JP3346838B2 - 回転運動機構 - Google Patents
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- B23Q16/02—Indexing equipment
- B23Q16/022—Indexing equipment in which only the indexing movement is of importance
- B23Q16/026—Indexing equipment in which only the indexing movement is of importance by converting a reciprocating or oscillating movement into a rotary indexing movement
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/52—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism a single rotating pair
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
-
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-
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- Y10T74/2036—Pair of power elements
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回転運動機構に関し、一
層詳細には出力軸を軸線を中心として回転させる回転運
動機構に関する。
層詳細には出力軸を軸線を中心として回転させる回転運
動機構に関する。
【0002】
【従来の技術】出力軸を軸線を中心として回転させる回
転運動機構としては、例えば加工用インデックステーブ
ルが知られている。インデックステーブルは、モータの
回転を減速機構を介して出力軸の回転に変換し、出力軸
に取り付けられたテーブルを出力軸の軸線を中心として
回転させる構成になっている。テーブル上に載置された
ワークの加工工程に応じてテーブルを所定角度回動さ
せ、順次加工工程を進める。テーブルを回動させてワー
クを所定位置へ正確に移動させるために、テーブルの回
動角度が制御される。この制御は、モータの回転、ひい
ては出力軸の回転角度を制御することで行われる。
転運動機構としては、例えば加工用インデックステーブ
ルが知られている。インデックステーブルは、モータの
回転を減速機構を介して出力軸の回転に変換し、出力軸
に取り付けられたテーブルを出力軸の軸線を中心として
回転させる構成になっている。テーブル上に載置された
ワークの加工工程に応じてテーブルを所定角度回動さ
せ、順次加工工程を進める。テーブルを回動させてワー
クを所定位置へ正確に移動させるために、テーブルの回
動角度が制御される。この制御は、モータの回転、ひい
ては出力軸の回転角度を制御することで行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の回転運動機構には次のような課題がある。例えば
上記のインデックステーブルの場合、テーブルの回動角
度の制御は出力軸の回転角度の制御で行われる。この種
の制御において、高精度の機構を使用しても誤差は避け
ることができない。インデックステーブルの場合、特に
ワーク等は、作業空間を確保する等の理由からテーブル
の外縁部近傍に載置される。そのため、出力軸における
制御誤差が僅かであっても出力軸から遠く離れた当該外
縁部近傍では当該誤差が拡大されてしまい位置決め精度
を高くするのが困難であるという課題がある。従って、
本発明は出力軸の回転角度制御を高精度で行い得る回転
運動機構を提供することを目的とする。
従来の回転運動機構には次のような課題がある。例えば
上記のインデックステーブルの場合、テーブルの回動角
度の制御は出力軸の回転角度の制御で行われる。この種
の制御において、高精度の機構を使用しても誤差は避け
ることができない。インデックステーブルの場合、特に
ワーク等は、作業空間を確保する等の理由からテーブル
の外縁部近傍に載置される。そのため、出力軸における
制御誤差が僅かであっても出力軸から遠く離れた当該外
縁部近傍では当該誤差が拡大されてしまい位置決め精度
を高くするのが困難であるという課題がある。従って、
本発明は出力軸の回転角度制御を高精度で行い得る回転
運動機構を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、第1の方向
へ平行に配設された1対の第1軸ガイドと、前記第1の
方向に対して直角な第2の方向へ平行に配設された1対
の第2軸ガイドと、前記第1軸ガイドと平行に配され、
各端部がそれぞれ前記第2軸ガイドへ移動可能に連繋さ
れ、第2軸ガイドに沿って前記第2の方向へ移動可能な
第1軸移動ガイドと、前記第2軸ガイドと平行に配さ
れ、各端部がそれぞれ前記第1軸ガイドへ移動可能に連
繋され、第1軸ガイドに沿って前記第1の方向へ移動可
能な第2軸移動ガイドと、前記第1軸移動ガイドと第2
軸移動ガイド上を移動可能な移動体と、該移動体を前記
第1の方向へ移動させるための第1の駆動手段と、前記
移動体を前記第2の方向へ移動させるための第2の駆動
手段と、軸線を中心として回転可能な出力軸と、一端部
が前記移動体に対して回動可能、かつ長さ方向へ移動可
能に連繋され、他端部は前記出力軸の一端へ固定され、
移動体が出力軸の周囲を旋回した際には出力軸を回転さ
せるレバー片とを具備することを特徴とする。また、前
記第1の駆動手段は、前記移動体を前記第1の方向へ移
動させるための第1のボールネジと、該第1のボールネ
ジを回転させるための第1のモータとから成り、前記第
2の駆動手段は、前記移動体を前記第2の方向へ移動さ
せるための第2のボールネジと、該第2のボールネジを
回転させるための第2のモータとから成ることで精度を
高くすることができる。 また、前記出力軸へ回転テーブ
ルが固定されていることで、好適なインデックステーブ
ルを得ることができる。さらに、上記の回転運動機構に
おいて、前記第1軸移動ガイドの前記第1軸ガイドとの
平行度を保持するための第1の平行保持機構と、前記第
2軸移動ガイドの前記第2軸ガイドとの平行度を保持す
るための第2の平行保持機構を設けてもよい。また、前
記第1の平行保持機構および前記第2の平行保持機構
は、ラック・ピニオン機構であってもよい。
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、第1の方向
へ平行に配設された1対の第1軸ガイドと、前記第1の
方向に対して直角な第2の方向へ平行に配設された1対
の第2軸ガイドと、前記第1軸ガイドと平行に配され、
各端部がそれぞれ前記第2軸ガイドへ移動可能に連繋さ
れ、第2軸ガイドに沿って前記第2の方向へ移動可能な
第1軸移動ガイドと、前記第2軸ガイドと平行に配さ
れ、各端部がそれぞれ前記第1軸ガイドへ移動可能に連
繋され、第1軸ガイドに沿って前記第1の方向へ移動可
能な第2軸移動ガイドと、前記第1軸移動ガイドと第2
軸移動ガイド上を移動可能な移動体と、該移動体を前記
第1の方向へ移動させるための第1の駆動手段と、前記
移動体を前記第2の方向へ移動させるための第2の駆動
手段と、軸線を中心として回転可能な出力軸と、一端部
が前記移動体に対して回動可能、かつ長さ方向へ移動可
能に連繋され、他端部は前記出力軸の一端へ固定され、
移動体が出力軸の周囲を旋回した際には出力軸を回転さ
せるレバー片とを具備することを特徴とする。また、前
記第1の駆動手段は、前記移動体を前記第1の方向へ移
動させるための第1のボールネジと、該第1のボールネ
ジを回転させるための第1のモータとから成り、前記第
2の駆動手段は、前記移動体を前記第2の方向へ移動さ
せるための第2のボールネジと、該第2のボールネジを
回転させるための第2のモータとから成ることで精度を
高くすることができる。 また、前記出力軸へ回転テーブ
ルが固定されていることで、好適なインデックステーブ
ルを得ることができる。さらに、上記の回転運動機構に
おいて、前記第1軸移動ガイドの前記第1軸ガイドとの
平行度を保持するための第1の平行保持機構と、前記第
2軸移動ガイドの前記第2軸ガイドとの平行度を保持す
るための第2の平行保持機構を設けてもよい。また、前
記第1の平行保持機構および前記第2の平行保持機構
は、ラック・ピニオン機構であってもよい。
【0005】
【作用】作用について説明する。レバー片は、一端部が
移動体に対して回動可能、かつ長さ方向へ移動可能に連
繋され、、他端部は軸線を中心として回転可能な出力軸
の一端へ固定されている。そこで、第1のボールネジお
よび第2のボールネジを回転させることにより、移動体
が出力軸の周囲を旋回した際には出力軸は軸線を中心と
して回転可能になっている。特に、第1軸移動ガイドの
第1軸ガイドとの平行度を保持するための第1の平行保
持機構と、第2軸移動ガイドの第2軸ガイドとの平行度
を保持するための第2の平行保持機構を設けると、移動
体の変位に伴い第1軸移動ガイドおよび第2軸移動ガイ
ドが、第1軸ガイドおよび第2軸ガイドに対して傾斜し
ようとしても第1の平行保持機構および第2の平行保持
機構により当該傾斜を防止可能となる。
移動体に対して回動可能、かつ長さ方向へ移動可能に連
繋され、、他端部は軸線を中心として回転可能な出力軸
の一端へ固定されている。そこで、第1のボールネジお
よび第2のボールネジを回転させることにより、移動体
が出力軸の周囲を旋回した際には出力軸は軸線を中心と
して回転可能になっている。特に、第1軸移動ガイドの
第1軸ガイドとの平行度を保持するための第1の平行保
持機構と、第2軸移動ガイドの第2軸ガイドとの平行度
を保持するための第2の平行保持機構を設けると、移動
体の変位に伴い第1軸移動ガイドおよび第2軸移動ガイ
ドが、第1軸ガイドおよび第2軸ガイドに対して傾斜し
ようとしても第1の平行保持機構および第2の平行保持
機構により当該傾斜を防止可能となる。
【0006】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。なお、本実施例では回転運動機構の
例としてインデックステーブルを例に挙げて説明する。
図1は本実施例の回転運動機構を採用したインデックス
テーブルの平面図であり、図2はその内部構造を示した
平面図であり、図3は移動体等の内部構造を示した部分
断面平面図であり、図4は正面断面図である。10は本
体を構成する上部カバーであり、12は本体を構成する
下部カバーである。上部カバー10と下部カバー12
は、四隅に配設された連結ブロック14を介して連結さ
れている。16は回転テーブルであり、後述する構成に
より上部カバー10の上方において回転可能になってい
る。回転テーブル16の上面には、例えば加工されるワ
ーク(不図示)が載置され、加工工程の進行に伴い回転
する回転テーブル16によって所定位置へ移動される。
面と共に詳述する。なお、本実施例では回転運動機構の
例としてインデックステーブルを例に挙げて説明する。
図1は本実施例の回転運動機構を採用したインデックス
テーブルの平面図であり、図2はその内部構造を示した
平面図であり、図3は移動体等の内部構造を示した部分
断面平面図であり、図4は正面断面図である。10は本
体を構成する上部カバーであり、12は本体を構成する
下部カバーである。上部カバー10と下部カバー12
は、四隅に配設された連結ブロック14を介して連結さ
れている。16は回転テーブルであり、後述する構成に
より上部カバー10の上方において回転可能になってい
る。回転テーブル16の上面には、例えば加工されるワ
ーク(不図示)が載置され、加工工程の進行に伴い回転
する回転テーブル16によって所定位置へ移動される。
【0007】18a、18bはX軸方向(第1の方向)
へ平行に配設された1対のX軸ガイド(第1軸ガイド)
である。X軸ガイド18a、18bは直動ガイドであ
り、下部カバー12上面に固定されている。20a、2
0bはY軸方向(第2の方向)へ平行に配設された1対
のY軸ガイド(第2軸ガイド)である。Y軸ガイド20
a、20bは、X軸ガイド18a、18bに対して直角
な方向へ配設されている。Y軸ガイド20a、20bも
直動ガイドであり、下部カバー12上面に固定されてい
る。22はX軸ロッド(第1軸移動ガイド)であり、X
軸ガイド18a、18bと平行に配され、各端部は、Y
軸ガイド20a、20b上をY軸方向へスライド可能な
スライダ24c、24dへそれぞれ回転可能に挿通され
ている。従って、X軸ロッド22は、スライダ24c、
24dと共にX軸ガイド18a、18bと平行な状態で
Y軸方向へ移動可能になっている。なお、X軸ロッド2
2は、スライダ24c、24dに対して長さ方向へは、
止輪によって移動不能になっている。
へ平行に配設された1対のX軸ガイド(第1軸ガイド)
である。X軸ガイド18a、18bは直動ガイドであ
り、下部カバー12上面に固定されている。20a、2
0bはY軸方向(第2の方向)へ平行に配設された1対
のY軸ガイド(第2軸ガイド)である。Y軸ガイド20
a、20bは、X軸ガイド18a、18bに対して直角
な方向へ配設されている。Y軸ガイド20a、20bも
直動ガイドであり、下部カバー12上面に固定されてい
る。22はX軸ロッド(第1軸移動ガイド)であり、X
軸ガイド18a、18bと平行に配され、各端部は、Y
軸ガイド20a、20b上をY軸方向へスライド可能な
スライダ24c、24dへそれぞれ回転可能に挿通され
ている。従って、X軸ロッド22は、スライダ24c、
24dと共にX軸ガイド18a、18bと平行な状態で
Y軸方向へ移動可能になっている。なお、X軸ロッド2
2は、スライダ24c、24dに対して長さ方向へは、
止輪によって移動不能になっている。
【0008】26はY軸ロッド(第2軸移動ガイド)で
あり、Y軸ガイド20a、20bと平行に配され、各端
部は、X軸ガイド18a、18b上をX軸方向へスライ
ド可能なスライダ24a、24bへそれぞれ回転可能に
挿通されている。従って、Y軸ロッド26は、スライダ
24a、24bと共にY軸ガイド20a、20bと平行
な状態でX軸方向へ移動可能になっている。なお、Y軸
ロッド26は、スライダ24a、24bに対して長さ方
向へは、止輪によって移動不能になっている。28は移
動体であり、下部にX軸ロッド22が回転可能に挿通さ
れ、上部にY軸ロッド26が回転可能に挿通されてい
る。移動体28は、スライド軸受を介してX軸ロッド2
2およびY軸ロッド26上をX軸方向およびY軸方向へ
スライド可能になっている。従って、移動体28はX軸
ガイド18a、18bとY軸ガイド20a、20bに囲
繞されて成る矩形平面29内において、2次元運動可能
になっている。
あり、Y軸ガイド20a、20bと平行に配され、各端
部は、X軸ガイド18a、18b上をX軸方向へスライ
ド可能なスライダ24a、24bへそれぞれ回転可能に
挿通されている。従って、Y軸ロッド26は、スライダ
24a、24bと共にY軸ガイド20a、20bと平行
な状態でX軸方向へ移動可能になっている。なお、Y軸
ロッド26は、スライダ24a、24bに対して長さ方
向へは、止輪によって移動不能になっている。28は移
動体であり、下部にX軸ロッド22が回転可能に挿通さ
れ、上部にY軸ロッド26が回転可能に挿通されてい
る。移動体28は、スライド軸受を介してX軸ロッド2
2およびY軸ロッド26上をX軸方向およびY軸方向へ
スライド可能になっている。従って、移動体28はX軸
ガイド18a、18bとY軸ガイド20a、20bに囲
繞されて成る矩形平面29内において、2次元運動可能
になっている。
【0009】30は第1のボールネジである高精度のX
軸ボールネジであり、X軸方向へ配されると共に、スラ
イダ24c、24d間へ回転可能に架設されている。X
軸ボールネジ30は、移動体28の下部内に固定されて
いるボールナット(不図示)へ螺合している。X軸ボー
ルネジ30が回転すると移動体28はX軸方向へ移動さ
れる。その移動の際に、Y軸ロッド26およびスライダ
24a、24b等が移動体28と一体にX軸方向へ移動
する。32は第2のボールネジである高精度のY軸ボー
ルネジであり、Y軸方向へ配されると共に、スライダ2
4a、24b間へ回転可能に架設されている。Y軸ボー
ルネジ32は、移動体28の上部内に固定されているボ
ールナット54へ螺合している。Y軸ボールネジ32が
回転すると移動体28はY軸方向へ移動される。その移
動の際に、X軸ロッド22およびスライダ24c、24
d等が移動体28と一体にY軸方向へ移動する。34は
出力軸であり、ボールベアリングを介し、上部カバー1
0に対して軸線を中心として回転可能になっている。出
力軸34の上端は、上部カバー10から突出しており、
回転テーブル16へ連結されている。従って、出力軸3
4が回転すると回転テーブル16が回転する。
軸ボールネジであり、X軸方向へ配されると共に、スラ
イダ24c、24d間へ回転可能に架設されている。X
軸ボールネジ30は、移動体28の下部内に固定されて
いるボールナット(不図示)へ螺合している。X軸ボー
ルネジ30が回転すると移動体28はX軸方向へ移動さ
れる。その移動の際に、Y軸ロッド26およびスライダ
24a、24b等が移動体28と一体にX軸方向へ移動
する。32は第2のボールネジである高精度のY軸ボー
ルネジであり、Y軸方向へ配されると共に、スライダ2
4a、24b間へ回転可能に架設されている。Y軸ボー
ルネジ32は、移動体28の上部内に固定されているボ
ールナット54へ螺合している。Y軸ボールネジ32が
回転すると移動体28はY軸方向へ移動される。その移
動の際に、X軸ロッド22およびスライダ24c、24
d等が移動体28と一体にY軸方向へ移動する。34は
出力軸であり、ボールベアリングを介し、上部カバー1
0に対して軸線を中心として回転可能になっている。出
力軸34の上端は、上部カバー10から突出しており、
回転テーブル16へ連結されている。従って、出力軸3
4が回転すると回転テーブル16が回転する。
【0010】36はレバー片であり、移動体28が出力
軸34の周囲を旋回した際には出力軸34を回転させ
る。レバー片36は、一端部が移動体28の上面に軸受
を介して軸着されている連繋部材38の凹溝40内へス
ライド可能に嵌合している。従って、移動体28は、レ
バー片36に対してレバー片36の長さ方向へ移動可能
かつ回動可能に連繋されている。また、レバー片36の
他端部は出力軸34の下端へ連結、固定されている。4
2は第1のモータであり、X軸ボールネジ30を回転さ
せる。第1のモータ42は停止ロック機構付きのサーボ
モータであり、スライダ24dに搭載されている。第1
のモータ42の回転方向を選択することにより、X軸ボ
ールネジ30の回転方向を選択でき、ひいては移動体2
8等のX軸方向の移動方向を決めることが可能となる。
軸34の周囲を旋回した際には出力軸34を回転させ
る。レバー片36は、一端部が移動体28の上面に軸受
を介して軸着されている連繋部材38の凹溝40内へス
ライド可能に嵌合している。従って、移動体28は、レ
バー片36に対してレバー片36の長さ方向へ移動可能
かつ回動可能に連繋されている。また、レバー片36の
他端部は出力軸34の下端へ連結、固定されている。4
2は第1のモータであり、X軸ボールネジ30を回転さ
せる。第1のモータ42は停止ロック機構付きのサーボ
モータであり、スライダ24dに搭載されている。第1
のモータ42の回転方向を選択することにより、X軸ボ
ールネジ30の回転方向を選択でき、ひいては移動体2
8等のX軸方向の移動方向を決めることが可能となる。
【0011】44は第2のモータであり、Y軸ボールネ
ジ32を回転させる。第2のモータ44も停止ロック機
構付きのサーボモータであり、スライダ24bに搭載さ
れている。第2のモータ44の回転方向を選択すること
により、Y軸ボールネジ32の回転方向を選択でき、ひ
いては移動体28等のY軸方向の移動方向を決めること
が可能となる。46a、46bはX軸ラックであり、下
部カバー12上面に固定されると共に、X軸方向へ平行
に配設されている。48a、48bはY軸ラックであ
り、下部カバー12上面に固定されると共に、Y軸方向
へ平行に配設されている。
ジ32を回転させる。第2のモータ44も停止ロック機
構付きのサーボモータであり、スライダ24bに搭載さ
れている。第2のモータ44の回転方向を選択すること
により、Y軸ボールネジ32の回転方向を選択でき、ひ
いては移動体28等のY軸方向の移動方向を決めること
が可能となる。46a、46bはX軸ラックであり、下
部カバー12上面に固定されると共に、X軸方向へ平行
に配設されている。48a、48bはY軸ラックであ
り、下部カバー12上面に固定されると共に、Y軸方向
へ平行に配設されている。
【0012】50a、50bはY軸ピニオンであり、ス
ライダ24c、24dの外側へ突出しているX軸ロッド
22の両端部に固定されている。Y軸ピニオン50a、
50bは、Y軸ラック48a、48bとそれぞれ噛合し
ている。X軸ロッド22が移動体28と共にY軸方向へ
移動される場合、Y軸ピニオン50a、50bはY軸ラ
ック48a、48b上を転動する。その際、X軸ロッド
22もY軸ピニオン50a、50bと一体に回転する。
X軸ロッド22の回転、移動中、X軸ロッド22をX軸
に対して傾斜させるような外力が作用してもY軸ピニオ
ン50a、50bとY軸ラック48a、48bが噛合し
ているのでX軸ロッド22のX軸ガイド18a、18b
との平行度を常時保持することが可能となる。すなわ
ち、Y軸ラック48a、48bとY軸ピニオン50a、
50bで第1の平行保持機構を構成する。
ライダ24c、24dの外側へ突出しているX軸ロッド
22の両端部に固定されている。Y軸ピニオン50a、
50bは、Y軸ラック48a、48bとそれぞれ噛合し
ている。X軸ロッド22が移動体28と共にY軸方向へ
移動される場合、Y軸ピニオン50a、50bはY軸ラ
ック48a、48b上を転動する。その際、X軸ロッド
22もY軸ピニオン50a、50bと一体に回転する。
X軸ロッド22の回転、移動中、X軸ロッド22をX軸
に対して傾斜させるような外力が作用してもY軸ピニオ
ン50a、50bとY軸ラック48a、48bが噛合し
ているのでX軸ロッド22のX軸ガイド18a、18b
との平行度を常時保持することが可能となる。すなわ
ち、Y軸ラック48a、48bとY軸ピニオン50a、
50bで第1の平行保持機構を構成する。
【0013】52a、52bはX軸ピニオンであり、ス
ライダ24a、24bの外側へ突出しているY軸ロッド
26の両端部に固定されている。X軸ピニオン52a、
52bは、X軸ラック46a、46bとそれぞれ噛合し
ている。Y軸ロッド26が移動体28と共にX軸方向へ
移動される場合、X軸ピニオン52a、52bはX軸ラ
ック46a、46b上を転動する。その際、Y軸ロッド
26もX軸ピニオン52a、52bと一体に回転する。
Y軸ロッド26の回転、移動中、Y軸ロッド26をY軸
に対して傾斜させるような外力が作用してもX軸ピニオ
ン52a、52bとX軸ラック46a、46bが噛合し
ているのでY軸ロッド26のY軸ガイド20a、20b
との平行度を常時保持することが可能となる。すなわ
ち、X軸ラック46a、46bとX軸ピニオン52a、
52bで第2の平行保持機構を構成する。
ライダ24a、24bの外側へ突出しているY軸ロッド
26の両端部に固定されている。X軸ピニオン52a、
52bは、X軸ラック46a、46bとそれぞれ噛合し
ている。Y軸ロッド26が移動体28と共にX軸方向へ
移動される場合、X軸ピニオン52a、52bはX軸ラ
ック46a、46b上を転動する。その際、Y軸ロッド
26もX軸ピニオン52a、52bと一体に回転する。
Y軸ロッド26の回転、移動中、Y軸ロッド26をY軸
に対して傾斜させるような外力が作用してもX軸ピニオ
ン52a、52bとX軸ラック46a、46bが噛合し
ているのでY軸ロッド26のY軸ガイド20a、20b
との平行度を常時保持することが可能となる。すなわ
ち、X軸ラック46a、46bとX軸ピニオン52a、
52bで第2の平行保持機構を構成する。
【0014】従って、高精度のX軸ボールネジ30およ
びY軸ボールネジ32の使用に加え、第1および第2の
平行保持機構を使用することにより、移動体28等の位
置決め精度をさらに向上させている。また、移動体28
の変位に伴いX軸ロッド22およびY軸ロッド26が、
X軸ガイド18a、18bおよびY軸ガイド20a、2
0bに対して傾斜しようとしても第1および第2の平行
保持機構が当該傾斜を防止可能となり、出力軸34から
安定した高精度の回転力を取り出すことができると共
に、機構全体の振動、騒音の発生等を防止することも可
能になっている。
びY軸ボールネジ32の使用に加え、第1および第2の
平行保持機構を使用することにより、移動体28等の位
置決め精度をさらに向上させている。また、移動体28
の変位に伴いX軸ロッド22およびY軸ロッド26が、
X軸ガイド18a、18bおよびY軸ガイド20a、2
0bに対して傾斜しようとしても第1および第2の平行
保持機構が当該傾斜を防止可能となり、出力軸34から
安定した高精度の回転力を取り出すことができると共
に、機構全体の振動、騒音の発生等を防止することも可
能になっている。
【0015】次に動作について説明する。本実施例にお
いて、X軸ボールネジ30とY軸ボールネジ32の駆動
制御は、第1のモータ42および第2のモータ44をマ
イクロコンピュータ内蔵の制御装置で制御することによ
り行われている。例えば、図2において、図示の状態で
第1のモータ42を駆動してX軸ボールネジ30を回転
させ、移動体28等をX軸方向右方へ移動させる。移動
体28がX軸方向右方の所定位置へ達したら、第1のモ
ータ42を停止し、第2のモータ44を駆動させ、Y軸
ボールネジ32を回転させ、移動体28等をY軸方向下
方へ移動させる。移動体28がY軸方向下方の所定位置
へ達したら、第2のモータ44を停止し、第1のモータ
42を駆動させ、X軸ボールネジ30を回転させ、移動
体28等をX軸方向左方へ移動させる。移動体28がX
軸方向左方の所定位置へ達したら、第1のモータ42を
停止し、第2のモータ44を駆動させ、Y軸ボールネジ
32を回転させ、移動体28等をY軸方向上方へ移動さ
せる。
いて、X軸ボールネジ30とY軸ボールネジ32の駆動
制御は、第1のモータ42および第2のモータ44をマ
イクロコンピュータ内蔵の制御装置で制御することによ
り行われている。例えば、図2において、図示の状態で
第1のモータ42を駆動してX軸ボールネジ30を回転
させ、移動体28等をX軸方向右方へ移動させる。移動
体28がX軸方向右方の所定位置へ達したら、第1のモ
ータ42を停止し、第2のモータ44を駆動させ、Y軸
ボールネジ32を回転させ、移動体28等をY軸方向下
方へ移動させる。移動体28がY軸方向下方の所定位置
へ達したら、第2のモータ44を停止し、第1のモータ
42を駆動させ、X軸ボールネジ30を回転させ、移動
体28等をX軸方向左方へ移動させる。移動体28がX
軸方向左方の所定位置へ達したら、第1のモータ42を
停止し、第2のモータ44を駆動させ、Y軸ボールネジ
32を回転させ、移動体28等をY軸方向上方へ移動さ
せる。
【0016】これを繰り返すことにより、移動体28は
出力軸34の周囲を連続的に時計方向へ旋回させること
ができる。移動体28の旋回の際、レバー片36の一端
部は連繋部材38が設けられているので、移動体28に
対して回動可能、かつ長さ方向へ移動可能になっている
ので、レバー片36はクランクとなり、出力軸34を軸
線を中心に時計方向へ回転させることができる。その結
果、回転テーブル16も同方向へ回転させることができ
る。なお、出力軸34および回転テーブル16を反時計
方向へ回転させる場合は、第1のモータ42および第2
のモータ44を制御して移動体28を上述と逆方向へ移
動させればよい。
出力軸34の周囲を連続的に時計方向へ旋回させること
ができる。移動体28の旋回の際、レバー片36の一端
部は連繋部材38が設けられているので、移動体28に
対して回動可能、かつ長さ方向へ移動可能になっている
ので、レバー片36はクランクとなり、出力軸34を軸
線を中心に時計方向へ回転させることができる。その結
果、回転テーブル16も同方向へ回転させることができ
る。なお、出力軸34および回転テーブル16を反時計
方向へ回転させる場合は、第1のモータ42および第2
のモータ44を制御して移動体28を上述と逆方向へ移
動させればよい。
【0017】回転テーブル16の回転角度を制御する場
合は、移動体28のX軸方向の位置とY軸方向の位置で
制御することができる。本実施例の場合、X軸ボールネ
ジ30とY軸ボールネジ32をサーボモータ42、44
で制御しているため、移動体28のX−Y位置を極めて
高い精度で決めることが可能である。加えて、移動体2
8の位置はレバー片36の最も外側であって、最も回転
移動量の大きな一端部の位置と略等しい。従って、大き
な移動距離内に比較的多くの位置決め制御位置を設定可
能となる。このことは移動体28のX軸方向およびY軸
方向の制御分解能、ひいては出力軸34と回転テーブル
16の回動角度の制御分解能を高くできることを意味す
る。レバー片36の最も内側である出力軸34近傍では
回転移動量が極めて小さいため、前記制御分解能を向上
させることは不可能である。また、本実施例ではレバー
片36の最も外側を移動体28で駆動するので、回転ト
ルクも大きくすることができ、重量のある回転テーブル
16であっても容易に回転させることができる。
合は、移動体28のX軸方向の位置とY軸方向の位置で
制御することができる。本実施例の場合、X軸ボールネ
ジ30とY軸ボールネジ32をサーボモータ42、44
で制御しているため、移動体28のX−Y位置を極めて
高い精度で決めることが可能である。加えて、移動体2
8の位置はレバー片36の最も外側であって、最も回転
移動量の大きな一端部の位置と略等しい。従って、大き
な移動距離内に比較的多くの位置決め制御位置を設定可
能となる。このことは移動体28のX軸方向およびY軸
方向の制御分解能、ひいては出力軸34と回転テーブル
16の回動角度の制御分解能を高くできることを意味す
る。レバー片36の最も内側である出力軸34近傍では
回転移動量が極めて小さいため、前記制御分解能を向上
させることは不可能である。また、本実施例ではレバー
片36の最も外側を移動体28で駆動するので、回転ト
ルクも大きくすることができ、重量のある回転テーブル
16であっても容易に回転させることができる。
【0018】さらに、第1のモータ42および第2のモ
ータ44を停止させた場合、モータ42、44によるX
軸ボールネジ30とY軸ボールネジ32のロック機能に
加え、Y軸ラック48a、48bとY軸ピニオン50
a、50bが噛合し、X軸ラック46a、46bとX軸
ピニオン52a、52bが噛合しているので回転テーブ
ル16の保持トルクも極めて大きくすることができる。
本実施例では図示しないが、回転テーブル16の実際の
回転角度等を計測するための検出手段(例えばロータリ
エンコーダ)を出力軸34へ設けてもよい。
ータ44を停止させた場合、モータ42、44によるX
軸ボールネジ30とY軸ボールネジ32のロック機能に
加え、Y軸ラック48a、48bとY軸ピニオン50
a、50bが噛合し、X軸ラック46a、46bとX軸
ピニオン52a、52bが噛合しているので回転テーブ
ル16の保持トルクも極めて大きくすることができる。
本実施例では図示しないが、回転テーブル16の実際の
回転角度等を計測するための検出手段(例えばロータリ
エンコーダ)を出力軸34へ設けてもよい。
【0019】本実施例では前述のように、レバー片36
の最も外側を移動体28で駆動することにより、出力軸
34等のの制御分解能を高くできる。従って、本実施例
に係る回転運動機構において、レバー片36の長さを長
くすると、ボールネジ30、32ほど精度が高くない駆
動手段(例えばタイミングベルトとタイミングプーリ、
チェーンとスプロケット等)をサーボモータで駆動して
移動体28をX−Y方向へ移動させる構造(例えば米国
特許第4、995、277号公報、図14参照)でも十
分な精度の回転運動機構を実現できる。つまり、この回
転運動機構は、ボールネジ以外の駆動手段でも有効な機
構を実現できる発展性を含む機構でもある。以上、本発
明の好適な実施例について種々述べて来たが、本発明は
上述の実施例に限定されるのではなく、例えば第1軸移
動ガイドと第2軸移動ガイドはロッドではなくプレート
上に固定された直動ガイドで構成し、移動体28を移動
可能に係合させてもよい等、発明の精神を逸脱しない範
囲でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんである。
の最も外側を移動体28で駆動することにより、出力軸
34等のの制御分解能を高くできる。従って、本実施例
に係る回転運動機構において、レバー片36の長さを長
くすると、ボールネジ30、32ほど精度が高くない駆
動手段(例えばタイミングベルトとタイミングプーリ、
チェーンとスプロケット等)をサーボモータで駆動して
移動体28をX−Y方向へ移動させる構造(例えば米国
特許第4、995、277号公報、図14参照)でも十
分な精度の回転運動機構を実現できる。つまり、この回
転運動機構は、ボールネジ以外の駆動手段でも有効な機
構を実現できる発展性を含む機構でもある。以上、本発
明の好適な実施例について種々述べて来たが、本発明は
上述の実施例に限定されるのではなく、例えば第1軸移
動ガイドと第2軸移動ガイドはロッドではなくプレート
上に固定された直動ガイドで構成し、移動体28を移動
可能に係合させてもよい等、発明の精神を逸脱しない範
囲でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【0020】
【発明の効果】本発明に係る回転運動機構を用いると、
レバー片は、一端部が移動体に対して回動可能、かつ長
さ方向へ移動可能に連繋され、、他端部は軸線を中心と
して回転可能な出力軸の一端へ固定されている。そこ
で、第1のボールネジおよび第2のボールネジを回転さ
せることにより、移動体が出力軸の周囲を旋回した際に
は出力軸は軸線を中心として回転する。出力軸の回転
は、移動体の位置を第1のボールネジと第2のボールネ
ジで制御することにより制御しているため、移動体の位
置を極めて高い精度で決めることが可能である。さら
に、移動体の位置はレバー片の最も外側であって、最も
回転移動量の大きな一端部の位置となるので、この大き
な移動距離内に移動体の位置決め制御位置を多数設定可
能となる。すなわち、移動体の位置決めの制御分解能、
ひいては出力軸の回動角度分解能を向上させることがで
きる。
レバー片は、一端部が移動体に対して回動可能、かつ長
さ方向へ移動可能に連繋され、、他端部は軸線を中心と
して回転可能な出力軸の一端へ固定されている。そこ
で、第1のボールネジおよび第2のボールネジを回転さ
せることにより、移動体が出力軸の周囲を旋回した際に
は出力軸は軸線を中心として回転する。出力軸の回転
は、移動体の位置を第1のボールネジと第2のボールネ
ジで制御することにより制御しているため、移動体の位
置を極めて高い精度で決めることが可能である。さら
に、移動体の位置はレバー片の最も外側であって、最も
回転移動量の大きな一端部の位置となるので、この大き
な移動距離内に移動体の位置決め制御位置を多数設定可
能となる。すなわち、移動体の位置決めの制御分解能、
ひいては出力軸の回動角度分解能を向上させることがで
きる。
【0021】特に、請求項2の構成を採用すると、移動
体の変位に伴い第1軸移動ガイドおよび第2軸移動ガイ
ドが、第1軸ガイドおよび第2軸ガイドに対して傾斜し
ようとしても第1の平行保持機構および第2の平行保持
機構により当該傾斜を防止可能となるので、さらに高精
度の制御が可能となり、運転中の振動、騒音の発生を防
止可能となる。また、第1のモータおよび第2のモータ
が停止した状態において、外力に対して変位を防止可能
な大きな保持トルクを得ることができる等の著効を奏す
る。
体の変位に伴い第1軸移動ガイドおよび第2軸移動ガイ
ドが、第1軸ガイドおよび第2軸ガイドに対して傾斜し
ようとしても第1の平行保持機構および第2の平行保持
機構により当該傾斜を防止可能となるので、さらに高精
度の制御が可能となり、運転中の振動、騒音の発生を防
止可能となる。また、第1のモータおよび第2のモータ
が停止した状態において、外力に対して変位を防止可能
な大きな保持トルクを得ることができる等の著効を奏す
る。
【図1】本発明に係る回転運動機構の実施例であるイン
デックステーブルの平面図。
デックステーブルの平面図。
【図2】実施例の内部構造を示した平面図。
【図3】実施例の移動体等の内部構造を示した部分断面
平面図。
平面図。
【図4】実施例の正面断面図。
18a、18b X軸ガイド 20a、20b Y軸ガイド 22 X軸ロッド 26 Y軸ロッド 28 移動体 29 矩形平面 30 X軸ボールネジ 32 Y軸ボールネジ 34 出力軸 36 レバー片 42 第1のモータ 44 第2のモータ 46a、46b X軸ラック 48a、48b Y軸ラック 50a、50b Y軸ピニオン 52a、52b X軸ピニオン
Claims (5)
- 【請求項1】 第1の方向へ平行に配設された1対の第
1軸ガイドと、 前記第1の方向に対して直角な第2の方向へ平行に配設
された1対の第2軸ガイドと、 前記第1軸ガイドと平行に配され、各端部がそれぞれ前
記第2軸ガイドへ移動可能に連繋され、第2軸ガイドに
沿って前記第2の方向へ移動可能な第1軸移動ガイド
と、 前記第2軸ガイドと平行に配され、各端部がそれぞれ前
記第1軸ガイドへ移動可能に連繋され、第1軸ガイドに
沿って前記第1の方向へ移動可能な第2軸移動ガイド
と、前記第1軸移動ガイドと第2軸移動ガイド上を移動可能
な移動体と、 該移動体を前記第1の方向へ移動させるための第1の駆
動手段と、 前記移動体を前記第2の方向へ移動させるための第2の
駆動手段と、 軸線を中心として回転可能な出力軸と、 一端部が前記移動体に対して回動可能、かつ長さ方向へ
移動可能に連繋され、他端部は前記出力軸の一端へ固定
され、移動体が出力軸の周囲を旋回した際には出力軸を
回転させるレバー片とを具備することを特徴とする回転
運動機構。 - 【請求項2】 前記第1の駆動手段は、前記移動体を前
記第1の方向へ移動させるための第1のボールネジと、
該第1のボールネジを回転させるための第1のモータと
から成り、 前記第2の駆動手段は、前記移動体を前記第2の方向へ
移動させるための第2のボールネジと、該第2のボール
ネジを回転させるための第2のモータとから成ることを
特徴とする請求項1記載の回転運動機構。 - 【請求項3】 前記出力軸へ回転テーブルが固定されて
いることを特徴とする請求項1又は2記載の回転運動機
構。 - 【請求項4】 前記第1軸移動ガイドの前記第1軸ガイ
ドとの平行度を保持するための第1の平行保持機構と、 前記第2軸移動ガイドの前記第2軸ガイドとの平行度を
保持するための第2の平行保持機構とを具備することを
特徴とする請求項1、2又は3記載の回転運動 機構。 - 【請求項5】 前記第1の平行保持機構および前記第2
の平行保持機構は、ラック・ピニオン機構であることを
特徴とする請求項4記載の回転運動機構。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15849993A JP3346838B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 回転運動機構 |
US08/264,933 US5481936A (en) | 1993-06-29 | 1994-06-24 | Rotary drive positioning system for an indexing table |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15849993A JP3346838B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 回転運動機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0712200A JPH0712200A (ja) | 1995-01-17 |
JP3346838B2 true JP3346838B2 (ja) | 2002-11-18 |
Family
ID=15673077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15849993A Expired - Fee Related JP3346838B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 回転運動機構 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5481936A (ja) |
JP (1) | JP3346838B2 (ja) |
Families Citing this family (67)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6380751B2 (en) * | 1992-06-11 | 2002-04-30 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having environment control enclosure |
US5345170A (en) * | 1992-06-11 | 1994-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems |
JPH0849756A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-02-20 | Sozoan:Kk | 回転運動機構 |
US6232789B1 (en) * | 1997-05-28 | 2001-05-15 | Cascade Microtech, Inc. | Probe holder for low current measurements |
US5561377A (en) * | 1995-04-14 | 1996-10-01 | Cascade Microtech, Inc. | System for evaluating probing networks |
US5914613A (en) * | 1996-08-08 | 1999-06-22 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system with local contact scrub |
US6002263A (en) * | 1997-06-06 | 1999-12-14 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having inner and outer shielding |
JPH11300557A (ja) * | 1998-04-15 | 1999-11-02 | Thk Co Ltd | 移動テーブル装置 |
US6256882B1 (en) * | 1998-07-14 | 2001-07-10 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
JP2000230991A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Takeshi Yanagisawa | 2次元運動機構 |
ATE411779T1 (de) * | 1999-04-07 | 2008-11-15 | Amo Mfg Usa Llc | Verbesserte schnittstelle für laseraugenchirurgie |
US6578264B1 (en) | 1999-06-04 | 2003-06-17 | Cascade Microtech, Inc. | Method for constructing a membrane probe using a depression |
US6445202B1 (en) * | 1999-06-30 | 2002-09-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
US6838890B2 (en) * | 2000-02-25 | 2005-01-04 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
US6483336B1 (en) | 2000-05-03 | 2002-11-19 | Cascade Microtech, Inc. | Indexing rotatable chuck for a probe station |
US6914423B2 (en) * | 2000-09-05 | 2005-07-05 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
US6965226B2 (en) * | 2000-09-05 | 2005-11-15 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
DE20114544U1 (de) * | 2000-12-04 | 2002-02-21 | Cascade Microtech Inc | Wafersonde |
JP4560235B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2010-10-13 | 日本トムソン株式会社 | 角度調整テーブル装置 |
US20030000257A1 (en) * | 2001-06-29 | 2003-01-02 | Chang Chester Hann Huei | Single step fiber preparation |
AU2002327490A1 (en) | 2001-08-21 | 2003-06-30 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
US6836135B2 (en) * | 2001-08-31 | 2004-12-28 | Cascade Microtech, Inc. | Optical testing device |
US6777964B2 (en) * | 2002-01-25 | 2004-08-17 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
US6983670B2 (en) * | 2002-04-09 | 2006-01-10 | Agilent Technologies, Inc. | Pinion gear type rotating device |
WO2003100445A2 (en) * | 2002-05-23 | 2003-12-04 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for testing a device under test |
US6847219B1 (en) * | 2002-11-08 | 2005-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low noise characteristics |
US6724205B1 (en) * | 2002-11-13 | 2004-04-20 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
US7250779B2 (en) * | 2002-11-25 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low inductance path |
US6861856B2 (en) * | 2002-12-13 | 2005-03-01 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
US7221172B2 (en) * | 2003-05-06 | 2007-05-22 | Cascade Microtech, Inc. | Switched suspended conductor and connection |
US7492172B2 (en) * | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
US7057404B2 (en) * | 2003-05-23 | 2006-06-06 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
US7250626B2 (en) * | 2003-10-22 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe testing structure |
DE202004021093U1 (de) * | 2003-12-24 | 2006-09-28 | Cascade Microtech, Inc., Beaverton | Aktiver Halbleiterscheibenmessfühler |
US7187188B2 (en) * | 2003-12-24 | 2007-03-06 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
US7330041B2 (en) * | 2004-06-14 | 2008-02-12 | Cascade Microtech, Inc. | Localizing a temperature of a device for testing |
JP4980903B2 (ja) * | 2004-07-07 | 2012-07-18 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | 膜懸垂プローブを具えるプローブヘッド |
KR20070058522A (ko) * | 2004-09-13 | 2007-06-08 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 양측 프루빙 구조 |
DE202005021436U1 (de) * | 2004-11-02 | 2008-02-14 | Cascade Microtech, Inc., Beaverton | Optisch verbessertes digitales Abbildungssystem |
US20060196299A1 (en) * | 2005-01-27 | 2006-09-07 | John Taboada | Seven Axis End Effector Articulating Mechanism |
US7535247B2 (en) * | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
US20060169897A1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-08-03 | Cascade Microtech, Inc. | Microscope system for testing semiconductors |
US7656172B2 (en) | 2005-01-31 | 2010-02-02 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
US7449899B2 (en) * | 2005-06-08 | 2008-11-11 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for high frequency signals |
US7638963B2 (en) * | 2005-09-26 | 2009-12-29 | Centricity Corporation | Rotary indexing table driven by an induction motor |
JP4376225B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2009-12-02 | 日本ベアリング株式会社 | テーブル装置 |
TWI302862B (en) * | 2006-05-18 | 2008-11-11 | Univ Chung Yuan Christian | Toggle-type positioning platform and toggle-type machine center |
US7443186B2 (en) * | 2006-06-12 | 2008-10-28 | Cascade Microtech, Inc. | On-wafer test structures for differential signals |
US7764072B2 (en) * | 2006-06-12 | 2010-07-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probing system |
US7403028B2 (en) * | 2006-06-12 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Test structure and probe for differential signals |
US7723999B2 (en) * | 2006-06-12 | 2010-05-25 | Cascade Microtech, Inc. | Calibration structures for differential signal probing |
DE202006020326U1 (de) | 2006-11-21 | 2008-05-21 | Thyssenkrupp Drauz Nothelfer Gmbh | Vorrichtung zur Positionierung von Bauteilen |
US7876114B2 (en) * | 2007-08-08 | 2011-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Differential waveguide probe |
US7888957B2 (en) * | 2008-10-06 | 2011-02-15 | Cascade Microtech, Inc. | Probing apparatus with impedance optimized interface |
WO2010059247A2 (en) | 2008-11-21 | 2010-05-27 | Cascade Microtech, Inc. | Replaceable coupon for a probing apparatus |
US8319503B2 (en) * | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
TWI367144B (en) * | 2009-05-05 | 2012-07-01 | Univ Chung Yuan Christian | Three-link toggle type positioning platform |
TW201117913A (en) * | 2009-11-16 | 2011-06-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Stage apparatus |
TWI395633B (zh) * | 2010-04-23 | 2013-05-11 | 私立中原大學 | 肘節式定位平台 |
CN103619533B (zh) * | 2011-02-15 | 2016-08-17 | 毫微光电子影像公司 | 连续扫描xy平移台 |
US9173483B2 (en) * | 2013-04-23 | 2015-11-03 | Office for Metropolitan Architecture (O.M.A.) Stadebouq B.V. | Article of furniture |
KR101383174B1 (ko) * | 2013-11-27 | 2014-04-09 | 윤슬(주) | 동축 구동 다방향 제어장치 |
CH710257A1 (de) * | 2014-10-16 | 2016-04-29 | Rieter Ag Maschf | Ballenöffner. |
CN106002330A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 王启先 | 一种用于加工的浮动式工作台装置 |
CN106002329A (zh) * | 2016-06-07 | 2016-10-12 | 王启先 | 一种简易的浮动式工作台机构 |
LU93157B1 (en) * | 2016-07-21 | 2018-01-23 | Aron Jinaru | Angular positioning generator device with variable speed and torque |
US11938677B2 (en) * | 2020-05-14 | 2024-03-26 | John Martin Harra | Positioning system |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS514307B1 (ja) * | 1970-12-29 | 1976-02-10 | ||
JP2601834B2 (ja) * | 1987-08-26 | 1997-04-16 | 株式会社東芝 | テーブル装置 |
JP2557316Y2 (ja) * | 1990-02-28 | 1997-12-10 | エヌティエヌ 株式会社 | 移動テーブル |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15849993A patent/JP3346838B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-06-24 US US08/264,933 patent/US5481936A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US5481936A (en) | 1996-01-09 |
JPH0712200A (ja) | 1995-01-17 |
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