JP3777015B2 - 空気圧シリンダ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、機器内部に供給される空気圧によりシリンダとピストンとが相対移動する空気圧シリンダ装置に関し、特に、発塵防止の効果に優れ、装置のコンパクト化(特に、薄形化)が図れる空気圧シリンダ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
空気圧(機器)を利用した省力化、設備の自動化があらゆる分野で近年活発化してきており、それにともなって、装置の駆動機構の一手段である空気圧シリンダ装置に要求される特性も多種多様に亘っている。
【0003】
例えば、半導体製造の分野においては、作業中、無塵状態の作業環境(クリーンルーム)を維持することが要求され、工程内に設置される装置も当然のことながら発塵防止の対策がとられたものが必要となる。このような観点から、発塵防止の対策を十分に考慮にいれた空気圧シリンダ装置の開発が従来より要望されてきている。現在すでにクリーンルームでの実用化が可能とされている空気圧シリンダ装置の一例を図8に示す。
【0004】
図8に示される装置において、空気圧シリンダ装置100は、シリンダ101と、この中を往復移動するピストン103と、シリンダ101とピストン103の間に介在され、シールおよびローリング作動をする布入りゴム薄膜107と、シリンダ内部122を負圧にするために真空吸引装置(図示しない)に接続される吸引ポート120を備えている。そして、真空吸引装置を作動させて、シリンダ内部122を負圧にすることにより、ピストン103の駆動とともにロッド104をストローク移動させることができるようになっている(リターンはバネ106による)。
【0005】
このように真空駆動の設計がなされているために、ドライベアリング108とロッド104との摺動面で発生した塵は、原則的には吸引ポート120から真空吸引装置側へと吸引除去される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の空気圧シリンダ装置1の構造では、ロッド104が出力軸となっており外部に出ているために、ロッド104に微量に付着した塵(主に、ドライベアリング108から発生した摩耗塵)が、外部雰囲気中(クリーンルーム)中に出てくるおそれがある。もちろん、図8に示される装置であっても、汚染防止機能は実用上十分に備わっており、通常のクリーンルームでの使用も可能である。しかしながら、クリーンルームといえども、要求されるレベルは、幾段階もあり、さらに優れた発塵防止の機能を有する空気圧シリンダ装置の提案が要望されていた。
【0007】
また、さらに上記の装置においては、ロッド104が出力軸として外部に突出する機構を採択しているために、装置全体の薄型化(コンパクト化)が困難であり、この点の改善も要望されていた。
【0008】
このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は、発塵防止の効果に優れ、装置のコンパクト化(特に、薄形化)が図れる空気圧シリンダ装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、出力面を有するとともに内部に空洞部が形成された一対の第1のボンネットおよび第2のボンネットと、
前記第1のボンネット内の内部の空洞部内にすっぽりと収納される第1のシリンダと、
前記第2のボンネット内の内部の空洞部内にすっぽりと収納される第2のシリンダと、
前記一対の第1および第2のボンネットならびに前記一対の第1および第2のシリンダにより形成された内部空間に収納されたピストンと、
前記ピストンの少なくとも対向する面をそれぞれ覆うように、第1のボンネット側に配置された第1の作動膜および第2のボンネット側に配置された第2の作動膜とを有し、シリンダ内部に供給される空気圧により第1および第2のシリンダとピストンとが相対移動する空気圧シリンダ装置であって、
前記第2のボンネットとピストンとによって、シリンダとピストンとが相対移動する際の係合摺動部が装置内部に形成されており、
前記第1の作動膜は円形状の膜であって、その外周周縁部は第1のボンネットと第1のシリンダとにより挟持されており、
前記係合摺動部が形成される側のピストンの一方の面に配置される第2の作動膜は、内側に円形の切り欠き部を備えるドーナツ状の膜であって、その作動膜の外周周縁部は第2のボンネットと第2のシリンダとにより挟持されるとともに、その内周周縁部はピストンの一方の面に固着されており、
前記ピストンは、第1および第2のシリンダ外部に突出して、ピストンを固定するためのピストンアームを備え、
前記第1および第2のシリンダならびに第1および第2のボンネットは、前記ピストンアームを外部に突出させるとともに、第1および第2のシリンダおよび第1および第2のボンネットが一体的にストローク移動できるようにストローク用の切り欠き部を備え、
前記第1および第2のシリンダならびに第1および第2のボンネットに形成されるストローク用の切り欠き部は、それぞれ同程度の大きさとされ、前記ピストンアームを外部に突出させることができるように同位置に形成されてなるように構成される。
【0010】
また、前記一対のシリンダと、前記一対のボンネットとは、一体的に結合され、かつ一体的にストローク移動するように構成される。
【0011】
また、前記ピストンは、ピストンアームを介して外部部材に固定されるように構成される。
【0013】
また、前記筒状凸部または前記筒状凹部の少なくとも一方の表面には、ドライベアリングが装着されて構成される。
【0015】
また、前記2枚の作動膜は、布入りのゴム膜からなるよう構成され、かつピストン壁からシリンダ壁へと半径を変えて移動するリング状の湾曲溝部分を備えて構成される。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0017】
本発明の空気圧シリンダ装置の実施の形態の一例が図1〜図3に示される。図1には、本発明の空気圧シリンダ装置1の平面図が、図2にはその正面図が、図3にはその側面図がそれぞれ示される。また、本発明の理解を容易にするために、図4および図5には、それぞれ、図1のA−A’方向およびB−B’方向から見た空気圧シリンダ装置1の構成部材を順次分解した正面図、側面図がそれぞれ示されている。また、図6および図7には、本発明の空気圧シリンダ装置1の動作を説明するための正面図(図2に相当する図)が示されている。
【0018】
図1〜図5に示されるように、本発明の空気圧シリンダ装置1は、ストローク移動される出力面12a,15aを有する一対のボンネット12,15と、このボンネット12,15内の外側周縁部12b,15bに収納・配置される一対のシリンダ22,25と、この一対のボンネット12,15および一対のシリンダ22,25により形成された内部空間に設置されたピストン30と、このピストン30の少なくとも対向する面30a,30bをそれぞれ覆うように、配置された2枚の作動膜42,45とを有している。
【0019】
一対のボンネット12,15は、本実施の形態では、外部の形状が略四角形状の板状体であり、その内部には、空洞部が形成されており、この空洞部の外側周縁部12b,15bには、リング状のシリンダ22,25が収納・配置できるようになっており、図4に示される深さH1およびH2の空洞部の外側周縁部12b,15b内に、高さh1およびh2のリング状のシリンダ22,25がそれぞれすっぽりと収納される。従って、深さH1およびH2は、高さh1およびh2にそれぞれ略等しい。さらにボンネット12,15の空洞部の中央部はさらに深くなっており、ピストン30が収納されるようになっている。
【0020】
2枚の作動膜42,45の外周周縁部42a,45aは、隣接する1組づつのボンネット12とシリンダ22、およびボンネット15とシリンダ25とによりそれぞれ挟持される(シリンダがボンネット内にすっぽりと収納される際に、作動膜の外周周縁部が挟持される)。図2、図4および図5に示される上方に位置する作動膜42は、一枚の円形状の膜であり、その円形の外周周縁部42aのみがシリンダ22とボンネット12によって挟持されている。この一方で、図2、図4および図5に示される下方に位置する作動膜45は、内側に円形の切り欠き部45bを備える一枚のドーナツ形状の膜である。そして、作動膜45の外周周縁部45aはシリンダ25とボンネット15によって挟持され、作動膜45の内周周縁部45cはピストンの一方の面30bに、円盤状の固定プレート48によってカシメられて固着されている。
【0021】
なお、上記2枚の作動膜42,45は、強度および気密性を配慮した布入りのゴム膜から構成され、極めて薄く設計されている。より具体的には、強力なポリエステル布等の上にゴムを被覆したものが例示できる。さらに上記2枚の作動膜42,45には、ピストン壁からシリンダ壁へと滑らかに移動が行えるように、リング状の湾曲溝部分42R,45Rが形成されている(図4および図5)。
【0022】
さらに、本発明においては、図2に示されるように下方のボンネット15と、ピストン30とによって、シリンダとピストンとが相対移動する際の係合摺動部Pが装置内部に形成されている。すなわち、ボンネット15はその中央部から突出した筒状凸部16を備え、この一方で前記ピストン30は、その中央部に筒状凹部31を備え、これの凹凸部16,31の組み合わせにより係合摺動部Pが形成される。通常、筒状凸部16または筒状凹部31の少なくとも一方の表面には、ドライベアリングを装着することが好ましく、図示の例では、筒状凹部31側にドライベアリング37が、筒状凸部16側にステンレスカラー66が嵌着されている。なお本発明においては、上記一対のシリンダ22,25と、一対のボンネット12,15は、図1に示されるように、例えば、4本のボルト55によるボルト締めにより一体的に結合され、かつ一体的にストローク移動するように構成されている。
【0023】
さらに、本発明においては、ピストン30は、シリンダ外部に突出して、ピストンを固定するための複数のピストンアーム33を備えており(図示の例では、左右にそれぞれ2本づつ)、これらのピストンアーム33は、例えば、取りつけブラケット50に固定され、これによって、ピストン30は、ピストンアーム33を介して外部部材に固定される。すなわち、本発明においては、ピストン30が固定され、一対のシリンダ22,25および一対のボンネット12,15の一体化物がストローク移動され、ボンネット12,15の両側面12a,15aがそれぞれ出力面となっている(必ず、両面を出力面とする必要はなく、どちらか一方を出力面としてもよい)。
【0024】
上記のごとくピストンアーム33を外部に突出させ、かつ、一対のシリンダ22,25および一対のボンネット12,15の一体化物がストローク移動できるように、シリンダ22,25およびボンネット12,15はそれぞれ、ストローク用の切り欠き部Qを備えている。すなわち、図4に示されるようにシリンダ22,25およびボンネット12,15に形成されるストローク用の切り欠き部Qは、それぞれ同程度の大きさとされ、上記ピストンアーム33を外部に突出させることができるように同位置に形成される。
【0025】
上述してきた本発明の空気圧シリンダ装置1の具体的動作を、図2、図6および図7を参照しつつ説明する。
【0026】
まず、図2に示される状態は、ボンネット12,15の出力面12a,15aがちょうどストロークの中間位置にある状態であり、例えば、それぞれ、上下方向に±αほどストローク移動できる状態にある。ボンネット12,15は一体的にストローク移動するのであるから、ここでは、上側のボンネット12の出力面12aに注目して説明を進める。
【0027】
図6に示されるように上側空気ポート72から圧縮空気が上方スペースS1に導入されると、ピストン30は固定であるから、反作用の圧力により、ボンネット12の出力面12aは、図2の状態から距離αほど上方へストローク移動する。このストローク移動の際、係合摺動部Pが摺動移動するとともに、2枚の作動膜42,45のリング状の湾曲溝部分42R,45Rも、その半径を変化させながら、ピストン壁からシリンダ壁へと滑らかに移動を行なう。
【0028】
これとは反対に、図7に示されるように下側空気ポート75から圧縮空気が下方スペースS2に導入されると、前記同様にピストン30は固定であるから、反作用の圧力により、ボンネット12の出力面12aは、図6の状態から距離2αほど下方へストローク移動する(図2の状態から距離αほど下方)。このストローク移動の際、係合摺動部Pが摺動移動するとともに、2枚の作動膜42,45のリング状の湾曲溝部分42R,45Rも、その半径を変化させながら、ピストン壁からシリンダ壁へと滑らかに移動を行なう。なお、上記ストロークのストッパー機構は、図6および図7の例ではピストン30とボンネット内面の当接により行われているが、特に、この機構に限定されるものではない。
【0029】
本発明においては、上記係合摺動部Pが摺動移動して、この摺動部位から摩耗塵が発生する可能性があるが、この摩耗塵は、2枚の作動膜42,45によって、装置外にでることが完全に防止されている。従って、本発明の空気圧シリンダ装置装置は、従来にも増して、発塵防止の効果に優れたものとなる。また、さらに本発明では、発塵防止効果を高めつつ、係合摺動部Pを装置内部に形成させ、ピストンを固定する構造を採択しているために、装置のコンパクト化(特に、薄形化)が実現できる。さらにボンネット12の端面を出力面としているために広い面積でも精度のよい出力を得ることができる。
【0030】
【発明の効果】
本発明は、出力面を有する一対のボンネットと、該ボンネット内の外側周縁部に収納・配置される一対のシリンダと、前記一対のボンネットおよび一対のシリンダにより形成された内部空間に設置されたピストンと、該ピストンの少なくとも対向する面をそれぞれ覆うように、配置された2枚の作動膜とを有し、シリンダ内部に供給される空気圧によりシリンダとピストンとが相対移動する空気圧シリンダ装置であって、前記一対のボンネットのうちいずれか一方のボンネットと、ピストンとによって、シリンダとピストンとが相対移動する際の係合摺動部が装置内部に形成されており、前記2枚の作動膜の外周周縁部は、隣接する1組のボンネットとシリンダとによりそれぞれ挟持され、かつ前記係合摺動部が形成される側のピストンの一方の面に配置される一方の作動膜は、内側に円形の切り欠き部を備えており、この作動膜の内周周縁部はピストンの一方の面に固着されており、前記ピストンは、シリンダ外部に突出して、ピストンを固定するためのピストンアームを備え、前記シリンダおよびボンネットは、前記ピストンアームを外部に突出させるとともに、一対のシリンダおよび一対のボンネットが一体的にストローク移動できるようにストローク用の切り欠き部を備えるように構成されている。
【0031】
従って、本発明の空気圧シリンダ装置は、係合摺動部が摺動移動して、摺動部位から摩耗塵が発生しても、この摩耗塵は、2枚の作動膜によって、装置外にでることが完全に防止され、極めて発塵防止の効果に優れたものとなる。また、さらに本発明では、係合摺動部を装置内部に形成させ、ピストンを固定する構造を採択しているために、装置のコンパクト化(特に、薄形化)が実現できる。さらにボンネットの端面を出力面としているために広い面積でも精度のよい出力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の空気圧シリンダ装置の平面図である。
【図2】図1の正面図である。
【図3】図1の側面図である。
【図4】図1のA−A’方向から見た空気圧シリンダ装置の構成部材を順次分解した正面図である。
【図5】図1のB−B’方向から見た空気圧シリンダ装置の構成部材を順次分解した側面図である。
【図6】本発明の空気圧シリンダ装置の動作を説明するための正面図(図2に相当する図)である。
【図7】本発明の空気圧シリンダ装置の動作を説明するための正面図(図2に相当する図)である。
【図8】現在すでに公知となっている空気圧シリンダ装置の一例を示す半片断面図である。
【符号の説明】
1…空気圧シリンダ装置
12,15…ボンネット
22,25…シリンダ
30…ピストン
33…ピストンアーム
42,45…作動膜
P…係合摺動部
Q…ストローク用の切り欠き部
Claims (5)
- 出力面を有するとともに内部に空洞部が形成された一対の第1のボンネットおよび第2のボンネットと、
前記第1のボンネット内の内部の空洞部内にすっぽりと収納される第1のシリンダと、
前記第2のボンネット内の内部の空洞部内にすっぽりと収納される第2のシリンダと、
前記一対の第1および第2のボンネットならびに前記一対の第1および第2のシリンダにより形成された内部空間に収納されたピストンと、
前記ピストンの少なくとも対向する面をそれぞれ覆うように、第1のボンネット側に配置された第1の作動膜および第2のボンネット側に配置された第2の作動膜とを有し、シリンダ内部に供給される空気圧により第1および第2のシリンダとピストンとが相対移動する空気圧シリンダ装置であって、
前記第2のボンネットとピストンとによって、シリンダとピストンとが相対移動する際の係合摺動部が装置内部に形成されており、当該係合摺動部は、前記第2のボンネットの中央部から突出した筒状凸部と、前記ピストンの中央部に形成された筒状凹部の組み合わせにより形成されており、
前記第1の作動膜は円形状の膜であって、その外周周縁部は第1のボンネットと第1のシリンダとにより挟持されており、
前記係合摺動部が形成される側のピストンの一方の面に配置される第2の作動膜は、内側に円形の切り欠き部を備えるドーナツ状の膜であって、その作動膜の外周周縁部は第2のボンネットと第2のシリンダとにより挟持されるとともに、その内周周縁部はピストンの一方の面に固着されており、
前記ピストンは、第1および第2のシリンダ外部に突出して、ピストンを固定するためのピストンアームを備え、
前記第1および第2のシリンダならびに第1および第2のボンネットは、前記ピストンアームを外部に突出させるとともに、第1および第2のシリンダおよび第1および第2のボンネットが一体的にストローク移動できるようにストローク用の切り欠き部を備え、
前記第1および第2のシリンダならびに第1および第2のボンネットに形成されるストローク用の切り欠き部は、それぞれ同程度の大きさとされ、前記ピストンアームを外部に突出させることができるように同位置に形成されてなることを特徴とする空気圧シリンダ装置。 - 前記第1および第2のシリンダと、前記第1および第2のボンネットとは、一体的に結合され、かつ一体的にストローク移動してなる請求項1記載の空気圧シリンダ装置。
- 前記ピストンは、ピストンアームを介して外部部材に固定されてなる請求項1または請求項2記載の空気圧シリンダ装置。
- 前記筒状凸部または前記筒状凹部の少なくとも一方の表面には、ドライベアリングが装着されている請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の空気圧シリンダ装置。
- 前記2枚の作動膜は、布入りのゴム膜から構成され、かつピストン壁からシリンダ壁へと半径を変えて移動するリング状の湾曲溝部分を備えてなる請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の空気圧シリンダ装置。
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