JPS6293505A - ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ - Google Patents
ベロ−ズシ−ル付エアシリンダInfo
- Publication number
- JPS6293505A JPS6293505A JP23085885A JP23085885A JPS6293505A JP S6293505 A JPS6293505 A JP S6293505A JP 23085885 A JP23085885 A JP 23085885A JP 23085885 A JP23085885 A JP 23085885A JP S6293505 A JPS6293505 A JP S6293505A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air cylinder
- piston rod
- bellows
- fluid
- air
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、直線導入機として用いられるエアシリンダに
関するものである。
関するものである。
従来の技術
真空装置、例えば、ウェハ処理を行う減圧ＣＵＤ装置に
は、真空容器内の台車などを搬送するために直線導入機
が設けられている。
は、真空容器内の台車などを搬送するために直線導入機
が設けられている。
この直線導入機には、一般に知られている真空装置用直
線導入機を用いているが、この導入機はストロークか、
例えば、６０ｍｍと短く、長いストローク例えば１００
〜２００ｍｍを必要と′ｌ−る真空装置に於いては使用
できない。
線導入機を用いているが、この導入機はストロークか、
例えば、６０ｍｍと短く、長いストローク例えば１００
〜２００ｍｍを必要と′ｌ−る真空装置に於いては使用
できない。
そこで、ストロークの長いエアシリンダを直線導入機と
して利用することが考えられる。
して利用することが考えられる。
発明が解決しようとする問題点
従来例のエアシリンダは、必要なストロークを得ること
ができるが、その反面、大気中での使用を想定している
ので、ピストンロットとシリンダとの間から駆動用流体
が漏れ、真空容器内の真空度を維持することが困難であ
る。
ができるが、その反面、大気中での使用を想定している
ので、ピストンロットとシリンダとの間から駆動用流体
が漏れ、真空容器内の真空度を維持することが困難であ
る。
本発明は、上記’ｌ（情に鑑み、駆動用流体が真空容器
内に漏れないエアシリンダを提供することを目的とする
。
内に漏れないエアシリンダを提供することを目的とする
。
問題点を解決するだめの手段
本発明は、真空容器の隔１割にエアシリンダの後端部を
挿着し、ピストンロットを覆うへローズの一端を「）「
記シリンダの後端部に固着し、他端をピストンロッドの
止め具に固着したことを特徴とするベローズシール付エ
アシリンダである。
挿着し、ピストンロットを覆うへローズの一端を「）「
記シリンダの後端部に固着し、他端をピストンロッドの
止め具に固着したことを特徴とするベローズシール付エ
アシリンダである。
作 用
エアシリンダの第１エアポートから駆動用流体を圧入す
ると、ピストンは、エアシリンダの頭部方向に押圧され
ピストンロッドも同方向に移動し、又、前記と逆にエア
シリンダの第２エアポートから駆動用流体を圧入′１−
るとピストンはエアシリンダの後端部方向に押圧されピ
ストンロットは１前記と逆方向に移動する。
ると、ピストンは、エアシリンダの頭部方向に押圧され
ピストンロッドも同方向に移動し、又、前記と逆にエア
シリンダの第２エアポートから駆動用流体を圧入′１−
るとピストンはエアシリンダの後端部方向に押圧されピ
ストンロットは１前記と逆方向に移動する。
これらのピストンロッドの移動に際し、エアシリンダと
ピストンロッドとの間から駆動用流体か漏れるとその流
体はベローズ内に流れ込み、そこに収容される。
ピストンロッドとの間から駆動用流体か漏れるとその流
体はベローズ内に流れ込み、そこに収容される。
実施例
本発明の一実施例を添付図面により説明するか同一図面
符号は、その名称も機能も同一である。
符号は、その名称も機能も同一である。
第１図において、１はエアシリンダで、頭部のヘッドカ
バー２と後端部のロッドカバー３は、シソンタチュウブ
４を介し・て一体内に連結されている。
バー２と後端部のロッドカバー３は、シソンタチュウブ
４を介し・て一体内に連結されている。
ヘッドカバー２には駆動用流体、例えば、空気を圧入す
る為の第２」アポ−ト５と３エアポート５と連通ずる７
ｉＷ体室６か形成されている。
る為の第２」アポ−ト５と３エアポート５と連通ずる７
ｉＷ体室６か形成されている。
ロットカバー３には、叱・助出流体をｊ下人゛するため
の第１エアポート７と、該エアポート７と連通する流体
通路８と、藷流体通路８からの流体漏れを防止するため
のＯリング９および含油ブツシュ１０を設けると共にロ
ットカバー３を真空容器１１の隔壁１２の取付穴１３に
挿着しシールする。１４は、０リング９および含油ブツ
シュ１０に嵌合されたピストンロットで、その一端は、
エアシリンダ内のピストン１５に固定され、他端は真空
容器内に突出し、その先端部には搬送機構のアタッチ部
１６と、正め貝１７か形成されている。
の第１エアポート７と、該エアポート７と連通する流体
通路８と、藷流体通路８からの流体漏れを防止するため
のＯリング９および含油ブツシュ１０を設けると共にロ
ットカバー３を真空容器１１の隔壁１２の取付穴１３に
挿着しシールする。１４は、０リング９および含油ブツ
シュ１０に嵌合されたピストンロットで、その一端は、
エアシリンダ内のピストン１５に固定され、他端は真空
容器内に突出し、その先端部には搬送機構のアタッチ部
１６と、正め貝１７か形成されている。
１８は、ピストンロッド１４を覆うベローズで、その一
端はロットカバー３の端部に溶７１され、又、その他端
は止め具１７に溶着され−Ｃいる。
端はロットカバー３の端部に溶７１され、又、その他端
は止め具１７に溶着され−Ｃいる。
なお図において１９はビ、ストン１５とシリンダチュー
ブ４との間をソールするピストンパンキンである。
ブ４との間をソールするピストンパンキンである。
第２エアポート５に駆動用流体、例えば、空気を圧入す
るとこの空気は、流体室６を通り、ピストン１５を矢印
Ａ１５方向に押圧し第１図の鎖線で示す線にピストンロ
ッド１４を同方向にストロークＳだけ移動させ、アタッ
チ部１６の台車（図示せず）を搬送する。
るとこの空気は、流体室６を通り、ピストン１５を矢印
Ａ１５方向に押圧し第１図の鎖線で示す線にピストンロ
ッド１４を同方向にストロークＳだけ移動させ、アタッ
チ部１６の台車（図示せず）を搬送する。
この時へローズ１８は変形しながら伸張し、止め具１７
とロッドカバー３との間をシールする。
とロッドカバー３との間をシールする。
又、前記と逆に第１エアポート７に空気を圧入すると、
この空気は、流体通路８を通ってピストン１５を押圧し
、ピストンロッド１４を矢印Ａ１５と逆方向に移動させ
、アタッチ部１６の台車を前記と逆方向に搬送して元の
状態に戻す。この時、流体通路８を通る空気の一部は、
ピストンロット１４を伝って真空容器側に流れようとす
るか、０リング９および含油ブツシュ１０によりシール
される。
この空気は、流体通路８を通ってピストン１５を押圧し
、ピストンロッド１４を矢印Ａ１５と逆方向に移動させ
、アタッチ部１６の台車を前記と逆方向に搬送して元の
状態に戻す。この時、流体通路８を通る空気の一部は、
ピストンロット１４を伝って真空容器側に流れようとす
るか、０リング９および含油ブツシュ１０によりシール
される。
しかし、このＯリング９や含油ブツシュ１０て十分シー
ルできず、空気か漏わることかあるか、この場合にはこ
の空気はへローズ１８の中に収容され、外部に漏わるこ
とはない。
ルできず、空気か漏わることかあるか、この場合にはこ
の空気はへローズ１８の中に収容され、外部に漏わるこ
とはない。
他の実ｈｈ例
本発明は、Ｆ記実施例に限定されるものではなく、例え
ばＴＳ２図に示す様にピストンロット１４をヘットカバ
ー２側に延長し、この延長したピストンロット１４ａを
ヘッドへローズ１８ａで覆い５該へローズ１８ａの一端
をヘットカバー２の端部に溶着し、その他端をピストン
口・ソトＬ４ａの止め具１７ａに溶着すると共に、ベロ
ーズ１８とヘツトヘロース１８ ａ ｆ、図示しないバ
イブて接続してちよい。
ばＴＳ２図に示す様にピストンロット１４をヘットカバ
ー２側に延長し、この延長したピストンロット１４ａを
ヘッドへローズ１８ａで覆い５該へローズ１８ａの一端
をヘットカバー２の端部に溶着し、その他端をピストン
口・ソトＬ４ａの止め具１７ａに溶着すると共に、ベロ
ーズ１８とヘツトヘロース１８ ａ ｆ、図示しないバ
イブて接続してちよい。
このように構成′Ｘ＋−るとへローズ内の駆動川流体は
一定量に保たれ圧力変動か小さくなるのでベローズ間の
圧力変動は緩和される。
一定量に保たれ圧力変動か小さくなるのでベローズ間の
圧力変動は緩和される。
従って、ベローズの破損などか防１）−できるのでへロ
ーズ内の駆動用流体か真空容器内に漏出することかなく
、真空度を確実に維持することかできる。
ーズ内の駆動用流体か真空容器内に漏出することかなく
、真空度を確実に維持することかできる。
発明の効果
本発明は、以上の様にピストンロッドを覆うベローズの
一端をエアシリンダの後端部に固着し、他端をピストン
ロッドの止め具に固着したのでエアシリンダとピストン
ロッドとの間から駆動用流体が漏れてもその流体は全て
ベローズ内に収容され真空容器内に流れ出ることはない
。
一端をエアシリンダの後端部に固着し、他端をピストン
ロッドの止め具に固着したのでエアシリンダとピストン
ロッドとの間から駆動用流体が漏れてもその流体は全て
ベローズ内に収容され真空容器内に流れ出ることはない
。
従って、真空容器内の真空度を維持することかできる。
又、本発明はエアシリンダを使用するので、長いストロ
ークを得ることが出来ると共にその製作も容易である。
ークを得ることが出来ると共にその製作も容易である。
第１図は、本発明の実施例を示す縦断面図、第２図は他
の実施例を示す縦断面図である。 １・・・・・・・・・エアシリンダ １１・・・・−・・・・真空容器 １２・・・・・・・・・隔壁 １４・・・・・・・・・ピストンロッド１７・・・・・
・・・・止め貝。 １８・・・・・・・・・ベローズ 代理人 弁理＋ 各 藤 佑 （ほか２名） 手続補正書 ６．補 ８□６□、４６□／Ｊ、 （１）１、事件の表示 昭和印年特願第２３０８５８ 号 ２、発明の名称 ベローズシール付エアシリンダ 名称 チル・サームコ株式会社 ４、代理人 正の内容 特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 明ＭＵＶＩＪｊ１５行１ｆｌ 「ＣＵＤ装置」を 「ＣｖＤ装置」に補正する〇 明細書５頁５行目 「示す騙に」を 「示す様に」に補正する。 ２、特許請求の範囲 真空容器の隔壁にエアシリンダの後端部を挿着し、ピス
トンロッドを置うベローズの一端を前記シリンダの後端
部に固着し、他漏をピストンロッドの止め具に固着した
ことを特徴とするベローズシール付エアシリンダ。
の実施例を示す縦断面図である。 １・・・・・・・・・エアシリンダ １１・・・・−・・・・真空容器 １２・・・・・・・・・隔壁 １４・・・・・・・・・ピストンロッド１７・・・・・
・・・・止め貝。 １８・・・・・・・・・ベローズ 代理人 弁理＋ 各 藤 佑 （ほか２名） 手続補正書 ６．補 ８□６□、４６□／Ｊ、 （１）１、事件の表示 昭和印年特願第２３０８５８ 号 ２、発明の名称 ベローズシール付エアシリンダ 名称 チル・サームコ株式会社 ４、代理人 正の内容 特許請求の範囲を別紙の通り補正する。 明ＭＵＶＩＪｊ１５行１ｆｌ 「ＣＵＤ装置」を 「ＣｖＤ装置」に補正する〇 明細書５頁５行目 「示す騙に」を 「示す様に」に補正する。 ２、特許請求の範囲 真空容器の隔壁にエアシリンダの後端部を挿着し、ピス
トンロッドを置うベローズの一端を前記シリンダの後端
部に固着し、他漏をピストンロッドの止め具に固着した
ことを特徴とするベローズシール付エアシリンダ。
Claims (1)
- 真空容器の隔壁にエアシリンダの後端部を挿着し、ピス
トンロッドを覆うベローズの一端を前記シリンダの後端
部に固着し、多端をピストンロッドの止め具に固着した
ことを特徴とするベローズシール付エアシリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23085885A JPS6293505A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23085885A JPS6293505A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293505A true JPS6293505A (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=16914404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23085885A Pending JPS6293505A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293505A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02212609A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 真空環境用作動筒装置 |
| JPH02212608A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 真空環境用作動筒 |
| KR20220036698A (ko) * | 2020-09-16 | 2022-03-23 | 주식회사 포스코 | 코크스 침전지 디스차징카 무동력 스크레이핑 장치 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4512416Y1 (ja) * | 1966-04-01 | 1970-05-30 | ||
| JPS4512674Y1 (ja) * | 1965-08-23 | 1970-06-02 | ||
| JPS5812704B2 (ja) * | 1979-07-09 | 1983-03-09 | 株式会社日立製作所 | 電界脱離イオン源 |
| JPS6057004A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空装置用往復動シリンダ |
| JPS6233169U (ja) * | 1985-08-16 | 1987-02-27 |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP23085885A patent/JPS6293505A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4512674Y1 (ja) * | 1965-08-23 | 1970-06-02 | ||
| JPS4512416Y1 (ja) * | 1966-04-01 | 1970-05-30 | ||
| JPS5812704B2 (ja) * | 1979-07-09 | 1983-03-09 | 株式会社日立製作所 | 電界脱離イオン源 |
| JPS6057004A (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空装置用往復動シリンダ |
| JPS6233169U (ja) * | 1985-08-16 | 1987-02-27 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02212609A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 真空環境用作動筒装置 |
| JPH02212608A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | 真空環境用作動筒 |
| KR20220036698A (ko) * | 2020-09-16 | 2022-03-23 | 주식회사 포스코 | 코크스 침전지 디스차징카 무동력 스크레이핑 장치 |
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