JPS63188310U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63188310U JPS63188310U JP8166387U JP8166387U JPS63188310U JP S63188310 U JPS63188310 U JP S63188310U JP 8166387 U JP8166387 U JP 8166387U JP 8166387 U JP8166387 U JP 8166387U JP S63188310 U JPS63188310 U JP S63188310U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- cylinder
- sub
- main piston
- stop type
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Actuator (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例の中間停止型真空用シ
リンダーの正面断面図。第2図は従来の同様の図
である。 1……ピストンロツド、2……真空用ベローズ
、3……メインピストン、4……サブピストン、
5……シリンダーボデイ、6,7,8……給排気
ポート。
リンダーの正面断面図。第2図は従来の同様の図
である。 1……ピストンロツド、2……真空用ベローズ
、3……メインピストン、4……サブピストン、
5……シリンダーボデイ、6,7,8……給排気
ポート。
Claims (1)
- 真空室内の機器を駆動するメインピストンの後
方に、該メインピストンの後退位置を規制するサ
ブピストンを配置し、該規制は該サブピストンの
最前進位置で行なわしめ、両ピストンを単一のシ
リンダー内に収容したことを特徴とする中間停止
型真空用シリンダー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8166387U JPS63188310U (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8166387U JPS63188310U (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63188310U true JPS63188310U (ja) | 1988-12-02 |
Family
ID=30933606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8166387U Pending JPS63188310U (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63188310U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50127071A (ja) * | 1974-03-25 | 1975-10-06 | ||
JPS57120708A (en) * | 1981-01-19 | 1982-07-27 | Tokuda Seisakusho Ltd | Intermediate position stop type cylinder |
JPS6057004A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空装置用往復動シリンダ |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP8166387U patent/JPS63188310U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50127071A (ja) * | 1974-03-25 | 1975-10-06 | ||
JPS57120708A (en) * | 1981-01-19 | 1982-07-27 | Tokuda Seisakusho Ltd | Intermediate position stop type cylinder |
JPS6057004A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空装置用往復動シリンダ |