JPH1075588A - 振動波モータ - Google Patents

振動波モータ

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JPH1075588A
JPH1075588A JP8230235A JP23023596A JPH1075588A JP H1075588 A JPH1075588 A JP H1075588A JP 8230235 A JP8230235 A JP 8230235A JP 23023596 A JP23023596 A JP 23023596A JP H1075588 A JPH1075588 A JP H1075588A
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Kosuke Fujimoto
幸輔 藤本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 加圧ばねを圧延加工によって作ると、圧延後
のロールによりそりが生じてしまったり、縦弾性係数が
異方性となり加圧むらが生じてしまう。 【解決手段】 振動波を生じる振動体と、前記振動体と
接触し、前記振動体の振動波によって前記振動体と相対
移動する接触体と、前記接触体を前記振動体に対して加
圧接触させる加圧ばねを有する振動波モータにおいて、
前記加圧ばねとして圧延加工によって形成したものを用
い、前記加圧ばねを複数個重ねると共に、各々の圧延方
向を360°/2n(nは加圧ばねの個数)ずらした振
動波モータを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は振動体に発生させた
振動波により接触体と該振動体とを相対移動させるいわ
ゆる振動波モータの加圧手段の改良に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図20に示す従来の振動波モータの構成
を説明する。ベース1にビスで固定された振動体として
のステータ2は金属などの弾性体製の振動子21の裏面
に圧電素子22が固着され、そのもう一方の面には摩擦
材23が接着されている。移動体(接触体)としてのロ
ータ3は、回転軸4に焼嵌められたディスク5に内径を
固定された加圧ばね6によってゴム7を介して押圧さ
れ、ステータ2に加圧接触されている。回転軸4はベー
ス1に外軸を固定した一対の深溝玉軸受81、82によ
って回転自在に支持され、ロータ3をステータ2に適切
な力で加圧接触させるための加圧ばね6の加圧変位量だ
け回転軸4をステータ側へ押し込んだ状態で、回転軸の
溝に装着したスナップリング9によって軸受82の内輪
に支持される。軸受81はディスク5によってその内輪
に適切な予圧をかけることでがたを排除し、回転軸4の
ラジアルふれを抑えている。
【0003】コネクタ10、フレキシブルプリント基板
11を介して圧電素子へ駆動電圧を給電することによ
り、ステータに進行性の振動波を起こし、これによって
加圧接触されたロータ2を駆動することにより、回転軸
4から回転を取り出す。
【0004】図21は加圧ばね6の平面図である。加圧
ばね6はディスクとの嵌合穴61、ビス止め用の穴6
2、およびゴムとの接触部に滑り止め用の穴63を設け
た、ステンレス鋼帯製の円板状の薄板ばねである。
【0005】この振動波モータは、振動体の摺動面形状
や振動振幅にむらがある場合、移動体(接触体)の振動
体への加圧力が全周にわたって均一とならず、移動体と
振動体の位相角によって発生トルクが変化し、トルクむ
らあるいは速度むら(以下回転むらとする)を生じてし
まう。このため移動体の振動体との摺動面の平面度を上
げる、加圧むらの排除、あるいは、振動体の摺動面平面
度を上げることが、振幅むらの軽減や、上記回転むらの
軽減の為に必要である。
【0006】この例では、加圧力を均一にするために円
形の板ばねを用いることにより、コイルばね等を用いる
よりも加圧むらを低減し、回転むらを小さくしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、板ばね
に用いられるばね用ステンレス鋼帯等の圧延材は、圧延
加工、焼入れ等の工程において歪みを生ずると共に、ロ
ール材として使用されることによりそりが生ずる。ま
た、圧延材の面内における縦弾性係数(ヤング率)が異
方性をもっている。
【0008】図20は図19のばねを圧延方向から45
°の角度からみた自然状態の側面図である。図に示すよ
うな圧延加工後のロールにより円弧状のそりを生じてい
るとき、移動体を押圧すると、そりによって浮き上がっ
ていた部分は他の部分と比較して変位量が少ない。した
がって、加圧力も小さいことから、移動体への加圧力は
周方向に2周期の分布をもつ一方で振動体に微小な初期
変形による凹凸があるため、振動体の凸部と、移動体の
加圧力が大きい部分が一致する相対角度で出力トルクが
最大となる。移動体一周あたりに2周期でこの最大トル
クの角度があるため、上記の構成では軸出力の1回転あ
たり、180度ごとにトルクが最大となり、2周期の回
転むらが出力される。
【0009】さらに、板ばねの圧延面内で縦弾性係数が
異方性を持っていると、全周にわたって同じ変位を与え
た場合の加圧力分布にむらが生ずるため、上記のそりに
よる場合と同様に、回転むらが生じる。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、振動
波を生じる振動体と、前記振動体と接触し、前記振動体
の振動波によって前記振動体と相対移動する接触体と、
前記接触体を前記振動体に対して加圧接触させる加圧ば
ねを有する振動波モータにおいて、前記加圧ばねとして
圧延加工によって形成したものを用い、前記加圧ばねを
複数個重ねると共に、各々の圧延方向を360°/2n
(nは加圧ばねの個数)ずらした振動波モータを特徴と
する。
【0011】請求項2の発明は、振動波を生じる振動体
と、前記振動体と接触し、前記振動体の振動波によって
前記振動体と相対移動する接触体と、前記接触体を前記
振動体に対して加圧接触させる加圧ばねを有する振動波
モータにおいて、前記加圧ばねとして圧延加工によって
形成したものを用い、前記加圧ばねを複数個重ねると共
に、各々の圧延時での表裏を逆にした振動波モータを特
徴とする。
【0012】請求項3の発明は、前記複数個の加圧ばね
の少なくとも2個は、圧延方向を一致させて圧延時での
表裏を逆にした振動波モータを特徴とする。
【0013】請求項4の発明は、振動波を生じる振動体
と、前記振動体と接触し、前記振動体の振動波によって
前記振動体と相対移動する接触体と、前記接触体を前記
振動体に対して加圧接触させる加圧ばねを有する振動波
モータにおいて、前記加圧ばねとして圧延加工によって
形成したものを用い、圧延方向によって生じる縦弾性係
数の異方性を、前記加圧ばねの剛性を異方性にすること
によって補正した振動波モータを特徴とする。
【0014】請求項5の発明は、前記加圧ばねは周方向
に複数個のスリットを形成し、該スリットの面積を変え
ることにより剛性を異方性にした振動波モータを特徴と
する。
【0015】請求項6の発明は、前記加圧ばねに周方向
に複数個のスリットを形成し、該スリットの間隔を変え
ることにより剛性を異方性にした振動波モータを特徴と
する。
【0016】請求項7の発明は、振動波を生じる振動体
と、前記振動体と接触し、前記振動体の振動波によって
前記振動体と相対移動する接触体と、前記接触体を前記
振動体に対して加圧接触させる加圧ばねを有する振動波
モータにおいて、前記加圧ばねとして圧延加工によって
形成したものを用い、圧延方向によって生じる縦弾性係
数の異方性を、前記加圧ばねの接触部を周方向に不等径
にすることにより補正した振動波モータを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】最初に本発明の実施の形態の代表
的な考え方を図18、図19を用いて説明する。
【0018】図18は圧延材に圧延方向のロール等によ
って初期変形が生じている場合の作用の説明図である。
【0019】ばね6aが圧延材の初期変形により、図示
したような2つ折れの形状となっている場合、周囲が軸
方向に等しい位置まで変位したときに生ずる荷重分布
は、Aで示すように2つの極大値をとるような分布とな
る。このばね6aだけを用いて移動体(接触体)を加圧
すると、荷重分布Aと同様の加圧力分布が移動体(接触
体)と振動体に働き、上述したようにモータ軸の1回転
に2回の回転むらを生じる。
【0020】ここでさらに同一形状のばね6bを回転軸
を中心に90度ずらして、表裏を一致させて重ね合せた
場合、ばね6aと等しい変位が生じたときの荷重分布は
Bで示すように荷重分布Aと90°ずれた分布となる。
この2枚の加圧ばねをディスクに一体的に固定し、周囲
に変位を与えると、ばね6aおよびばね6bに生じる変
位は合成されると等しくなるため、移動体に働く加圧分
布はAとBの和Cとなり、個々のばねによって生ずる加
圧分布のむらは軽減することができる。
【0021】図19は圧延材の縦弾性係数の異方性に対
する作用の説明図である。ばね材料の面内における縦弾
性係数の異方性は、圧延方向成分が大きく、圧延方向と
直交する成分は小さい値となっている場合が多い。この
圧延方向は、上記のばね材に生ずるそりの方向と一致す
る。ばね6a′の縦弾性係数の分布がA′で示されると
き、これに対して90°ずらして配置したばね6b′の
縦弾性係数の分布はB′となる。この2枚の加圧ばね6
a′,6b′をディスクに一体的に固定し周囲に変位を
与えると、ばね6a′およびばね6b′に生じる変位は
等しくなるため、ばね6a′とばね6b′の合成された
剛性はC′に示すようになり、上記のそりによる加圧分
布を相殺する効果と同様に、圧延面内の縦弾性係数の異
方性によって生じる加圧力分布のむらも低減できる。
【0022】(第1の実施の形態)図1は本発明の第一
の実施の形態としての振動波モータを示す。ベース1に
ビスで固定された振動体としてのステータ2は金属など
の弾性体製の振動子21の裏面に電気−機械エネルギー
変換素子としての圧電素子22が固着され、そのもう一
方の面に薄い摩擦材23が接着されている。接触体とし
てのロータ3は回転軸4に焼嵌めされたディスク5に内
径近傍を固定された加圧ばね6aおよび6bによってリ
ング状のゴム7を介して押圧され、ステータ2に加圧接
触されており、回転軸4はベースに外輪を固定した一対
の深溝玉軸受81、82によって回転自在に支持され、
ロータ3をステータ2に適切な力で加圧接触させるため
の加圧ばね6a、6bの加圧変位量だけ、回転軸4をス
テータ側へ押し込んだ状態で、回転軸の溝に装着したス
ナップリング9によって軸受82の内輪に支持される。
軸受81はディスク5によってその内輪に適切な予圧を
かけることでがたを排除し、回転軸4のラジアルふれを
抑えている。ここでコネクタ10、フレキシブルプリン
ト基板11を介して圧電素子へ駆動電圧を給電すること
により、ステータに進行性の振動波を起こし、これに加
圧接触されたロータ3を駆動することにより、回転軸4
から回転を取り出す。
【0023】加圧ばね6aおよび6bは図2,図3に示
すように、回転軸に対して圧延方向を互いに90度ずら
し、表裏を一致させて重ね合せ(図3において、例えば
加圧ばね6aと6b共、上面を圧延時の表面とするとい
う意味)、嵌合穴61でディスクに対する位置決めを行
った上、穴62を用いてビスでディスク5に共締めして
いる。ゴム7との接触部には滑り止め用の穴63を複数
個周方向に設けてある。この構成では、2枚の加圧ばね
6a、6bを90度ずらして重ね合せることによって初
期変形と、面内の縦弾性係数の異方性による加圧力のむ
らの両方を相殺している。
【0024】このように、2枚の加圧ばねを90度回転
方向にずらして配置することによって加圧むらを軽減
し、モータの回転むらを減らすことによって、高精度で
安定した出力を得る振動波モータを提供することが可能
となる。
【0025】(第2の実施の形態)図4は本発明の第2
の実施の形態としての加圧ばねを示す。
【0026】4枚の加圧ばね6a〜6dの圧延方向を4
5度ずつずらして表裏を一致させて重ねあわせ、ディス
ク(不図示)にビスで共締めしている。これによってば
ね材の持つ異方性を4方向に分散させることによってむ
らが軽減できる。加圧ばねの枚数を増やすことによっ
て、各板ばねの板厚を薄くすることが可能となるため、
変位に対する板厚が小さくなり、ばね特性の非線形性も
改善できる。
【0027】(第3の実施の形態)図5は本発明の第3
の実施の形態としての加圧ばねを示す。
【0028】本実施の形態では、2枚の加圧ばねの圧延
方向を一致させ、初期変形の凹側が対向するように表裏
を逆にして重ね合せたものである。縦弾性係数の異方性
は相殺できないが、凹部を対向させて共締めすることに
よって荷重を受けない状態で加圧ばねの変形をおさえて
平坦な形状とすることができる。
【0029】(第4の実施の形態)図6は本発明の第4
の実施の形態における加圧ばねを示す。
【0030】本実施の形態では、2枚の加圧ばねの圧延
方向を一致させ、初期変形の凹側が対向するように表裏
を逆にして重ね合せた2組のばね対6aと6b、および
6cと6dを90°ずらして重ねたものである。この構
成ではばねの初期変形を取り除くと共に、縦弾性率の異
方性も相殺できる。
【0031】(第5の実施の形態)図7は第5の実施の
形態としての加圧ばねの平面図である。
【0032】加圧ばね6にはディスク5への嵌合穴61
と固定用の穴62、滑り止めの為の穴63をもち、ばね
の中心から放射状に複数のスリット64を形成してい
る。この放射状スリットは押えばねの板材の圧延方向に
近い方向のスリットは幅が広く、圧延方向と直角方向に
近い方向のものほど幅が狭くなっている。圧延方向の縦
弾性係数は大きく、圧延方向に直角な方向の縦弾性係数
は小さくなっているから、本実施の形態のように圧延方
向に向いたスリットを幅広くして、剛性を下げることに
よって、縦弾性係数の異方性による曲げ剛性の分布を平
均化し、加圧むらを軽減することによって回転むらの小
さい高性能なモータとすることができる。
【0033】(第6の実施の形態)図8は本発明の第6
の実施の形態としての加圧ばねの平面図である。
【0034】上記図7と同様に加圧ばね6は放射状スリ
ットを備え、隣り合うスリットのなす角を板の圧延方向
に近い方向のものは小さく、圧延方向と直角方向に近い
ものほど大きくすることによって圧延方向の剛性を下
げ、縦弾性係数の異方性による曲げ剛性の分布を平均化
できる。
【0035】(第7の実施の形態)図9は本発明の第7
の実施の形態における加圧ばねの平面図である。
【0036】図8と同様に加圧ばね6は放射状スリット
を備え、この放射状スリットは、板の圧延方向に近い方
向のスリットを長く、圧延方向と直角方向に近い方向の
ものほど短くすることによって圧延方向の剛性を下げ、
縦弾性係数の異方性による曲げ剛性の分布を平均化し、
加圧むらを軽減することができる。
【0037】(第8の実施の形態)図10は本発明の第
8の実施の形態における加圧ばねの平面図である。
【0038】加圧ばね6の外周の圧延方向の両端付近に
切り欠き部65を設けている。この切り欠き付近では周
方向の断面2次モーメントが小さくなるため、圧延方向
の剛性を下げ、曲げ剛性を平均化できる。これは、加圧
ばね6の外周の径を圧延方向の端部を小径とすることに
相当する。
【0039】(第9の実施の形態)図11は本発明の第
9の実施の形態の加圧ばね、ディスク、シャフトの平面
図、図12はその側面図である。
【0040】円板形状の加圧ばね6を固定するディスク
5にばね材の圧延方向に二方取り51を設けている。加
圧ばねの外周付近で移動体を加圧するとき、ばね材の縦
弾性係数の大きい圧延方向でのばねの半径方向の有効長
を大きく、圧延方向に直角な方向には小さくすることに
よって剛性のむらを軽減している。
【0041】(第10の実施の形態)図13は本発明の
第10の実施の形態の加圧ばね、ディスク、シャフトの
平面図、図14はその側面図である。
【0042】円板形状の加圧ばね6によって加圧される
移動体3の内周縁31を、ばね材の圧延方向を長軸とす
る略楕円形状とすることにより、ばね材の縦弾性係数の
大きい圧延方向のばねの半径方向の有効長を大きく、圧
延方向に直角な方向には小さくすることによって剛性の
むらを軽減できる。
【0043】(第11の実施の形態)図15は本発明の
第11の実施の形態としての振動波モータの断面図であ
る。
【0044】本実施例は、棒状超音波モータにおける加
圧手段を、圧延方向をずらした複数のばねを重ねて構成
したものである。102a、102bは、金属等の弾性
材料からなる振動体で、電気−機械エネルギー変換素子
としての圧電素子(PZT)および電極板が積層された
駆動層101を介装した状態でボルト103によって締
結され、この駆動層101が挟持固定されている。ボル
ト103の上部は細いピン形状の弾性体を構成してお
り、付加質量110がナット112によって固定されて
いる。
【0045】109はベアリング、108はギアで、共
に樹脂を成形加工して製作されている。105は接触部
材としてのロータで、バネケース106と接着されてい
る。107は重ね加圧ばねである。バネケース106に
は径方向に一対の溝106aが軸対称に形成され、ギア
108にはこの溝106aにそれぞれ挿入される突起部
108aが形成されている。
【0046】駆動層101を構成する圧電素子は、互い
に位置的に90°の位相をもたせて配置した2群からな
り、各群に時間的に所定の位相差をもつ2つの交番信号
(交流電圧)を印加することによって振動体102aに
その軸を含む直交した曲げの固有振動を励起させ、振動
体表面に回転運動を生じさせることにより、加圧ばね1
07により圧接されたロータ105を摩擦駆動する。摩
擦駆動されたロータ105はバネケース106およびそ
の嵌合部を介してギア108にトルクを伝達する。
【0047】図16は図15の重ねた加圧ばね107の
構成図である。加圧ばね107は、金属の薄板を打抜い
て製作した2枚の円板形状の加圧ばね107a、107
bをその平面内圧延方向を互いに90°ずらして、かつ
表裏を逆にして重ね合わせたものである。本実施の形態
の構成では加圧ばねを固定する手段を設けていないた
め、加圧ばね相互の位相角度を固定するために、図17
に示すように板材の打抜きの工程において、細い連結部
112によって連結された2枚の加圧ばね107aおよ
び107bを板材の圧延方向に対して45°の角度で傾
斜させて打抜き、連結部112で折曲げて2枚のばねを
重ねることによって互いの位相角を90°とする。
【0048】本実施の形態においては、加圧ばねを上述
した構成とすることによって安価に、加圧むらの少ない
棒状超音波モータを提供できる。
【0049】上述した各実施の形態では、振動波を生じ
る振動体(ステータ2)を固定とし、該振動体と接触す
る接触体(ロータ3)を回動するようにしたが、接触体
を固定として振動体を移動させることもできる。
【0050】
【発明の効果】本発明は、加圧ばねを複数個重ねると共
に、各々の圧延方向を360°/2n(nは加圧ばねの
個数)ずらす、又は各々の圧延時での表裏を逆にしたこ
とにより、加圧ばねの圧延加工により生じてしまうそり
や縦弾性係数の異方性を補正し、実質的に均一な加圧力
を実現して駆動むらのない高性能な振動波モータを提供
することができる。
【0051】本発明は圧延方向によって生じる縦弾性係
数の異方性を加圧ばねの剛性を異方性にする又は加圧ば
ねの接触部を周方向に不等径にすることにより補正し、
実質的に均一な加圧力を実現して駆動むらのない高性能
な振動波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態としての振動波モー
タの断面図。
【図2】図1における加圧ばねの平面図。
【図3】図1における加圧ばねの側面図。
【図4】本発明の第2の実施の形態としての加圧ばねの
側面図。
【図5】本発明の第3の実施の形態としての加圧ばねの
側面図。
【図6】本発明の第4の実施の形態としての加圧ばねの
側面図。
【図7】本発明の第5の実施の形態としての加圧ばねの
平面図。
【図8】本発明の第6の実施の形態としての加圧ばねの
平面図。
【図9】本発明の第7の実施の形態としての加圧ばねの
平面図。
【図10】本発明の第8の実施の形態としての加圧ばね
の平面図。
【図11】本発明の第9の実施の形態としての加圧ば
ね、ディスク、シャフトの平面図。
【図12】本発明の第9の実施の形態としての加圧ば
ね、ディスク、シャフトの側面図。
【図13】本発明の第10の実施の形態としての加圧ば
ね、ディスク、シャフト、ロータの平面図。
【図14】本発明の第10の実施の形態としての加圧ば
ね、ディスク、シャフト、ロータの側面図。
【図15】本発明の第11の実施の形態としての振動波
モータの断面図。
【図16】図15における加圧ばねの構成図。
【図17】本発明の第11の実施の形態での加圧ばねの
重ね合わせ前の状態を示す平面図。
【図18】加圧ばねの初期変形に対する作用を表わす
図。
【図19】加圧ばねの弾性率の異方性に対する作用を表
わす図。
【図20】従来の振動波モータの断面図。
【図21】従来の加圧ばねの平面図。
【図22】従来の加圧ばねの側面図。
【符号の説明】
1 ベース 2 ステータ 3 ロータ 4 シャフト 6 加圧ばね 101 駆動層 102a,102b 振動体 105 ロータ 106 バネケース 107 加圧ばね 112 ばね連結部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動波を生じる振動体と、前記振動体と
    接触し、前記振動体の振動波によって前記振動体と相対
    移動する接触体と、前記接触体を前記振動体に対して加
    圧接触させる加圧ばねを有する振動波モータにおいて、
    前記加圧ばねとして圧延加工によって形成したものを用
    い、前記加圧ばねを複数個重ねると共に、各々の圧延方
    向を360°/2n(nは加圧ばねの個数)ずらしたこ
    とを特徴とする振動波モータ。
  2. 【請求項2】 振動波を生じる振動体と、前記振動体と
    接触し、前記振動体の振動波によって前記振動体と相対
    移動する接触体と、前記接触体を前記振動体に対して加
    圧接触させる加圧ばねを有する振動波モータにおいて、
    前記加圧ばねとして圧延加工によって形成したものを用
    い、前記加圧ばねを複数個重ねると共に、各々の圧延時
    での表裏を逆にしたことを特徴とする振動波モータ。
  3. 【請求項3】 前記複数個の加圧ばねの少なくとも2個
    は、圧延方向を一致させて圧延時での表裏を逆にしたこ
    とを特徴とする請求項2記載の振動波モータ。
  4. 【請求項4】 振動波を生じる振動体と、前記振動体と
    接触し、前記振動体の振動波によって前記振動体と相対
    移動する接触体と、前記接触体を前記振動体に対して加
    圧接触させる加圧ばねを有する振動波モータにおいて、
    前記加圧ばねとして圧延加工によって形成したものを用
    い、圧延方向によって生じる縦弾性係数の異方性を、前
    記加圧ばねの剛性を異方性にすることによって補正した
    ことを特徴とする振動波モータ。
  5. 【請求項5】 前記加圧ばねは周方向に複数個のスリッ
    トが形成され、該スリットの面積を変えることにより剛
    性を異方性にしたことを特徴とする請求項4記載の振動
    波モータ。
  6. 【請求項6】 前記加圧ばねは周方向に複数個のスリッ
    トが形成され、該スリットの間隔を変えることにより剛
    性を異方性にしたことを特徴とする請求項4記載の振動
    波モータ。
  7. 【請求項7】 振動波を生じる振動体と、前記振動体と
    接触し、前記振動体の振動波によって前記振動体と相対
    移動する接触体と、前記接触体を前記振動体に対して加
    圧接触させる加圧ばねを有する振動波モータにおいて、
    前記加圧ばねとして圧延加工によって形成したものを用
    い、圧延方向によって生じる縦弾性係数の異方性を、前
    記加圧ばねの接触部を周方向に不等径にすることにより
    補正したことを特徴とする振動波モータ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005293741A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Clarion Co Ltd ドライブユニット振り込み装置
US7774805B2 (en) 2004-03-31 2010-08-10 Clarion Co., Ltd. Disk clamping device
US7881176B2 (en) 2004-03-31 2011-02-01 Clarion Co., Ltd. Floating lock device

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