JP2567651Y2 - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2567651Y2 JP2567651Y2 JP1991035137U JP3513791U JP2567651Y2 JP 2567651 Y2 JP2567651 Y2 JP 2567651Y2 JP 1991035137 U JP1991035137 U JP 1991035137U JP 3513791 U JP3513791 U JP 3513791U JP 2567651 Y2 JP2567651 Y2 JP 2567651Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- rotor
- ball bearing
- outer peripheral
- linear ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Actuator (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、アクチュエータに係
り、特に、直動し、回転または揺動するロッドを備えた
アクチュエータの改良に関する。
り、特に、直動し、回転または揺動するロッドを備えた
アクチュエータの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】公知の、この種のアクチュエータは、実
開昭６３−１６８３０２号公報に示されるように、流体
圧による回転力発生手段を備えており、該流体圧により
ラックを直動させ、該ラックにピニオンを噛み合わせて
ロッドを回転または揺動させている。このアクチュエー
タは、例えば ａ．ピックアンドプレース ｂ．ワークを持ち上げ、該ワークの向きを変えてから該
ワークを置く作業 ｃ．ワークを回転させながらねじ込む作業 に利用されるものである。
開昭６３−１６８３０２号公報に示されるように、流体
圧による回転力発生手段を備えており、該流体圧により
ラックを直動させ、該ラックにピニオンを噛み合わせて
ロッドを回転または揺動させている。このアクチュエー
タは、例えば ａ．ピックアンドプレース ｂ．ワークを持ち上げ、該ワークの向きを変えてから該
ワークを置く作業 ｃ．ワークを回転させながらねじ込む作業 に利用されるものである。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記従来技術には、次
の問題が指摘される。 長尺なラックがロッドの軸直角方向に長く突き出る
構造であるために当該アクチュエータの占有スペースが
大きい。近年、工場等においては限られたスペースを有
効に利用するために生産設備を極力小型化することが要
求されているが、上記従来技術はこの要求にそぐわない
ものである。 流体圧による回転力発生手段には、起動トルクが小
さく、回転速度が回転当初において遅く、終端において
最も速くなるという特性がある。このため終端において
部品が衝接すると大きな衝撃力が発生し、これにより部
品が破損したり、ワークを落としたり、ワークがずれた
りする不具合がある。このため従来はやむを得ずロッド
を一貫して低速で回転させており、作業速度が遅く、生
産性が良くない。
の問題が指摘される。 長尺なラックがロッドの軸直角方向に長く突き出る
構造であるために当該アクチュエータの占有スペースが
大きい。近年、工場等においては限られたスペースを有
効に利用するために生産設備を極力小型化することが要
求されているが、上記従来技術はこの要求にそぐわない
ものである。 流体圧による回転力発生手段には、起動トルクが小
さく、回転速度が回転当初において遅く、終端において
最も速くなるという特性がある。このため終端において
部品が衝接すると大きな衝撃力が発生し、これにより部
品が破損したり、ワークを落としたり、ワークがずれた
りする不具合がある。このため従来はやむを得ずロッド
を一貫して低速で回転させており、作業速度が遅く、生
産性が良くない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は以上の点に鑑
み、上記従来技術にみられる問題を解消すべく案出され
たものであって、この目的を達成するため、ボディの内
部で往復動するピストンに連結されるとともに周面にス
プライン溝を備えたロッドと、前記スプライン溝に転動
自在に係合するボールを備えるとともに前記ロッドを外
周側から支持するリニアボールベアリングと、前記リニ
アボールベアリングを外周側から支持するとともに前記
ボティの内周側に回転自在に支持されたロータとを有
し、前記ロータと前記ボディとが軸受を介して相対回転
可能に前記ロータの外周面と前記ボディの内周面とにお
いて連結され、前記ロータの外周面と前記ボディの外周
面とで形成された空所に、前記ロータに回転トルクを伝
達する表面波回転モータが配置されていることにした。
み、上記従来技術にみられる問題を解消すべく案出され
たものであって、この目的を達成するため、ボディの内
部で往復動するピストンに連結されるとともに周面にス
プライン溝を備えたロッドと、前記スプライン溝に転動
自在に係合するボールを備えるとともに前記ロッドを外
周側から支持するリニアボールベアリングと、前記リニ
アボールベアリングを外周側から支持するとともに前記
ボティの内周側に回転自在に支持されたロータとを有
し、前記ロータと前記ボディとが軸受を介して相対回転
可能に前記ロータの外周面と前記ボディの内周面とにお
いて連結され、前記ロータの外周面と前記ボディの外周
面とで形成された空所に、前記ロータに回転トルクを伝
達する表面波回転モータが配置されていることにした。
【０００５】
【作用】上記構成を備えた本考案のアクチュエータにお
いては、ボディの内部で往復動するピストンに連結され
たロッドがその外周側からリニアボールベアリングで支
持され、このリニアボールベアリングがその外周側から
ロータで支持され、このロータとボディとが軸受を介し
て相対回転可能にロータの外周面とボディの内周面とに
おいて連結され、ロータの外周面とボディの外周面とで
形成された空所に表面波回転モータが配置されている。
したがって当該アクチュエータの回転駆動源である表面
波回転モータがボディの内部であってロータの外周側に
配置されており、これによりボディの外部に回転駆動源
を持たないアクチュエータを構成することが可能とな
る。
いては、ボディの内部で往復動するピストンに連結され
たロッドがその外周側からリニアボールベアリングで支
持され、このリニアボールベアリングがその外周側から
ロータで支持され、このロータとボディとが軸受を介し
て相対回転可能にロータの外周面とボディの内周面とに
おいて連結され、ロータの外周面とボディの外周面とで
形成された空所に表面波回転モータが配置されている。
したがって当該アクチュエータの回転駆動源である表面
波回転モータがボディの内部であってロータの外周側に
配置されており、これによりボディの外部に回転駆動源
を持たないアクチュエータを構成することが可能とな
る。
【０００６】また表面波回転モータに起動トルクが大き
い特性があるために、ロッドを回転当初から高速で回転
させることが可能である。
い特性があるために、ロッドを回転当初から高速で回転
させることが可能である。
【０００７】また表面波回転モータに発生した回転トル
クがロータに伝達され、更にこのロータが支持したリニ
アボールベアリングを介してロッドに伝達される。リニ
アボールベアリングは軸受として高精度に作動するもの
であり、よってこのリニアボールベアリングによりロッ
ドを高精度に作動させることが可能である。
クがロータに伝達され、更にこのロータが支持したリニ
アボールベアリングを介してロッドに伝達される。リニ
アボールベアリングは軸受として高精度に作動するもの
であり、よってこのリニアボールベアリングによりロッ
ドを高精度に作動させることが可能である。
【０００８】
【実施例】つぎに本考案の実施例を図面にしたがって説
明する。
明する。
【０００９】図１に示すように、ボディ１の内部にシリ
ンダ室２が形成され、該シリンダ室２にピストン３が直
動自在に内挿され、該ピストン３に回転ベアリング４を
介してロッド５が回転自在に接続されている。ピストン
３にピストンシール６、位置検出用の永久磁石７および
緩衝用のゴム状弾性材製のストッパ８が取り付けられ、
ロッド５の周面に軸方向に沿って複数（例えば３等配）
のスプライン溝９が形成されている。ロッド５は一端
（図上左端）においてボディ１の外部へ突出しており、
該一端を作用端としている。ボディ１の内部にアンギュ
ラ玉軸受１０を介してロータ１１が回転自在に装着さ
れ、該ロータ１１の内周側にリニアボールベアリング１
２が固定されている。該リニアボールベアリング１２は
スプライン溝９に転動自在に係合する多数のボール１３
を備えている。ボディ１とロータ１１の間に狭隘な室１
４が形成され、該室１４にスペーサ１５および表面波回
転モータ１６が組み込まれている。表面波回転モータ１
６は圧電素子１７、弾性リング１８、スライダ１９およ
び回転子２０より構成されている。ボディ１の内壁に形
成した段部２１に当接してロッドシールホルダ２２が固
定され、該ロッドシールホルダ２２とボディ１の間およ
び該ロッドシールホルダ２２とロータ１１の間にそれぞ
れシール２３，２４が介装されている。またロータ１１
とロッド５の間にゴム状弾性材製のスプラインシール２
５が介装され、該スプラインシール２５はＶ形断面の環
状体の内周側にスプライン溝９に係合する複数の突起２
６を備えている。ロッドシールホルダ２２にはゴム状弾
性材製のストッパ２７が取り付けられている。２８と２
９はロッドカバーである。
ンダ室２が形成され、該シリンダ室２にピストン３が直
動自在に内挿され、該ピストン３に回転ベアリング４を
介してロッド５が回転自在に接続されている。ピストン
３にピストンシール６、位置検出用の永久磁石７および
緩衝用のゴム状弾性材製のストッパ８が取り付けられ、
ロッド５の周面に軸方向に沿って複数（例えば３等配）
のスプライン溝９が形成されている。ロッド５は一端
（図上左端）においてボディ１の外部へ突出しており、
該一端を作用端としている。ボディ１の内部にアンギュ
ラ玉軸受１０を介してロータ１１が回転自在に装着さ
れ、該ロータ１１の内周側にリニアボールベアリング１
２が固定されている。該リニアボールベアリング１２は
スプライン溝９に転動自在に係合する多数のボール１３
を備えている。ボディ１とロータ１１の間に狭隘な室１
４が形成され、該室１４にスペーサ１５および表面波回
転モータ１６が組み込まれている。表面波回転モータ１
６は圧電素子１７、弾性リング１８、スライダ１９およ
び回転子２０より構成されている。ボディ１の内壁に形
成した段部２１に当接してロッドシールホルダ２２が固
定され、該ロッドシールホルダ２２とボディ１の間およ
び該ロッドシールホルダ２２とロータ１１の間にそれぞ
れシール２３，２４が介装されている。またロータ１１
とロッド５の間にゴム状弾性材製のスプラインシール２
５が介装され、該スプラインシール２５はＶ形断面の環
状体の内周側にスプライン溝９に係合する複数の突起２
６を備えている。ロッドシールホルダ２２にはゴム状弾
性材製のストッパ２７が取り付けられている。２８と２
９はロッドカバーである。
【００１０】上記構成を備えるアクチュエータは次のよ
うに作動する。 ａ．直動 図示しない流体圧供給ポートからシリンダ室２のピスト
ン３の両側空間へ交互に流体圧を供給し、ピストン３と
該ピストン３に接続されたロッド５を軸方向に直動させ
る。流体圧には空気圧が用いられる。 ｂ．回転または揺動 表面波回転モータ１６を駆動し、ロータ１１およびリニ
アボールベアリング１２を介して回転力をロッド５に伝
えて該ロッド５を回転または揺動させる。回転または揺
動は直動と同時に行なうことが可能である。
うに作動する。 ａ．直動 図示しない流体圧供給ポートからシリンダ室２のピスト
ン３の両側空間へ交互に流体圧を供給し、ピストン３と
該ピストン３に接続されたロッド５を軸方向に直動させ
る。流体圧には空気圧が用いられる。 ｂ．回転または揺動 表面波回転モータ１６を駆動し、ロータ１１およびリニ
アボールベアリング１２を介して回転力をロッド５に伝
えて該ロッド５を回転または揺動させる。回転または揺
動は直動と同時に行なうことが可能である。
【００１１】上記構成を備えたアクチュエータは、次の
効果を奏する。 ボディ１内部のシリンダ室２で往復動するピストン
３に連結されたロッド５がその外周側からリニアボール
ベアリング１２で支持され、このリニアボールベアリン
グ１２がその外周側からロータ１１で支持され、このロ
ータ１１とボディ１とがアンギュラ玉軸受１０を介して
相対回転可能にロータ１１の外周面とボディ１の内周面
とにおいて連結され、ロータ１１の外周面とボディ１の
外周面とで形成された狭隘な室１４内に環状の表面波回
転モータ１６が配置されているために、当該アクチュエ
ータの回転駆動源である表面波回転モータ１６がボディ
１ の内部であってロータ１１の外周側に配置されてお
り、これによりボディ１の外部に回転駆動源を持たない
アクチュエータが構成されている。したがって従来技術
におけるラックのようにロッド５の軸直角方向に長く突
き出る部分がないために当該アクチュエータの占有スペ
ースが従来技術より小さくなり、生産設備の小型化の要
求に応えることができる。 表面波回転モータ１６の、起動トルクが大きい特性
を利用してロッド５を回転当初から高速で回転させるこ
とができるために、回転速度が終端において極端に大き
くなることがなく、終端において大きな衝撃力が発生し
てロッドが破損したり、ワークを落としたり、ワークが
ずれたりすることがなく、これに伴って作業速度を早め
て生産性を向上させることができる。
効果を奏する。 ボディ１内部のシリンダ室２で往復動するピストン
３に連結されたロッド５がその外周側からリニアボール
ベアリング１２で支持され、このリニアボールベアリン
グ１２がその外周側からロータ１１で支持され、このロ
ータ１１とボディ１とがアンギュラ玉軸受１０を介して
相対回転可能にロータ１１の外周面とボディ１の内周面
とにおいて連結され、ロータ１１の外周面とボディ１の
外周面とで形成された狭隘な室１４内に環状の表面波回
転モータ１６が配置されているために、当該アクチュエ
ータの回転駆動源である表面波回転モータ１６がボディ
１ の内部であってロータ１１の外周側に配置されてお
り、これによりボディ１の外部に回転駆動源を持たない
アクチュエータが構成されている。したがって従来技術
におけるラックのようにロッド５の軸直角方向に長く突
き出る部分がないために当該アクチュエータの占有スペ
ースが従来技術より小さくなり、生産設備の小型化の要
求に応えることができる。 表面波回転モータ１６の、起動トルクが大きい特性
を利用してロッド５を回転当初から高速で回転させるこ
とができるために、回転速度が終端において極端に大き
くなることがなく、終端において大きな衝撃力が発生し
てロッドが破損したり、ワークを落としたり、ワークが
ずれたりすることがなく、これに伴って作業速度を早め
て生産性を向上させることができる。
【００１２】 表面波回転モータ１６に発生した回転
トルクがロータ１１に伝達され、更にこのロータ１１が
支持したリニアボールベアリング１２を介してロッド５
に伝達される。リニアボールベアリング１２は軸受とし
て高精度に作動するものであり、よってこのリニアボー
ルベアリング１２によりロッド５を高精度に作動させる
ことができる。 ロッド５の外周をシールするスプラインシール２５
に、スプライン溝９に係合する突起２６が設けられてい
るために、ロッド５の周面に軸方向に延びるスプライン
溝９が設けられていても、ピストン３を移動させるべく
シリンダ室２に供給される流体圧が、このスプライン溝
９を伝って外部に漏出するのを防止することができる。
またこのようにスプライン溝９があってもシール可能
で、ロッド５にスプライン溝９を形成しない断面円形の
部分を設ける必要がないために該ロッド９が長尺なもの
となることがない。
トルクがロータ１１に伝達され、更にこのロータ１１が
支持したリニアボールベアリング１２を介してロッド５
に伝達される。リニアボールベアリング１２は軸受とし
て高精度に作動するものであり、よってこのリニアボー
ルベアリング１２によりロッド５を高精度に作動させる
ことができる。 ロッド５の外周をシールするスプラインシール２５
に、スプライン溝９に係合する突起２６が設けられてい
るために、ロッド５の周面に軸方向に延びるスプライン
溝９が設けられていても、ピストン３を移動させるべく
シリンダ室２に供給される流体圧が、このスプライン溝
９を伝って外部に漏出するのを防止することができる。
またこのようにスプライン溝９があってもシール可能
で、ロッド５にスプライン溝９を形成しない断面円形の
部分を設ける必要がないために該ロッド９が長尺なもの
となることがない。
【００１３】 表面波回転モータ１６は通電を止める
と摩擦により現位置を保持する。このため設備にトラブ
ルがあっても電源を落とすことによりロッド５の回転を
停止させることができ、安全性が高い。 ピストン３とロッド５を回転ベアリング４を介して
接続したためにロッド５が回転してもピストン３は回転
せず、ロッド５に回転摩擦トルクが殆どかからない。ま
たボディ１の内壁に圧接するピストンシール６が直動時
のみ摺動するために摩耗が少なく、該ピストンシール６
に十分な耐久性を期待できる。
と摩擦により現位置を保持する。このため設備にトラブ
ルがあっても電源を落とすことによりロッド５の回転を
停止させることができ、安全性が高い。 ピストン３とロッド５を回転ベアリング４を介して
接続したためにロッド５が回転してもピストン３は回転
せず、ロッド５に回転摩擦トルクが殆どかからない。ま
たボディ１の内壁に圧接するピストンシール６が直動時
のみ摺動するために摩耗が少なく、該ピストンシール６
に十分な耐久性を期待できる。
【００１４】 図面から明らかなように、ロッドシー
ルホルダ２２、アンギュラ玉軸受１０、ロータ１１、リ
ニアボールベアリング１２、表面波回転モータ１６、ス
ペーサ１５およびロッドカバー２８をボディ１に次々と
組み込むものであるために製造が容易である。またボデ
ィ１に最後にねじ込むロッドカバー２８のねじ込み量を
調整して該ロッドカバー２８による押付け力を調整する
ことによりロータ１１を精度良く保持することができ
る。
ルホルダ２２、アンギュラ玉軸受１０、ロータ１１、リ
ニアボールベアリング１２、表面波回転モータ１６、ス
ペーサ１５およびロッドカバー２８をボディ１に次々と
組み込むものであるために製造が容易である。またボデ
ィ１に最後にねじ込むロッドカバー２８のねじ込み量を
調整して該ロッドカバー２８による押付け力を調整する
ことによりロータ１１を精度良く保持することができ
る。
【００１５】上記アクチュエータは次のように構成を付
加変更することができる。 ａ．上記実施例においてロータ１１の外周側に配置され
た表面波回転モータ１６を、図２に示すように、ロータ
１１のリニアボールベアリング外周部分に対して軸方向
に直列に並べる。 ｂ．上記実施例において中実であったロッド５を図２の
ように中空とし、該中空部をロッド５の先端に取り付け
る空気圧機器や真空機器の配管用の空間として利用した
り、センサなどの配線用の空間として利用する。 ｃ．上記実施例において１つであったロータ１１を図２
のように２つとして剛性を高める。 ｄ．上記実施例において図３のように円形であったロッ
ド５の断面形状を図４のように矩形を基調としたものと
する。また上記実施例において図３のように円弧形であ
ったスプライン溝９の断面形状を図５のようにクロスロ
ーラを応用した三角形を基調としたものとする。
加変更することができる。 ａ．上記実施例においてロータ１１の外周側に配置され
た表面波回転モータ１６を、図２に示すように、ロータ
１１のリニアボールベアリング外周部分に対して軸方向
に直列に並べる。 ｂ．上記実施例において中実であったロッド５を図２の
ように中空とし、該中空部をロッド５の先端に取り付け
る空気圧機器や真空機器の配管用の空間として利用した
り、センサなどの配線用の空間として利用する。 ｃ．上記実施例において１つであったロータ１１を図２
のように２つとして剛性を高める。 ｄ．上記実施例において図３のように円形であったロッ
ド５の断面形状を図４のように矩形を基調としたものと
する。また上記実施例において図３のように円弧形であ
ったスプライン溝９の断面形状を図５のようにクロスロ
ーラを応用した三角形を基調としたものとする。
【００１６】
【考案の効果】本考案のアクチュエータは以上の構成と
作用によって次の効果を奏する。 ボディの内部で往復動するピストンに連結されたロ
ッドがその外周側からリニアボールベアリングで支持さ
れ、このリニアボールベアリングがその外周側からロー
タで支持され、このロータとボディとが軸受を介して相
対回転可能にロ ータの外周面とボディの内周面とにおい
て連結され、ロータの外周面とボディの外周面とで形成
された空所に表面波回転モータが配置されているため
に、当該アクチュエータの回転駆動源である表面波回転
モータがボディの内部であってロータの外周側に配置さ
れており、これによりボディの外部に回転駆動源を持た
ないアクチュエータが構成されている。したがって従来
技術におけるラックのようにロッドの軸直角方向に長く
突き出る部分がないために当該アクチュエータの占有ス
ペースが従来技術より小さくなり、生産設備の小型化の
要求に応えることができる。 表面波回転モータの、起動トルクが大きい特性を利
用してロッドを回転当初から高速で回転させることがで
きるために、回転速度が終端において極端に大きくなる
ことがなく、終端において大きな衝撃力が発生してロッ
ドが破損したり、ワークを落としたり、ワークがずれた
りするごとがなく、これに伴って作業速度を早めて生産
性を向上させることができる。
作用によって次の効果を奏する。 ボディの内部で往復動するピストンに連結されたロ
ッドがその外周側からリニアボールベアリングで支持さ
れ、このリニアボールベアリングがその外周側からロー
タで支持され、このロータとボディとが軸受を介して相
対回転可能にロ ータの外周面とボディの内周面とにおい
て連結され、ロータの外周面とボディの外周面とで形成
された空所に表面波回転モータが配置されているため
に、当該アクチュエータの回転駆動源である表面波回転
モータがボディの内部であってロータの外周側に配置さ
れており、これによりボディの外部に回転駆動源を持た
ないアクチュエータが構成されている。したがって従来
技術におけるラックのようにロッドの軸直角方向に長く
突き出る部分がないために当該アクチュエータの占有ス
ペースが従来技術より小さくなり、生産設備の小型化の
要求に応えることができる。 表面波回転モータの、起動トルクが大きい特性を利
用してロッドを回転当初から高速で回転させることがで
きるために、回転速度が終端において極端に大きくなる
ことがなく、終端において大きな衝撃力が発生してロッ
ドが破損したり、ワークを落としたり、ワークがずれた
りするごとがなく、これに伴って作業速度を早めて生産
性を向上させることができる。
【００１７】 表面波回転モータに発生した回転トル
クがロータに伝達され、更にこのロータが支持したリニ
アボールベアリングを介してロッドに伝達される。リニ
アボールベアリングは軸受として高精度に作動するもの
であり、よってこのリニアボールベアリングによりロッ
ドを高精度に作動させることができる。 表面波回転モータは通電を止めると摩擦により現位
置を保持する。このため設備にトラブルがあっても電源
を落とすことによりロッドの回転を停止させることがで
き、安全性が高い。
クがロータに伝達され、更にこのロータが支持したリニ
アボールベアリングを介してロッドに伝達される。リニ
アボールベアリングは軸受として高精度に作動するもの
であり、よってこのリニアボールベアリングによりロッ
ドを高精度に作動させることができる。 表面波回転モータは通電を止めると摩擦により現位
置を保持する。このため設備にトラブルがあっても電源
を落とすことによりロッドの回転を停止させることがで
き、安全性が高い。
【図１】本考案の実施例に係るアクチュエータの断面図
【図２】本考案の他の実施例に係るアクチュエータの断
面図
面図
【図３】ロッドの断面図
【図４】ロッドの他の例を示す断面図
【図５】ロッドの他の例を示す断面図
１ ボディ ２ シリンダ室 ３ ピストン ４ 回転ベアリング ５ ロッド ６ ピストンシール ７ 永久磁石 ８，２７ ストッパ ９ スプライン溝 １０ アンギュラ玉軸受 １１ ロータ １２ リニアボールベアリング １３ ボール １４ 室 １５ スペーサ １６ 表面波回転モータ １７ 圧電素子 １８ 弾性リング １９ スライダ ２０ 回転子 ２１ 段部 ２２ ロッドシールホルダ ２３，２４ シール ２５ スプラインシール ２６ 突起 ２８，２９ ロッドカバー
Claims (1)
- 【請求項１】 ボディ（１）の内部で往復動するピスト
ン（３）に連結されるとともに周面にスプライン溝
（９）を備えたロッド（５）と、 前記スプライン溝（９）に転動自在に係合するボール
（１３）を備えるとともに前記ロッド（５）を外周側か
ら支持するリニアボールベアリング（１２）と、 前記リニアボールベアリング（１２）を外周側から支持
するとともに前記ボティ（１）の内周側に回転自在に支
持されたロータ（１１）とを有し、 前記ロータ（１
１）と前記ボディ（１）とが軸受（１０）を介して相対
回転可能に前記ロータ（１１）の外周面と前記ボディ
（１）の内周面とにおいて連結され、 前記ロータ（１１）の外周面と前記ボディ（１）の外周
面とで形成された空所に、前記ロータ（１１）に回転ト
ルクを伝達する表面波回転モータ（１６）が配置されて
いる ことを特徴とするアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991035137U JP2567651Y2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991035137U JP2567651Y2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121505U JPH04121505U (ja) | 1992-10-30 |
| JP2567651Y2 true JP2567651Y2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=31917376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991035137U Expired - Lifetime JP2567651Y2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567651Y2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5042960Y2 (ja) * | 1971-10-29 | 1975-12-08 | ||
| JPS58113609A (ja) * | 1981-12-26 | 1983-07-06 | Nec Home Electronics Ltd | カムシリンダ |
| JPS59204479A (ja) * | 1983-05-07 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーター |
| JPS6062478A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-10 | 本田技研工業株式会社 | 直線及び回転運動用駆動装置 |
| JPH01135224U (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-14 | ||
| JPH02132101U (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-02 |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP1991035137U patent/JP2567651Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04121505U (ja) | 1992-10-30 |
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