JPS59164407A - 真空室を有するシリンダ−装置 - Google Patents

真空室を有するシリンダ−装置

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Publication number
JPS59164407A
JPS59164407A JP3958983A JP3958983A JPS59164407A JP S59164407 A JPS59164407 A JP S59164407A JP 3958983 A JP3958983 A JP 3958983A JP 3958983 A JP3958983 A JP 3958983A JP S59164407 A JPS59164407 A JP S59164407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum chamber
bearing
vacuum
chamber
packing
Prior art date
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Pending
Application number
JP3958983A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiromasa Hashiura
橋浦　弘昌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TOURISHIYA KK
Original Assignee
TOURISHIYA KK
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Filing date
Publication date
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  • Pistons, Piston Rings, And Cylinders (AREA)
  • Actuator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は真空中或いは他の不純ガスの混入を許さぬ雰
囲気中で使用する／リンダー装置に関するものでその目
的とする所はピストン室Ｊにて加圧に使用したガスがピ
ストンロッド２とロッドカバー４の軸受部３との間の摺
動面を通して真空中等に洩れない様にするものでピスト
ン室１のロッドカバ−４前部にピストンロッド２の一部
ヲ覆う様な真空室を作りピストンロッド２の前記真空室
外見の突出部との間の軸受にはパツキン］０等を施しそ
の真空室を他の排気系に接続可能な接続口１３をつけだ
ものである 以下この発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る第１図は本発明の断面図であるピストン５がヘッドカ
バー６に設けられた加圧ロア及びロッドカバー４に設け
られた加圧口８より交互に加圧ガスを送ることによりピ
ストンロッド２はロッドカバー４の軸受部３を摺動して
前進後退の動作を繰返すものであるが本発明に於いては
前記ロッドカバー４の前部にシリンダーケース９及びパ
ツキン１０を容する軸受１１よりなる真空室１２を設は
更に之を排気装置に接続出来る様な接続口Ｉ３を備えだ
ものであり従来の７リングーに於いてに作動時加圧ガス
がロッドカバー４の軸受部３とピストンロッド２との摺
動部Ａとを通って加圧ガスが洩れる可能性があり真空中
等で使用するには不適当であった本発明に於いては前記
動作により摺動部Ａより洩れたガスは真空室１２に入い
り排気接続口１３を経由して排気装置により排気され更
に次の軸受１１の摺動部Ｂに設置したパツキン１０によ
り更に、完全洩れが阻止される又更に高真空が要求され
る場合には図中の９から１３に示した部分と全く同じ様
な構成を有する９′から１３′の部分を追加するこの様
にしてピストンロッド２の突出部の真空室の真空度の低
下或いは不純ガスの混入をきたさず作業を行える効果が
ある
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示し第１図は本体の断面図で
ある １　　ピストン室　　　　　２　ピストンロッド３　軸
受部　　　　　　４　ロットカバー５　ピストン　　　
　　　６　ヘットカバー７　加圧口　　　　　　８　加
圧口 ９　シリンダーケース１０　パツキン １１軸受　　１２真空室 １３　　接　　続　　口　　　　　　Ａ　　摺　　動　
部Ｂ　摺　動　部　　　　９′　シリンダーケース］　
０’　　パツキン　　　　１１′　　軸　受１２′真空
室　１３′接続口 Ｂ′摺動部

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １　油圧空圧／リノグーのロットカバー前部ニ真空室を
    設けた装置 ２　上記に於いてさらに其の前部に真空室を二重に設け
    た装置
JP3958983A 1983-03-09 1983-03-09 真空室を有するシリンダ−装置 Pending JPS59164407A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61165005A (ja) * 1985-01-11 1986-07-25 Koganei Seisakusho:Kk 流体圧作動機器
JPS6241408A (ja) * 1985-08-20 1987-02-23 Toshiba Corp 発塵防止機構
JPS62171505A (ja) * 1986-01-17 1987-07-28 フエスト　カ−ゲ− ピストン・シリンダ装置
JPS6435108A (en) * 1987-07-30 1989-02-06 Canon Kk Drive mechanism
JPH0187304U (ja) * 1987-12-01 1989-06-09

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JPS6435108A (en) * 1987-07-30 1989-02-06 Canon Kk Drive mechanism
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