KR930021983A

KR930021983A - 진공게이트 밸브

Info

Publication number: KR930021983A
Application number: KR1019920006346A
Authority: KR
Inventors: 후나바 가쭈또시
Original assignee: 야기 나오히꼬; 가부시기가이샤 니혼세이고쇼
Priority date: 1992-04-16
Filing date: 1992-04-16
Publication date: 1993-11-23
Also published as: KR100230936B1

Abstract

진공통로를 가지는 진공게이트 밸브를 벨브케이싱(1), 상기 진공통로를 개폐시키기 위해 두 위치사이를 왕복운동하는 밸브본체, 케이싱(1)을 폐쇄하기 위한 본네트 플랜지(9), 본네트 플랜지 (9)의 관통공(11)속으로 느슨하게 삽입되어 밸브본체와 결합하는 스템축(3)을 가지며 밸브본체를 왕복운동 가능하게 구동시키기 위해 본네트 플랜지(9)상에 구비된 구동수단(10), 그리고 밸브통로 로부터 스템축(3)의 슬라이딩부를 격리시키기 위한 부재를 포함한다.

Description

진공게이트 밸브

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 진공게이트밸브의 일예의 구조를 도시하는 단면도.

제2도는 본 발명에 따른 게이트밸브의 일예에서 밸브 게이싱의 구조를 도시한 단면도.

제3도는 본 발명에 따른 게이트밸브의 밸브시트의 설명을 위한 사시도.

제4도는 본 발명의 게이트밸브의 밸브 본체의 설명을 위한 사시도.

제5도는 본 발명의 게이트밸브의 전체구성을 밸브 본체와 밸브시트로 나누어 도시한 사시도.

제6(a)도 및 제6(b)도는 각각 본 발명에 밸브시트의 개구축을 포함하는 평면에서 취한 밸브시트의 평면형상의 두가지 예를 도시한 설명도.

Claims

진공통로를 갖는 진공게이트 밸브장치에 있어서, 밸브케이싱(60), 두위치 사이에서 왕복운동하여 진공통로를 개폐시키며 상기 케이싱내에 제공된 밸브 본체(40), 상기 케이싱을 폐쇄시키고 관통공(11)을 갖는 본네트 플랜지(9), 상기 관통공 속으로 헐겁게 삽입되어 밸브본체(40)와 결합하는 스템축(3)을 가지며 밸브본체(40)를 왕복운동 가능하게 구동시키기 위해 본네트 플랜지(9)상에 제공된 구동수단(10), 그리고 상기 구동수단(10)의 활주부를 진공통로 로부터 격리시키기 위한 수단(4)을 구비함을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 구동장치는 상기스템축을 왕복운동가능하게 작동시키기위한 왕복동수단(13)과 상기스템축을 안내하기위한 안내수단(5,7,8)을 구비하며, 상기 안내수단은 본네트 플랜지(9)에 수직하게 제공된 복수개의 직동안내축(8), 상기 직동안내축에 의해 각각 활주 가능하게 안내되는 작동 안내 베어링(7) 및 상기 스템축에 결합되어 직동 안내베어링을 통해 직동 안내축에 의해 활주가능하게 가지되는 벨로우즈 이동 플랜지(5)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.
제2항에 있어서, 상기 격리수단(4)은 스템축과 동축상으로 제공된 신장가능한 벨로우즈를 포함하며, 상기벨로우즈의 일단은 상기 본네트 프랜지(9)에 고정되고 타단은 상기 스템축을 툴러싸기위해 상기 벨로우즈 이동플랜지에 고정됨을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.
제1항 내지 제3항중중의 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브케이싱은 밸브시트(16)를 포함하며, 상기 밸브시트(16)는 상부면(110), 상부면(110)에 대해 수직한 한쌍의 측면, 상기 측면에 수직한 방향으로 밸브시트(16)를 통과하는 개구부(20), 상부면(110)에 대해 제1예정각()을 형성하고, 내향으로 테이퍼진 상부 원주부를 가지는 제1시일면(110A), 상기 상부면(110)에 대해 제2에정각()을 형성하는 한쌍의 제2일시면(110B), 및 상기 측면과 상기 제2시일면(110B)이 그곳을 통해 서로 연결된 제3일시면(110C)을 가짐을 특징으로 하는 진공게이트 벨브.
제4항에 있어서, 상기 밸브 본체는 상기 시일시트(16)와 결합하여 상기 개구부(20)를 개페시키며, 상기 밸브본체는 스템축(3)에 결합된 밸브판(40)과 상부 밸브판(40)상에 제공된 시일재(30)를 포함하며, 상기 시일재(30)는 서로 일체로 되어있고 상기 제1시일면(110A), 제2시일면(110B) 및 제3시일면(110C)과 접촉을 하는 제1시이라부(30A), 제2시일부(30B) 및 제3일시부(30C)를 가짐을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.
진공게이트 밸브 장치에 있어서, 밸브시트는 상부면(110), 상부면(110)에 대해 수직한 한쌍의 측면, 상기 측면에 수직한 방향으로 밸브시트를 통과하는 개구부(20), 상부면(110)에 대해 제1예정각()을 형성하고, 내향으로 테이퍼진 상부 원주부를 가지는 제1시일면(110A), 상기 상부면(110)에 대해 제2예정각()을 형성하는 한쌍의 제2시일면(110B), 및 상기 측면과 상기 제2시일면이 그곳을 통해 서로 연결된 제3시일면(110C)을 가지며, 상기 개구부(20)를 개폐하기 위해 밸브시트(16)와 결합하는 밸브본체는 상기 스템축(3)에 결합된 밸브판(40), 그리고 서로 일체로 되어 있고 제1시일면(110A), 2시일면(110B) 및 제3시일면(110C)과 접촉하는 제1시일부(30A), 제2시일부(30B) 및 제3시일부(30C)를 가지는 밸브판상에 제공된 시일재(30)를 구비함을 특징으로 하는 진공게이트 벨브.
제4항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1예정각()은 상기 제2예정각()과 같은 것을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.
제7항에 있어서, 상기 제1및 제2예정각은 약 60도인 것을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.
제4항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1예정각()은 상기 제2예정각()보다 작은것을 특징으로 하는 진공게이트 밸브.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.