JP2001016875A

JP2001016875A - 振動波駆動装置

Info

Publication number: JP2001016875A
Application number: JP11176738A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Tsukimoto; 貴之月本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-06-23
Filing date: 1999-06-23
Publication date: 2001-01-19

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電素子の外周の歪みを有効に利用し、低電
圧で効率の良い駆動を行える振動波駆動装置を提供す
る。【解決手段】ディスク形状に形成された第１及び第２
の振動弾性体の間に、電気ー機械エネルギー変換素子を
挟持した振動子を用いた振動波駆動装置であって、少な
くとも一方の振動弾性体の外側面に、周状の剛性を小さ
くした領域を形成し、この領域は内径寸法がエネルギー
変換素子の内径寸法より大きく且つ外径寸法より小さ
く、更にこの領域の外径寸法が振動弾性体の外径より小
さくした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータ等の
振動波駆動装置に関し、ディスク形状に形成された第１
及び第２の振動弾性体の間に、電気ー機械エネルギー変
換素子を挟持した振動子を有する振動波駆動装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】振動波駆動装置としての超音波モータと
しては、特開平０７−０９５７７７が知られている。

【０００３】これは、図２に示すように、２枚のディス
ク状振動弾性体a1,a2の間に電気ー機械エネルギー変換
素子b（以下圧電素子と称す）を挟んで、振動子を構成
したものであり、振動姿態を図２の実線及び点線に示
す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図２よりわかるよう
に、圧電素子は内周部付近はほとんど歪まず、外周の縁
部のみに歪みが集中し、しかもその歪みはせん断歪みで
ある。

【０００５】なお、駆動時において圧電素子に生ずる歪
み総量が実効電流となる。

【０００６】したがって、本図に示すように圧電素子で
の歪みが小さい場合、目的とするパワーを振動子で発生
させたとき、電流小、すなわち高い電圧が必要となる。

【０００７】このとき、圧電素子内部での誘電体損失は
増大して、モータ効率は悪化する。

【０００８】また、振動子をドライブするための回路素
子群は、耐高電圧対応のものを使用する必要性が生じて
高価となる。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ディ
スク形状に形成された第１及び第2の振動弾性体と、前
記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体との間に電
気ー機械エネルギー変換素子を挟持した振動子を有し、
位置的位相差を有して分極された前記電気ー機械エネル
ギー変換素子に複数相の交番信号を印加することにより
前記電気ー機械エネルギー変換素子を位相差をもって厚
み方向に変位させて、前記第１の振動弾性体と前記第２
の振動弾性体の対向面に合成振動として位相が反転した
円又は楕円運動を形成し、前記第１の振動弾性体と前記
第２の振動弾性体の双方又はいずれか一方を振動エネル
ギーの出力部とする振動波駆動装置において、少なくと
も一方の振動弾性体の前記電気ー機械エネルギー変換素
子との非接触側の面に、周状の剛性を小さくした領域を
形成したものであって、前記領域は内径寸法が前記電気
ー機械エネルギー変換素子の内径寸法より大きく且つ前
記電気ー機械エネルギー変換素子の外径寸法より小さ
く、更に前記領域の外径寸法が前記少なくとも一方の振
動弾性体の外径より小さくした振動波駆動装置を特徴と
する。

【００１０】請求項２の発明は、ディスク形状に形成さ
れた第１及び第2の振動弾性体と、前記第１の振動弾性
体と前記第２の振動弾性体との間に電気ー機械エネルギ
ー変換素子を挟持した振動子を有し、位置的位相差を有
して分極された前記電気ー機械エネルギー変換素子に複
数相の交番信号を印加することにより前記電気ー機械エ
ネルギー変換素子を位相差をもって厚み方向に変位させ
て、前記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の対
向面に合成振動として位相が反転した円又は楕円運動を
形成し、前記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体
の双方又はいずれか一方を振動エネルギーの出力部とす
る振動波駆動装置において、少なくとも一方の振動弾性
体の前記電気ー機械エネルギー変換素子との非接触側の
面に、周状の凹部領域を形成したものであって、前記凹
部領域は内径寸法が前記電気ー機械エネルギー変換素子
の内径寸法より大きく且つ前記電気ー機械エネルギー変
換素子の外径寸法より小さく、更に前記凹部領域の外径
寸法が前記少なくとも一方の振動弾性体の外径より小さ
くした振動波駆動装置を特徴とする。

【００１１】請求項３の発明は、ディスク形状に形成さ
れた第１及び第2の振動弾性体と、前記第１の振動弾性
体と前記第２の振動弾性体との間に電気ー機械エネルギ
ー変換素子を挟持した振動子を有し、位置的位相差を有
して分極された前記電気ー機械エネルギー変換素子に複
数相の交番信号を印加することにより前記電気ー機械エ
ネルギー変換素子を位相差をもって厚み方向に変位させ
て、前記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の対
向面に合成振動として位相が反転した円又は楕円運動を
形成し、前記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体
の双方又はいずれか一方を振動エネルギーの出力部とす
る振動波駆動装置において、少なくとも一方の振動弾性
体の前記電気ー機械エネルギー変換素子との非接触側の
面にディスク形状の弾性部材を接合したものであって、
前記弾性部材は外径寸法を前記電気ー機械エネルギー変
換素子の外径以下にした振動波駆動装置を特徴とする。

【００１２】請求項４の発明は、更に前記領域の外径寸
法は前記電気ー機械エネルギー変換素子の外径以下にし
た振動波駆動装置を特徴とする。

【００１３】請求項５の発明は、更に前記凹部領域の外
径寸法は前記電気ー機械エネルギー変換素子の外径以下
にした振動波駆動装置を特徴とする。

【００１４】請求項６の発明は、更に前記領域の外径寸
法は前記電気ー機械エネルギー変換素子の外径より小さ
くした振動波駆動装置を特徴とする。

【００１５】請求項７の発明は、更に前記凹部領域の外
径寸法は前記電気ー機械エネルギー変換素子の外径より
小さくした振動波駆動装置を特徴とする。

【００１６】請求項８の発明は、ディスク形状に形成さ
れた第１及び第２の振動弾性体と、前記第１の振動体と
前記第２の振動弾性体との間に電気ー機械エネルギー変
換素子を挟持した振動子を有し、位置的位相差を有して
分極された前記電気−機械エネルギー変換素子に複数相
の交流信号を印加することにより前記電気ー機械エネル
ギー変換素子を位相差をもって厚み方向に変位させて、
前記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の対向面
に合成振動として位相が反転した円又は楕円運動を形成
し、前記第１の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の双
方又はいずれか一方を振動エネルギーの出力部とするこ
とを特徴とする振動波駆動装置において、前記第１及び
第２の振動弾性体の前記電気ー機械エネルギー変換素子
との非接触側の面に、外径寸法が前記電気ー機械エネル
ギー変換素子の外形寸法より小さく且つ内径寸法より大
きい複数の弾性部材を固定し、前記複数の弾性部材で前
記第１及び第２の振動弾性体を挟持した振動波駆動装置
を特徴とする。

【００１７】請求項９の発明は、更に前記第１の振動弾
性体と前記第２の振動弾性体に圧接する複数の接触体を
有し、前記複数の接触体を回転駆動させて共通の出力軸
から回転を出力させた振動波駆動装置を特徴とする。

【００１８】請求項１０の発明は、更に前記振動子の形
状を軸方向で対称にした振動波駆動装置を特徴とする。

【００１９】請求項１１の発明は、更に前記振動子は径
方向に延出した弾性体により支持される振動波駆動装置
を特徴とする。

【００２０】請求項１２の発明は、更に前記弾性体はケ
ース部材に接続支持され、前記ケース部材から突出した
出力軸と連結した接触体が前記第１の振動弾性体及び前
記第２の振動弾性体の少なくとも一方と加圧接触して回
転駆動される振動波駆動装置を特徴とする。

【００２１】請求項１３の発明は、更に前記振動子の軸
方向の両側に、２つの接触体を加圧接触させて回転駆動
させるものを複数組設けてなる振動波駆動装置を特徴と
する。

【００２２】請求項１４の発明は、更に前記複数組の接
触体を共通の出力軸と連結し、前記出力軸を回転出力と
した振動波駆動装置を特徴とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
を示す側断面図である。

【００２４】ディスク状振動弾性体a1,a2の間に電気ー
機械エネルギー変換素子としての圧電素子b1,振動子支
持用薄円板d及び圧電素子b2が挟みこまれ、中空のねじ
ｉにより一体に挟持され振動子を形成している。

【００２５】本振動子は支持用薄円板ｄを境界にして上
下（軸方向）対称形状であり、振動弾性体a1とa2、圧電
素子b1とb2は構成部品の共通化を図ることができる。

【００２６】圧電素子b1,b2は、図１２に示すように４
５度位相をずらした４分割の分極領域が設けられたもの
を積層しており、これは各々９０度空間的位相差を設
けた分極領域を持つことになる。したがって、直交する
方向の各分極領域（+の分極領域と-の分極領域）に同一
周波数で時間的位相差を有する交番信号としての交流電
界が印可されると、振動弾性体a1,a2には軸方向で対称
な合成振動としての面外曲げの進行波を生ずる。

【００２７】この結果、振動弾性体ａ１，ａ２の駆動部
の表面粒子は同じ方向の円又は楕円運動を行い、これに
接触体としてのロータを圧接すれば、ロータは同方向に
摩擦駆動される原理は周知の通りである。この場合、振
動弾性体を固定すれば、ロータが回転し、ロータを固定
すれば振動弾性体が回転することになる。

【００２８】c1,c2は接触体としてのロータで、各々ゴ
ムgを介して加圧用の薄板バネeにより押圧され、振動弾
性体と圧接される。薄板バネeは内周部においてスラス
ト方向の位置決め用部品hとかしめ結合していて、ラジ
アル・スラスト両方向に拘束されている。

【００２９】なお、kは位置決め用部品hを出力軸として
のモータ軸lに固定するためのビスである。したがっ
て、この実施の形態において各ロータｃ１，ｃ２は、共
通のモータ軸ｌと連結して、回転することによりモータ
軸ｌを回転出力とすることができる。

【００３０】径方向に延出した振動子支持用薄円板dの
外周部はケース部材としてのモータケースfに固定され
ている。これにより、振動子はモータケースｆによって
支持される。振動子支持用薄円板ｄには加圧力は作用し
ないため、これに抗する剛性は不要で、モータ負荷反力
に抗するねじり剛性が確保できればよく、円板では剛性
が高すぎる場合には、円板に穴を開けたものや短冊形状
に外周部に複数張り出した形状のものを用いても良い。

【００３１】ｉは玉軸受けで、モータケースfに結合さ
れていて、この玉軸受ｉに軸支されたモータ軸ｌがモー
タケースｆの両軸方向に突出している。尚、モータ軸ｌ
を固定してモータケースfを出力とすれば、ドラムのよ
うな筒状物体を回転出力部材とすることも可能である。

【００３２】sは振動弾性体ａ１，ａ２の圧電素子との
非接触側の面に設けられた周状の溝であり、この部分の
振動弾性体の厚みは薄くなって剛性を小さくしている。
周状の溝ｓの領域は、溝ｓの内径が圧電素子ｂの内径よ
り大径であり且つ外径が圧電素子ｂの外径より小径に設
定されている。ただし、この周状の溝ｓの外径は第１及
び第２の振動弾性体ａ１，ａ２の外径より小さいもので
ある。

【００３３】図３に本実施の形態に係わる振動子の振動
モードの動作状態を示す。

【００３４】図３は図１の圧電素子ｂ１，ｂ２を説明上
一つにしたものである。

【００３５】周状の溝ｓを設けたことにより、周状の溝
ｓの内径部分から外周側への曲げ変形によるたわみ角θ
1は内径側でのたわみ角θ2に比べて大きくなる。この結
果圧電素子bは厚み方向に大きく変位すなわち大きな歪
みを生ずることになる。

【００３６】図４は第２の実施の形態である。

【００３７】図３に示した振動弾性体a1,a2の外周部に
軸方向に突出する周状突起tを設けた。これにより面外
曲げ振動発生時の中立面から接触面までの距離を大きく
とれ、ロータｃ１，ｃ２の回転速度を増すことができ
る。

【００３８】図５は第３の実施の形態であり、図５
（ｂ）の展開図に示すように、図４の周状突起ｔに更に
周方向に複数のスリットｔ’を略等間隔に設けて変位を
拡大したもので、さらにロータｃ１，ｃ２の回転数を増
加させることができる。

【００３９】図６は第４の実施の形態であり、図３の周
溝断面形状を鋸歯状の周状溝ｓ’としたものである。本
形状とすることで、プレス等で周溝加工を行いやすくな
る。ただし、周状溝ｓ’の外径はこの場合は圧電素子ｂ
の外径より大径となっている。この場合でも、径寸法m
を境に圧電素子の歪みは増加する。

【００４０】図７は本発明の第５の実施の形態である。

【００４１】振動弾性体a1,a2はディスク状であるが、
補助振動弾性体n1,n2を一体に軸方向両側に固定してい
る。これは、言い方を変えれば、２つの補助振動弾性体
ｎ１，ｎ２で振動弾性体ａ１，ａ２を挟持したもので、
図３に示す振動子と同型の振動姿態が得られる。この補
助振動弾性体ｎ１，ｎ２は内径が圧電素子ｂの内径と同
径であるが、外径が圧電素子ｂの外径より小さくしてお
り、実質的に図３と同じ効果を得ることができる。

【００４２】なお、部品点数は増えるが単純形状のみで
構成されるため、結果的に安価なコストとなる。

【００４３】図８は本発明の第６の実施の形態を示す。

【００４４】これは、図４の実施の形態の変形例を示す
もので、軸方向両側の振動弾性体ａ１’，ａ２’は非対
称であるが、この場合でも周溝ｓは同様の効果を発揮す
る。

【００４５】図９は本発明の第７の実施の形態であり、
振動弾性体a1,a2をプレスで形成し、外周部に設けた周
状突起には図５と同様な複数のスリットを設け、補助振
動弾性体n1,n2を周溝ｓの内径側に一致させて設けてい
る。

【００４６】図10は本発明に係わる振動子を用いた振動
波駆動装置を支持する別の形態を示す第８の実施形態で
ある。

【００４７】eは出力用ギア、qは振動子支持用シャフト
兼挟持用ボルトである。

【００４８】本実施の形態に係わる振動波駆動装置で
は、振動子の軸の径方向の振動変位は極めて小さいた
め、本拘束は極めて容易である。

【００４９】pは固定の支持部材であり、フランジoを介
して振動波駆動装置は支持される。ボルトｑはナットｕ
により振動子を挟持し、ボルトｑの頭部ｑ’の外径と、
ナットｕの外径の径差により、実質的に振動弾性体ａ１
と振動弾性体ａ２の両方に、周溝ｓを形成している。な
お、ボルトｑはナットｒにより、フランジｏに固定さ
れ、このフランジｏがネジｗにより支持部材ｐに固定さ
れることにより、出力ギアｅも組み込んだ振動波駆動装
置を支持部材に支持できる。

【００５０】なお、ベアリングｘは出力ギアｅの軸受の
役目をする。

【００５１】図11は第９の実施形態を示すもので、図１
に示した振動波駆動装置を複数組連結したものである。

【００５２】モータ軸ｌは図１１（ｂ）に示すように、
断面がDカットされており、複数のロータ固定薄板e2内
径はこれに嵌合してラジアル方向に拘束されている。上
下に接触バネを有するロータc3と薄板バネe2はビスｙに
より直接またはゴムを介してロータｃ３に接続されてい
る。なお、e1は図１と同じ加圧用の薄板バネである。

【００５３】このような複数組の振動波駆動装置を連結
することで、出力を増大することができる。

【００５４】図１３は第１０の実施形態を示すもので、
図１に示した振動子支持用薄円板dを、圧電素子ｂ１と
第１の弾性振動体ａ１の間で挟持された振動子支持用薄
円板d’としたもので、振動子支持用薄円板d’の支持を
簡単化したものである。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１ないし３
の発明によれば、電気ー機械エネルギー変換素子の歪み
をディスク形状の振動弾性体の内径部付近にまで発生さ
せ且つ外周部付近でのせん断歪みを小さくして垂直（軸
方向）歪み成分を大きくして、低電圧で効率の良い駆動
を行える振動波駆動装置を提供することができる。さら
に、駆動の低電圧化に伴い、駆動回路素子も安価なもの
を使用することができる。

【００５６】また、請求項４ないし７の発明によれば、
電気ー機械エネルギー変換素子の外径部は第１及び第２
のディスク状の振動弾性体で高剛性領域で挟持できるの
で、特に変位が大きい電気ー機械エネルギー変換素子の
外径近傍の変位を有効に用いることができ、特に効率の
向上に寄与する振動波駆動装置を提供することができ
る。

【００５７】また、請求項８の発明によれば、電気ー機
械エネルギー変換素子の歪みをディスク形状の振動弾性
体の内径部付近にまで発生させ且つ外周部付近でのせん
断歪みを小さくして垂直（軸方向）歪み成分を大きくし
て、低電圧で効率の良い駆動を行え、更には第１及び第
２の振動弾性体による電気ー機械エネルギー変換素子の
挟持力も大きくして歪み力拡大によるトルクの更なる向
上も果たすことができる振動波駆動装置を提供すること
ができる。

【００５８】また、請求項９の発明によれば、共通の出
力軸を用いることによって、第１の振動弾性体と第２の
振動弾性体に接触する各々の接触体の回転むらも打ち消
すことができる振動波駆動装置を提供することができ
る。

【００５９】また、請求項１０の発明によれば、更に第
１の振動弾性体と第２の振動弾性体の振動のバランスを
良くし、不要な振動を押さえて極めて効率の良い振動を
得ることができる振動波駆動装置を提供することができ
る。

【００６０】また、請求項１１の発明によれば、更に薄
型化された振動子を提供することができる振動波駆動装
置を提供することができる。

【００６１】また、請求項１２の発明によれば、更に外
部からのゴミの進入を防止できる振動波駆動装置を提供
することができる。

【００６２】また、請求項１３及び１４の発明によれ
ば、更に大トルクの出力を得ることができる振動波駆動
装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態を示す振動波駆動装
置の側断面図

【図２】従来の振動波駆動装置の振動子形状およびその
振動姿態を示す図

【図３】第１の実施の形態での振動姿態を示す図

【図４】本発明の第２の実施の形態を示す振動子の側断
面図

【図５】本発明の第３の実施の形態を示す振動子の側断
面図

【図６】本発明の第４の実施の形態を示す振動子の側断
面図

【図７】本発明の第５の実施の形態を示す振動子の側断
面図

【図８】本発明の第６の実施の形態を示す振動子の側断
面図

【図９】本発明の第７の実施の形態を示す振動子の側断
面図

【図１０】本発明の第８の実施の形態を示す振動子の側
断面図

【図１１】本発明の第９の実施の形態を示す振動子の側
断面図

【図１２】本発明の実施の形態に用いる圧電素子の分極
領域を示す図

【図１３】本発明の第１０の実施の形態を示す振動子の
側断面図

【符号の説明】

ａ１，ａ２振動弾性体ｂ１，ｂ２電気ー機械エネルギー変換素子としての圧
電素子ｃ１，ｃ２，ｃ３接触体としてのロータｄ振動子支持用薄円板ｅ加圧用バネｆモータケースｇゴムｈ加圧バネ固定部材ｉ挟持用ボルトｊ玉軸受けｋビスｌ出力軸ｎ１，ｎ２振動弾性体補助部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク形状に形成された第１及び第２
の振動弾性体と、前記第１の振動弾性体と前記第２の振
動弾性体との間に電気ー機械エネルギー変換素子を挟持
した振動子を有し、位置的位相差を有して分極された前
記電気ー機械エネルギー変換素子に複数相の交番信号を
印加することにより前記電気ー機械エネルギー変換素子
を位相差をもって厚み方向に変位させて、前記第１の振
動弾性体と前記第２の振動弾性体の対向面に合成振動と
して位相が反転した円又は楕円運動を形成し、前記第１
の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の双方又はいずれ
か一方を振動エネルギーの出力部とする振動波駆動装置
において、少なくとも一方の振動弾性体の前記電気ー機械エネルギ
ー変換素子との非接触側の面に、周状の剛性を小さくし
た領域を形成したものであって、前記領域は内径寸法が
前記電気ー機械エネルギー変換素子の内径寸法より大き
く且つ前記電気ー機械エネルギー変換素子の外径寸法よ
り小さく、更に前記領域の外径寸法が前記少なくとも一
方の振動弾性体の外径より小さくしたことを特徴とする
振動波駆動装置。
【請求項２】ディスク形状に形成された第１及び第２
の振動弾性体と、前記第１の振動弾性体と前記第２の振
動弾性体との間に電気ー機械エネルギー変換素子を挟持
した振動子を有し、位置的位相差を有して分極された前
記電気ー機械エネルギー変換素子に複数相の交番信号を
印加することにより前記電気ー機械エネルギー変換素子
を位相差をもって厚み方向に変位させて、前記第１の振
動弾性体と前記第２の振動弾性体の対向面に合成振動と
して位相が反転した円又は楕円運動を形成し、前記第１
の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の双方又はいずれ
か一方を振動エネルギーの出力部とする振動波駆動装置
において、少なくとも一方の振動弾性体の前記電気ー機械エネルギ
ー変換素子との非接触側の面に、周状の凹部領域を形成
したものであって、前記凹部領域は内径寸法が前記電気
ー機械エネルギー変換素子の内径寸法より大きく且つ前
記電気ー機械エネルギー変換素子の外径寸法より小さ
く、更に前記凹部領域の外径寸法が前記少なくとも一方
の振動弾性体の外径より小さくしたことを特徴とする振
動波駆動装置。
【請求項３】ディスク形状に形成された第１及び第２
の振動弾性体と、前記第１の振動弾性体と前記第２の振
動弾性体との間に電気ー機械エネルギー変換素子を挟持
した振動子を有し、位置的位相差を有して分極された前
記電気ー機械エネルギー変換素子に複数相の交番信号を
印加することにより前記電気ー機械エネルギー変換素子
を位相差をもって厚み方向に変位させて、前記第１の振
動弾性体と前記第２の振動弾性体の対向面に合成振動と
して位相が反転した円又は楕円運動を形成し、前記第１
の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の双方又はいずれ
か一方を振動エネルギーの出力部とする振動波駆動装置
において、少なくとも一方の振動弾性体の前記電気ー機械エネルギ
ー変換素子との非接触側の面にディスク形状の弾性部材
を接合したものであって、前記弾性部材は外径寸法を前
記電気ー機械エネルギー変換素子の内径より大きく且つ
外径以下にしたことを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項４】前記領域の外径寸法は前記電気ー機械エ
ネルギー変換素子の外径以下にしたことを特徴とする請
求項1記載の振動波駆動装置。
【請求項５】前記凹部領域の外径寸法は前記電気ー機
械エネルギー変換素子の外径以下にしたことを特徴とす
る請求項２記載の振動波駆動装置。
【請求項６】前記領域の外径寸法は前記電気ー機械エ
ネルギー変換素子の外径より小さくしたことを特徴とす
る請求項１記載の振動波駆動装置。
【請求項７】前記凹部領域の外径寸法は前記電気ー機
械エネルギー変換素子の外径より小さくしたことを特徴
とする請求項２記載の振動波駆動装置。
【請求項８】ディスク形状に形成された第１及び第２
の振動弾性体と、前記第１の振動弾性体と前記第２の振
動弾性体との間に電気ー機械エネルギー変換素子を挟持
した振動子を有し、位置的位相差を有して分極された前
記電気−機械エネルギー変換素子に複数相の交流信号を
印加することにより前記電気ー機械エネルギー変換素子
を位相差をもって厚み方向に変位させて、前記第１の振
動弾性体と前記第２の振動弾性体の対向面に合成振動と
して位相が反転した円又は楕円運動を形成し、前記第１
の振動弾性体と前記第２の振動弾性体の双方又はいずれ
か一方を振動エネルギーの出力部とすることを特徴とす
る振動波駆動装置において、前記第１及び第２の振動弾
性体の前記電気ー機械エネルギー変換素子との非接触側
の面に、外径寸法が前記電気ー機械エネルギー変換素子
の外形寸法より小さく且つ内径寸法より大きい複数の弾
性部材を固定し、前記複数の弾性部材で前記第１及び第
２の振動弾性体を挟持したことを特徴とする振動波駆動
装置。
【請求項９】前記第１の振動弾性体と前記第２の振動
弾性体に圧接する複数の接触体を有し、前記複数の接触
体を回転駆動させて共通の出力軸から回転を出力させた
ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の
振動波駆動装置。
【請求項１０】前記振動子の形状を軸方向で対称にし
たことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載
の振動波駆動装置。
【請求項１１】前記振動子は径方向に延出した弾性体
により支持されることを特徴とする請求項１ないし１０
のいずれかに記載の振動波駆動装置。
【請求項１２】前記弾性体はケース部材に接続支持さ
れ、前記ケース部材から突出した出力軸と連結した接触
体が前記第１の振動弾性体及び前記第２の振動弾性体の
少なくとも一方と加圧接触して回転駆動されることを特
徴とする請求項１１に記載の振動波駆動装置。
【請求項１３】前記振動子の軸方向の両側に、２つの
接触体を加圧接触させて回転駆動させるものを複数組設
けてなることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか
に記載の振動波駆動装置。
【請求項１４】前記複数組の接触体を共通の出力軸と
連結し、前記出力軸を回転出力としたことを特徴とする
請求項１３記載の振動波駆動装置。