JPH079268B2 - 流体圧ベローズシリンダ - Google Patents
流体圧ベローズシリンダInfo
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- JPH079268B2 JPH079268B2 JP11523890A JP11523890A JPH079268B2 JP H079268 B2 JPH079268 B2 JP H079268B2 JP 11523890 A JP11523890 A JP 11523890A JP 11523890 A JP11523890 A JP 11523890A JP H079268 B2 JPH079268 B2 JP H079268B2
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- JP
- Japan
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- bellows
- vacuum container
- piston rod
- fluid pressure
- cylinder
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Actuator (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は真空容器に固定し、真空容器内の被駆動物に往
復直線運動を与えるための流体圧ベローズシリンダ、さ
らに詳しくいえば微少粒子（パーティクル）の混入を嫌
う真空容器内の真空状態を良好に保つことを考慮した流
体圧ベローズシリンダに関する。
復直線運動を与えるための流体圧ベローズシリンダ、さ
らに詳しくいえば微少粒子（パーティクル）の混入を嫌
う真空容器内の真空状態を良好に保つことを考慮した流
体圧ベローズシリンダに関する。
（従来の技術） 真空容器内に直線運動を導入する手段として加圧空気ま
たは加圧油を駆動源とする流体圧ベローズシリンダが広
く使用されている。
たは加圧油を駆動源とする流体圧ベローズシリンダが広
く使用されている。
第２図に従来の流体圧ベローズシリンダの一例を示す。
真空容器の壁24にシリンダ25が固定されており、容器壁
24に設けた孔24aを通じてピストンロッド23が真空容器
の内部に突出している。ピストンロッド23の先端部に真
空容器内の被駆動物28が固定されている。
24に設けた孔24aを通じてピストンロッド23が真空容器
の内部に突出している。ピストンロッド23の先端部に真
空容器内の被駆動物28が固定されている。
シリンダ25はピストンロッド23の軸受21,ベローズ22を
収容するベローズ室およびピストン26を収容するピスト
ン室を有している。
収容するベローズ室およびピストン26を収容するピスト
ン室を有している。
ベローズは真空容器と大気との遮断を行うためのもので
ある。また、ピストンはピストンロッド23に往復直線運
動を与えるものである。
ある。また、ピストンはピストンロッド23に往復直線運
動を与えるものである。
真空容器用の流体圧ベローズシリンダでは、上述のよう
に真空容器内と大気とを遮断するためにベローズが不可
欠な要素となっている。
に真空容器内と大気とを遮断するためにベローズが不可
欠な要素となっている。
そのため、ピストンロッドにベローズを取りつける部分
が必要で全長が長くなり、バランスを考慮して軸受はベ
ローズの左側すなわち被駆動物側に設けられていた。
が必要で全長が長くなり、バランスを考慮して軸受はベ
ローズの左側すなわち被駆動物側に設けられていた。
（発明が解決しようとする課題） 一般に真空容器内では微少粒子の混入は禁物である。
上述の従来の流体圧ベローズシリンダでは軸受21は真空
室に直接対面する構造になっていることから、軸受21と
ピストンロッド23との摩擦により発生する微少粒子が真
空容器内に侵入するという問題があった。
室に直接対面する構造になっていることから、軸受21と
ピストンロッド23との摩擦により発生する微少粒子が真
空容器内に侵入するという問題があった。
本発明の目的は軸受とピストンロッドとの摩擦により発
生する微少粒子を真空容器内に侵入させることのない流
体圧ベローズシリンダを提供することにある。
生する微少粒子を真空容器内に侵入させることのない流
体圧ベローズシリンダを提供することにある。
（課題を解決するための手段） 前記目的を達成するために本発明による流体圧ベローズ
シリンダは真空容器内にピストンロッドの先端を突出さ
せ、前記真空容器内の被駆動物に往復直線運動を与える
ため、前記真空容器に固定するシリンダ内に、隣接する
真空部分と大気空間を遮断するベローズと、流体によっ
て前記ピストンロッドを直線往復させるためのピストン
と、前記ベローズおよびピストンが取りつけられた前記
ピストンロッドを支持する軸受を有する流体圧ベローズ
シリンダにおいて、前記軸受を前記ベローズを境界にし
て前記被駆動側とは反対側に設けて構成してある。
シリンダは真空容器内にピストンロッドの先端を突出さ
せ、前記真空容器内の被駆動物に往復直線運動を与える
ため、前記真空容器に固定するシリンダ内に、隣接する
真空部分と大気空間を遮断するベローズと、流体によっ
て前記ピストンロッドを直線往復させるためのピストン
と、前記ベローズおよびピストンが取りつけられた前記
ピストンロッドを支持する軸受を有する流体圧ベローズ
シリンダにおいて、前記軸受を前記ベローズを境界にし
て前記被駆動側とは反対側に設けて構成してある。
（作用） このような構成によれば、真空容器内への微少粒子の侵
入を回避できる。
入を回避できる。
（実施例） 以下、図面を参照して本発明をさらに詳しく説明する。
第１図は本発明による流体圧ベローズシリンダの実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
真空容器の壁２にシリンダ４が取りつけられ、壁２に設
けられた孔2aを通じてピストンロッド５が容器内に突出
していることは従来の構造と同じである。
けられた孔2aを通じてピストンロッド５が容器内に突出
していることは従来の構造と同じである。
ピストンロッド５の先端部は真空容器内の被駆動物１が
取りつけられる。
取りつけられる。
シリンダ４の最も被駆動物側よりにベローズ室が、中央
部にピストン室が、そして最も遠い位置に軸受６が設け
られている。
部にピストン室が、そして最も遠い位置に軸受６が設け
られている。
ピストンロッド５の最も左位置にはフランジ5aが設けら
れ、フランジ5aにベローズ10の一端が、ベローズ室の側
壁にベローズ10の他端が固着され、ベローズ10とフラン
ジ5aよりなる部分がベローズ室に収容される。
れ、フランジ5aにベローズ10の一端が、ベローズ室の側
壁にベローズ10の他端が固着され、ベローズ10とフラン
ジ5aよりなる部分がベローズ室に収容される。
ピストンロッド５の中央部には円周部にＯリングを有す
るピストン８が設置され、ピストン室に収容される。ピ
ストンロッド５の最も右側のロッド部は軸受６に支持さ
れる。
るピストン８が設置され、ピストン室に収容される。ピ
ストンロッド５の最も右側のロッド部は軸受６に支持さ
れる。
ベローズ室とピストン室との間の摺接部4aおよびピスト
ン室と軸受６との間の摺接部4bにはそれぞれＯリング７
が挿入されており、各室間の気密性が確保されている。
ン室と軸受６との間の摺接部4bにはそれぞれＯリング７
が挿入されており、各室間の気密性が確保されている。
ピストン室には流体を排出したり、供給したりするため
のポート9a,9bが設けられている。
のポート9a,9bが設けられている。
ポート9a,9bより加圧油または加圧空気を供給すること
によってシリンダ内のピストンロッド５を往復直線運動
できる。ピストンロッド５の直線運動によりピストンロ
ッド５の先端に取付けられた被駆動物１は矢印11に示す
ように真空容器内を直線運動する。
によってシリンダ内のピストンロッド５を往復直線運動
できる。ピストンロッド５の直線運動によりピストンロ
ッド５の先端に取付けられた被駆動物１は矢印11に示す
ように真空容器内を直線運動する。
このとき、ベローズ10は伸び縮みして真空容器内の真空
と大気との遮断を保持する。
と大気との遮断を保持する。
ポート9cはベローズが動作することにより排出された
り、吸引されたりする空気を大気側に連通するための通
路である。
り、吸引されたりする空気を大気側に連通するための通
路である。
（発明の効果） 以上、説明したように本発明による流体圧ベローズシリ
ンダは軸受部分が真空容器内に直接臨んではおらず、真
空と大気とを遮断するベローズの大気側に設けてあるの
で、軸受とピストンロッドとの摩擦により発生する微少
粒子の真空容器内への混入を回避できるという効果があ
る。
ンダは軸受部分が真空容器内に直接臨んではおらず、真
空と大気とを遮断するベローズの大気側に設けてあるの
で、軸受とピストンロッドとの摩擦により発生する微少
粒子の真空容器内への混入を回避できるという効果があ
る。
第１図は本発明による流体圧ベローズシリンダの実施例
を示す断面図、第２図は従来の流体圧ベローズシリンダ
の一例を示す断面図である。 １……被駆動物 2,24……容器壁 ３……ベローズシリンダ 4,25……シリンダ 5,23……ピストンロッド 6,21……軸受 ７……Ｏリング 8,26……ピストン 9a,9b……ポート 10,22……ベローズ
を示す断面図、第２図は従来の流体圧ベローズシリンダ
の一例を示す断面図である。 １……被駆動物 2,24……容器壁 ３……ベローズシリンダ 4,25……シリンダ 5,23……ピストンロッド 6,21……軸受 ７……Ｏリング 8,26……ピストン 9a,9b……ポート 10,22……ベローズ
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器内にピストンロッドの先端を突出
させ、前記真空容器内の被駆動物に往復直線運動を与え
るため、前記真空容器に固定するシリンダ内に、隣接す
る真空部分と大気空間を遮断するベローズと、流体によ
って前記ピストンロッドを直線往復させるためのピスト
ンと、前記ベローズおよびピストンが取りつけられた前
記ピストンロッドを支持する軸受を有する流体圧ベロー
ズシリンダにおいて、前記軸受を前記ベローズを境界に
して前記被駆動側とは反対側に設けたことを特徴とする
流体圧ベローズシリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11523890A JPH079268B2 (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 流体圧ベローズシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11523890A JPH079268B2 (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 流体圧ベローズシリンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415374A JPH0415374A (ja) | 1992-01-20 |
| JPH079268B2 true JPH079268B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=14657767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11523890A Expired - Fee Related JPH079268B2 (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 流体圧ベローズシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079268B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITBO20060628A1 (it) * | 2006-09-12 | 2008-03-13 | Marposs Spa | Testa per il controllo di dimensioni lineari di pezzi meccanici |
| FR3000528B1 (fr) * | 2012-12-28 | 2015-02-27 | Commissariat Energie Atomique | Verin comportant au moins deux elements etanches et deformables capable de compenser les effets d'une difference de pression. |
-
1990
- 1990-05-02 JP JP11523890A patent/JPH079268B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0415374A (ja) | 1992-01-20 |
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