JP2004242493A5 - - Google Patents

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Claims (13)

  1. 平行に配置された二つの圧電駆動体と、前記圧電駆動体の一方の端面に固定された固定部と、前記圧電駆動体の他方の端面に設けられ二つの前記圧電駆動体の中間位置に位置する接触部を有する突起と、前記突起と接する移動体と、前記突起と前記移動体の接触圧方向に移動可能に前記固定部を案内するガイド部材と、を有する圧電アクチュエータ。
  2. 平行に配置された三つ以上の圧電駆動体と、前記圧電駆動体の一方の端面に固定された固定部と、前記圧電駆動体の他方の端面に設けられ前記三つ以上の圧電駆動体の中間位置に位置する接触部を有する突起と、前記突起と接する移動体を有する圧電アクチュエータ。
  3. 前記圧電駆動体と前記固定部は一体的に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の圧電アクチュエータ。
  4. 請求項記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起と前記移動体の接触圧方向に移動可能に前記固定部を案内するガイド部材を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
  5. 請求項1または2記載の圧電アクチュエータにおいて、前記突起と前記移動体の接触圧方向と垂直な面にある前記突起の断面は前記移動体側から前記圧電駆動体側に向かうにつれて大きくなる部分を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
  6. 前記複数の圧電駆動体の中で、駆動信号を印加する圧電駆動体を選択することにより移動体の移動方向を変えることを特徴とする請求項1または2記載の圧電アクチュエータ。
  7. 前記複数の圧電駆動体のうち幾つかの圧電駆動体に印加する駆動信号と、他の幾つかの圧電駆動体に加える駆動信号の位相は異なることを特徴とする請求項1または2記載の圧電アクチュエータ。
  8. 前記圧電駆動体に印加する駆動信号の電圧振幅は圧電駆動体毎にそれぞれ異なることを特徴とする請求項1または2記載の圧電アクチュエータ。
  9. 平行に配置された二つの圧電駆動体と、前記圧電駆動体の一方の端面に固定された固定部と、前記圧電駆動体の他方の端面に設けられ二つの前記圧電駆動体の中間位置に位置する接触部を有する突起と、前記突起と接する移動体と、を有する圧電アクチュエータにおいて、
    前記二つの圧電駆動体の中で、駆動信号を印加する圧電駆動体を一つ選択することにより移動体の移動方向を変えることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  10. 平行に配置された二つの圧電駆動体と、前記圧電駆動体の一方の端面に固定された固定部と、前記圧電駆動体の他方の端面に設けられ二つの前記圧電駆動体の中間位置に位置する接触部を有する突起と、前記突起と接する移動体と、を有する圧電アクチュエータにおいて、
    前記二つの圧電駆動体のうち一方の圧電駆動体に印加する駆動信号と、他方の圧電駆動体に加える駆動信号の位相は異なることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  11. 平行に配置された二つの圧電駆動体と、前記圧電駆動体の一方の端面に固定された固定部と、前記圧電駆動体の他方の端面に設けられ二つの前記圧電駆動体の中間位置に位置する接触部を有する突起と、前記突起と接する移動体と、を有する圧電アクチュエータにおいて、
    前記圧電駆動体に印加する駆動信号の電圧振幅は圧電駆動体毎にそれぞれ異なることを特徴とする圧電アクチュエータ。
  12. 請求項1から11のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータを複数配置し、一つの移動体を駆動することを特徴とする圧電アクチュエータ。
  13. 請求項1から12のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータにより稼動部を駆動することを特徴とする電子機器。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4506704B2 (ja) * 2006-03-28 2010-07-21 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータ
JP2007325466A (ja) * 2006-06-05 2007-12-13 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
JP2010226895A (ja) * 2009-03-24 2010-10-07 Nikon Corp アクチュエータ、駆動装置、レンズユニット及び撮像装置
JP5212397B2 (ja) * 2010-02-12 2013-06-19 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータ

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5893477A (ja) * 1981-11-26 1983-06-03 Sony Corp 圧電モ−タ
JPS62105489A (ja) * 1985-11-01 1987-05-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 圧電アクチユエ−タユニツト
JPH0619340Y2 (ja) * 1987-09-25 1994-05-18 日産自動車株式会社 超音波リニアモータのレールへの支持構造
JPH01315269A (ja) * 1988-06-13 1989-12-20 Hitachi Ltd 超音波モータ
JPH08228494A (ja) * 1995-02-22 1996-09-03 Olympus Optical Co Ltd 超音波振動子および超音波モータ
JPH08275558A (ja) * 1995-03-28 1996-10-18 Fanuc Ltd 圧電モータ
JPH0993965A (ja) * 1995-09-25 1997-04-04 Olympus Optical Co Ltd 超音波振動子及び該超音波振動子を用いた超音波 モータ
JPH09117166A (ja) * 1995-10-12 1997-05-02 Olympus Optical Co Ltd 超音波モータ
JPH1175379A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Nikon Corp 駆動装置
JP2000152671A (ja) * 1998-11-05 2000-05-30 Japan Science & Technology Corp 超音波モータ
JP2002112563A (ja) * 2000-09-29 2002-04-12 Minolta Co Ltd アクチュエータの駆動方法および装置
JP4075363B2 (ja) * 2001-11-30 2008-04-16 コニカミノルタホールディングス株式会社 アクチュエータ
JP2003309986A (ja) * 2002-04-11 2003-10-31 Sony Corp 駆動機構
JP2003329941A (ja) * 2002-05-14 2003-11-19 Seiko Instruments Inc 可変遮蔽機構及びこれを用いた光可変減衰器

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