JP2001008475A

JP2001008475A - 振動波駆動装置

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Publication number: JP2001008475A
Application number: JP11170799A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Tsukimoto; 貴之月本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-06-17
Filing date: 1999-06-17
Publication date: 2001-01-12
Anticipated expiration: 2019-06-17
Also published as: JP4350208B2

Abstract

(57)【要約】【課題】プレス加工等が可能な薄板の弾性体であって
も、弾性体の変形を防止し、接触体との良好な接触が得
られる振動波駆動装置を提供する。【解決手段】弾性体１の両面に圧電素子２ａと２ｂを接
着して得られた振動体を薄板により形成し、弾性体本体
に振動の中立面に対して軸方向両側に突出する駆動部と
しての突出部１ａ，１ｂを一体に形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は振動波駆動装置、特
に振動体としてのステータの構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、振動波駆動装置としての振動波モ
ータは、金属部材で構成された弾性体に例えば電気−機
械エネルギー変換素子としての圧電素子を接着して構成
された振動体と、前記振動体の駆動部に加圧手段を介し
て加圧接触する接触体とを有し、前記弾性体に前記圧電
素子により形成される駆動振動により、前記振動体と前
記接触体とを相対移動させるようにしたもので、前記弾
性体を製造する方法としてプレス加工により形成するこ
とが、例えば特開平8-298792号公報等に開示されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記弾性体を
プレス加工により形成する方法にあっては、プレス加工
により得られた弾性体が薄板で形成されるため、柔らか
く、片面側から接触体としてのロータが加圧された場
合、弾性体が変形するため、加圧ムラ等によりロータと
弾性体との均一な接触を妨げ、モータ性能を悪化させて
いた。

【０００４】また、強度を補うために、複数の弾性体を
積層して接合する例が特開平8-214569号公報等に開示さ
れているが、部品数の増大と接合の手間でコストが増大
してしまう。

【０００５】本出願に係る発明の目的は、プレス加工等
が可能な薄板の弾性体であっても、弾性体の変形を防止
し、接触体との良好な接触が得られる振動波駆動装置を
提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する振動波駆動装置の第１の構成は、弾性体に電
気−機械エネルギー変換素子が設けられ、該電気−機械
エネルギー変換素子に交番信号を印加することにより該
弾性体の駆動部に駆動振動を形成する振動体と、前記弾
性体の駆動部と加圧接触する接触体と、を有し、前記振
動体と前記接触体とを相対移動させる振動波駆動装置に
おいて、前記弾性体は薄板により形成され、弾性体本体
に振動の中立面に対して軸方向両側に突出する駆動部と
しての突出部を一体に形成したものである。

【０００７】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第２の構成は、上記第１の構成で、前記弾性
体は円板状に形成された弾性体本体に前記突出部を形成
すると共に、周方向に沿って複数形成し、前記複数の突
出部の突出方向を交互に設けたものである。

【０００８】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第３の構成は、上記第１または第２の構成
で、前記突出部は、先端部を自由端とするように、前記
弾性体本体の端まで切り込まれいるものである。

【０００９】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第４の構成は、上記第１または第２の構成
で、前記突出部は、先端部を自由端とするように、前記
弾性体本体の端部を残して切り込まれているものであ
る。

【００１０】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第５の構成は、上記第１または第２の構成
で、前記突出部は台形状に形成され、両端が前記弾性体
本体に連接されているものである。

【００１１】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第６の構成は、上記第１または第２の構成
で、前記突出部は略半球体形状に形成されているもので
ある。

【００１２】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第７の構成は、上記第６の構成で、前記略半
球形状の突出部を周方向に沿って千鳥状に設けたもので
ある。

【００１３】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第８の構成は、上記いずれかの構成で、前記
振動体は、前記弾性体本体の両面に前記電気−機械エネ
ルギー変換素子を設けたものである。

【００１４】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第１の構成は、上記第１ないし第７の構成の
いずれかにおいて、前記振動体は、前記弾性体本体の片
面側に前記電気−機械エネルギー変換素子を設けたもの
である。

【００１５】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第１０の構成は、上記第９の構成で、前記弾
性体に形成される軸方向両側に突出する突出部は、振動
の中立面に対する軸方向の長さが異なるものである。

【００１６】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第１１の構成は、上記第９または第１０の構
成で、前記弾性体に形成される軸方向両側に突出する突
出部は、動的応答性の向上のために先端ほど薄くしたも
のである。

【００１７】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第１２の構成は、上記第９の構成で、前記弾
性体に形成される軸方向両側に突出する突出部は、径方
向の長さが異なるものである。

【００１８】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第１３の構成は、上記いずれかの構成で、前
記弾性体はプレス加工により形成されているものであ
る。

【００１９】本出願に係る発明の目的を実現する振動波
駆動装置の第１４の構成は、上記いずれかの構成におい
て、前記振動体を軸方向に複数配列し、少なくとも対向
する突出部の間に前記接触体を配置したものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１は本発
明の実施の形態を示す。

【００２１】図１の（ａ）は振動体の平面図、図１の
（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ’矢視図である。

【００２２】本実施の形態の振動波駆動装置は、平面円
板形状に形成された振動体の軸心部に、前記振動体を支
持する支持軸（不図示）を設け、前記振動体の両面側に
ロータを配置した形式のものである。

【００２３】本実施の形態の振動体を構成する弾性体１
は、金属の薄板をプレス加工により円板形状に成形され
るもので、外周部分には放射方向に沿って延びる折り曲
げにより軸方向に突出した突出部１ａ，１ｂが周方向に
複数形成されており、突出部１ａと突出部１ｂとは面
（軸方向と直交する平面）対称に交互に形成され、プレ
ス加工の際にそれぞれ軸方向に向かって突出するように
切り起こされるようにして形成される。なお、突出部１
ａと１ｂとはそれぞれ等ピッチに形成しても良く、また
鳴きの発生防止の点より、動剛性不均一部を設ける等の
ために、部分的にピッチあるいはサイズ等を変えるよう
にしてもよい。

【００２４】この突出部１ａと１ｂとは全周に設けられ
ており、それぞれの先端部１ｃと１ｄは軸方向と直交す
る平面と略平行な面となるように折り曲げられている。
なお、この先端部１ｃと１ｄとは、ある程度の角度を有
して傾斜するようにしてもよく、この場合は（不図示）
のロータとの加圧接触の際に、突出部１ａ，１ｂの撓み
により該ロータとの接触面に対して平行となり均一な加
圧接触が得られ、例えばロータあるいは該先端部１ｃと
１ｄの表面に設けられた摩擦摺動材の異常摩耗等を防止
することができる。

【００２５】また弾性体１の軸心部には前記支持軸（不
図示）が貫通する中心孔１ｆが形成され、この中心孔１
ｆの周囲にビス孔１ｅが形成されている。前記支持軸に
は不図示の取り付け部材が取り付けられていて、この取
り付け部材にビス孔１ｅを通してビス止めされ、振動体
が前記支持軸に支持されるようになっている。

【００２６】前記弾性体１の突出部１ａおよび１ｂと、
ビス孔１ｅとの間の平板部の両面には、円板状の電気−
機械エネルギー変換素子としての圧電素子板２ａと２ｂ
がそれぞれ接着剤により接着されている。

【００２７】この圧電素子板２ａと２ｂとは、極性の異
なる複数の分極領域を有していて、弾性体１との接着面
側をそれぞれ全面電極とし、反対面側には各分極領域毎
に電極膜が形成されている。圧電素子２ａと２ｂにおけ
る分極領域は、駆動波（進行波）の波長をλとすると、
λ／２の間隔で極性が異なるようにしたものが２群設け
られていて、前記各群間の空間的位相をλ／４としたも
ので、前記各群の間に設けられた分極領域を振動検出用
として使用している。そして、前記圧電素子２ａと２ｂ
の電極膜には不図示のフレキシブルプリント板が取り付
けられ、不図示の駆動回路からの交番信号としての駆動
信号が前記フレキシブルプリント板を介して圧電素子に
印加され、また振動検出信号が前記駆動回路に出力され
る。

【００２８】位相の異なる駆動信号が圧電素子２ａと２
ｂの上記各２群の分極領域に印加されると、弾性体１に
は位相の異なる２つの定在波が励起され、その合成で進
行波が形成される。この進行波は突出部１ａ及び１ｂに
形成され、両突出部１ａと１ｂに形成される進行波の進
行方向は同方向であり、突出部１ａ及び１ｂの先端部１
ｃ及び１ｄにそれぞれ加圧接触する各ロータを同じ方向
に回転させることができる。

【００２９】なお、弾性体１の圧電素子２ａ，２ｂが接
着される平面部の板厚に対し、それよりも内周側の部分
の板厚を薄くし、弾性体１に励起された振動が支持軸等
の外部に伝搬されるのを防止している。

【００３０】本実施の形態において、弾性体１は、ロー
タと接触する外周部分を軸方向に沿って突出する複数の
折り曲げ部としているので、薄板で形成された円板の外
周面を単に駆動面とする従来の場合に比べて剛性が高ま
り、ロータとの接触安定性が良好となる。

【００３１】また、これらの折り曲げにより形成された
突出部は軸方向に突出した形状に形成されているので、
弾性体に形成される屈曲振動に伴う周方向の変位が拡大
される。

【００３２】さらに、振動変位の大きい最外周部にロー
タとの接触が行われる突出部１ａ，１ｂの先端部１ｃ及
び１ｄを配置することが可能である。

【００３３】なお、本実施の形態では、圧電素子２ａと
２ｂとは、λ／４の位相ずれを有した２群の分極処理領
域を有するものとして説明しているが、両方の圧電素子
２ａ，２ｂ共にλ／２の間隔で極性異なる分極領域を形
成したものとし、一方の圧電素子２ａに対して他方の圧
電素子２ｂを位置的に例えばλ／４の位相差を有して配
置するようにしたものであっても良い。

【００３４】（第２の実施の形態）図２は本発明の第２
の実施の形態を示す。

【００３５】図２の（ａ）が弾性体の平面図、同図
（ｂ）が同図（ａ）のＢ−Ｂ’矢視図である。

【００３６】本実施の形態は、図１に示す第１の実施の
形態における弾性体の突出部の形状のみが異なるもの
で、弾性体１の最外周からやや内周側の部分１ｇを部分
的に切断・折り曲げ加工を行い、突出部１ａ，１ｂを形
成している。

【００３７】本実施の形態では、弾性体１の外周部は繋
がっているため、図１の第１の実施の形態に比して弾性
体の強度を高くすることができる。

【００３８】また、節円を有する屈曲振動を利用する場
合、弾性体１の径方向中央部付近に存在する振動の腹位
置と接触部をなす先端部１ｃと１ｄを略一致させること
ができ、モータ出力を増大することができる。

【００３９】（第３の実施の形態）図３は本発明の第３
の実施の形態を示す。

【００４０】本実施の形態は図２に示す第２の実施の形
態と弾性体１に形成される突出部の形状のみが異なるも
ので、上記した図２に示す第２の実施の形態における弾
性体１は、弾性体１の最外周からやや内側の部分１ｇを
切断しているが、本実施の形態では、このような部分で
の切断は行わず、放射方向の内周側及び外周側の端部は
共に弾性体１を構成する板部材に繋いだ状態とし、その
間の部分を軸方向突出させて突出部１ｃと１ｄを形成す
るようにしている。

【００４１】本実施の形態の構成では、上記した第１、
第２の実施の形態に比べて突出部１ｃ，１ｄの剛性を高
くすることが可能である。この結果突出量を大きくし
て、振動変位の周方向成分を増やすこと、すなわちモー
タ回転数を増加させることができる。

【００４２】（第４の実施の形態）図４は本発明の第４
の実施の形態を示す。

【００４３】本実施の形態は、図１に示す第１の実施の
形態と弾性体１に形成される突出部の形状のみが異なる
もので、本実施の形態では、弾性体１の外周部にエンボ
ス状に突出部１ａと１ｂを両面同一円周上の位置に突出
方向が軸方向において交互になるように突出させてい
る。

【００４４】（第５の実施の形態）図５は本発明の第５
の実施の形態を示す。

【００４５】本実施の形態は、図４に示す第４の実施の
形態と弾性体１に形成される突出部が異なるだけで、上
記した第４の実施の形態では、弾性体１の最外周に両面
同一円周上の一列にエンボス状の突出部１ａ，１ｂを交
互に形成しているが、本実施の形態では、最外周の両面
同一円周上の一列に突出方向を同じとするエンボス状の
複数の突出部１ａを形成し、さらにその内側に、両面同
一円周上に最外周の突出部１ａとは突出方向が逆向きの
複数の突出部１ｂを最外周の突出部１ａの間に位置する
ようにずらして形成している。

【００４６】本実施の形態では、図４の第４の実施の形
態に比して突出部の密度を高めるために、内周側と外周
側で突出部の向きを逆にしたものである。

【００４７】なお、内周側と外周側では振動の軸方向変
位量が異なるため、突出部先端での周方向の角変位成分
が等しくなるよう突出量を変えている。

【００４８】第４及び第５の実施の形態では、図３の第
３の実施の形態と比してもさらに突出部の剛性を大きく
とることができる。

【００４９】ところで、以上説明した実施の形態におい
ては、弾性体の両面面に同寸法の圧電素子を配置して上
下対称の振動体としたが、圧電素子を片面のみへ貼り付
けても弾性体に振動を励振できる。

【００５０】本発明において、弾性体は薄板で構成され
るため、圧電素子の貼り付けによる弾性体の剛性変化へ
の影響は大きく、片面のみへの貼りつけでは、図６に示
すように曲げ振動の中立面３は弾性体の厚み方向の中央
面に一致しない。

【００５１】一方、ロータとの接触面における周方向の
変位は、中立面から接触面までの距離に比例する。

【００５２】したがって、圧電素子を片面のみへ貼り付
けた場合、上下面での接触部の周方向変位が等しくなる
よう、突出部の形状を設定する必要がある。

【００５３】以下の実施の形態は弾性体の片側に圧電素
子を張りつけた場合を示す。

【００５４】（第６の実施の形態）図７は本発明の第６
の実施の形態を示す。

【００５５】図６に図示したように、接触面の存在する
外周部付近では曲げ振動の中立面が弾性体の下面方向へ
移動するため、この移動量を考慮して、本実施の形態で
は、図７に示すように、弾性体１の厚み方向の中央面Ｌ
₁ から弾性体１の一方の突出部１ａの接触部である先端
部１ｃまでの距離をｈ₁ とすると、該中央面Ｌ₁ から弾
性体１の他方の突出部１ｂの接触部である先端部１ｄま
での距離をｈ₂ とすると、ｈ₁ ＜ｈ₂ としたものであ
る。

【００５６】尚、本実施の形態では突出寸法で調整をし
たが、突出部の厚みや幅等の形状を変えることで、中立
面の位置を変化させて調整をすることも可能である。

【００５７】（第７の実施の形態）図８は第７の実施の
形態を示す。

【００５８】本実施の形態は、弾性体１の突出部１ａ，
１ｂの幅を先端ほど薄くして、突出部の動的応答性を向
上させたものである。

【００５９】図９に節円を持たない曲げ振動の軸方向の
変位分布を点線４により示す。図９に示すように、曲げ
振動の軸方向の変位分布は、外径部ほど大きく内径部ほ
ど小さいため、接触部径を上下で変えることで、上下で
の周方向の変位を変化させることができる。

【００６０】（第８の実施の形態）図９、図１０は本発
明の第８の実施の形態を示す。

【００６１】図９は節円を持たない曲げ振動の軸方向の
変位分布を点線４により示すもので、図９に示すよう
に、曲げ振動の軸方向の変位分布は、外径部ほど大きく
内径部ほど小さいため、接触部径を上下で変えること
で、上下での周方向の変位を変化させることができる。

【００６２】本実施の形態では、弾性体１の外周部に形
成する突出部１ａは切り起こし端を内周側に向けるよう
にして突出させ、突出方向が逆の突出部１ｂは切り起こ
し端を外周側に向けるように突出させ、この突出部１ａ
と１ｂとを図示のように交互に折り曲げ形成したもの
で、軸心から一方の突出部１ａの接触部である先端部１
ｃまでの距離をｌ₁ 、軸心から他方の突出部１ｂの接触
部である先端部１ｄまでの距離をｌ₂ とすると、図より
明らかなように、ｌ₁ ＜ｌ₂ となる。

【００６３】（第９の実施の形態）図１１は第９の実施
の形態を示す。

【００６４】本実施の形態は、振動波駆動装置の全体構
成の断面図で、図８に示した振動体を軸方向に多層に重
ねたものである。

【００６５】本実施の形態の振動波駆動装置は、円筒状
のケース１２自体を回転体としたもので、回転中心には
ケース１２に設けられた軸受１０に支持棒１１が軸支さ
れ、ケース１２が支持棒１１を中心として回転可能とな
っている。

【００６６】弾性体１と圧電素子２で構成される振動体
は、弾性体１の中心孔が外周部が段付形状に形成された
固定部材７に差し込まれ、例えばナット部材８をその上
から締め付けることで固定部材７に振動体を固定する。
そして、この複数の固定部材７をスペーサ１６を介して
支持棒１１に装着するが、その際支持棒１１の外周部に
は軸方向に沿ってキー溝１４が形成され、固定部材７の
内周部に形成されたキー（不図示）をこのキー溝１４に
差し込むので、固定部材７は軸方向への移動が可能でか
つ軸周りの回転が規制される。支持棒１１の先端部には
コイルスプリング９が、ボールベアリング１０の内輪側
と先端の固定部材７との間に配置され、コイルスプリン
グ９のバネ力をすべての前記振動体に付与する。なお、
ケース１２の開放端部には、底板１５が装着され、ビス
１３によりケース１２に一体的に固定される。

【００６７】また、圧電素子２に取り付けられたフレキ
シブル配線板１７は、この底板１５側からケース外に引
き出され、（不図示）の駆動装置に接続される。

【００６８】一方ケース１２の内周面には、リング状の
ロータ固定部材６が軸方向に沿って複数取り付けられ、
各ロータ固定部材６にはリング状のロータ５の外周部が
固定されていて、ロータ５の内周部が対向する振動体の
弾性体１に形成された突出部の先端部間に挟み込まれる
ように加圧接触されている。

【００６９】本実施の形態の振動波駆動装置によれば、
複数の振動体を積層し、各振動体間に配置された複数の
ロータを駆動するので、高トルクで高出力のモータが得
られ、またロータ５との加圧接触でプレス成形された薄
板の弾性体１が変形せずに安定に接触するので、接触効
率も増し、鳴き発生も防止することができる。

【００７０】

【発明の効果】本発明によれば、振動体を構成する弾性
体を薄板で形成しても、弾性体本体より軸方向両側に駆
動部である突出部を突出させたので、弾性多自体の剛性
が高くなり、接触体との加圧接触での変形が防止でき、
また弾性体と接触体とを均一に接触させることが可能と
なり、モータ効率の向上、鳴きの発生を防止することが
可能となった。

【００７１】また、軸方向両側に駆動部を有するので、
高トルク化、高出力化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の振動波駆動装置の
振動体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ’矢視図

【図２】本発明の第２の実施の形態を示す振動波駆動装
置の振動体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の
Ｂ−Ｂ’矢視図

【図３】本発明の第３の実施の形態の振動波駆動装置の
振動体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−
Ｃ’矢視図

【図４】本発明の第４の実施の形態の振動波駆動装置の
振動体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−
Ｄ’矢視図

【図５】本発明の第５の実施の形態の振動波駆動装置の
振動体の平面図

【図６】振動体の片面にのみ圧電素子を設けた場合の振
動の中立面の移動を説明するための図

【図７】本発明の第６の実施の形態の振動波駆動装置の
振動体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−
Ｅ’矢視図

【図８】本発明の第７の実施の形態の振動波駆動装置の
振動体の側面図

【図９】節円を持たない曲げ振動の軸方向の変位分布を
示す図

【図１０】本発明の第８の実施の形態の振動波駆動装置
の振動体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ
−Ｆ’矢視図

【図１１】本発明の第９の実施の形態の振動波駆動装置
を示し、（ａ）は（ｂ）のＧ−Ｇ’矢視図、（ｂ）は縦
断面図

【符号の説明】

１弾性体１ａ，１ｂ突出部１ｃ，１ｄ先端部（接触部）１ｅビス孔１ｆ中心孔２ａ，２ｂ圧電素子（電気−機械エネルギー変換素
子）５ロータ６ロータ固定部材７固定部材８ナット部材９コイルスプリング１０ボールベアリング１１支持棒１２ケース１３ビス１５底板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弾性体に電気−機械エネルギー変換素子
が設けられ、該電気−機械エネルギー変換素子に交番信
号を印加することにより該弾性体の駆動部に駆動振動を
形成する振動体と、前記弾性体の駆動部と加圧接触する
接触体と、を有し、前記振動体と前記接触体とを相対移
動させる振動波駆動装置において、前記弾性体は薄板により形成され、弾性体本体に振動の
中立面に対して軸方向両側に突出する駆動部としての突
出部を一体に形成したことを特徴とする振動波駆動装
置。
【請求項２】前記弾性体は円板状に形成された弾性体
本体に前記突出部を形成すると共に、周方向に沿って複
数形成し、前記複数の突出部の突出方向を交互に設けた
ことを特徴とする請求項１に記載の振動波駆動装置。
【請求項３】前記突出部は、先端部を自由端とするよ
うに、前記弾性体本体の端まで切り込まれいることを特
徴とする請求項１または２に記載の振動波駆動装置。
【請求項４】前記突出部は、先端部を自由端とするよ
うに、前記弾性体本体の端部を残して切り込まれている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の振動波駆動
装置。
【請求項５】前記突出部は台形状に形成され、両端が
前記弾性体本体に連接されていることを特徴とする請求
項１または２に記載の振動波駆動装置。
【請求項６】前記突出部は略半球体形状に形成されて
いることを特徴とする請求項１または２に記載の振動波
駆動装置。
【請求項７】前記略半球形状の突出部を周方向に沿っ
て千鳥状に設けたことを特徴とする請求項６に記載の振
動波駆動装置。
【請求項８】前記振動体は、前記弾性体本体の両面に
前記電気−機械エネルギー変換素子を設けたことを特徴
とする請求項１ないし７のいずれかに記載の振動波駆動
装置。
【請求項９】前記振動体は、前記弾性体本体の片面側
に前記電気−機械エネルギー変換素子を設けたことを特
徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の振動波駆
動装置。
【請求項１０】前記弾性体に形成される軸方向両側に
突出する突出部は、振動の中立面に対する軸方向の長さ
が異なることを特徴とする請求項９に記載の振動波駆動
装置。
【請求項１１】前記弾性体に形成される軸方向両側に
突出する突出部は、動的応答性の向上のために先端ほど
薄くしたことを特徴とする請求項９または１０に記載の
振動波駆動装置。
【請求項１２】前記弾性体に形成される軸方向両側に
突出する突出部は、径方向の長さが異なることを特徴と
する請求項９に記載の振動波駆動装置。
【請求項１３】前記弾性体はプレス加工により形成さ
れていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれ
かに記載の振動波駆動装置。
【請求項１４】前記振動体を軸方向に複数配列し、少
なくとも対向する突出部の間に前記接触体を配置したこ
とを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載の
振動波駆動装置。