JP4731737B2 - 振動波モータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動波モータに関し、特に、振動体に接合された電気−機械エネルギー変換素子に複数の交番信号を印加することにより、該振動体の駆動面に振動波を励振し、振動体に接触する回転体を回転させる振動波モータに関する。
【0002】
とくに、電気−機械エネルギー変換素子の素子構造に関するものである。
【0003】
【従来の技術】
電気−機械エネルギー変換素子を用いた振動波モータが、特公平1−17354号公報等で知られている。その構造は、例えば円環型の弾性体に電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子を接着した振動体と、弾性体に加圧接触する回転体と、モータ中心に配置され回転体に連結された回転軸(出力軸)と、振動体を保持する部材(ケースとハウジングで構成される)とから成る。そして、圧電素子に駆動用の周波信号を印加することにより、例えば曲げ振動の合成による進行波としての駆動波が弾性体に形成され、弾性体が振動する。これによって、弾性体の駆動面に加圧接触している回転体が摩擦駆動されて回転し、その回転力が回転軸に伝達されるようになっている。
【0004】
圧電素子は、特開平11−187677号公報等によって示されるように、回転体の回転面に垂直な方向に分極した素子の集合体であり、各素子が素子毎に分極方向を反転しながら、上記回転面に平行な面上に配列されている。圧電素子の両面には電極が設けられ、一方の面の電極は接地用であり、他方の面の電極は電気エネルギーの入力用である。これらの電極に交番電圧を印加すると、各素子が定在性の振動を行うが、各素子を2つのグループに分け、それぞれに、位相をずらした2つ交番電圧を印加すると、位相のずれた2つの定在性振動が合成されて、圧電素子に進行性の振動が発生する。
【0005】
図11は、従来の圧電素子における各素子の分極状態を示す図である。
【0006】
図の左側の2対の素子グループと、右側の2対の素子グループとには、位相の異なる交番電圧がそれぞれ印加される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図11に示すような圧電素子を備えた従来の振動波モータでは以下のような問題があった。
【0008】
すなわち、図11の左側の2対の素子グループと、右側の2対の素子グループとの位置関係によっては、進行性振動波が周方向において不均等になる可能性があり、この場合、弾性体の駆動面において局所ごとに、回転体を送る量や送る力にむらが発生する。
【0009】
図12は、従来の不均等な進行性振動波を示す図である。横軸は圧電素子の周方向の距離を表す。
【0010】
図12(A)は、一点鎖線の左側に、図11の左側の2対の素子グループにおける定在性振動を示し、一点鎖線の右側に、図11の右側の2対の素子グループにおける定在性振動を示す。このような定在性振動を合成して得られる進行性振動波を図12(C)に示す。図12(C)に示すように、進行性振動波が圧電素子の周方向において不均等になり、この結果、図12(B)に示すように、弾性体の駆動面において局所ごとに、回転体を送る量や送る力にむらが発生する。そのため、駆動面と回転体との間に『すべり』が発生し、進行性振動波エネルギーを効率よく、振動体から回転体に伝えることができない。こうしたことが原因となって、
・振動波モータから異音が発生する、
・振動波モータの回転数が上がらない、
・振動波モータの効率が下がる、
・振動体に貼付されている摺動材の摩耗が加速され、振動波モータの寿命を著しく低下させる
等の問題があった。
【0011】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、異音の発生がなく、高回転数が得られ、エネルギー効率がよく、寿命が長い振動波モータを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の振動波モータは、弾性体及び該弾性体に接合された電気−機械エネルギー変換素子から成る振動体と、該振動体の駆動面に接触される回転体とを備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に複数の交番信号を印加することにより前記振動体の駆動面に進行波を励振し、前記回転体を回転させる振動波モータにおいて、前記電気−機械エネルギー変換素子は、円盤形状をなすとともに、前記円盤を半分に分割した場合の一方側の外周上及び他方側の内周上に位置する第1の素子群と、前記一方側の内周上及び前記他方側の外周上に位置する第2の素子群で構成され、前記第1の素子群に形成された電極膜に交番電圧が印加されることで生じる第1の定在性振動と、前記第2の素子群に形成された電極膜に交番電圧が印加されることで生じる第2の定在性振動を合成することで、前記進行波を励振することを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【0019】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明に係る振動波モータの第1の実施の形態の構成を示す断面図である。
【0020】
図中、4は振動体であり、弾性体1と、圧電素子2と、摺動材3とから構成される。弾性体1の一方の面に、電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子2が接着され、他方の面に、摺動材3が接着される。圧電素子2はその両面に電極を備え、一方の面の電極は接地(グランド)用として、他方の面の電極は電気エネルギーの入力用として用いられる。
【0021】
この振動体4の摺動材3に対して回転体6が接触し、加圧機構18によって加圧される。加圧機構18は加圧バネ8とバネ受け9とから成り、バネ受け9は回転軸12に固定され、回転体6及び加圧バネ8は、バネ受け9を介して回転軸12と一体に回転する。
【0022】
ハウジング5及びケース10が振動波モータを覆い、ハウジング5に軸受け11aが装着されるとともに、ケース10に軸受け11bが装着される。軸受け11a,11bによって回転軸12が回転自在に支持される。
【0023】
図2は、弾性体1及び圧電素子2を示す斜視図である。
【0024】
圧電素子2は、回転体6の回転面に垂直な方向に分極した多数の素子から成る集合体として構成されるが、詳しくは図3を参照して説明する。
【0025】
図3は、第1の実施の形態における圧電素子2の構成を示す平面図である。
【0026】
圧電素子2は、陽分極(+)と陰分極(−)とに分極した各素子が、素子毎に分極方向を反転しながら、回転体6の回転面に平行な面上に配列されている。さらに各素子は、半径の異なる2つの同心円の周上に配列される。そして第1の素子群が、左側外周の素子201〜206と右側内周の素子207〜212とで構成され、また第2の素子群が、右側外周の素子301〜306と左側内周の素子307〜312とで構成される。第1の素子群には、図4に示す電極膜22aから位相φ=0°の交番電圧が印加され、第2の素子群には、図4に示す電極膜22bから位相φ=90°の上記交番電圧と同一波長、同一振幅の交番電圧が印加される。これらの交番電圧の印加により、第1及び第2の素子群ではそれぞれ、5サイクル分の定在性振動が発生する。
【0027】
図4は、圧電素子2に設けられる交番電圧印加用の2つの電極膜22a,22bを示す図である。これらの電極膜22a,22bは、スクリーン印刷、蒸着などの製造方法によって圧電素子2に設けられる。
【0028】
図5は、圧電素子2における各素子の大きさ及び位置関係を示す図である。
【0029】
各素子は周方向において、上記定在性振動の波長の1/2の大きさを持つとともに、外周と内周とにおいて、1/4波長だけ周方向にずれて配置される。なお、図5の表示面における各素子の面積が、外周上の素子と内周上の素子とで略同一となるように、素子の放射(半径)方向の幅が設定される。すなわち、内周上の素子の放射(半径)方向の幅を、外周上の素子の放射(半径)方向の幅よりも太くする。これにより、内外周における曲げ力の違いを分散できる。
【0030】
この各素子の面積の同一について、図3を参照して更に説明するならば、素子202〜205,208〜211,302〜305,308〜311の図3の表示面における各面積を互いに同一にするとともに、素子201と素子212との合計面積、素子206と素子207との合計面積、素子301と素子312との合計面積、素子306と素子307との合計面積を、上記各面積を同一にする。
【0031】
図6は、圧電素子2の第1及び第2の素子群に発生する各定在性振動と、それらの合成振動とを示す波形図である。横軸は圧電素子2の周方向の距離を表す。
【0032】
図6(C)は第1の素子群に発生する定在性振動を示し、図6(D)は第2の素子群に発生する定在性振動を示す。前述のように、圧電素子2の第1及び第2の素子群には、位相差90°の同一波長、同一振幅の交番電圧がそれぞれ印加され、また圧電素子2が、図3に示すように配列された素子群から構成されるので、これらの定在性振動を合成すると、図6(B)のような進行性振動波が得られる。この進行性振動波は圧電素子2の周方向において均等になり、この結果、図6(A)に示すように、回転体6を送る量や送る力が、弾性体1の駆動面上のいずれの位置でも同じとなる。そのため、駆動面と回転体6との間に、従来のように『すべり』が発生することなく、進行性振動波エネルギーを効率よく、弾性体1から回転体6に伝えることができる。したがって、異音の発生がなく、高回転数が得られ、エネルギー効率がよく、寿命が長い振動波モータを提供することが可能となる。
【0033】
なお、上記第1の実施の形態においては、圧電素子2に第1及び第2の素子群を設定したが、3つ以上の素子群を設定し、それらに互いに異なる位相の交番電圧を印加するようにしてもよい。その場合、図3に示す圧電素子2において、各素子群が同じ素子数から成り、かつ同じ分割角度分の素子配列から成るようにする。
【0034】
(第2の実施の形態)
次に第2の実施の形態を説明する。
【0035】
第2の実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態の構成と同じであるので、第2の実施の形態の説明においては、第1の実施の形態の構成を流用する。
【0036】
第2の実施の形態では、圧電素子を構成する各素子の配置が、第1の実施の形態と異なる。
【0037】
図7は、第2の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【0038】
第2の実施の形態でも、圧電素子は、陽分極(+)と陰分極(−)とに分極した各素子が、素子毎に分極方向を反転しながら、回転体6の回転面に平行な面上に配列されている。さらに各素子は、半径の異なる2つの同心円の周上に配列される。ただし第2の実施の形態では、第1の素子群が、図7に示す外周の各素子で構成され、第2の素子群が内周の各素子で構成される。
【0039】
また、各素子は周方向において、上記定在性振動の波長の1/2の大きさを持つとともに、外周と内周とにおいて、1/4波長だけずれて配置される。さらに、図5の表示面における各素子の面積が、外周上の素子と内周上の素子とで同一となるように、素子の放射(半径)方向の幅が設定される。
【0040】
そして、第1及び第2の素子群に、位相が90°異なる同一波長、同一振幅の交番電圧がそれぞれ印加される。
【0041】
かくして、第2の実施の形態においても、定在性振動の合成の結果得られる進行性振動波は、圧電素子の周方向において均等になり、図6(A)に示すように、回転体6を送る量や送る力が、弾性体1の駆動面上のいずれの位置でも同じとなる。そのため、駆動面と回転体6との間に、従来のように『すべり』が発生することなく、進行性振動波エネルギーを効率よく、弾性体1から回転体6に伝えることができる。したがって、異音の発生がなく、高回転数が得られ、エネルギー効率がよく、寿命が長い振動波モータを提供することが可能となる。
【0042】
(第3の実施の形態)
次に第3の実施の形態を説明する。
【0043】
第3の実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態の構成と同じであるので、第3の実施の形態の説明においては、第1の実施の形態の構成を流用する。
【0044】
第3の実施の形態では、圧電素子を構成する素子の数が全部で16であり、圧電素子の全素子数が24である第1の実施の形態と、その点で異なっているが、その他の構成においては、第1の実施の形態における圧電素子と同じである。
【0045】
図8は、第3の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【0046】
圧電素子の各素子は、半径の異なる2つの同心円の周上に配列される。第1の素子群が、左側外周の素子400〜403と右側内周の素子404〜407とで構成され、また第2の素子群が、右側外周の素子500〜503と左側内周の素子504〜507とで構成される。第1及び第2の素子群には、位相が90°異なる同一波長、同一振幅の交番電圧がそれぞれ印加される。この交番電圧の印加により、第3の実施の形態では、第1及び第2の素子群でそれぞれ、3サイクル分の定在性振動が発生する。
【0047】
また、圧電素子の各素子は周方向において、定在性振動の波長の1/2の大きさを持つとともに、外周と内周とにおいて、1/4波長だけずれて配置される。さらに、図8の表示面における各素子の面積が同一となるように、放射(半径)方向の素子の幅が設定される。具体的には、素子401〜402,405〜406,501〜502,505〜506の図8の表示面における各面積を互いに同一にするとともに、素子400と素子407との合計面積、素子403と素子404との合計面積、素子500と素子507との合計面積、素子503と素子504との合計面積を、上記各面積を同一にする。
【0048】
かくして、第3の実施の形態においても、定在性振動の合成の結果得られる進行性振動波は、圧電素子の周方向において均等になり、図6(A)に示すように、回転体6を送る量や送る力が、弾性体1の駆動面のいずれの位置でも同じとなる。そのため、駆動面と回転体6との間に、従来のように『すべり』が発生することなく、進行性振動波エネルギーを効率よく、弾性体1から回転体6に伝えることができる。したがって、異音の発生がなく、高回転数が得られ、エネルギー効率がよく、寿命が長い振動波モータを提供することが可能となる。
【0049】
第1及び第3の実施の形態によって、第1及び第2の素子群にそれぞれ発生する定在性振動のサイクル数は、本発明の実施に何ら制限を加えないことが分かる。
【0050】
(第4の実施の形態)
次に第4の実施の形態を説明する。
【0051】
第4の実施の形態の構成は、基本的に第1の実施の形態の構成と同じであるので、第4の実施の形態の説明においては、第1の実施の形態の構成を流用する。
【0052】
第4の実施の形態では、圧電素子を構成する素子の数が全部で16であり、圧電素子の全素子数が22である第1の実施の形態と、その点で異なっているが、その他の構成においては、第1の実施の形態における圧電素子と同じである。
【0053】
図9は、第4の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【0054】
圧電素子の各素子は、半径の異なる2つの同心円の周上に配列される。第1の素子群が、上側外周の素子600〜604と下側内周の素子610〜615とで構成され、また第2の素子群が、下側外周の素子700〜705と上側内周の素子710〜714とで構成される。第1及び第2の素子群には、位相が90°異なる同一波長、同一振幅の交番電圧がそれぞれ印加される。この交番電圧の印加により、第4の実施の形態では、第1及び第2の素子群でそれぞれ、3サイクル分の定在性振動が発生する。
【0055】
また、圧電素子の各素子は周方向において、定在性振動の波長の1/2の大きさを持つともに、外周と内周とにおいて、1/4波長だけずれて配置される。さらに、図9の表示面における各素子の面積が同一となるように、放射(半径)方向の素子の幅が設定される。また、電極面積が多く取れるように、素子群の内周と外周との入れ替わる分割個所を、定在性振動の波長の1/2の節となるところに配置する。これにより、スリット数が減り、電極面積が多く取れる。
【0056】
具体的には、図9の表示面において、定在性振動の波長の1/2の節となる位置に相当する素子600と素子700の間、素子610と素子710の間、素子604と素子705の間、素子615と素子714の間で内周と外周とを入れ替え、且つ、素子600〜604、610〜615の各面積と素子700〜705、710〜714の各面積とを互いに同一にする。
【0057】
かくして、第4の実施の形態においても、定在性振動の合成の結果得られる進行性振動波は、圧電素子の周方向において均等になり、図6(A)に示すように、回転体6を送る量や送る力が、弾性体1の駆動面のいずれの位置でも同じとなる。そのため、駆動面と回転体6との間に、従来のように「すべり」が発生することなく、進行性振動波エネルギーを効率よく、弾性体1から回転体6に伝えることができる。したがって、異音の発生がなく、高回転数が得られ、エネルギー効率がよく、寿命が長い振動波モータを提供することが可能となる。
【0058】
第4の実施の形態で定在性振動のサイクル数が3の場合を図10に示した。
【0059】
なお、第1及び第2の素子群にそれぞれ発生する定在性振動のサイクル数は、上記の各実施の形態におけるサイクル数に限定されるものではない。
【0063】
本発明によれば、従来の製造技術のままで、円盤の内外周における製造時の素子の分極量のばらつきに起因する曲げ力の偏りや、素子形状のばらつきに起因する曲げ力の偏りを分散でき、より均等な進行性振動を発生できる。
【0065】
本発明によれば、前記円盤の端面上における各素子の面積を互いに略同一にするので、円盤の内外周における素子形状のばらつきに起因する曲げ力の偏りを分散でき、より均等な進行性振動を発生できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る振動波モータの第1の実施の形態の構成を示す断面図である。
【図2】弾性体及び圧電素子を示す斜視図である。
【図3】第1の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【図4】圧電素子に設けられる交番電圧印加用の2つの電極膜を示す図である。
【図5】圧電素子における各素子の大きさ及び位置関係を示す図である。
【図6】圧電素子の第1及び第2の素子群に発生する各定在性振動と、それらの合成振動とを示す波形図である。
【図7】第2の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【図8】第3の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【図9】第4の実施の形態における圧電素子の構成を示す平面図である。
【図10】図9に示す第4の実施の形態において定在性振動のサイクル数が3の場合の圧電素子の構成を示す平面図である。
【図11】従来の圧電素子における各素子の分極状態を示す図である。
【図12】従来の不均等な進行性振動波を示す図である。
【符号の説明】
1 弾性体
2 圧電素子(電気−機械エネルギー変換素子)
3 摺動材
4 振動体
5 ハウジング
6 回転体
8 加圧ばね
9 ばね受け
10 ケース
11a 軸受け
11b 軸受け
12 回転軸
18 加圧機構
22a 電極膜
22b 電極膜
201〜212 素子
301〜312 素子
Claims (4)
- 弾性体及び該弾性体に接合された電気−機械エネルギー変換素子から成る振動体と、該振動体の駆動面に接触される回転体とを備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に複数の交番信号を印加することにより前記振動体の駆動面に進行波を励振し、前記回転体を回転させる振動波モータにおいて、
前記電気−機械エネルギー変換素子は、円盤形状をなすとともに、前記円盤を半分に分割した場合の一方側の外周上及び他方側の内周上に位置する第1の素子群と、前記一方側の内周上及び前記他方側の外周上に位置する第2の素子群で構成され、
前記第1の素子群に形成された電極膜に交番電圧が印加されることで生じる第1の定在性振動と、前記第2の素子群に形成された電極膜に交番電圧が印加されることで生じる第2の定在性振動を合成することで、前記進行波を励振することを特徴とする振動波モータ。 - 前記第1の素子群と前記第2の素子群に、位相の異なる交番信号を印加する印加手段を有することを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ。
- 前記円盤における前記第1の素子群及び前記第2の素子群を構成する各素子の周方向の大きさは、前記振動体が発生する前記第1の定在性振動及び前記第2の定在性振動の波長の1/2であり、かつ、外周上の素子と内周上の素子とが前記第1の定在性振動及び前記第2の定在性振動の波長の1/4だけ周方向にずれていることを特徴とする請求項1または2に記載の振動波モータ。
- 前記円盤における前記第1の素子群及び前記第2の素子群を構成する各素子の面積が同一であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動波モータ。
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