JP2000152671A - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

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JP2000152671A
JP2000152671A JP10315047A JP31504798A JP2000152671A JP 2000152671 A JP2000152671 A JP 2000152671A JP 10315047 A JP10315047 A JP 10315047A JP 31504798 A JP31504798 A JP 31504798A JP 2000152671 A JP2000152671 A JP 2000152671A
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Japan
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rotor
ultrasonic
ultrasonic motor
linear
motor according
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JP10315047A
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Toshiro Higuchi
俊郎 樋口
Minoru Kurosawa
実 黒澤
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Japan Science and Technology Agency
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Japan Science and Technology Corp
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    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
    • H02N2/0025—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes using combined longitudinal modes

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造が容易な小さな超音波振動子を複数個配
置して、大きなトルクを発生させることができる超音波
モータを提供する。 【解決手段】 超音波モータにおいて、ロータ１と、こ
のロータ１の外周面に多数個配置するとともに、２個の
超音波振動子４を直交配置した駆動子２と、この駆動子
２を前記ロータ１の外周面に押し付ける予圧手段と、前
記２個の超音波振動子４に接続される位相の異なる交流
電源１０Ａ，１０Ｂとを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに係
り、特に２つの超音波振動子を組み合わせた駆動子を複
数個用いることにより大トルクを発生する超音波モータ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、従来の超音波振動子（圧電振動子）を用いた超
音波モータが、種々提案されている（特開平５−２１１
７８７号公報、特開平６−１８９５７１号公報等参
照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の超音波モータでは、大きなＰＺＴ焼結体を作る
のは困難であり、従って、大きなトルクを発生させるの
は困難であった。
【０００４】そこで、本発明では、製造が容易な小さな
超音波振動子を複数個配置して、大きなトルクを発生さ
せることができる超音波モータを提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕超音波モータにおいて、ロータと、このロータの
外周面に多数個配置するとともに、２個の超音波振動子
を直交配置した駆動子と、この駆動子を前記ロータの外
周面に押し付ける予圧手段と、前記２個の超音波振動子
に接続される位相の異なる交流電源とを具備するように
したものである。
【０００６】〔２〕超音波モータにおいて、ロータと、
このロータの内周面に多数個配置するとともに、２個の
超音波振動子を直交配置した駆動子と、この駆動子を前
記ロータの内周面に押し付ける予圧手段と、前記２個の
超音波振動子に接続される位相の異なる交流電源とを具
備するようにしたものである。
【０００７】〔３〕超音波モータにおいて、ロータと、
このロータの外周面及び内周面に多数個配置するととも
に、２個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、この
駆動子を前記ロータの外周面及び内周面に押し付ける予
圧手段と、前記２個の超音波振動子に接続される位相の
異なる交流電源とを具備するようにしたものである。
【０００８】〔４〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
の超音波モータにおいて、前記駆動子は、所定角度に開
いた２つの翼片のそれぞれに超音波振動子を配設した１
対の駆動源を持ち、この２つの翼片の合わさる部位を前
記ロータの外周面、内周面又は内外周面に当接させるよ
うにしたものである。
【０００９】〔５〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
の超音波モータにおいて、前記超音波振動子は圧電体振
動子である。
【００１０】〔６〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
の超音波モータにおいて、前記位相の異なる交流信号は
高周波の交流信号である。
【００１１】〔７〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
の超音波モータにおいて、前記ロータは円環状ロータで
ある。
【００１２】〔８〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
の超音波モータにおいて、前記ロータはキャップ付き円
筒状ロータである。
【００１３】
〔９〕上記〔１〕、〔２〕又は〔３〕記載
の超音波モータにおいて、前記ロータの外周面、内周面
及び内外周面にはテーパ面を有するようにしたものであ
る。
【００１４】〔１０〕超音波モータにおいて、リニア可
動子と、このリニア可動子の外側面に多数個配置すると
ともに、２個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、
この駆動子を前記リニア可動子の外側面に押し付ける予
圧手段と、前記２個の超音波振動子に接続される位相の
異なる交流電源とを具備するようにしたものである。
【００１５】〔１１〕超音波モータにおいて、リニア可
動子と、このリニア可動子の内側面に多数個配置すると
ともに、２個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、
この駆動子を前記リニア可動子の内側面に押し付ける予
圧手段と、前記２個の超音波振動子に接続される位相の
異なる交流電源とを具備するようにしたものである。
【００１６】〔１２〕超音波モータにおいて、リニア可
動子と、このリニア可動子の外側面及び内側面に多数個
配置するとともに、２個の超音波振動子を直交配置した
駆動子と、この駆動子を前記リニア可動子の外側面及び
内側面に押し付ける予圧手段と、前記２個の超音波振動
子に接続される位相の異なる交流電源とを具備するよう
にしたものである。
【００１７】〔１３〕上記〔１０〕、〔１１〕又は〔１
２〕記載の超音波モータにおいて、前記駆動子は、所定
角度に開いた２つの翼片のそれぞれに超音波振動子を配
設した１対の駆動源を持ち、この２つの翼片の合わさる
部位を前記リニア可動子の外側面、内側面又は内外側面
に当接させるようにしたものである。
【００１８】〔１４〕上記〔１０〕、〔１１〕又は〔１
２〕記載の超音波モータにおいて、前記超音波振動子は
圧電体振動子である。
【００１９】〔１５〕上記〔１０〕、〔１１〕又は〔１
２〕記載の超音波モータにおいて、前記位相の異なる交
流信号は高周波の交流信号である。
【００２０】〔１６〕上記〔１０〕、〔１１〕又は〔１
２〕記載の超音波モータにおいて、前記リニア可動子は
枠状の可動子である。
【００２１】〔１７〕上記〔１０〕、〔１１〕又は〔１
２〕記載の超音波モータにおいて、前記リニア可動子は
キャップ付き可動子である。
【００２２】〔１８〕上記〔１０〕、〔１１〕又は〔１
２〕記載の超音波モータにおいて、前記リニア可動子の
外側面、内側面又は内外側面にはテーパ面を有するよう
にしたものである。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
【００２４】図１は本発明の第１実施例を示す超音波モ
ータの平面図、図２はその側面図、図３はその超音波モ
ータの駆動子の一部破断平面図、図４はその１個の駆動
子の配置状態を示す構成図である。
【００２５】これらの図において、１はロータ（回転
体）、１Ａはロータ軸、２は駆動子であり、この駆動子
２は、所定角度（例えば、９０度）に開いた二つの金属
翼片のそれぞれに圧電振動子（超音波振動子）４を配設
した１対の駆動源を持ち、この二つの金属翼片の合わさ
るカット部７を有する先端部８がロータ１と接触するよ
うにこのロータ１の周辺部にこれらを複数個配設し、前
記一対の駆動源のそれぞれには位相の異なる交流信号を
与える交流電源１０Ａ，１０Ｂが接続され、ロータ１に
回転力を発生させる。
【００２６】即ち、９０度に開いた一対の金属翼片のそ
れぞれにＰＺＴ等の圧電体を設置し、それぞれのＰＺＴ
には位相を変えた３０ｋＨｚの交流信号を印加すると、
各翼に設置されたＰＺＴの超音波振動はそれぞれの金属
翼片を伝わり、二つの金属翼片が合わさった先端部８で
は超音波振動の合成がなされる。そして、この圧電駆動
子２の保持部９には圧縮方向の予圧をかけるようにして
いる。すなわち、図３に示すように、電極５を有する２
枚の圧電振動子４が押し付けボルト６とナット３によっ
て保持部９を挟んで締め付けられる。
【００２７】図４はこのようにして得られた１個の駆動
子２の配置図である。
【００２８】この図において、１１は保持部９に固定さ
れる連結体、１２はスプリング、１３はブッシングボル
ト、１４はリニアスライダー、１５は固定台である。
【００２９】ここで、駆動子２はリニアスライダー１４
に固定されており、ロータ１の軸方向に１自由度をも
つ。圧電振動子４のロータ１への押し付け力は、駆動子
２の後方のスプリング１２と押し付けボルト６によって
調整できる。
【００３０】次に、駆動子２について詳細に説明する。
【００３１】図５は本発明の超音波モータの駆動子の解
析モデルの形状を示す図、図６はその超音波モータの駆
動子の動作を示す図である。
【００３２】また、圧電振動子４の持つ固有振動モード
の中には、Ａ，Ｂ部分が同相縦振動して先端部８が縦振
動するモード〔図６（ａ）〕と、Ａ，Ｂ部分が逆相縦振
動して先端部８が横振動するモード〔図６（ｂ）〕とが
存在する。
【００３３】この２つの振動モード共振周波数を一致さ
せることにより、二つの振動モードは縮退する。モード
が縮退する共振周波数で、一方の圧電振動子４にα・ｓ
ｉｎωｔ（αは定数）の電圧を、もう一方の圧電振動子
４にα・ｃｏｓωｔの電圧を加えると、先端部８は楕円
運動をするようになる。楕円運動をする駆動子２の先端
部８に縦振動の方向と直角にロータ１を押し付けること
で、ロータ１は横振動方向の推力を受けることになる。
推力の方向は先端部８の楕円運動の方向により決定され
る。先端部８の楕円運動の方向は、駆動子２に加える電
圧の位相差により変えることができる。
【００３４】したがって、駆動子２の先端部８をロータ
１に接触させれば、電圧の位相に応じ順転、逆転の回転
力を起こすモータとなる。これらの対をロータ１の外周
部に多く配設すれば、大きなトルクを発生させることが
可能である。即ち、大きなＰＺＴ焼結体を作り大きなト
ルクを発生させるのは困難であるが、本発明では、製造
が容易な小さなＰＺＴ焼結体で、限りなく大きなトルク
を発生させることが容易にできるようになった。
【００３５】また、その応用として、駆動源とロータの
相対配設に際して、ロータの周面にテーパ面を設けて、
そのテーパ面に上記した駆動子２を配置することによ
り、「くさび効果」を発生させる構造を採用し「軸受け
不要」の回転構造体とすることもできる。
【００３６】更に、ロータ１の外周に駆動子２を複数個
配置することにより、トルクの合成を行い、高トルク化
を図る。現状では、駆動子２の一つの推力は５０Ｎ（５
０ｃｍ／秒）であり、ここでは直径４０ｃｍのロータに
３個取り付けると、３０Ｎｍのトルクとなる。
【００３７】この実施例では、ロータの外周に３個の駆
動子２を配置する場合について説明したが、図７に示す
ように、多数の駆動子２を配置するようにしてもよい。
【００３８】図８は本発明の第２実施例を示す超音波モ
ータの平面図である。
【００３９】この実施例では、ロータを円環状ロータ２
１となし、その円環状ロータ２１の内周面に複数（ここ
では、３個）の駆動子２を作用させるように配置する。
【００４０】図９は本発明の第３実施例を示す超音波モ
ータの平面図である。
【００４１】この実施例によれば、ロータを円環状ロー
タ３１となし、その円環状ロータ３１の外周面及び内周
面に複数の駆動子２を作用させるように配置する。
【００４２】図１０は本発明の第４実施例を示す超音波
モータの側面図である。
【００４３】この実施例によれば、ロータをキャップ４
１Ａ付き円筒状ロータ４１となし、その外周面及び内周
面に複数の駆動子２を作用させるように配置する。
【００４４】このように構成することにより、キャップ
４１Ａをテーブルとして用いることができる。
【００４５】図１１は本発明の第５実施例を示す超音波
モータの側面図である。
【００４６】この実施例では、ロータ５１の外周面にテ
ーパ面５１ａを形成し、このテーパ面５１ａ付き外側面
を駆動子２で駆動することにより、くさび効果により、
ロータ５１の自重だけでも大きな予圧を作用させること
ができ、軸受けなしでの駆動が可能である。
【００４７】図１２は本発明の第６実施例を示す超音波
モータの側面図である。
【００４８】この実施例によれば、ロータを円環状ロー
タ６１となし、その円環状ロータ６１の外周面及び内周
面にテーパ面６１ａ，６１ｂを形成し、そのテーパ面６
１ａ，６１ｂにそれぞれ駆動子２を配置する。
【００４９】このように、テーパ面を有する円環状ロー
タ６１の内外から駆動することにより、大きなトルクを
得ることができるとともに、軸受なしでロータを保持す
ることができる。
【００５０】図１３は本発明の第７実施例を示す超音波
モータの側面図である。
【００５１】この実施例では、ロータをキャップ７１Ａ
付き円筒状ロータ７１とし、その外周面及び内周面にテ
ーパ面７１ａ，７１ｂを形成し、そのテーパ面７１ａ，
７１ｂにそれぞれ複数の駆動子２を作用させるように配
置する。
【００５２】このように構成することにより、キャップ
７１Ａをテーブルとして用いることができる。
【００５３】図１４は本発明の第８実施例を示すリニア
型超音波モータの平面図、図１５はそのリニア型超音波
モータの側面図である。
【００５４】この実施例では、平行な枠状のリニア可動
子８１の外側面８１ａに複数の駆動子２を配置する。
【００５５】このように構成することにより、リニア可
動子８１の直線方向の駆動を行わせることができる。
【００５６】図１６は本発明の第９実施例を示すリニア
型超音波モータの平面図、図１７はそのリニア型超音波
モータの側面図である。
【００５７】この実施例では、キャップ９２付きの平行
な枠状の外側面９１ａ及び内側面９１ｂを有するリニア
可動子９１を配置し、その外側面９１ａ及び内側面９１
ｂに複数の駆動子２を配置する。
【００５８】このように構成することにより、キャップ
９２をテーブルとして用いることができる。
【００５９】図１８は本発明の第１０実施例を示すリニ
ア型超音波モータの側面図である。
【００６０】この実施例では、テーパ面１０１ａを有す
るリニア可動子１０１の外側面に複数の駆動子２を配置
する。
【００６１】このように、テーパ面１０１ａを有するリ
ニア可動子１０１の外側面から駆動することにより、軸
受なしでロータを保持することができる。
【００６２】図１９は本発明の第１１実施例を示すリニ
ア型超音波モータの側面図である。
【００６３】この実施例では、キャップ１１２付きの内
外側面のテーパ面１１１ｂ，１１１ａを有するリニア可
動子１１１の内外側面のテーパ面１１１ｂ，１１１ａに
複数の駆動子２を配置する。
【００６４】このように、キャップ１１２付きテーパ面
を有するリニア可動子１１１の内外側面のテーパ面１１
１ｂ，１１１ａから駆動することにより、大きなトルク
を得ることができるとともに、軸受なしでロータを保持
することができる。
【００６５】また、キャップ１１２をテーブルとして用
いることができる。
【００６６】なお、上記実施例としては、振動子として
は圧電体を用いたが、これに代わる超音波振動子であれ
ば、どのようなものでもよい。
【００６７】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００６８】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００６９】（Ａ）製造が容易な小さな超音波振動子を
複数個配置して、大きなトルクを発生させることができ
る。
【００７０】例えば、巨大クレーン、巨大アンテナ、巨
大望遠鏡等を含む巨大構造物の微少量制御回転や直線駆
動を行わせることができる。
【００７１】また、駆動部が薄型にできる点を利用し
て、微小薄型モータを得ることができる。
【００７２】（Ｂ）ロータ又はリニア可動子の内外側面
に複数個の超音波モータの駆動子を作用させることによ
り、より大きなトルクを発生させることができる。
【００７３】（Ｃ）ロータ又はリニア可動子にテーパ面
を形成し、そのテーパ面に複数個の超音波モータの駆動
子を作用させることにより、大きなトルクを得ることが
できるとともに、軸受なしでロータを保持することがで
きる。
【００７４】（Ｄ）キャップ付きのロータ又はリニア可
動子とすることにより、キャップをテーブルとして用い
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す超音波モータの平面
図である。
【図２】本発明の第１実施例を示す超音波モータの側面
図である。
【図３】本発明の第１実施例を示す超音波モータの駆動
子の一部破断平面図である。
【図４】本発明の第１実施例を示す超音波モータの１個
の駆動子の配置状態を示す構成図である。
【図５】本発明の超音波モータの駆動子の解析モデルの
形状を示す図である。
【図６】本発明の超音波モータの駆動子の動作を示す図
である。
【図７】本発明の第１実施例を示す超音波モータの変形
例を示す図である。
【図８】本発明の第２実施例を示す超音波モータの平面
図である。
【図９】本発明の第３実施例を示す超音波モータの平面
図である。
【図１０】本発明の第４実施例を示す超音波モータの側
面図である。
【図１１】本発明の第５実施例を示す超音波モータの側
面図である。
【図１２】本発明の第６実施例を示す超音波モータの側
面図である。
【図１３】本発明の第７実施例を示す超音波モータの側
面図である。
【図１４】本発明の第８実施例を示すリニア型超音波モ
ータの平面図である。
【図１５】本発明の第８実施例を示すリニア型超音波モ
ータの側面図である。
【図１６】本発明の第９実施例を示すリニア型超音波モ
ータの平面図である。
【図１７】本発明の第９実施例を示すリニア型超音波モ
ータの側面図である。
【図１８】本発明の第１０実施例を示すリニア型超音波
モータの側面図である。
【図１９】本発明の第１１実施例を示すリニア型超音波
モータの側面図である。
【符号の説明】
１，５１ ロータ（回転体） １Ａ ロータ軸 ２ 駆動子 ３ ナット ４ 圧電振動子（超音波振動子） ５ 電極 ６ 押し付けボルト ７ カット部 ８ 先端部 ９ 保持部 １０Ａ，１０Ｂ 交流電源 １１ 連結体 １２ スプリング １３ ブッシングボルト １４ リニアスライダー １５ 固定台 ２１，３１，６１ 円環状ロータ ４１Ａ，７１Ａ，９２，１１２ キャップ ５１ａ，６１ａ，６１ｂ，７１ａ，７１ｂ，１０１ａ，
１１１ａ，１１１ｂテーパ面 ４１，７１ キャップ付き円筒状ロータ ８１，９１，１０１，１１１ リニア可動子 ８１ａ，９１ａ 外側面 ９１ｂ 内側面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5H680 AA01 AA08 AA19 BB11 BB12 BB13 BB15 BB20 BC10 CC02 DD01 DD14 DD23 DD27 DD37 DD43 DD53 DD72 DD73 DD82 DD88 DD93 FF04 FF26 FF33 GG02

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】（ａ）ロータと、（ｂ）該ロータの外周面
    に多数個配置するとともに、２個の超音波振動子を直交
    配置した駆動子と、（ｃ）該駆動子を前記ロータの外周
    面に押し付ける予圧手段と、（ｄ）前記２個の超音波振
    動子に接続される位相の異なる交流電源とを具備するこ
    とを特徴とする超音波モータ。
  2. 【請求項２】（ａ）ロータと、（ｂ）該ロータの内周面
    に多数個配置するとともに、２個の超音波振動子を直交
    配置した駆動子と、（ｃ）該駆動子を前記ロータの内周
    面に押し付ける予圧手段と、（ｄ）前記２個の超音波振
    動子に接続される位相の異なる交流電源とを具備するこ
    とを特徴とする超音波モータ。
  3. 【請求項３】（ａ）ロータと、（ｂ）該ロータの外周面
    及び内周面に多数個配置するとともに、２個の超音波振
    動子を直交配置した駆動子と、（ｃ）該駆動子を前記ロ
    ータの外周面及び内周面に押し付ける予圧手段と、
    （ｄ）前記２個の超音波振動子に接続される位相の異な
    る交流電源とを具備することを特徴とする超音波モー
    タ。
  4. 【請求項４】 請求項１、２又は３記載の超音波モータ
    において、前記駆動子は、所定角度に開いた２つの翼片
    のそれぞれに超音波振動子を配設した１対の駆動源を持
    ち、該２つの翼片の合わさる部位を前記ロータの外周
    面、内周面又は内外周面に当接させることを特徴とする
    超音波モータ。
  5. 【請求項５】 請求項１、２又は３記載の超音波モータ
    において、前記超音波振動子は圧電体振動子であること
    を特徴とする超音波モータ。
  6. 【請求項６】 請求項１、２又は３記載の超音波モータ
    において、前記位相の異なる交流信号は高周波の交流信
    号であることを特徴とする超音波モータ。
  7. 【請求項７】 請求項１、２又は３記載の超音波モータ
    において、前記ロータは円環状ロータであることを特徴
    とする超音波モータ。
  8. 【請求項８】 請求項１、２又は３記載の超音波モータ
    において、前記ロータはキャップ付き円筒状ロータであ
    ることを特徴とする超音波モータ。
  9. 【請求項９】 請求項１、２又は３記載の超音波モータ
    において、前記ロータの外周面、内周面及び内外周面に
    はテーパ面を有することを特徴とする超音波モータ。
  10. 【請求項１０】（ａ）リニア可動子と、（ｂ）該リニア
    可動子の外側面に多数個配置するとともに、２個の超音
    波振動子を直交配置した駆動子と、（ｃ）該駆動子を前
    記リニア可動子の外側面に押し付ける予圧手段と、
    （ｄ）前記２個の超音波振動子に接続される位相の異な
    る交流電源とを具備することを特徴とする超音波モー
    タ。
  11. 【請求項１１】（ａ）リニア可動子と、（ｂ）該リニア
    可動子の内側面に多数個配置するとともに、２個の超音
    波振動子を直交配置した駆動子と、（ｃ）該駆動子を前
    記リニア可動子の内側面に押し付ける予圧手段と、
    （ｄ）前記２個の超音波振動子に接続される位相の異な
    る交流電源とを具備することを特徴とする超音波モー
    タ。
  12. 【請求項１２】（ａ）リニア可動子と、（ｂ）該リニア
    可動子の外側面及び内側面に多数個配置するとともに、
    ２個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、（ｃ）該
    駆動子を前記リニア可動子の外側面及び内側面に押し付
    ける予圧手段と、（ｄ）前記２個の超音波振動子に接続
    される位相の異なる交流電源とを具備することを特徴と
    する超音波モータ。
  13. 【請求項１３】 請求項１０、１１又は１２記載の超音
    波モータにおいて、前記駆動子は、所定角度に開いた２
    つの翼片のそれぞれに超音波振動子を配設した１対の駆
    動源を持ち、該２つの翼片の合わさる部位を前記リニア
    可動子の外側面、内側面又は内外側面に当接させること
    を特徴とする超音波モータ。
  14. 【請求項１４】 請求項１０、１１又は１２記載の超音
    波モータにおいて、前記超音波振動子は圧電体振動子で
    あることを特徴とする超音波モータ。
  15. 【請求項１５】 請求項１０、１１又は１２記載の超音
    波モータにおいて、前記位相の異なる交流信号は高周波
    の交流信号であることを特徴とする超音波モータ。
  16. 【請求項１６】 請求項１０、１１又は１２記載の超音
    波モータにおいて、前記リニア可動子は枠状の可動子で
    あることを特徴とする超音波モータ。
  17. 【請求項１７】 請求項１０、１１又は１２記載の超音
    波モータにおいて、前記リニア可動子はキャップ付き可
    動子であることを特徴とする超音波モータ。
  18. 【請求項１８】 請求項１０、１１又は１２記載の超音
    波モータにおいて、前記リニア可動子の外側面、内側面
    又は内外側面にはテーパ面を有することを特徴とする超
    音波モータ。
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