JP2000152671A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JP2000152671A JP2000152671A JP10315047A JP31504798A JP2000152671A JP 2000152671 A JP2000152671 A JP 2000152671A JP 10315047 A JP10315047 A JP 10315047A JP 31504798 A JP31504798 A JP 31504798A JP 2000152671 A JP2000152671 A JP 2000152671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- ultrasonic
- ultrasonic motor
- linear
- motor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 102100024522 Bladder cancer-associated protein Human genes 0.000 description 1
- 101150110835 Blcap gene Proteins 0.000 description 1
- 101100222172 Mus musculus Cst10 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100493740 Oryza sativa subsp. japonica BC10 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
- H02N2/0025—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes using combined longitudinal modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
置して、大きなトルクを発生させることができる超音波
モータを提供する。 【解決手段】 超音波モータにおいて、ロータ1と、こ
のロータ1の外周面に多数個配置するとともに、2個の
超音波振動子4を直交配置した駆動子2と、この駆動子
2を前記ロータ1の外周面に押し付ける予圧手段と、前
記2個の超音波振動子4に接続される位相の異なる交流
電源10A,10Bとを具備する。
Description
り、特に2つの超音波振動子を組み合わせた駆動子を複
数個用いることにより大トルクを発生する超音波モータ
に関する。
例えば、従来の超音波振動子(圧電振動子)を用いた超
音波モータが、種々提案されている(特開平5−211
787号公報、特開平6−189571号公報等参
照)。
た従来の超音波モータでは、大きなPZT焼結体を作る
のは困難であり、従って、大きなトルクを発生させるの
は困難であった。
超音波振動子を複数個配置して、大きなトルクを発生さ
せることができる超音波モータを提供することを目的と
する。
成するために、 〔1〕超音波モータにおいて、ロータと、このロータの
外周面に多数個配置するとともに、2個の超音波振動子
を直交配置した駆動子と、この駆動子を前記ロータの外
周面に押し付ける予圧手段と、前記2個の超音波振動子
に接続される位相の異なる交流電源とを具備するように
したものである。
このロータの内周面に多数個配置するとともに、2個の
超音波振動子を直交配置した駆動子と、この駆動子を前
記ロータの内周面に押し付ける予圧手段と、前記2個の
超音波振動子に接続される位相の異なる交流電源とを具
備するようにしたものである。
このロータの外周面及び内周面に多数個配置するととも
に、2個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、この
駆動子を前記ロータの外周面及び内周面に押し付ける予
圧手段と、前記2個の超音波振動子に接続される位相の
異なる交流電源とを具備するようにしたものである。
の超音波モータにおいて、前記駆動子は、所定角度に開
いた2つの翼片のそれぞれに超音波振動子を配設した1
対の駆動源を持ち、この2つの翼片の合わさる部位を前
記ロータの外周面、内周面又は内外周面に当接させるよ
うにしたものである。
の超音波モータにおいて、前記超音波振動子は圧電体振
動子である。
の超音波モータにおいて、前記位相の異なる交流信号は
高周波の交流信号である。
の超音波モータにおいて、前記ロータは円環状ロータで
ある。
の超音波モータにおいて、前記ロータはキャップ付き円
筒状ロータである。
の超音波モータにおいて、前記ロータの外周面、内周面
及び内外周面にはテーパ面を有するようにしたものであ
る。
動子と、このリニア可動子の外側面に多数個配置すると
ともに、2個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、
この駆動子を前記リニア可動子の外側面に押し付ける予
圧手段と、前記2個の超音波振動子に接続される位相の
異なる交流電源とを具備するようにしたものである。
動子と、このリニア可動子の内側面に多数個配置すると
ともに、2個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、
この駆動子を前記リニア可動子の内側面に押し付ける予
圧手段と、前記2個の超音波振動子に接続される位相の
異なる交流電源とを具備するようにしたものである。
動子と、このリニア可動子の外側面及び内側面に多数個
配置するとともに、2個の超音波振動子を直交配置した
駆動子と、この駆動子を前記リニア可動子の外側面及び
内側面に押し付ける予圧手段と、前記2個の超音波振動
子に接続される位相の異なる交流電源とを具備するよう
にしたものである。
2〕記載の超音波モータにおいて、前記駆動子は、所定
角度に開いた2つの翼片のそれぞれに超音波振動子を配
設した1対の駆動源を持ち、この2つの翼片の合わさる
部位を前記リニア可動子の外側面、内側面又は内外側面
に当接させるようにしたものである。
2〕記載の超音波モータにおいて、前記超音波振動子は
圧電体振動子である。
2〕記載の超音波モータにおいて、前記位相の異なる交
流信号は高周波の交流信号である。
2〕記載の超音波モータにおいて、前記リニア可動子は
枠状の可動子である。
2〕記載の超音波モータにおいて、前記リニア可動子は
キャップ付き可動子である。
2〕記載の超音波モータにおいて、前記リニア可動子の
外側面、内側面又は内外側面にはテーパ面を有するよう
にしたものである。
て詳細に説明する。
ータの平面図、図2はその側面図、図3はその超音波モ
ータの駆動子の一部破断平面図、図4はその1個の駆動
子の配置状態を示す構成図である。
体)、1Aはロータ軸、2は駆動子であり、この駆動子
2は、所定角度(例えば、90度)に開いた二つの金属
翼片のそれぞれに圧電振動子(超音波振動子)4を配設
した1対の駆動源を持ち、この二つの金属翼片の合わさ
るカット部7を有する先端部8がロータ1と接触するよ
うにこのロータ1の周辺部にこれらを複数個配設し、前
記一対の駆動源のそれぞれには位相の異なる交流信号を
与える交流電源10A,10Bが接続され、ロータ1に
回転力を発生させる。
れぞれにPZT等の圧電体を設置し、それぞれのPZT
には位相を変えた30kHzの交流信号を印加すると、
各翼に設置されたPZTの超音波振動はそれぞれの金属
翼片を伝わり、二つの金属翼片が合わさった先端部8で
は超音波振動の合成がなされる。そして、この圧電駆動
子2の保持部9には圧縮方向の予圧をかけるようにして
いる。すなわち、図3に示すように、電極5を有する2
枚の圧電振動子4が押し付けボルト6とナット3によっ
て保持部9を挟んで締め付けられる。
子2の配置図である。
れる連結体、12はスプリング、13はブッシングボル
ト、14はリニアスライダー、15は固定台である。
に固定されており、ロータ1の軸方向に1自由度をも
つ。圧電振動子4のロータ1への押し付け力は、駆動子
2の後方のスプリング12と押し付けボルト6によって
調整できる。
析モデルの形状を示す図、図6はその超音波モータの駆
動子の動作を示す図である。
の中には、A,B部分が同相縦振動して先端部8が縦振
動するモード〔図6(a)〕と、A,B部分が逆相縦振
動して先端部8が横振動するモード〔図6(b)〕とが
存在する。
せることにより、二つの振動モードは縮退する。モード
が縮退する共振周波数で、一方の圧電振動子4にα・s
inωt(αは定数)の電圧を、もう一方の圧電振動子
4にα・cosωtの電圧を加えると、先端部8は楕円
運動をするようになる。楕円運動をする駆動子2の先端
部8に縦振動の方向と直角にロータ1を押し付けること
で、ロータ1は横振動方向の推力を受けることになる。
推力の方向は先端部8の楕円運動の方向により決定され
る。先端部8の楕円運動の方向は、駆動子2に加える電
圧の位相差により変えることができる。
1に接触させれば、電圧の位相に応じ順転、逆転の回転
力を起こすモータとなる。これらの対をロータ1の外周
部に多く配設すれば、大きなトルクを発生させることが
可能である。即ち、大きなPZT焼結体を作り大きなト
ルクを発生させるのは困難であるが、本発明では、製造
が容易な小さなPZT焼結体で、限りなく大きなトルク
を発生させることが容易にできるようになった。
相対配設に際して、ロータの周面にテーパ面を設けて、
そのテーパ面に上記した駆動子2を配置することによ
り、「くさび効果」を発生させる構造を採用し「軸受け
不要」の回転構造体とすることもできる。
配置することにより、トルクの合成を行い、高トルク化
を図る。現状では、駆動子2の一つの推力は50N(5
0cm/秒)であり、ここでは直径40cmのロータに
3個取り付けると、30Nmのトルクとなる。
動子2を配置する場合について説明したが、図7に示す
ように、多数の駆動子2を配置するようにしてもよい。
ータの平面図である。
1となし、その円環状ロータ21の内周面に複数(ここ
では、3個)の駆動子2を作用させるように配置する。
ータの平面図である。
タ31となし、その円環状ロータ31の外周面及び内周
面に複数の駆動子2を作用させるように配置する。
モータの側面図である。
1A付き円筒状ロータ41となし、その外周面及び内周
面に複数の駆動子2を作用させるように配置する。
41Aをテーブルとして用いることができる。
モータの側面図である。
ーパ面51aを形成し、このテーパ面51a付き外側面
を駆動子2で駆動することにより、くさび効果により、
ロータ51の自重だけでも大きな予圧を作用させること
ができ、軸受けなしでの駆動が可能である。
モータの側面図である。
タ61となし、その円環状ロータ61の外周面及び内周
面にテーパ面61a,61bを形成し、そのテーパ面6
1a,61bにそれぞれ駆動子2を配置する。
タ61の内外から駆動することにより、大きなトルクを
得ることができるとともに、軸受なしでロータを保持す
ることができる。
モータの側面図である。
付き円筒状ロータ71とし、その外周面及び内周面にテ
ーパ面71a,71bを形成し、そのテーパ面71a,
71bにそれぞれ複数の駆動子2を作用させるように配
置する。
71Aをテーブルとして用いることができる。
型超音波モータの平面図、図15はそのリニア型超音波
モータの側面図である。
子81の外側面81aに複数の駆動子2を配置する。
動子81の直線方向の駆動を行わせることができる。
型超音波モータの平面図、図17はそのリニア型超音波
モータの側面図である。
な枠状の外側面91a及び内側面91bを有するリニア
可動子91を配置し、その外側面91a及び内側面91
bに複数の駆動子2を配置する。
92をテーブルとして用いることができる。
ア型超音波モータの側面図である。
るリニア可動子101の外側面に複数の駆動子2を配置
する。
ニア可動子101の外側面から駆動することにより、軸
受なしでロータを保持することができる。
ア型超音波モータの側面図である。
外側面のテーパ面111b,111aを有するリニア可
動子111の内外側面のテーパ面111b,111aに
複数の駆動子2を配置する。
を有するリニア可動子111の内外側面のテーパ面11
1b,111aから駆動することにより、大きなトルク
を得ることができるとともに、軸受なしでロータを保持
することができる。
いることができる。
は圧電体を用いたが、これに代わる超音波振動子であれ
ば、どのようなものでもよい。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
複数個配置して、大きなトルクを発生させることができ
る。
大望遠鏡等を含む巨大構造物の微少量制御回転や直線駆
動を行わせることができる。
て、微小薄型モータを得ることができる。
に複数個の超音波モータの駆動子を作用させることによ
り、より大きなトルクを発生させることができる。
を形成し、そのテーパ面に複数個の超音波モータの駆動
子を作用させることにより、大きなトルクを得ることが
できるとともに、軸受なしでロータを保持することがで
きる。
動子とすることにより、キャップをテーブルとして用い
ることができる。
図である。
図である。
子の一部破断平面図である。
の駆動子の配置状態を示す構成図である。
形状を示す図である。
である。
例を示す図である。
図である。
図である。
面図である。
面図である。
面図である。
面図である。
ータの平面図である。
ータの側面図である。
ータの平面図である。
ータの側面図である。
モータの側面図である。
モータの側面図である。
111a,111bテーパ面 41,71 キャップ付き円筒状ロータ 81,91,101,111 リニア可動子 81a,91a 外側面 91b 内側面
Claims (18)
- 【請求項1】(a)ロータと、(b)該ロータの外周面
に多数個配置するとともに、2個の超音波振動子を直交
配置した駆動子と、(c)該駆動子を前記ロータの外周
面に押し付ける予圧手段と、(d)前記2個の超音波振
動子に接続される位相の異なる交流電源とを具備するこ
とを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項2】(a)ロータと、(b)該ロータの内周面
に多数個配置するとともに、2個の超音波振動子を直交
配置した駆動子と、(c)該駆動子を前記ロータの内周
面に押し付ける予圧手段と、(d)前記2個の超音波振
動子に接続される位相の異なる交流電源とを具備するこ
とを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項3】(a)ロータと、(b)該ロータの外周面
及び内周面に多数個配置するとともに、2個の超音波振
動子を直交配置した駆動子と、(c)該駆動子を前記ロ
ータの外周面及び内周面に押し付ける予圧手段と、
(d)前記2個の超音波振動子に接続される位相の異な
る交流電源とを具備することを特徴とする超音波モー
タ。 - 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の超音波モータ
において、前記駆動子は、所定角度に開いた2つの翼片
のそれぞれに超音波振動子を配設した1対の駆動源を持
ち、該2つの翼片の合わさる部位を前記ロータの外周
面、内周面又は内外周面に当接させることを特徴とする
超音波モータ。 - 【請求項5】 請求項1、2又は3記載の超音波モータ
において、前記超音波振動子は圧電体振動子であること
を特徴とする超音波モータ。 - 【請求項6】 請求項1、2又は3記載の超音波モータ
において、前記位相の異なる交流信号は高周波の交流信
号であることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項7】 請求項1、2又は3記載の超音波モータ
において、前記ロータは円環状ロータであることを特徴
とする超音波モータ。 - 【請求項8】 請求項1、2又は3記載の超音波モータ
において、前記ロータはキャップ付き円筒状ロータであ
ることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項9】 請求項1、2又は3記載の超音波モータ
において、前記ロータの外周面、内周面及び内外周面に
はテーパ面を有することを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項10】(a)リニア可動子と、(b)該リニア
可動子の外側面に多数個配置するとともに、2個の超音
波振動子を直交配置した駆動子と、(c)該駆動子を前
記リニア可動子の外側面に押し付ける予圧手段と、
(d)前記2個の超音波振動子に接続される位相の異な
る交流電源とを具備することを特徴とする超音波モー
タ。 - 【請求項11】(a)リニア可動子と、(b)該リニア
可動子の内側面に多数個配置するとともに、2個の超音
波振動子を直交配置した駆動子と、(c)該駆動子を前
記リニア可動子の内側面に押し付ける予圧手段と、
(d)前記2個の超音波振動子に接続される位相の異な
る交流電源とを具備することを特徴とする超音波モー
タ。 - 【請求項12】(a)リニア可動子と、(b)該リニア
可動子の外側面及び内側面に多数個配置するとともに、
2個の超音波振動子を直交配置した駆動子と、(c)該
駆動子を前記リニア可動子の外側面及び内側面に押し付
ける予圧手段と、(d)前記2個の超音波振動子に接続
される位相の異なる交流電源とを具備することを特徴と
する超音波モータ。 - 【請求項13】 請求項10、11又は12記載の超音
波モータにおいて、前記駆動子は、所定角度に開いた2
つの翼片のそれぞれに超音波振動子を配設した1対の駆
動源を持ち、該2つの翼片の合わさる部位を前記リニア
可動子の外側面、内側面又は内外側面に当接させること
を特徴とする超音波モータ。 - 【請求項14】 請求項10、11又は12記載の超音
波モータにおいて、前記超音波振動子は圧電体振動子で
あることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項15】 請求項10、11又は12記載の超音
波モータにおいて、前記位相の異なる交流信号は高周波
の交流信号であることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項16】 請求項10、11又は12記載の超音
波モータにおいて、前記リニア可動子は枠状の可動子で
あることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項17】 請求項10、11又は12記載の超音
波モータにおいて、前記リニア可動子はキャップ付き可
動子であることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項18】 請求項10、11又は12記載の超音
波モータにおいて、前記リニア可動子の外側面、内側面
又は内外側面にはテーパ面を有することを特徴とする超
音波モータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10315047A JP2000152671A (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 超音波モータ |
PCT/JP1999/000820 WO2000028652A1 (en) | 1998-11-05 | 1999-02-24 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10315047A JP2000152671A (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000152671A true JP2000152671A (ja) | 2000-05-30 |
Family
ID=18060800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10315047A Pending JP2000152671A (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 超音波モータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000152671A (ja) |
WO (1) | WO2000028652A1 (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004242493A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
JP2004254381A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータ用駆動子 |
JP2004350413A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータの駆動方法および駆動装置 |
JP2006014512A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Olympus Corp | 超音波モータ |
JP2006081239A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Olympus Corp | 振動波モータ |
JP2006254603A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Taiheiyo Cement Corp | ガイドプレート |
JP2008086153A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータ |
JP2010104198A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置 |
JP2010104235A (ja) * | 2010-02-12 | 2010-05-06 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ |
JP2010110112A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置 |
US7825566B2 (en) | 2007-08-08 | 2010-11-02 | Konica Minolta Opto, Inc. | Ultrasonic actuator and method for manufacturing piezoelectric deformation portion used in the same |
US7944129B2 (en) | 2007-07-13 | 2011-05-17 | Konica Minolta Opto, Inc. | Ultrasonic actuator and magnetic recording apparatus using the same |
CN102857138A (zh) * | 2012-07-30 | 2013-01-02 | 南京航空航天大学 | 压电电机 |
CN102931873A (zh) * | 2012-11-02 | 2013-02-13 | 南京航空航天大学 | 一种小型一体式并联旋转超声电机 |
CN102931871A (zh) * | 2012-11-02 | 2013-02-13 | 南京航空航天大学 | 一种椭圆抛物面形直线超声电机 |
CN103904938A (zh) * | 2014-03-20 | 2014-07-02 | 西安交通大学 | 一种通过压电-连杆机构实现扭矩的作动器及方法 |
US9829862B2 (en) | 2013-09-06 | 2017-11-28 | Casio Computer Co., Ltd. | Driving unit and timepiece |
CN109672361A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-04-23 | 南京工程学院 | 一种并联驱动式单相旋转超声波电机 |
CN109698638A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-04-30 | 南京工程学院 | 一种并联驱动式单相直线超声波电机 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007021337A1 (de) | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrische Antriebsvorrichtung |
DE102007021338A1 (de) | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrische Antriebsvorrichtung |
DE102007021336A1 (de) | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrische Antriebsvorrichtung |
DE102007021339A1 (de) | 2007-05-07 | 2008-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrische Antriebsvorrichtung |
DE102008043667A1 (de) | 2008-11-12 | 2010-05-20 | Robert Bosch Gmbh | Vielschichtaktor sowie Verstellantrieb |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61168025A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
JPH0184438U (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-05 | ||
JPH02290170A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-11-30 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | 超音波モータ |
JPH0553650A (ja) * | 1991-08-29 | 1993-03-05 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 位置決め制御装置 |
JPH0880069A (ja) * | 1994-09-06 | 1996-03-22 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
JP2967264B2 (ja) * | 1996-03-25 | 1999-10-25 | セイコー精機株式会社 | 超精密位置決め装置 |
JP3265461B2 (ja) * | 1997-02-12 | 2002-03-11 | シャープ株式会社 | 超音波駆動モータ |
-
1998
- 1998-11-05 JP JP10315047A patent/JP2000152671A/ja active Pending
-
1999
- 1999-02-24 WO PCT/JP1999/000820 patent/WO2000028652A1/ja active Application Filing
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004242493A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
JP4578799B2 (ja) * | 2003-01-14 | 2010-11-10 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
JP2004254381A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータ用駆動子 |
JP4522055B2 (ja) * | 2003-05-22 | 2010-08-11 | 太平洋セメント株式会社 | 超音波モータの駆動方法および駆動装置 |
JP2004350413A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータの駆動方法および駆動装置 |
JP2006014512A (ja) * | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Olympus Corp | 超音波モータ |
JP2006081239A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Olympus Corp | 振動波モータ |
JP4689993B2 (ja) * | 2004-09-07 | 2011-06-01 | オリンパス株式会社 | 振動波モータ |
JP2006254603A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Taiheiyo Cement Corp | ガイドプレート |
JP2008086153A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Taiheiyo Cement Corp | 超音波モータ |
US7944129B2 (en) | 2007-07-13 | 2011-05-17 | Konica Minolta Opto, Inc. | Ultrasonic actuator and magnetic recording apparatus using the same |
US7825566B2 (en) | 2007-08-08 | 2010-11-02 | Konica Minolta Opto, Inc. | Ultrasonic actuator and method for manufacturing piezoelectric deformation portion used in the same |
JP2010104198A (ja) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置 |
JP2010110112A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Taiheiyo Cement Corp | 送り装置 |
JP2010104235A (ja) * | 2010-02-12 | 2010-05-06 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータ |
CN102857138A (zh) * | 2012-07-30 | 2013-01-02 | 南京航空航天大学 | 压电电机 |
CN102931873A (zh) * | 2012-11-02 | 2013-02-13 | 南京航空航天大学 | 一种小型一体式并联旋转超声电机 |
CN102931871A (zh) * | 2012-11-02 | 2013-02-13 | 南京航空航天大学 | 一种椭圆抛物面形直线超声电机 |
US9829862B2 (en) | 2013-09-06 | 2017-11-28 | Casio Computer Co., Ltd. | Driving unit and timepiece |
CN103904938A (zh) * | 2014-03-20 | 2014-07-02 | 西安交通大学 | 一种通过压电-连杆机构实现扭矩的作动器及方法 |
CN109672361A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-04-23 | 南京工程学院 | 一种并联驱动式单相旋转超声波电机 |
CN109698638A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-04-30 | 南京工程学院 | 一种并联驱动式单相直线超声波电机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2000028652A1 (en) | 2000-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000152671A (ja) | 超音波モータ | |
Satonobu et al. | Construction of megatorque hybrid transducer type ultrasonic motor | |
JPH11341839A (ja) | 超音波振動によるスクリューロッド駆動方法とその駆動機構 | |
Petit et al. | Industrial design of a centimetric “TWILA” ultrasonic motor | |
JP2001186781A (ja) | 振動アクチュエータ | |
JP2586045B2 (ja) | 振動モータ | |
JPH08242593A (ja) | 振動アクチュエータ | |
JPH062478Y2 (ja) | 超音波モ−タ | |
JP2000060154A (ja) | 超音波モータ | |
JP2975072B2 (ja) | アクチュエータの駆動方法及びこの駆動方法を実現した超音波アクチュエータ | |
JPH09174462A (ja) | 回転工具 | |
JPH0681523B2 (ja) | 振動波モ−タ | |
JPH01103175A (ja) | 超音波駆動装置 | |
JP2639845B2 (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JP3302156B2 (ja) | 超音波駆動装置 | |
JPS62259484A (ja) | 圧電駆動装置 | |
JP2605121B2 (ja) | 超音波振動子及びそれを用いた超音波モータ | |
JPH02228275A (ja) | 超音波モータとその駆動方法 | |
JP2601659B2 (ja) | 超音波駆動装置 | |
JPS63224680A (ja) | 回転体介在超音波モ−タ | |
JP2692571B2 (ja) | 振動アクチュエータ | |
JPS61262091A (ja) | 振動波モ−タ | |
JP2001016875A (ja) | 振動波駆動装置 | |
JPH03118780A (ja) | 超音波モータ | |
JPH069389U (ja) | 振動モータ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20031210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060411 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060516 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060710 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060815 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060908 |