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Die Erfindung betrifft ein Schlitzventil für eine Vakuumbeschichtungsanlage für breite, dünne Substrate wie Folien, Platten oder dergleichen, sowie eine Vakuumbeschichtungsanlage mit einem derartigen Ventil.
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In derartigen Anlagen müssen oftmals verschiedene Bereiche einer Anlagenkammer durch ein oder mehrere Ventile voneinander, oder/und die Anlagenkammer von der Atmosphäre getrennt werden. Aufgrund der Form der oben beschriebenen band- oder plattenförmigen Substrate handelt es sich bei den verwendeten Ventilen um Schlitzventile, d.h. Ventile, die eine schlitzförmige Transferöffnung aufweisen, die wahlweise geöffnet oder verschlossen werden kann, wobei die schlitzförmige Transferöffnung im geöffneten Zustand als Passage für das Substrat dient.
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Probleme bekannter Ausführungen derartiger Schlitzventile bestehen in erster Linie in deren Instabilität und Undichtheit bei sehr breiten Subtraten, insbesondere bei Substraten mit einer Breite von über 1500 mm.
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Beispielsweise ist bei bekannten Schieberventilen, die einen beweglichen Ventilschieber zum Verschließen der Transferöffnung aufweisen, die bei großen Druckdifferenzen auftretende Durchbiegung der Kammerwand, an der das Schieberventil angebracht ist, einer der Gründe für die genannten Probleme. Der sich im Inneren des Schieberventils bewegende Ventilschieber lässt nur eine geringe Durchbiegung zu. Wird diese maximale Durchbiegung aufgrund einer zu großen Differenz der Drücke, die auf beiden Seiten des Schieberventils herrschen, überschritten, so verklemmt sich der Ventilschieber und das Schieberventil kann nicht mehr betätigt werden.
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In
FR 1 219 164 A wurde eine Druckfiltrationsvorrichtung beschrieben, die eine bewegliche Filterfläche umfasst, die in einer Filterzone in einem Gehäuse stationär gehalten werden kann, einen Einlass zum Zuführen von zu filterndem Material in der Filterfläche und eine Dichtungsanordnung zum Versiegeln der Filterfläche mit dem Gehäuse und Mitteln zum Zuführen von Druckluft zum Gehäuse umfasst, um einen im Wesentlichen konstanten Druck in dem Gehäuse während der Bildung eines Filterkuchens auf der Filterfläche aufrechtzuerhalten und bis im Wesentlichen die gesamte Flüssigkeit aus dem Material entfernt ist.
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In
US 4 430 231 A wird eine Filtervorrichtung offenbart, die dazu ausgebildet ist, suspendierte Feststoffe aus einer Flüssigkeit zu filtern, und die aus einem Filtergehäuse besteht, das ein flexibles Bandfilterelement in eine Filterkammer aufnimmt, wobei die Flüssigkeit durch das Band geleitet wird, um Feststoffe auszufiltern. Das flexible Band ist beweglich angebracht, um durch Endöffnungen auf beiden Seiten einer Filterkammer geführt zu werden, um nach jedem Filterzyklus angesammelte Feststoffe entfernen zu können. Die Endöffnungen sind während der Filterzyklen durch flexible Schlauchsegmente abgedichtet, die sich über die Öffnungen erstrecken und die unter Druck gesetzt werden, um eine Abdichtung zu bewirken, und evakuiert werden, um das Entfernen des Riemens zu ermöglichen.
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In
DE 692 06 096 T2 wird ein Flüssigkeitsfilter offenbart mit einem Gehäuse, das eine Filterkammer definiert, mit einem Filterband, das in die Filterkammer vorgerückt ist und einen Flüssigkeitsstrom aufnimmt, um die Flüssigkeit zu filtern. Verschiedene Abschnitte des Filterbandes sind abwechselnd in der Filterkammer durch ein Paar von Antriebsaufnahmerollen positioniert, die jeweils auf einer Seite einer Eintrittsöffnung der Filterkammer positioniert sind, die angetrieben werden in entgegengesetzten Richtungen nach wechselnden Zyklen. Jeder Abschnitt des Filterbandes wird beim Austritt abgekratzt und anschließend mit Waschsprays gereinigt, wenn der bestimmte Abschnitt in die Filterkammer zurückbewegt wird. Das Filterband ist an einem Ende an einer jeweiligen Walze durch ein in eine hinterschnittene Nut in der Walzenoberfläche aufgenommenes flexibles Element lösbar befestigt.
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EP 2 374 914 A1 betrifft eine Vorrichtung zum Abdichten eines Kammereinlasses oder eines Kammerauslasses für ein flexibles Substrat, umfassend einen Körper mit einer Dichtfläche, einer Substratöffnung in dem Körper, der so konfiguriert ist, dass er von dem flexiblen Substrat durchquert werden kann, ein elastisches Rohr, das mindestens teilweise der Dichtfläche zugewandt ist, wobei das elastische Rohr einen Verbindungsabschnitt zum Verbinden mit einer Gaszufuhr aufweist und zum Aufblasen und Ablassen geeignet ist während der Operation.
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WO 2011/072315 A1 beschreibt ein Vakuumventil umfassend einen Ventilkörper mit ersten und zweiten Wänden, die einen Zwischenraum zwischen sich aufweisen und von denen die erste Wand eine erste Öffnung und die zweite Wand eine zweite Öffnung aufweist, wobei durch die erste und zweite Öffnung ein eine Längsachse aufweisender Durchgang durch das Vakuumventil ausgebildet wird, und eine im Zwischenraum zwischen der ersten und der zweiten Wand liegende Verschlusseinrichtung, von der der Durchgang durch den Ventilkörper in einer Schließstellung der Verschlusseinrichtung verschließbar und in einer Offenstellung der Verschlusseinrichtung zumindest großteils freigebbar ist und die erste und zweite Verschlussabschnitte aufweist, welche jeweils abgedichtet gegenüber der ersten und zweiten Wand verschiebbar sind und welche im geöffneten Zustand des Vakuumventils den Durchgang zumindest großteils freigeben und zum Schließen des Vakuumventils in Positionen verstellt werden, in denen sie von gegenüberliegenden Seiten des Durchgangs her in den Durchgang ragen und diesen jeweils teilweise überdecken, wobei die ersten und zweiten Verschlussabschnitte abgedichtet aneinander und/oder an ein zwischen ihnen durch den Durchgang durchgeführtes Band angedrückt sind, und wobei der erste Verschlussabschnitt und der zweite Verschlussabschnitt durch erste und zweite Seitenabschnitte miteinander verbunden sind, wobei die Verschlusseinrichtung insgesamt umfangsgeschlossen ausgebildet ist.
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Aufgabe der Erfindung ist es, ein Schlitzventil zu entwickeln, welches relativ große Verformungen ohne Funktionsbeeinträchtigung erlaubt und das sich selbst dann, wenn sich ein Substrat durch die Transferöffnung erstreckt, vakuumdicht verschließen lässt.
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Hierzu wird bei einem Schlitzventil einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten Anlagenkammer, das einen an einer Kammerwand anbringbaren Grundkörper mit einer verschließbaren, schlitzförmigen Transferöffnung zum Hindurchführen eines Substrats umfasst, vorgeschlagen, dass das Schlitzventil genau ein die Transferöffnung begrenzendes schlauchförmiges Dichtelement mit einem Hohlraum aufweist, das zwei parallel zueinander verlaufende gerade Abschnitte aufweist und dessen Innendruck einstellbar ist.
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Eine Kammerwand der Anlagenkammer, an der das Schlitzventil anbringbar ist, kann dabei sowohl eine die Anlagenkammer nach außen begrenzende Kammerwand sein als auch eine im Innern der Anlagenkammer angeordnete Trennwand, die verschiedene Bereiche der Anlagenkammer gegeneinander abgrenzt.
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Wenn im Hohlraum des Dichtelements ein Innendruck herrscht, der gleich groß oder etwas geringer als der Umgebungsdruck des Dichtelements ist, also beispielsweise in etwa dem Prozessvakuum einer Vakuumbeschichtungsanlage entspricht, so weisen die beiden geraden Abschnitte des Dichtelements einen Abstand zueinander auf, der die Breite der Transferöffnung definiert. In diesem Zustand kann ein flächiges Substrat, dessen Dicke geringer ist als die Breite der Transferöffnung, durch die Transferöffnung hindurchbewegt werden.
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Wird der Hohlraum des Dichtelements beispielsweise durch Einblasen von Druckluft, die aus einem Druckgasreservoir entnommen werden kann, mit einem Innendruck beaufschlagt, der größer ist als der Umgebungsdruck, d.h. der Druck in unmittelbarer Umgebung des Dichtelements, so bläht sich das Dichtelement auf, bis sich die beiden geraden Abschnitte des Dichtelements zunächst berühren und schließlich bei weiter wachsendem Innendruck aufeinandergepresst werden. In diesem Zustand ist das Schlitzventil geschlossen. Dadurch können zwei aneinandergrenzende Bereiche einer Vakuumbeschichtungsanlage voneinander auf einfache Art und Weise getrennt werden.
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Aufgrund der Elastizität des Dichtelements kann das Substrat selbst bei geschlossenem Schlitzventil in der Substratpassage verbleiben, d.h. ein durch die Transferöffnung verlaufendes Substrat wie Folienband oder dergleichen wird zwischen den beiden geraden Abschnitten des Dichtelements eingeklemmt und dennoch eine vakuumdichte Abtrennung der aneinandergrenzenden Bereiche der Anlagenkammer erreicht.
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Herrscht im Innern der Anlagenkammer ein Vakuum, d.h. ein gegenüber dem außerhalb der Anlagenkammer herrschenden Atmosphärendruck deutlich geringerer Druck, so reicht es auch aus, den Hohlraum des Dichtelements von außerhalb der Anlagenkammer her zu belüften, d.h. mit dem außerhalb der Anlagenkammer herrschenden Atmosphärendruck zu beaufschlagen. Die Druckdifferenz reicht aus, das Dichtelement aufzublähen und damit eine zuverlässige Dichtwirkung zu erzielen, so dass auf zusätzliche Druckgasreservoirs verzichtet werden kann. Zum Öffnen des Schlitzventils muss in diesem Fall allerdings Luft aus dem Dichtelement abgesaugt werden, beispielsweise über eine mit einem Ventil versehene Rohrleitung, die zu einer Pumpe geführt ist.
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Gemäß einer Ausgestaltung weist das Dichtelement mindestens eine der Transferöffnung zugewandte, abgeflachte Außenfläche auf. Dadurch wird einerseits eine größere Dichtfläche erreicht, andererseits reicht eine geringere Druckdifferenz zwischen dem Innendruck im Hohlraum des Dichtelements und dem Druck in der unmittelbaren Umgebung des Dichtelements aus, um einen vollflächigen Kontakt zwischen den beiden geraden Abschnitten des Dichtelements zu erzielen.
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Dabei kann weiter vorgesehen sein, dass das Dichtelement zumindest an der der Transferöffnung zugewandten Außenfläche Rillen aufweist. Dadurch entsteht bei geschlossenem Schlitzventil eine Art Labyrinthdichtung, die einerseits eine vergrößerte Dichtfläche aufweist und andererseits Scherkräfte zwischen den beiden geraden Abschnitten des Dichtelements gut aufnehmen kann, und zwar insbesondere in den Fällen, in denen sich bei geschlossenem Schlitzventil kein Substrat in der Passage befindet.
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Vorteilhaft kann das Dichtelement einen generell rechteckigen Querschnitt aufweisen. Dadurch wird die Bearbeitung des Grundkörpers erleichtert, weil beispielsweise Nuten zur Aufnahme des Dichtelements einfacher gestaltet und daher leichter zu fertigen sind. Außerdem ist ein verdrehter Einbau des Dichtelements, der zu Undichtheiten führen könnte, dadurch praktisch ausgeschlossen. Der Begriff „generell rechteckig“ soll dabei ausdrücken, dass auch solche Querschnittsformen darunter zu verstehen sind, die abgerundete Ecken, eine Profilierung durch Rillen wie oben beschrieben oder dergleichen aufweisen und damit im streng geometrischen Sinne keine „Rechtecke“ sind. Eine weitere vorgeschlagene Querschnittsform ist generell T-förmig mit einem darin angeordneten Hohlraum. Das Dichtelement kann dann beispielsweise an den beiden gegenüberliegenden Schenkeln der T-Form gehalten oder geklemmt sein.
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Weiterhin kann vorgesehen sein, dass das Schlitzventil mindestens ein den Hohlraum des Dichtelements wahlweise verschließendes Ventil aufweist. In diesem Fall kann das bzw. können die Ventile beispielsweise am oder im Grundkörper angeordnet sein. Wird das Dichtelement jedoch mit dem außerhalb der Anlagenkammer herrschenden Atmosphärendruck beaufschlagt, so kann das bzw. können die Ventile zweckmäßig auch an der Außenseite oder außerhalb der Anlagenkammer angeordnet sein, so dass sie einerseits besser zugänglich sind, andererseits aber streng betrachtet nicht Bestandteil des Schlitzventils selbst sind.
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Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist das Dichtelement endlos ausgeführt, d.h. der Hohlraum im Innern des Dichtelements erstreckt sich unterbrechungsfrei allseitig um die schlitzförmige Transferöffnung. Dabei können beispielsweise an einem oder beiden Endbereichen der Transferöffnung Ventile angeordnet sein, um je nach Zustand des Ventils oder der Ventile (d.h. „offen“ oder „geschlossen“) den Innendruck des Dichtelements ändern oder aufrechterhalten zu können.
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Alternativ könnte sich das Dichtelement auch nur an den beiden geraden Abschnitten und einem der beiden Endbereiche um die Transferöffnung herum erstrecken. An dem anderen Endbereich könnten eines oder beide Enden des Dichtelements beispielsweise in eine Luftleitung übergehen oder mit einer bzw. je einer Luftleitung verbunden sein, die zum Zu- und Abführen von Druckluft zur Änderung des Innendrucks des Hohlraums des Dichtelements dient bzw. dienen. Ist nur eine Luftleitung vorgesehen, die mit einem der beiden Enden des Dichtelements verbunden ist, so könnte das andere Ende des Dichtelements blind enden. Die Luftleitung oder die Luftleitungen könnten bei einer Vakuumbeschichtungsanlage der beschriebenen Art zur Außenseite der Anlagenkammer geführt sein.
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Das Dichtelement kann weiterhin an mindestens einem Endbereich der schlitzförmigen Transferöffnung einen Übergang zwischen den beiden geraden Abschnitten aufweisen, dessen Krümmungsradius an jeder Stelle größer ist als die halbe Breite der Transferöffnung. Da die Dichtelemente der beschriebenen Schlitzventile zwischen Offen-Stellung und Geschlossen-Stellung nur einen relativ geringen Hub erzeugen können, kann die Breite der Transferöffnung nur entsprechend klein sein. Dies reicht jedoch für dünne flächige Substrate wie Folien, Wafer, Glasscheiben und dergleichen aus. Ein Problem kann sich jedoch dadurch ergeben, dass der Übergang zwischen den beiden geraden Abschnitten des Dichtelements aufgrund der geringen Breite der schlitzförmigen Transferöffnung relativ stark gebogen sein muss, d.h. einen relativ geringen Krümmungsradius aufweist. Kollabiert dadurch der Querschnitt des Dichtelements, so ist eine ordnungsgemäße Be- und Entlüftung des Hohlraums nicht mehr gesichert, so dass die Funktion des Schlitzventils insgesamt gefährdet ist. Dieses Problem kann dadurch umgangen werden, dass das Dichtelement im Bereich des Übergangs zwischen den beiden geraden Abschnitten des Dichtelements bewusst mit einem größeren Krümmungsradius geführt wird, als an sich nötig wäre.
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Zur exakten Positionierung des Dichtelements relativ zur Transferöffnung kann weiterhin vorgesehen sein, dass das Dichtelement an mindestens einem Endbereich der schlitzförmigen Transferöffnung um ein tropfen- oder birnenförmiges Formstück geführt ist. Ein derartiges Formstück eignet sich auch vorzüglich dazu, den Krümmungsradius des Dichtelements so groß zu wählen, dass ein Kollaps des Hohlraums ausgeschlossen wird. Das Formstück kann dabei ein selbstständiges Bauteil sein, das in oder an dem Grundkörper angebracht oder/und befestigt wird. Es kann jedoch auch einstückig mit dem Grundkörper verbunden sein, beispielsweise indem es dadurch erzeugt wird, dass in den Grundkörper eine Nut mit tropfen- oder birnenförmigem Verlauf eingefräst wird.
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In einer Weiterbildung wird vorgeschlagen, dass das tropfen- oder birnenförmige Formstück auf seiner der schlitzförmigen Transferöffnung zugewandten Seite eine Zahnstruktur aufweist, wie sie beispielsweise durch einen Wellenschliff oder die Herstellung von Riefen in diesem Bereich des tropfen- oder birnenförmigen Formstücks entsteht. Dadurch wird die Dichtwirkung im Berührungsbereich von Dichtelement und Formstück verbessert.
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In einer weiteren Ausgestaltung des vorgeschlagenen Schlitzventils ist das Dichtelement in einer Vertiefung des Grundkörpers eingebettet. Diese Vertiefung kann beispielsweise eine Nut, ein Sims oder eine Kombination aus beidem sein und in den Grundkörper spanend, beispielsweise durch Fräsen eingebracht sein oder bei einem als Umformteil, beispielsweise einem Schmiede- oder Gussteil hergestellten Grundkörper das Schmiedegesenk bzw. die Gießform so gestaltet sein, dass die Vertiefung bei der Herstellung des Grundkörpers geformt wird. Weitere geeignete Materialien sind Aluminium und Aluminiumlegierungen wie beispielsweise F22.
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Dabei kann weiter vorgesehen sein, dass das Dichtelement durch mindestens eine Halteplatte an dem Grundkörper fixiert ist. Auf diese Weise wird die Herstellung des Schlitzventils weiter vereinfacht, weil die Vertiefung nur auf einer Seite des Grundkörpers angeordnet sein kann und damit Undichtheiten vermieden werden. Nachdem das Dichtelement in die Vertiefung eingelegt ist, wird die Vertiefung mit dem Dichtelement durch eine oder mehrere Halteplatten in der Vertiefung fixiert, beispielsweise indem die Halteplatte oder die Halteplatten mit dem Grundkörper verschraubt werden. Zum Austausch eines verschlissenen Dichtelements können die Halteplatten auf einfache Art und Weise vom Grundkörper entfernt und anschließend wieder daran befestigt werden.
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Das vorgeschlagene Schlitzventil kann insbesondere zur vakuumdichten Abtrennung zwischen verschiedenen Bereichen oder Kammern einer Vakuumbeschichtungsanlage, beispielsweise einer Vakuum-Durchlaufbeschichtungsanlage für flächige Substrate wie Glasscheiben, Folienbahnen oder dergleichen verwendet werden. Hierzu wird der Grundkörper des Schlitzventils an einer Kammerwand, beispielsweise einer Trennwand im Innern der Anlage, die verschiedene Bereiche voneinander trennt, angebracht.
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Um den Innendruck des Hohlraums des Dichtelements relativ zum Umgebungsdruck, also beispielsweise dem Prozessvakuum im Innern der Anlagenkammer einstellen zu können, kann beispielsweise mindestens eine Luftleitung von außerhalb der Anlagenkammer zum Schlitzventil geführt sein und dort in den Hohlraum des Dichtelements führen.
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Wie oben bereits beschrieben, kann die Aufrechterhaltung des gewählten Innendrucks durch eines oder mehrere Ventile gewährleistet sein, die wahlweise geöffnet werden, um den Innendruck zu verändern und die verschlossen werden, um diesen Innendruck aufrechtzuerhalten. Diese können allerdings auch an oder außerhalb der Anlagenkammer angeordnet sein, wie ebenfalls oben bereits beschrieben.
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Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen
- 1 eine Darstellung des Ausführungsbeispiels in drei Ansichten,
- 2 einen perspektivischen Halbschnitt,
- 3 einen Endbereich von Transferöffnung und Dichtelement,
- 4 das Dichtelement,
- 5 das tropfenförmige Formstück, und
- 6 eine Ansicht eines Endbereichs der Ventilöffnung mit einem darin eingeschlossenen Substrat.
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Dargestellt ist ein Schlitzventil mit einem Grundkörper 2, der alle anderen Elemente des Schlitzventils aufnimmt und fixiert. Der Grundkörper 2 weist eine schlitzförmige Transferöffnung 21 auf, durch die ein flächiges Substrat in einer Substrattransportebene 8 hindurchgeführt werden kann.
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Ein Endlosschlauch, der im Ausführungsbeispiel einen quadratischen Querschnitt aufweist, ist das eigentliche Dichtelement 1. Es handelt sich dabei um ein Hohlprofil, das einen Hohlraum 11 einschließt. Der Hohlraum 11 erstreckt sich ununterbrochen um die gesamte Transferöffnung 21 des Grundkörpers 2. Fixiert wird das Dichtelement 1 im Grundkörper 2 durch die Halteplatten 5 und 6, die mit dem Grundkörper 2 verschraubt sind.
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Das Dichtelement 1 besitzt seitlich von der schlitzförmigen Transferöffnung jeweils ein Ventil 4. Über dieses Ventil 4 erfolgt eine Beaufschlagung Hohlraums 11 des Dichtelements 1 mit Pressluft oder einem inerten Gas, das jedem Ventil 4 durch hier nicht dargestellte Luftleitungen zugeführt wird, wenn das Schlitzventil geschlossen werden soll und durch die auch die Luft abgepumpt wird, wenn das Schlitzventil wieder geöffnet werden soll.
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Je nach Betriebszustand wird über die Ventile 4 im Innern des Dichtelements 1, d.h. im Hohlraum 11, ein Differenzdruck gegenüber einer Anlagenkammer, beispielsweise einer Prozess- und/oder einer Eintrittskammer und/oder einer Austrittskammer, angelegt, beispielsweise ein relativer Überdruck, um die Transferöffnung des Schlitzventils zu verschließen. Die Höhe des Überdrucks ist ausschlaggebend für die Dichtheit des Schlitzventils, wenn sich in der Transferöffnung 21 ein Substrat wie Folie oder dergleichen befindet, d.h. wenn sich das Substrat durch die Transferöffnung 21 hindurch erstreckt.
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Um das Dichtelement 1 gleichmäßig aufzublasen, befindet sich je ein Ventil 4 in jedem Übergang 13, der zwei gerade Abschnitte 12 des Dichtelements 1 miteinander verbindet, vorzugsweise angesteuert über ein pneumatisches Wegeventil mit gleichlangen Pneumatikschläuchen.
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Als vorrangiges Material für das Dichtelement 1 wird Viton, EPDM (Ethylen-Propylen-Dien-Kautschuk) oder Silikon empfohlen.
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Um das Dichtelement 1 nicht zu knicken, damit der Hohlraum 11 nicht kollabiert, ist das Dichtelement 1 in den beiden Endbereichen der Transferöffnung 8 dadurch einen deutlich vergrößerten Krümmungsradius auf, dass es im Bereich der Übergänge 13 zwischen den beiden geraden Abschnitten 12 des Dichtelements 1 tropfen- oder birnenförmig geführt ist. Dies wird im Ausführungsbeispiel ermöglicht durch zwei tropfenförmige Formstücke 3, die mit dem Grundkörper 2 verschraubt sind und um die das Dichtelement 1 herumgeführt ist. Das im Ausführungsbeispiel tropfenförmige Formstück 3 weist auf seiner der schlitzförmigen Transferöffnung 21 zugewandten Seite eine Zahnstruktur 31 auf, die für eine verbesserte Dichtwirkung sorgt. Das Dichtelement 1 schmiegt sich im aufgeblasenen Zustand im Bereich zwischen dem tropfenförmigen Formstück 3, genauer gesagt der Zahnstruktur 31 des tropfenförmigen Formstücks 3, und dem Rand des Substrats 81, so aufeinander, dass die Transferöffnung 21 vollständig verschlossen wird.
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Das Dichtelement 1 wird als Verschleißteil betrachtet. Zum Austausch eines verschlissenen Dichtelements 1 kann dieses leicht demontiert und anschließend ein neues Dichtelement 1 montiert werden. Die Halteplatten 5 und 6 lassen sich zu diesem Zweck einfach abnehmen und wieder anbringen.
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Weiter sichtbar ist die umlaufende Dichtungsnut 7. In diese Dichtungsnut kann ein weiteres, hier nicht dargestelltes Dichtelement, beispielsweise ein O-Ring eingelegt werden, das die Dichtheit beispielsweise zwischen zwei benachbarten, hier nicht gezeigten Anlagenkammern herstellt, wenn das Schlitzventil mit einer Seite des Grundkörpers 2 an einer Kammerwand angeschraubt wird.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Dichtelement
- 11
- Hohlraum
- 12
- gerader Abschnitt
- 13
- Übergang
- 2
- Grundkörper
- 21
- Transferöffnung
- 3
- Formstück
- 31
- Zahnstruktur
- 4
- Ventil
- 5
- Halteplatte
- 6
- Halteplatte
- 7
- Dichtungsnut
- 8
- Substrattransportebene
- 81
- Substrat
