JPS6057004A - 真空装置用往復動シリンダ - Google Patents

真空装置用往復動シリンダ

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JPS6057004A
JPS6057004A JP16354783A JP16354783A JPS6057004A JP S6057004 A JPS6057004 A JP S6057004A JP 16354783 A JP16354783 A JP 16354783A JP 16354783 A JP16354783 A JP 16354783A JP S6057004 A JPS6057004 A JP S6057004A
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JP
Japan
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vacuum
cylinder
vacuum chamber
rod
piston
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Application number
JP16354783A
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Hiroshi Saeki
宏 佐伯
Yoichi Onishi
陽一 大西
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本装置は、真空装置内に外部より往復運動を伝達するだ
めの装置である。
従来例の構成とその問題点 従来、真空装置内に外部から往復運動を伝達させる装置
としては第１図のようｔＣ，直接；字シリンダ１を真空
容器２にフランジ３を介して取りつけていた。しかしこ
の方法であると、シリンダロッド４が動作するたびに、
畔シリンダ１の潤滑油が真空容器２内でガス化するため
、真空度が悪化するという現象が起きていた。
発明の目的 本発明は従来の欠点に鑑み、あらかじめストローク分だ
けのロッド部分の潤滑油をガス化して取り去り、真空容
器内の真空度への悪影響を低減するものである。
発明の構成 本発明は、畔シリンダのロッド突出部分の前面に真空引
き可能でしかもシリンダのストロークと同一かそれ以上
の摺動方向への長さを有する真空室を有し、前記真空室
内を７リンダロソト゛が貫通しているよう構成されてお
り、部屋はシール材により隔離されている。
実施例の説明 以下本発明の実施例について図面を参照しながら説明す
る。
第２図は本発明による真空装置用往復動書雫ツリンダで
ある。シリンタ゛５内にはピストン６が摺動し、ピスト
ン６にはＯリング了がはめこまれている。またピストン
６にはロッド８が固定されており、シリンダ５にもＱ　
ＩＪソングが挿入されている。一方０リング１ｏを介し
てリアグレート１１がシリンダ５に固定されている。穴
１２　、１３ｉｉ工ア導入排気口である。
シリンダ５には真空室１４が固定されており、Ｏリング
１５を介してロッド８が貫通している。
穴１６は真空ポンプ１７に連結されている。真空室１４
は真空槽１８に固定されている。
発明の効果 本発明により高真空を必要とする真空槽内で往復動力を
供給可能となり、一方；ヴシリンダの潤滑油量を制限す
ることなく使用することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空装置へ取りつけたエアシリンダの断
面図、第２図は本発明の一実施例における真空装置用エ
アシリンダの断面図である。 ６・・・・・ピストン、５・・・・・・シリンダ、８・
・・・ロッド、１４・・・・・・真空室。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 往復動可能なピストンと、このピストンが往復動可能な
    よう収納したシリンダと、前記ピストンと連結され、真
    空装置内に作動力を伝達可能なピストンロッドと、前記
    シリンダと前記真空装置との間に設けられ、内部を真空
    引き可能なよう構成され、前記シリンダロッドが摺動可
    能な貫通孔を有し、前記シリンダのストロークと同一長
    さかそれ以上の摺動方向への長さを有する真空室とから
    なる真空装置用往復動＝≠シリンダ。
JP16354783A 1983-09-05 1983-09-05 真空装置用往復動シリンダ Granted JPS6057004A (ja)

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JPS6057004A true JPS6057004A (ja) 1985-04-02
JPH0364724B2 JPH0364724B2 (ja) 1991-10-08

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JPH0364724B2 (ja) 1991-10-08

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