JPS5812704B2 - 電界脱離イオン源 - Google Patents
電界脱離イオン源Info
- Publication number
- JPS5812704B2 JPS5812704B2 JP8596579A JP8596579A JPS5812704B2 JP S5812704 B2 JPS5812704 B2 JP S5812704B2 JP 8596579 A JP8596579 A JP 8596579A JP 8596579 A JP8596579 A JP 8596579A JP S5812704 B2 JPS5812704 B2 JP S5812704B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- microneedle
- field desorption
- counter electrode
- desorption ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は質量分析計のイオン源の１つである電界脱離イ
オン源に関する。
オン源に関する。
従来電界脱離（以下ＦＤと略す）イオン源の構造は第１
図のようになっている。
図のようになっている。
第１図においてエミツタ２はリード線が紙面に直角方向
に上下２本配置され、上記リード線の先端に紙面と垂直
方向にマイクロ二一ドル３が張られている。
に上下２本配置され、上記リード線の先端に紙面と垂直
方向にマイクロ二一ドル３が張られている。
上記マイクロ二一ドル上に試料を塗布しておき、対向電
極４とマイクロニ一ドル３０間に高電界を印加すると同
時に、マイクロニ一ドルに電流を流す。
極４とマイクロニ一ドル３０間に高電界を印加すると同
時に、マイクロニ一ドルに電流を流す。
このようにして、マイクロニ一ドルと対向電極間の電界
と、マイクロニ一ドルの温度が適当な値になると、試料
がイオン化されてマイクロニ一ドルを脱離する。
と、マイクロニ一ドルの温度が適当な値になると、試料
がイオン化されてマイクロニ一ドルを脱離する。
脱離したイオンはレンズ電極５、アース電極６を通って
質量分析計に送られる。
質量分析計に送られる。
このようなＦＤイオン源において、出射されるイオン電
流は、対向電極４の中心に対するマイクロニ一ドル３の
位置が大きく関係する。
流は、対向電極４の中心に対するマイクロニ一ドル３の
位置が大きく関係する。
通常ＦＤプローブ１の軸を移動しながら出射されるイオ
ン電流が最犬になるように調節する。
ン電流が最犬になるように調節する。
この場合、マイクロ二一ドルの位置が太きくずれている
と、最初プローブ１をどちらに動かすか迷う場合があり
、操作上の欠点であった。
と、最初プローブ１をどちらに動かすか迷う場合があり
、操作上の欠点であった。
したがって本発明の目的は、上記欠点をなくし操作性の
良いＦＤイオン源を提供するにある。
良いＦＤイオン源を提供するにある。
上記の目的を達成するために、本発明のＦＤイオン源で
は、対向電極４の中心とマイクロニ一ドル３の中心が目
視できる構造になっている。
は、対向電極４の中心とマイクロニ一ドル３の中心が目
視できる構造になっている。
上記構造のＦＤイオン源を用いると、マイクロニ一ドル
３の中心が目視できるため操作性が向上する。
３の中心が目視できるため操作性が向上する。
以下本発明を実施例によって詳し《説明する。
第２図に本発明の実施例を示す。
第２図においてエミツタ２の先端につけられているマイ
クロ二一ドル３の上には試料が塗布されている。
クロ二一ドル３の上には試料が塗布されている。
上記マイクロニ一ドルと対向電極４０間に約８ＫＶの電
圧が印加される。
圧が印加される。
マイクロ二一ドルと対向電極との間の距離は約１．５Ｌ
Ｌである。
Ｌである。
この場合、マイクロニ一ドル３の位置はりペラ７、観察
孔１０、観察窓９を通して、観察される。
孔１０、観察窓９を通して、観察される。
従来多く用いられているＦＤイオン源では、ＦＤプロー
ブ１が観察孔１０、観察窓９の方向から設置されている
ため、マイクロニ一ドルを観察することは困難であった
が発明者らが先に特願昭５２−５４３４０として提案し
ているように、ＦＤプローブを直角方向から挿入するこ
とによりこのことが実用上可能となった。
ブ１が観察孔１０、観察窓９の方向から設置されている
ため、マイクロニ一ドルを観察することは困難であった
が発明者らが先に特願昭５２−５４３４０として提案し
ているように、ＦＤプローブを直角方向から挿入するこ
とによりこのことが実用上可能となった。
このように、目視により、マイクロニ一ドル３の位置が
、対向電極４の中心に合わされていると、マイクロニ一
ドル３に塗布されたイオンは、脱離イオン化されたのち
、質量分析計の中心軸に送り込むことができる。
、対向電極４の中心に合わされていると、マイクロニ一
ドル３に塗布されたイオンは、脱離イオン化されたのち
、質量分析計の中心軸に送り込むことができる。
微量の軌道修正はレンズ電極５の電圧を可変するのみで
十分である。
十分である。
観察窓９は透明のガラスで構成されており、真空容器８
の外側からイオン源を目視することができる。
の外側からイオン源を目視することができる。
マイクロニードル３が、イオン化箱１１に囲まれている
ため良く観察できない場合は、試料を塗布する前に、マ
イクロ二一ドルに流す電流と上げて、マイクロニードル
を発光させることにより観察可能となる。
ため良く観察できない場合は、試料を塗布する前に、マ
イクロ二一ドルに流す電流と上げて、マイクロニードル
を発光させることにより観察可能となる。
また、マイクロ二一ドルの近くにランプなどの照明手段
を設けることによっても観察可能となる。
を設けることによっても観察可能となる。
照明手段は、イオン化箱１１の内部でも、外部に設置し
て光路を設ける方法でも良い。
て光路を設ける方法でも良い。
イオン化箱１１のないような開放形の場合は、観察窓９
から入った光だけでもマイクロニードルを十分観察する
ことが可能である。
から入った光だけでもマイクロニードルを十分観察する
ことが可能である。
以上説明したごとく本発明によればＦＤの分析操作が極
めて容易になった。
めて容易になった。
第１図は従来技術の説明図、第２図は本発明の一実施例
の説明図である。 ３・・・・・・マイクロニ一ドル、４・・・・・・対向
電極、８・・・・・・真空容器、９・・・・・・観察窓
。
の説明図である。 ３・・・・・・マイクロニ一ドル、４・・・・・・対向
電極、８・・・・・・真空容器、９・・・・・・観察窓
。
Claims (1)
- １ 真空容器内に保持されたマイクロ二一ドルと対向電
極間に高電界を印加してマイクロニ一ドルに塗布した試
料を脱離イオン化する電界脱離イオン源において、上記
真空容器の１部であって上記マイクロ二一ドルと対向電
極の対向方向の延長上に上記真空容器の内部観察が可能
な窓を設けたことを特徴とする電界脱離イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8596579A JPS5812704B2 (ja) | 1979-07-09 | 1979-07-09 | 電界脱離イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8596579A JPS5812704B2 (ja) | 1979-07-09 | 1979-07-09 | 電界脱離イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5611844A JPS5611844A (en) | 1981-02-05 |
| JPS5812704B2 true JPS5812704B2 (ja) | 1983-03-09 |
Family
ID=13873441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8596579A Expired JPS5812704B2 (ja) | 1979-07-09 | 1979-07-09 | 電界脱離イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5812704B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6293505A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-30 | Teru Saamuko Kk | ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ |
| JPS63158603U (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-18 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62131236U (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-19 |
-
1979
- 1979-07-09 JP JP8596579A patent/JPS5812704B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6293505A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-30 | Teru Saamuko Kk | ベロ−ズシ−ル付エアシリンダ |
| JPS63158603U (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5611844A (en) | 1981-02-05 |
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