환 이후 정상 작동이 가능하다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 확대도들이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 상술된 바와 같이, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해서, 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시킬 수 있고, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 구형 도어(20-2)가 상기 가동대(30)로부터 분리되어 상기 더미 도어(DD)에 결합되면, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계 받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 회전시킬 수 있다.
이어서, 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는 상기 신형 도어(20-1)와 결합되어 정상적이 도어 사용이 가능하다.
이 때, 상기 도어 회전 교환 장치(50)에는 신형 도어(20-1) 1개가 남아 있고, 상기 더미 도어(DD)를 사이에 두고, 인계 받은 구형 도어(20-2) 1개가 수용될 수 있다.
이어서 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해서, 장시간의 사용으로 인하여 상기 신형 도어(20-1)가 구형으로 변질되면, 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시킬 수 있다.
이 때, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는 전방에 수용 중인 구형 도어(20-2)를 전방으로 회전시키면서, 대기 중인 신형 도어(20-1)를 후방으로 회전시킬 수 있다.
이어서, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 구형 도어(20-2)가 상기 가동대(30)로부터 분리되어 상기 구형 도어(20-2)에 결합되면, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계 받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 회전시킬 수 있다.
이어서, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는 상기 신형 도어(20-1)와 결합되어 정상적이 도어 사용이 가능하다.
이 때, 상기 도어 회전 교환 장치(50)에는 신형 도어(20-1) 남아 있지 않고, 상기 더미 도어(DD)와 함께 인계 받은 2개의 구형 도어(20-2)가 수용될 수 있다.
이 후, 이러한 구형 도어(20-2)들은 상기 도어 교환 영역(A)들을 밀폐시킨 후, 외부에 개방하여 모두 신형 도어(20-1)로 교체하거나, 장비를 멈추고 상기 밸브 하우징(10) 전체를 개방하여 교체하는 것도 가능하다.
그러므로, 복수개의 도어들을 동시에 회전시켜서 구형 도어를 신형 도어로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 회전 교환 장치(50)의 일례를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 회전 교환 장치(50)는, 상기 도어(20)들 각각의 양측면을 선택적으로 홀딩할 수 있는 적어도 하나의 측면 홀더(51)와, 상기 측면 홀더(51)들을 지지하는 회동대(52) 및 상기 회동대(52)를 회전시키는 회전축(53)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어 회전 교환 장치(50)는, 상기 측면 홀더(51)들을 이용하여 복수개의 상기 도어(20)들을 선택적으로 홀딩할 수 있고, 상기 회전축(53)을 회전시켜서 상기 도어(20)들을 동시에 회전시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 회전 교환 장치(60)의 다른 일례를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 회전 교환 장치(60)는, 상기 도어(20)들 각각의 양측면에 형성된 적어도 2개의 측면홀(H)에 선택적으로 삽입될 수 있는 삽입핀(61)과, 상기 삽입핀(61)들을 지지하는 회동대(62) 및 상기 회동대(62)를 회전시키는 회전축(63)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어 회전 교환 장치(60)는, 상기 삽입핀(61)들을 이용하여 복수개의 상기 도어(20)들을 선택적으로 홀딩할 수 있고, 상기 회전축(63)을 회전시켜서 상기 도어(20)들을 동시에 회전시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 회전 교환 장치(70)의 또 다른 일례를 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 회전 교환 장치(70)는, 상기 도어(20)들을 수용할 수 있는 원통형 케이지(71) 및 상기 원통형 케이지(71)를 회전시키는 회전축(72)을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어 회전 교환 장치(70)는, 상기 원통형 케이지(71)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)들을 선택적으로 홀딩할 수 있고, 상기 회전축(72)을 회전시켜서 상기 도어(20)들을 동시에 회전시킬 수 있다.
여기서, 이러한 회전을 위해서 모터나 실린더 등 매우 다양한 회전 장치들이 모두 적용될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 식별 장치(80)를 나타내는 개념도이다.
한편, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 식별 장치(80)는, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)의 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 장치로서, 예컨대, 상기 식별자(81)는 RFID 태그 등이 적용될 수 있고, 상기 식별 장치(80)는 RFID 센서나 RFID 제어 장치 등을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)들이 정품으로 식별되는 경우에만 장비의 가동을 가능하게 하여 제품의 안정성과 원활한 작동을 보장할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 밸브 하우징
10a: 통로
A: 도어 교체 영역
S: 실링 부재
20: 도어
30: 가동대
40: 도어 이동 장치
50, 60, 70: 도어 회전 교환 장치
F: 체결부
DD: 더미 도어
51: 측면 홀더
52: 회동대
53: 회전축
61: 삽입핀
62: 회동대
63: 회전축
71: 원통형 케이지
72: 회전축
80: 식별 장치
81: 식별자
100: 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템

Claims (7)

  1. 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징;
    상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어;
    상기 도어를 지지하는 가동대;
    상기 도어를 상기 통로 방향 및 상기 도어 교환 영역 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및
    상기 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 후방으로 회전시키면서 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 회전시키는 도어 회전 교환 장치;
    를 포함하는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어 회전 교환 장치는,
    전방 또는 후방에 수용된 적어도 하나의 구형 도어와 후방 또는 전방에 수용된 적어도 하나의 신형 도어와 모두 체결될 수 있도록 양면에 체결부가 형성되는 더미 도어;를 포함하는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어는, 복수개의 도어들이 서로 체결될 수 있도록 후면에 체결부가 형성되는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어 회전 교환 장치는,
    상기 도어들 각각의 양측면을 선택적으로 홀딩할 수 있는 적어도 하나의 측면 홀더;
    상기 측면 홀더들을 지지하는 회동대; 및
    상기 회동대를 회전시키는 회전축;
    을 포함하는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어 회전 교환 장치는,
    상기 도어들 각각의 양측면에 형성된 적어도 2개의 측면홀에 선택적으로 삽입될 수 있는 삽입핀;
    상기 삽입핀들을 지지하는 회동대; 및
    상기 회동대를 회전시키는 회전축;
    을 포함하는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어 회전 교환 장치는,
    상기 도어들을 수용할 수 있는 원통형 케이지; 및
    상기 원통형 케이지를 회전시키는 회전축;
    을 포함하는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;
    를 포함하는, 회전 교환 타입 게이트 밸브 시스템.
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JP2010209926A (ja) 2009-03-06 2010-09-24 Tokyo Electron Ltd ゲートバルブ及びゲートバルブの開閉方法
JP2017026128A (ja) 2015-07-28 2017-02-02 大日本印刷株式会社 ゲート装置、処理システムおよび封止部交換方法

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