JP3404719B2 - 真空シール装置 - Google Patents
真空シール装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空シール装置に係わ
り、更に詳しくは、真空処理装置まで大気圧から真空度
を段階的に上げ、また真空処理装置から大気圧まで真空
度を段階的に下げるために真空処理装置の前後に設けら
れる真空シール装置に関する。
り、更に詳しくは、真空処理装置まで大気圧から真空度
を段階的に上げ、また真空処理装置から大気圧まで真空
度を段階的に下げるために真空処理装置の前後に設けら
れる真空シール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】帯鋼等の帯状材料（以下、帯材という）
を真空下で連続的に処理する真空処理装置（例えば、連
続蒸着装置）では、装置の前後に内部を真空に保持する
ための真空シール装置が用いられる。かかる従来の真空
シール装置は、例えば図４に示すように、真空処理装置
１の前後に真空シール装置２が設けられ、帯材３は上流
側の真空シール装置２を通って真空処理装置１まで連続
的に導入され、ここで真空処理（例えば蒸着）が行わ
れ、次いで下流側の真空シール装置（図示せず）を通っ
て外部に連続的に搬出される。真空シール装置２は、真
空ポンプ４で排気された複数の真空室５と、真空室５の
境界部に帯材１と密接して設けられたシールロール６か
らなり、真空ポンプ４の容量をシールロール６と帯材１
の隙間から流入する空気量よりも大きくして、真空室５
の真空度を保持するようになっている。上述した真空シ
ール装置２は、いわゆる差動排気真空シール装置であ
り、隣接した真空室５の圧力比は、隙間から流入する空
気の流速が音速に達するいわゆる限界圧力比（臨界圧力
比ともいう）よりも小さく設定され、従って、隙間の面
積×音速よりも大きい容量の真空ポンプ４を用いること
により、例えば、７６０ｔｏｒｒ（大気圧）、２００ｔ
ｏｒｒ、５０ｔｏｒｒ、５ｔｏｒｒ、０．１ｔｏｒｒと
順次真空度を変化させることができる。なお、下流側の
真空シール装置も上流側の上述した真空装置と同一であ
る。
を真空下で連続的に処理する真空処理装置（例えば、連
続蒸着装置）では、装置の前後に内部を真空に保持する
ための真空シール装置が用いられる。かかる従来の真空
シール装置は、例えば図４に示すように、真空処理装置
１の前後に真空シール装置２が設けられ、帯材３は上流
側の真空シール装置２を通って真空処理装置１まで連続
的に導入され、ここで真空処理（例えば蒸着）が行わ
れ、次いで下流側の真空シール装置（図示せず）を通っ
て外部に連続的に搬出される。真空シール装置２は、真
空ポンプ４で排気された複数の真空室５と、真空室５の
境界部に帯材１と密接して設けられたシールロール６か
らなり、真空ポンプ４の容量をシールロール６と帯材１
の隙間から流入する空気量よりも大きくして、真空室５
の真空度を保持するようになっている。上述した真空シ
ール装置２は、いわゆる差動排気真空シール装置であ
り、隣接した真空室５の圧力比は、隙間から流入する空
気の流速が音速に達するいわゆる限界圧力比（臨界圧力
比ともいう）よりも小さく設定され、従って、隙間の面
積×音速よりも大きい容量の真空ポンプ４を用いること
により、例えば、７６０ｔｏｒｒ（大気圧）、２００ｔ
ｏｒｒ、５０ｔｏｒｒ、５ｔｏｒｒ、０．１ｔｏｒｒと
順次真空度を変化させることができる。なお、下流側の
真空シール装置も上流側の上述した真空装置と同一であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した真空シール装
置において、真空処理する帯材３の板幅及び板厚は種々
に変化するため、真空シール装置２は真空処理する帯材
３の最大寸法に適合するように位置決めされる。このた
め、特に板幅及び板厚が小さい帯材３を処理する場合に
は、シールロール６と帯材３の隙間が大きくなり、真空
度を保持するための真空ポンプ４の容量を予め相当大き
くする必要がある問題点があった。また、このため、真
空シール装置のランニングコストも大きくなる問題点が
あった。かかる問題点を解決するために、従来、例え
ば、特開昭６４−４２５７８号公報（以下、先行技術
という）、実開昭６２−２８８６９号公報（同、）、
特開平４−２５９３７５号公報（同、）、等が提案さ
れている。先行技術の真空シール装置では、対向配置
された一対のシールロールの帯材が転接するシール部の
一端部に大径部を形成し、一方のシールロールの大径部
と他方のシールロールのシール部とを転接させて開口部
を形成し、該開口部に帯材を各シール部に圧接するよう
に挿通させており、シールロールを軸方向にスライドさ
せて開口部の幅を変化させることによって板幅の変化に
対応させていた。しかし、かかる装置では、板厚の変更
に対応するために、大径部が異なる複数のシールロール
を準備して選択使用する必要があり、設備費がかかり、
かつ交換に時間がかかる問題点があった。先行技術の
真空シール装置では、対向配置された一対のシールロー
ルの帯材が転接するシール部の側部間に板幅調整板を挿
入し、この板幅調整板を移動調整することによって板幅
の変更に対応させていた。しかし、かかる装置では、板
厚の変更に対応するために、シールロールの間隔を変化
させるだけでなく、板厚調整板の板厚を変える必要があ
り、板厚の変更に容易に対応できない問題点があった。
先行技術の真空シール装置では、デフレクタロールと
対向するシールブロック本体を設け、このシールブロッ
ク本体をデフレクタロールの軸方向に配列された複数の
分割シールブロックから構成し、各分割シールブロック
をデフレクタロールに対して互いに独立に位置調整可能
に設けて、板幅と板厚の変化に対応するようになってい
た。しかし、かかる装置では、複数の分割シールブロッ
クが独立に位置調整できるように、分割シールブロック
の分割面に隙間が設けられているため、この隙間から気
体が漏れ、真空ポンプの容量を十分小さくできない問題
点があった。特に、板幅が異なる多数の板材を真空処理
する場合には、分割シールブロックの分割面が多く、こ
の分割面全体からの気体の漏れが大きくなる問題点があ
った。
置において、真空処理する帯材３の板幅及び板厚は種々
に変化するため、真空シール装置２は真空処理する帯材
３の最大寸法に適合するように位置決めされる。このた
め、特に板幅及び板厚が小さい帯材３を処理する場合に
は、シールロール６と帯材３の隙間が大きくなり、真空
度を保持するための真空ポンプ４の容量を予め相当大き
くする必要がある問題点があった。また、このため、真
空シール装置のランニングコストも大きくなる問題点が
あった。かかる問題点を解決するために、従来、例え
ば、特開昭６４−４２５７８号公報（以下、先行技術
という）、実開昭６２−２８８６９号公報（同、）、
特開平４−２５９３７５号公報（同、）、等が提案さ
れている。先行技術の真空シール装置では、対向配置
された一対のシールロールの帯材が転接するシール部の
一端部に大径部を形成し、一方のシールロールの大径部
と他方のシールロールのシール部とを転接させて開口部
を形成し、該開口部に帯材を各シール部に圧接するよう
に挿通させており、シールロールを軸方向にスライドさ
せて開口部の幅を変化させることによって板幅の変化に
対応させていた。しかし、かかる装置では、板厚の変更
に対応するために、大径部が異なる複数のシールロール
を準備して選択使用する必要があり、設備費がかかり、
かつ交換に時間がかかる問題点があった。先行技術の
真空シール装置では、対向配置された一対のシールロー
ルの帯材が転接するシール部の側部間に板幅調整板を挿
入し、この板幅調整板を移動調整することによって板幅
の変更に対応させていた。しかし、かかる装置では、板
厚の変更に対応するために、シールロールの間隔を変化
させるだけでなく、板厚調整板の板厚を変える必要があ
り、板厚の変更に容易に対応できない問題点があった。
先行技術の真空シール装置では、デフレクタロールと
対向するシールブロック本体を設け、このシールブロッ
ク本体をデフレクタロールの軸方向に配列された複数の
分割シールブロックから構成し、各分割シールブロック
をデフレクタロールに対して互いに独立に位置調整可能
に設けて、板幅と板厚の変化に対応するようになってい
た。しかし、かかる装置では、複数の分割シールブロッ
クが独立に位置調整できるように、分割シールブロック
の分割面に隙間が設けられているため、この隙間から気
体が漏れ、真空ポンプの容量を十分小さくできない問題
点があった。特に、板幅が異なる多数の板材を真空処理
する場合には、分割シールブロックの分割面が多く、こ
の分割面全体からの気体の漏れが大きくなる問題点があ
った。
【０００４】本発明は上述した種々の問題点を解決する
ために創案されたものである。すなわち、本発明の目的
は、部品の交換なしに板幅及び板厚の変化に対応するこ
とができ、小さい真空ポンプ容量で所望の真空度を安定
して保持できる真空シール装置を提供することにある。
ために創案されたものである。すなわち、本発明の目的
は、部品の交換なしに板幅及び板厚の変化に対応するこ
とができ、小さい真空ポンプ容量で所望の真空度を安定
して保持できる真空シール装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、真空ポ
ンプで排気された複数の真空室と、該真空室の境界部に
設けられ帯材が巻き付けられる複数の円筒形デフレクタ
ロールと、該デフレクタロールに対向して真空室の境界
部に設けられたシールブロックと、を備えた真空シール
装置において、前記シールブロックは、デフレクタロー
ルの表面からわずかに間隔を隔ててデフレクタロールの
軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器と、前記中空
シール容器の内面に外周が密接し、かつデフレクタロー
ルの軸線方向及び半径方向に移動可能に設けられた一対
の拡径部材と、を備え、前記拡径部材と中空シール容器
は、デフレクタロールに対向する側で軸線方向に摺動可
能に連結されている、ことを特徴とする真空シール装置
が提供される。本発明の好ましい実施例によれば、前記
シールブロックは更に、それぞれの外周が中空シール容
器の内面に密接した１対の外側形状保持板及び１対の内
側形状保持板を備え、前記外側形状保持板は、前記中空
シール容器の両端部に位置決めされ、かつ前記真空室の
側壁との間に中空シール容器の両端部を挟持しており、
前記内側形状保持板は、デフレクタロールの軸線方向に
移動可能に設けられ、かつ前記拡径部材は前記内側形状
保持板に半径方向に移動可能に連結されている。また、
ディフレクタロールの軸線方向に延び、シール容器内に
軸芯を中心に回転可能に設けられ、かつ中央に偏心部を
有する偏心軸を更に備え、該偏心軸の回転により前記拡
径部材を半径方向に移動するように拡径部材は前記偏心
部と嵌合する貫通孔を有し、更に、前記拡径部材の一方
にシリンダ本体が枢着され、他方にロッド先端が枢着さ
れた液圧シリンダを備え、これにより、前記一対の拡径
部材を相互に軸線方向逆向きに移動させる、ことが好ま
しい。
ンプで排気された複数の真空室と、該真空室の境界部に
設けられ帯材が巻き付けられる複数の円筒形デフレクタ
ロールと、該デフレクタロールに対向して真空室の境界
部に設けられたシールブロックと、を備えた真空シール
装置において、前記シールブロックは、デフレクタロー
ルの表面からわずかに間隔を隔ててデフレクタロールの
軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器と、前記中空
シール容器の内面に外周が密接し、かつデフレクタロー
ルの軸線方向及び半径方向に移動可能に設けられた一対
の拡径部材と、を備え、前記拡径部材と中空シール容器
は、デフレクタロールに対向する側で軸線方向に摺動可
能に連結されている、ことを特徴とする真空シール装置
が提供される。本発明の好ましい実施例によれば、前記
シールブロックは更に、それぞれの外周が中空シール容
器の内面に密接した１対の外側形状保持板及び１対の内
側形状保持板を備え、前記外側形状保持板は、前記中空
シール容器の両端部に位置決めされ、かつ前記真空室の
側壁との間に中空シール容器の両端部を挟持しており、
前記内側形状保持板は、デフレクタロールの軸線方向に
移動可能に設けられ、かつ前記拡径部材は前記内側形状
保持板に半径方向に移動可能に連結されている。また、
ディフレクタロールの軸線方向に延び、シール容器内に
軸芯を中心に回転可能に設けられ、かつ中央に偏心部を
有する偏心軸を更に備え、該偏心軸の回転により前記拡
径部材を半径方向に移動するように拡径部材は前記偏心
部と嵌合する貫通孔を有し、更に、前記拡径部材の一方
にシリンダ本体が枢着され、他方にロッド先端が枢着さ
れた液圧シリンダを備え、これにより、前記一対の拡径
部材を相互に軸線方向逆向きに移動させる、ことが好ま
しい。
【０００６】
【作用】上記、本発明の構成によれば、シールブロック
が、デフレクタロールの表面からわずかに間隔を隔てて
軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器と、前記中空
シール容器の内面に外周が密接しかつデフレクタロール
の軸線方向及び半径方向に移動可能に設けられた一対の
拡径部材とを備え、拡径部材と中空シール容器がデフレ
クタロールに対向する側で軸線方向に摺動可能に連結さ
れているので、板幅及び板厚の変化に対応して一対の拡
径部材を軸線方向及び半径方向に移動させることによ
り、一対の拡径部材に挟まれた部分の可撓性の中空シー
ル容器を半径方向に移動し、デフレクタロールとシール
ブロックとの間隙を最小限に調整することができ、部品
の交換なし最小限の隙間に保持することができる。ま
た、本発明の構成によれば、シールブロックの各構成部
品は可撓性の中空シール容器内に内蔵されているので、
拡径部材が軸線方向及び半径方向に移動しても各構成部
品の隙間からの気体の漏れを可撓性の中空シール容器で
防止することができ、小さい真空ポンプ容量で所望の真
空度を安定して保持することができる。
が、デフレクタロールの表面からわずかに間隔を隔てて
軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器と、前記中空
シール容器の内面に外周が密接しかつデフレクタロール
の軸線方向及び半径方向に移動可能に設けられた一対の
拡径部材とを備え、拡径部材と中空シール容器がデフレ
クタロールに対向する側で軸線方向に摺動可能に連結さ
れているので、板幅及び板厚の変化に対応して一対の拡
径部材を軸線方向及び半径方向に移動させることによ
り、一対の拡径部材に挟まれた部分の可撓性の中空シー
ル容器を半径方向に移動し、デフレクタロールとシール
ブロックとの間隙を最小限に調整することができ、部品
の交換なし最小限の隙間に保持することができる。ま
た、本発明の構成によれば、シールブロックの各構成部
品は可撓性の中空シール容器内に内蔵されているので、
拡径部材が軸線方向及び半径方向に移動しても各構成部
品の隙間からの気体の漏れを可撓性の中空シール容器で
防止することができ、小さい真空ポンプ容量で所望の真
空度を安定して保持することができる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を図面を参照
して説明する。なお、各図において、共通する部分には
同一の符号を付して使用する。図１は、本発明による真
空シール装置の全体側面図である。この図において、本
発明による真空シール装置は、複数の真空ポンプ４でそ
れぞれ排気された複数の真空室５と、該真空室５の境界
部に設けられ帯材３が巻き付けられる複数の円筒形デフ
レクタロール８と、デフレクタロール８に対向して真空
室５の境界部に設けられたシールブロック１０とを備え
ている。この真空シール装置２は、いわゆる差動排気真
空シール装置であり、隣接した真空室５の圧力比（出口
圧力／入口圧力）は、隙間から流入する空気の流速が音
速に達するいわゆる限界圧力比（臨界圧力比ともいう）
よりも小さく設定され、例えば、７６０ｔｏｒｒ（大気
圧）、２００ｔｏｒｒ、５０ｔｏｒｒ、５ｔｏｒｒ、
０．１ｔｏｒｒと順次真空度を変化させるようになって
いる。複数のデフレクタロール８は、上下方向に互い違
いに配置され、帯材３は各デフレクタロール８に蛇行状
に巻き付けられて真空処理装置１内に導入され、或いは
真空処理装置１から搬出される。これにより、帯材３は
デフレクタロール８に密着して案内され、常に安定して
帯材３を同一位置に保持することができる。なお、真空
処理装置１から搬出された帯材３は、前記真空シール装
置２と同様の反対側に設けられた真空シール装置（図示
せず）を通り外部に搬出される。また、シールブロック
１０と反対側にもデフレクタロール８に対抗して別のシ
ールブロック１１が設けられている。このシールブロッ
ク１１は、帯材３が巻き付かない面のみに対抗してお
り、シールブロック１１の表面からわずかに間隔を隔て
た円弧面を有して、気体の漏れを最小限に抑えるように
なっている。
して説明する。なお、各図において、共通する部分には
同一の符号を付して使用する。図１は、本発明による真
空シール装置の全体側面図である。この図において、本
発明による真空シール装置は、複数の真空ポンプ４でそ
れぞれ排気された複数の真空室５と、該真空室５の境界
部に設けられ帯材３が巻き付けられる複数の円筒形デフ
レクタロール８と、デフレクタロール８に対向して真空
室５の境界部に設けられたシールブロック１０とを備え
ている。この真空シール装置２は、いわゆる差動排気真
空シール装置であり、隣接した真空室５の圧力比（出口
圧力／入口圧力）は、隙間から流入する空気の流速が音
速に達するいわゆる限界圧力比（臨界圧力比ともいう）
よりも小さく設定され、例えば、７６０ｔｏｒｒ（大気
圧）、２００ｔｏｒｒ、５０ｔｏｒｒ、５ｔｏｒｒ、
０．１ｔｏｒｒと順次真空度を変化させるようになって
いる。複数のデフレクタロール８は、上下方向に互い違
いに配置され、帯材３は各デフレクタロール８に蛇行状
に巻き付けられて真空処理装置１内に導入され、或いは
真空処理装置１から搬出される。これにより、帯材３は
デフレクタロール８に密着して案内され、常に安定して
帯材３を同一位置に保持することができる。なお、真空
処理装置１から搬出された帯材３は、前記真空シール装
置２と同様の反対側に設けられた真空シール装置（図示
せず）を通り外部に搬出される。また、シールブロック
１０と反対側にもデフレクタロール８に対抗して別のシ
ールブロック１１が設けられている。このシールブロッ
ク１１は、帯材３が巻き付かない面のみに対抗してお
り、シールブロック１１の表面からわずかに間隔を隔て
た円弧面を有して、気体の漏れを最小限に抑えるように
なっている。
【０００８】図２は図１のＡ−Ａ線における部分断面図
であり、図３は、図２のＢ−Ｂ線における部分断面図で
ある。図２において、デフレクタロール８は、真空室の
側壁５ａに軸受１２及びシール１３により回転可能かつ
気密に取り付けられている。デフレクタロール８の中心
軸の一端は、図示しない駆動装置に連結され、帯材３を
巻き付けて真空処理装置１内に導入、或いは真空処理装
置１から搬出するようになっている。なお、デフレクタ
ロール８は駆動装置に連結されず、単に空転する場合も
ある。また、デフレクタロール８の外面と真空室の側壁
５ａとの間に設けられたシール９によりデフレクタロー
ル８の端部からの気体の漏れを防止している。更にこの
図において、シールブロック１０は、デフレクタロール
８の表面からわずかに間隔を隔ててデフレクタロール８
の軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器１４と、デ
フレクタロール８の軸線方向及び半径方向（以下、単に
軸線方向、又は半径方向という）に移動可能に設けられ
た一対の拡径部材１６とを備えている。
であり、図３は、図２のＢ−Ｂ線における部分断面図で
ある。図２において、デフレクタロール８は、真空室の
側壁５ａに軸受１２及びシール１３により回転可能かつ
気密に取り付けられている。デフレクタロール８の中心
軸の一端は、図示しない駆動装置に連結され、帯材３を
巻き付けて真空処理装置１内に導入、或いは真空処理装
置１から搬出するようになっている。なお、デフレクタ
ロール８は駆動装置に連結されず、単に空転する場合も
ある。また、デフレクタロール８の外面と真空室の側壁
５ａとの間に設けられたシール９によりデフレクタロー
ル８の端部からの気体の漏れを防止している。更にこの
図において、シールブロック１０は、デフレクタロール
８の表面からわずかに間隔を隔ててデフレクタロール８
の軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器１４と、デ
フレクタロール８の軸線方向及び半径方向（以下、単に
軸線方向、又は半径方向という）に移動可能に設けられ
た一対の拡径部材１６とを備えている。
【０００９】図３に示すように、中空シール容器１４
は、デフレクタロール８に対向した円弧面１４ａを有す
るほぼ矩形の中空断面を有しており、円弧面１４ａの反
対面は中空シール容器１４が部分的に上下移動できるよ
うに真空室５の上蓋５ｂから適当な間隔を隔てている。
また中空シール容器１４の両側面は、真空室５の上蓋５
ｂから下方に延びる側板５ｃに上下方向に摺動自在に密
接している。更に、拡径部材１６は、その外周が中空シ
ール容器１４の内面に密接し、かつ拡径部材１６と中空
シール容器１４は、デフレクタロール８に対向する側
で、例えば蟻溝１６ａにより、軸線方向に摺動可能に連
結されている。かかる構成により、帯材３の板幅及び板
厚の変化に対応して一対の拡径部材１６を軸線方向及び
半径方向に移動させることにより、一対の拡径部材１６
に挟まれた部分の可撓性の中空シール容器１４が半径方
向に移動し、デフレクタロール８とシールブロック１０
との間隙を最小限に調整することができ、部品の交換な
し最小限の隙間に保持することができる。
は、デフレクタロール８に対向した円弧面１４ａを有す
るほぼ矩形の中空断面を有しており、円弧面１４ａの反
対面は中空シール容器１４が部分的に上下移動できるよ
うに真空室５の上蓋５ｂから適当な間隔を隔てている。
また中空シール容器１４の両側面は、真空室５の上蓋５
ｂから下方に延びる側板５ｃに上下方向に摺動自在に密
接している。更に、拡径部材１６は、その外周が中空シ
ール容器１４の内面に密接し、かつ拡径部材１６と中空
シール容器１４は、デフレクタロール８に対向する側
で、例えば蟻溝１６ａにより、軸線方向に摺動可能に連
結されている。かかる構成により、帯材３の板幅及び板
厚の変化に対応して一対の拡径部材１６を軸線方向及び
半径方向に移動させることにより、一対の拡径部材１６
に挟まれた部分の可撓性の中空シール容器１４が半径方
向に移動し、デフレクタロール８とシールブロック１０
との間隙を最小限に調整することができ、部品の交換な
し最小限の隙間に保持することができる。
【００１０】図２及び図３において、シールブロック１
０は、ディフレクタロール８の軸線方向に延びた偏心軸
１７を更に備えている。偏心軸１７は、中央部の偏心部
１７ａとその両側の同心部１７ｂとからなり、シール容
器１４内に同心部１７ｂの軸芯を中心に回転可能に取り
付けられている。偏心部１７ａと同心部１７ｂとの偏心
量ｅは、少なくとも拡径部材１６を半径方向に移動させ
る必要距離の１／２であるのがよい。拡径部材１６は、
矩形の貫通孔と、この貫通孔に上下面が摺動する貫通孔
より幅の小さい摺動板１６ｂ（図３）とを有し、この摺
動板１６ｂは偏心部１７ａと嵌合する貫通孔を有してい
る。かかる構成により、偏心軸１７を外部より回転させ
ることにより拡径部材１６を半径方向（図で上下方向）
に偏心量ｅの２倍の距離移動させることができる。更
に、シールブロック１０は液圧シリンダ１８を備え、そ
のシリンダ本体は拡径部材１６の一方に枢着され、液圧
シリンダ１８のロッド先端は拡径部材１６の他方に枢着
されている。図示しない配管を介してこの液圧シリンダ
１８を作動させることにより、帯材３の板幅及び板厚の
変化に対応して一対の拡径部材１６を軸線方向逆向きに
移動させることができる。
０は、ディフレクタロール８の軸線方向に延びた偏心軸
１７を更に備えている。偏心軸１７は、中央部の偏心部
１７ａとその両側の同心部１７ｂとからなり、シール容
器１４内に同心部１７ｂの軸芯を中心に回転可能に取り
付けられている。偏心部１７ａと同心部１７ｂとの偏心
量ｅは、少なくとも拡径部材１６を半径方向に移動させ
る必要距離の１／２であるのがよい。拡径部材１６は、
矩形の貫通孔と、この貫通孔に上下面が摺動する貫通孔
より幅の小さい摺動板１６ｂ（図３）とを有し、この摺
動板１６ｂは偏心部１７ａと嵌合する貫通孔を有してい
る。かかる構成により、偏心軸１７を外部より回転させ
ることにより拡径部材１６を半径方向（図で上下方向）
に偏心量ｅの２倍の距離移動させることができる。更
に、シールブロック１０は液圧シリンダ１８を備え、そ
のシリンダ本体は拡径部材１６の一方に枢着され、液圧
シリンダ１８のロッド先端は拡径部材１６の他方に枢着
されている。図示しない配管を介してこの液圧シリンダ
１８を作動させることにより、帯材３の板幅及び板厚の
変化に対応して一対の拡径部材１６を軸線方向逆向きに
移動させることができる。
【００１１】シールブロック１０は更に、それぞれの外
周が中空シール容器１４の内面に密接した１対の外側形
状保持板２０及び１対の内側形状保持板２２を備えてい
る。外側形状保持板２０は、中空シール容器１４の両端
部に位置決めされ、真空室５の側壁５ａとの間に中空シ
ール容器１４の両端部を挟持している。また、内側形状
保持板２２は、偏心軸１７の同心部１７ｂと嵌合する孔
を有し、デフレクタロール８の軸線方向に移動可能に設
けられている。更に、例えば半径方向に延びる蟻溝（図
示せず）により、拡径部材１６は内側形状保持板２２に
半径方向に移動可能に連結されている。かかる構成によ
り、内側形状保持板２２は拡径部材１６と共に軸方向に
移動することができる。また、外側形状保持板２０及び
内側形状保持板２２は半径方向に移動せず、拡径部材１
６のみが半径方向に移動するので、外側形状保持板２０
及び内側形状保持板２２により、拡径部材１６に挟まれ
た部分以外の可撓性の中空シール容器１４の断面形状を
保持することができ、拡径部材１６に挟まれた部分以外
の円弧面１４ａをデフレクタロール８の表面から適当な
間隔に保持することができる。可撓性の中空シール容器
１４は、前述したシールブロック１０の各構成部品１
６、１８、２０、２２等を全て覆っている。またこの中
空シール容器１４は、気体の透過率の小さいゴム又はプ
ラスチックからなる。これにより、拡径部材１６が軸線
方向及び半径方向に移動しても各構成部品の隙間から気
体が漏れるのを可撓性の中空シール容器により防止する
ことができ、小さい真空ポンプ容量で所望の真空度を安
定して保持することができる。
周が中空シール容器１４の内面に密接した１対の外側形
状保持板２０及び１対の内側形状保持板２２を備えてい
る。外側形状保持板２０は、中空シール容器１４の両端
部に位置決めされ、真空室５の側壁５ａとの間に中空シ
ール容器１４の両端部を挟持している。また、内側形状
保持板２２は、偏心軸１７の同心部１７ｂと嵌合する孔
を有し、デフレクタロール８の軸線方向に移動可能に設
けられている。更に、例えば半径方向に延びる蟻溝（図
示せず）により、拡径部材１６は内側形状保持板２２に
半径方向に移動可能に連結されている。かかる構成によ
り、内側形状保持板２２は拡径部材１６と共に軸方向に
移動することができる。また、外側形状保持板２０及び
内側形状保持板２２は半径方向に移動せず、拡径部材１
６のみが半径方向に移動するので、外側形状保持板２０
及び内側形状保持板２２により、拡径部材１６に挟まれ
た部分以外の可撓性の中空シール容器１４の断面形状を
保持することができ、拡径部材１６に挟まれた部分以外
の円弧面１４ａをデフレクタロール８の表面から適当な
間隔に保持することができる。可撓性の中空シール容器
１４は、前述したシールブロック１０の各構成部品１
６、１８、２０、２２等を全て覆っている。またこの中
空シール容器１４は、気体の透過率の小さいゴム又はプ
ラスチックからなる。これにより、拡径部材１６が軸線
方向及び半径方向に移動しても各構成部品の隙間から気
体が漏れるのを可撓性の中空シール容器により防止する
ことができ、小さい真空ポンプ容量で所望の真空度を安
定して保持することができる。
【００１２】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、シー
ルブロックが、デフレクタロールの表面からわずかに間
隔を隔てて軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器
と、前記中空シール容器の内面に外周が密接しかつデフ
レクタロールの軸線方向及び半径方向に移動可能に設け
られた一対の拡径部材とを備え、拡径部材と中空シール
容器がデフレクタロールに対向する側で軸線方向に摺動
可能に連結されているので、板幅及び板厚の変化に対応
して一対の拡径部材を軸線方向及び半径方向に移動させ
ることにより、一対の拡径部材に挟まれた部分の可撓性
の中空シール容器が半径方向に移動し、デフレクタロー
ルとシールブロックとの間隙を最小限に調整することが
でき、部品の交換なし最小限の隙間に保持することがで
きる。また、本発明の構成によれば、シールブロックの
各構成部品は可撓性の中空シール容器内に内蔵されてい
るので、拡径部材が軸線方向及び半径方向に移動しても
各構成部品の隙間からの気体の漏れを可撓性の中空シー
ル容器で防止することができ、小さい真空ポンプ容量で
所望の真空度を安定して保持することができる。
ルブロックが、デフレクタロールの表面からわずかに間
隔を隔てて軸線方向に延びた可撓性の中空シール容器
と、前記中空シール容器の内面に外周が密接しかつデフ
レクタロールの軸線方向及び半径方向に移動可能に設け
られた一対の拡径部材とを備え、拡径部材と中空シール
容器がデフレクタロールに対向する側で軸線方向に摺動
可能に連結されているので、板幅及び板厚の変化に対応
して一対の拡径部材を軸線方向及び半径方向に移動させ
ることにより、一対の拡径部材に挟まれた部分の可撓性
の中空シール容器が半径方向に移動し、デフレクタロー
ルとシールブロックとの間隙を最小限に調整することが
でき、部品の交換なし最小限の隙間に保持することがで
きる。また、本発明の構成によれば、シールブロックの
各構成部品は可撓性の中空シール容器内に内蔵されてい
るので、拡径部材が軸線方向及び半径方向に移動しても
各構成部品の隙間からの気体の漏れを可撓性の中空シー
ル容器で防止することができ、小さい真空ポンプ容量で
所望の真空度を安定して保持することができる。
【００１３】従って、本発明により、部品の交換なしに
板幅及び板厚の変化に対応することができ、小さい真空
ポンプ容量で所望の真空度を安定して保持できる真空シ
ール装置を提供することができる。
板幅及び板厚の変化に対応することができ、小さい真空
ポンプ容量で所望の真空度を安定して保持できる真空シ
ール装置を提供することができる。
【図１】本発明による真空シール装置の全体側面図であ
る。
る。
【図２】図１のＡ−Ａ線における部分断面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線における部分断面図である。
【図４】従来の真空シール装置の全体構成図である。
１ 真空処理装置
２ 真空シール装置
３ 帯材
４ 真空ポンプ
５ 真空室
６ シールロール
８ デフレクタロール
９ シール
１０ シールブロック
１１ 別のシールブロック
１２ 軸受
１３ シール
１４ 中空シール容器
１４ａ 円弧面
１６ 拡径部材
１７ 偏心軸
１７ａ 偏心部
１７ｂ 同心部
１８ 液圧シリンダ
２０ 外側形状保持板
２２ 内側形状保持板
ｅ 偏心量
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C23C 14/00 - 14/58
C23C 16/00 - 16/56
Claims (3)
- 【請求項１】 真空ポンプで排気された複数の真空室
と、該真空室の境界部に設けられ帯材が巻き付けられる
複数の円筒形デフレクタロールと、該デフレクタロール
に対向して真空室の境界部に設けられたシールブロック
と、を備えた真空シール装置において、 前記シールブロックは、デフレクタロールの表面からわ
ずかに間隔を隔ててデフレクタロールの軸線方向に延び
た可撓性の中空シール容器と、 前記中空シール容器の内面に外周が密接し、かつデフレ
クタロールの軸線方向及び半径方向に移動可能に設けら
れた一対の拡径部材と、を備え、 前記拡径部材と中空シール容器は、デフレクタロールに
対向する側で軸線方向に摺動可能に連結されている、こ
とを特徴とする真空シール装置。 - 【請求項２】 前記シールブロックは更に、それぞれの
外周が中空シール容器の内面に密接した１対の外側形状
保持板及び１対の内側形状保持板を備え、 前記外側形状保持板は、前記中空シール容器の両端部に
位置決めされ、かつ前記真空室の側壁との間に中空シー
ル容器の両端部を挟持しており、 前記内側形状保持板は、デフレクタロールの軸線方向に
移動可能に設けられ、 かつ前記拡径部材は前記内側形状保持板に半径方向に移
動可能に連結されている、ことを特徴とする請求項１に
記載の真空シール装置。 - 【請求項３】 更に、ディフレクタロールの軸線方向に
延び、シール容器内に軸芯を中心に回転可能に設けら
れ、かつ中央に偏心部を有する偏心軸を備え、該偏心軸
の回転により前記拡径部材を半径方向に移動するように
拡径部材は前記偏心部と嵌合する貫通孔を有し、 更に、前記拡径部材の一方にシリンダ本体が枢着され、
他方にロッド先端が枢着された液圧シリンダを備え、こ
れにより、前記一対の拡径部材を相互に軸線方向逆向き
に移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の真空
シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06581793A JP3404719B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 真空シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06581793A JP3404719B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 真空シール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06280015A JPH06280015A (ja) | 1994-10-04 |
| JP3404719B2 true JP3404719B2 (ja) | 2003-05-12 |
Family
ID=13297963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06581793A Expired - Fee Related JP3404719B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-03-25 | 真空シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3404719B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6419428B2 (ja) * | 2014-01-08 | 2018-11-07 | 東レエンジニアリング株式会社 | 差動排気システム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0212392Y2 (ja) * | 1985-04-27 | 1990-04-06 | ||
| JPH0434318Y2 (ja) * | 1985-12-06 | 1992-08-14 | ||
| JPH0341196Y2 (ja) * | 1986-01-28 | 1991-08-29 | ||
| JPH04128596U (ja) * | 1991-05-16 | 1992-11-24 | 株式会社協成 | フレキシブル管用継手の保護カバー |
-
1993
- 1993-03-25 JP JP06581793A patent/JP3404719B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06280015A (ja) | 1994-10-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |