KR910018705A - 슬릿밸브장치 및 방법 - Google Patents

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KR910018705A
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테프만 아비
엘. 앤드류스 다나
Original Assignee
제임스 조셉 드롱
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

내용 없음

Description

슬릿밸브장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 폐쇄위치에 있는 슬릿(slit)밸브를 구비한 본 발명에 따른 스릿 밸브장치의 부분 단면 정면도, 제2도는 개방위치에 있는 슬릿밸브를 구비한 본 발명에 따른 슬릿밸브장치의 부분 단면 정면도, 제3도는 본 발명의 밸브도어용 조정지지부의 분해 사시도.

Claims (12)

  1. 큰축선 및 작은 축선을 가지며 상기 큰 축선에 평행하고 상기 작은 축선에 수직인 이동면을 따라서 물체를 통과시키기에 적합한 틈부를 한정하는 벽수단과, 상기 틈부를 둘러싸고, 상기 이동면에 대하여 각이지게 배치된 밀봉 평면을 한정하는 제1앉힘표면을 가지는 시트수단과, 상기 밀봉평면을 따라서 상기 제1앉힘평면과 접하여 결합할 수 있는 제2앉힘표면을 가지는 도어수단과, 상기 도어수단을 상기 밀봉평면에 수직인 액튜에이터 축선을 따라서 상기 시트수단을 행하여 떨어져 움직이게 하는 선형작동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이동면과 상기 밀봉평면사이에 포함되는 각도가 30°내지 60°범위에 있는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 포함되는 각도가 45°인 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 선형작동수단이 제1단부에서 상기 도어수단과, 제2단부에서 왕복선형 구동구조에 결합되는 가늘고 긴 축을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 축이 상기 벽수단을 통과하고, 상기 액유에이터 축선을 따라서 상기 축을 안내하기 위하여 상기 벽에 결합된 안내수단과, 상기 벽수단에 상기 축의 제1단부를 결합하는 봉입수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 도어수단에 상기 축의 제1단부를 결합하는 다축선 조정수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 왕복선형 구동구조가 공압으로 작동되는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 봉입수단이 제1단부에서 상기 축에 결합되고 제2단부에서 상기 벽수단에 결합되는 주름 슬리이부인 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1앉힘표면과 상기 제2앉힘표면 사이에 배치된 제1밀봉수단과, 상기 주름 슬리이브와 상기 벽수단 사이에 배치된 제2밀봉수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿밸브장치.
  10. 이동면에 대하여 각이지게 배치된 밀봉평면을 한정하는 제1앉힘표면으로 틈부를 에워싸는 단계와, 상기 밀봉평면에 수직방향으로 상기 제2앉힘표면을 직선으로 이동시키는 것에 의하여 제2앉힘표면을 제1앉힘표면을 결합 및 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 상기 벽을 통하여 상기 이동면에 평행하게 물체를 통과시키도록 상기 벽에 제공된 가늘고 긴 틈부를 선택적으로 개방 또는 폐쇄시키는 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1및 제2앉힘표면들이 결합되었을때, 상기 앉힘표면이 평행하고 상기 틈부가 상기 제2앉힘표면에 의하여 완전히 덮어지도록, 상기 제1앉힘표면과 상기 제2앉힘표면의 위치를 조정하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 틈부를 선택적으로 개방 또는 폐쇄시키는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 위치를 조정하는 단계가 상기 제2앉힘표면을 위치를 고정하는 잠금수단을 해제하는 단계와, 상기 제1앉힘표면과 상기 제2앉힘표면을 결합하는 단계와, 상기 잠금 수단을 복귀시크는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 틈부를 선택적으로 개방 또는 폐쇄시키는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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