JPH0648162Y2 - 真空室内直線運動導入機 - Google Patents
真空室内直線運動導入機Info
- Publication number
- JPH0648162Y2 JPH0648162Y2 JP1987009600U JP960087U JPH0648162Y2 JP H0648162 Y2 JPH0648162 Y2 JP H0648162Y2 JP 1987009600 U JP1987009600 U JP 1987009600U JP 960087 U JP960087 U JP 960087U JP H0648162 Y2 JPH0648162 Y2 JP H0648162Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- linear motion
- magnet
- piston
- driven
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Actuator (AREA)
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空室内の被駆動体に、外気側から直線運動
を伝達する真空室内直線運動導入機の改良に関する。
を伝達する真空室内直線運動導入機の改良に関する。
（従来の技術） 従来の真空室内直線運動導入機は、真空室外にモータ
ー、ギア部を備え、モーターの回転運動を回転導入機を
用いて真空室内に導入し、真空室内で回転運動をプーリ
ー、ギア等で直線運動に変換するか、若しくは、真空室
から長いチューブを大気側に突出させて、チューブの外
側にで磁石または磁性体をチューブに沿って運動させ、
チューブ内の被駆動体に固定された磁石または磁性体を
磁気結合力を用いて駆動するのが殆どである。
ー、ギア部を備え、モーターの回転運動を回転導入機を
用いて真空室内に導入し、真空室内で回転運動をプーリ
ー、ギア等で直線運動に変換するか、若しくは、真空室
から長いチューブを大気側に突出させて、チューブの外
側にで磁石または磁性体をチューブに沿って運動させ、
チューブ内の被駆動体に固定された磁石または磁性体を
磁気結合力を用いて駆動するのが殆どである。
（考案が解決しようとする問題点） 従来の上記の真空室内直線運動導入機には次の欠点のい
ずれかがある。即ち、 １、機構が複雑で構成部品が多く、とかくコスト高にな
る。
ずれかがある。即ち、 １、機構が複雑で構成部品が多く、とかくコスト高にな
る。
２、真空室外の部材の占有床面積が大きい。
３、リークの可能性がある。
４、正常な作動を得るまでの調整に手間がかかる。
５、パーティクルが多い。
６、部品の寿命が短い。
（考案の目的） 本考案は、上記の問題を解決し、リークがなく、且つ簡
単な構造で信頼性の高い真空室内直線運動導入機を提供
することを目的とする。
単な構造で信頼性の高い真空室内直線運動導入機を提供
することを目的とする。
（問題を解決するための手段） 上記問題を解決するため、本考案は、圧縮空気で駆動さ
れるピストンを内蔵するシリンダーを、真空室内に設け
るとともに真空室の内部空間に対して密閉し、該ピスト
ンに磁石または磁性体を固定し、該シリンダーの外側で
且つ該真空室の内部に、直線ガイド部材に担架されて直
線運動可能な状態で被駆動体を配置し、前記磁石または
磁性体と磁気的に結合された磁石または磁性体をこの被
駆動体に固定した真空室内直線運動導入機を構成するも
のである。
れるピストンを内蔵するシリンダーを、真空室内に設け
るとともに真空室の内部空間に対して密閉し、該ピスト
ンに磁石または磁性体を固定し、該シリンダーの外側で
且つ該真空室の内部に、直線ガイド部材に担架されて直
線運動可能な状態で被駆動体を配置し、前記磁石または
磁性体と磁気的に結合された磁石または磁性体をこの被
駆動体に固定した真空室内直線運動導入機を構成するも
のである。
（作用） 圧縮空気を送ってシリンダー内部のピストンを前進、後
退させ、磁気結合力を利用してシリンダーの外で且つ真
空室内にある被駆動体を直線駆動する。
退させ、磁気結合力を利用してシリンダーの外で且つ真
空室内にある被駆動体を直線駆動する。
（実施例） 第１図は本考案の実施例の真空室内直線運動導入機の断
面図である。
面図である。
支持板1A（ここでは真空室壁を兼ねている）,1Bには、
Ｏリング10A,10Bを使ってシリンダー２が真空室内１に
密閉支持されている。即ち、シリンダー２は、真空室１
内に設けられるとともに真空室１の内部空間に対して密
封された状態になっている。両支持板1A,1Bは直線駆動
の範囲を限定する。
Ｏリング10A,10Bを使ってシリンダー２が真空室内１に
密閉支持されている。即ち、シリンダー２は、真空室１
内に設けられるとともに真空室１の内部空間に対して密
封された状態になっている。両支持板1A,1Bは直線駆動
の範囲を限定する。
支持板1A,1Bに固定された直線ガイド部材としての２本
のシャフト3,3′には、被駆動体６が、スライドベアリ
ング5,5′を用いて滑動自在に取り付けられており、こ
の被駆動体６には、シリンダー２を包み且つそれに滑合
するリング状の永久磁石4Aが固定されている。
のシャフト3,3′には、被駆動体６が、スライドベアリ
ング5,5′を用いて滑動自在に取り付けられており、こ
の被駆動体６には、シリンダー２を包み且つそれに滑合
するリング状の永久磁石4Aが固定されている。
この永久磁石4Aとシリンダー２の壁を隔てゝ磁気的に結
合するリング状永久磁石4Bが、ピストンを兼ねる磁石ホ
ルダー８に対し押え板７で固定されている。70は固定ボ
ルト、11A,11Bは圧縮空気用のＯリングである。9A,9Bは
圧縮空気用のパイプであって、図示しない配圧弁に連結
されている。
合するリング状永久磁石4Bが、ピストンを兼ねる磁石ホ
ルダー８に対し押え板７で固定されている。70は固定ボ
ルト、11A,11Bは圧縮空気用のＯリングである。9A,9Bは
圧縮空気用のパイプであって、図示しない配圧弁に連結
されている。
配圧弁が動作してパイプ9A,9Bのそれぞれが圧縮空気と
排気とに接続されるとピストン８がシリンダー２内を移
動し、ピストン８と一緒に動く永久磁石4Bと磁気的に連
結されている永久磁石4Aが、目的とする真空室内の被駆
動体６を直線駆動することになる。
排気とに接続されるとピストン８がシリンダー２内を移
動し、ピストン８と一緒に動く永久磁石4Bと磁気的に連
結されている永久磁石4Aが、目的とする真空室内の被駆
動体６を直線駆動することになる。
上記の直線運動導入機構はギア、チェイン、プーリー等
の運動伝達部を持たない。従って、パーティクルの発生
がない。且つ、従来のものに較べて構成部品の点数が極
めて少なく、真空シール部で運動がないので、信頼性に
すぐれ長寿命であるとともにコスト減とリークの心配の
なくなる効果がある。
の運動伝達部を持たない。従って、パーティクルの発生
がない。且つ、従来のものに較べて構成部品の点数が極
めて少なく、真空シール部で運動がないので、信頼性に
すぐれ長寿命であるとともにコスト減とリークの心配の
なくなる効果がある。
また、運動が伝達される永久磁石4Aは、直線ガイド部材
としてのシャフト3,3′に担架されて直線運動可能な状
態で真空室の内部に配置された被駆動体６に固定されて
いるので、シリンダー２内の直線運動が直線性良く被駆
動体６に伝達される。この結果、真空室内の物体の移動
の直線性も良好なものとなっている。
としてのシャフト3,3′に担架されて直線運動可能な状
態で真空室の内部に配置された被駆動体６に固定されて
いるので、シリンダー２内の直線運動が直線性良く被駆
動体６に伝達される。この結果、真空室内の物体の移動
の直線性も良好なものとなっている。
なお、被駆動体６の運動は、物体の搬送，回動，交換等
に真空室内で様々の用途に用いられる。
に真空室内で様々の用途に用いられる。
（考案の効果） 本考案は、リークがなく、簡単な構造で信頼性が高く、
且つ運動の直線性が良好な、真空室内直線運動導入機を
提供する効果がある。
且つ運動の直線性が良好な、真空室内直線運動導入機を
提供する効果がある。
第１図は、本考案の実施例の真空室内直線運動導入機の
断面図である。 １……真空室内、1A,1B……支持板、２……シリンダ
ー、3,3′……シャフト、4A,4B……永久磁石、5,5′…
…スライドベアリング、６……被駆動体、８……ピスト
ン、9A,9B……圧縮空気用パイプ、10A,10B、11A,11B…
…Ｏリング。
断面図である。 １……真空室内、1A,1B……支持板、２……シリンダ
ー、3,3′……シャフト、4A,4B……永久磁石、5,5′…
…スライドベアリング、６……被駆動体、８……ピスト
ン、9A,9B……圧縮空気用パイプ、10A,10B、11A,11B…
…Ｏリング。
Claims (1)
- 【請求項１】圧縮空気で駆動されるピストンを内蔵する
シリンダーを、真空室内に設けるとともに真空室の内部
空間に対して密閉し、該ピストンに磁石または磁性体を
固定し、該シリンダーの外側で且つ該真空室の内部に、
直線ガイド部材に担架されて直線運動可能な状態で被駆
動体を配置し、前記磁石または磁性体と磁気的に結合さ
れた磁石または磁性体をこの被駆動体に固定したことを
特徴する真空室内直線運動導入機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987009600U JPH0648162Y2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 真空室内直線運動導入機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987009600U JPH0648162Y2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 真空室内直線運動導入機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63118403U JPS63118403U (ja) | 1988-07-30 |
| JPH0648162Y2 true JPH0648162Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=30795066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987009600U Expired - Lifetime JPH0648162Y2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-01-26 | 真空室内直線運動導入機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648162Y2 (ja) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5037177Y2 (ja) * | 1971-04-05 | 1975-10-29 | ||
| JPS5525034A (en) * | 1978-08-09 | 1980-02-22 | Taatoru Shokai:Kk | Goggles serving also as spectacles |
| JPS5876804U (ja) * | 1981-11-19 | 1983-05-24 | 焼結金属工業株式会社 | ロツドレスシリンダ |
| JPS59195205U (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-25 | ニユ−テツク工業株式会社 | シリンダユニツト |
| JPS6057004A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空装置用往復動シリンダ |
| JPH0419214Y2 (ja) * | 1986-01-21 | 1992-04-30 | ||
| JPS6378706U (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-25 |
-
1987
- 1987-01-26 JP JP1987009600U patent/JPH0648162Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63118403U (ja) | 1988-07-30 |
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