JPH04178179A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、振動振幅の大きな振動を安定に発生させ、高
トルクを得ることができる超音波モータに関するもので
ある。

〔従来技術〕

電気エネルギーを機械エネルギーの超音波振動に変換し
、回転力を取り出すものとして超音波モータかある。超
音波モータは、静粛、低速回転で高トルクか得られ、ダ
イレクトドライブか可能であることより自動車用機能部
品、各種ロボット、磁気・光記憶装置等の広範囲の分野
で応用か検討されつつある。

この超音波モータの方式には、進行波型超音波モータ、
定在型超音波モータ、および複合振動子型超音波モータ
等が提案されており、安定したモータ性能を長時間得る
ことができることより進行波型超音波モータについて技
術的検討がよ（なされている。

進行波型超音波モータとしては、例えば、第３図に示す
ように金属等からなる円板状構造で円周方向に放射状ス
リットを設けた弾性体２の直下にセラミックス等からな
るリング状圧電素子１を接着したステータ１０に、円板
状構造の弾性体３１にエンジニアプラスチック等からな
る摺動材３２を接着した移動体３に加圧接触させた構成
のものである。上記圧電素子ｌにスタータ１０の共振振
動数（点）に合わせた高周波電圧を印加することにより
ステータ１０を共振振動させ移動体３を回転させている
（応用物理５４（１９８５）Ｎａ６、ｐ５８９〜５９０
）。

上記圧電素子１は、第４図に示すような電極構造を有し
ている。すなわち、弾性体２の接着面側には１／２波長
で区画された部位と、３／４波長で区画された部位（図
中のＣ）および１／４波長で区画された部位（図中のＤ
）かあり、その反対側には図中の斜線で示すように１／
２波長で区画された部位を２箇所に分け（図中のＡ、Ｂ
）、１／４．３／４波長で区画された部位の間に設けら
れている。また、１／２波長で区画された部位には交互
に異なる方向性の圧電横効果を与える分極処理が施され
ている。

このリング状圧電素子１の部位Ａ、Ｂに９００位相をず
らした高周波電圧をステータ１ｏの電気共振状態で入力
すると、弾性体２の表面には一方向へ向かう進行波か励
振される。そのため弾性体２の表面の任意の一点の動き
は第５図に示すような軌跡を描く。その振動振幅か位置
的に９０’ずれ、かつ時間的に位相か９０°ずれるため
圧電素子１て発生した屈曲振動は弾性体２の仮想の中立
軸から表面の動きを描くと楕円軌跡となる（第５図中で
は左回りの楕円軌跡）。移動体３には進行波の進行方向
（第５図中では右方向）と逆方向（第５図中では左方向
）に摩擦力か働くため、移動体３にトルクが与えられ、
モータとして作用する。なお、第５図中の上から下へ示
した矢印は、加圧力を示している。

この進行波型超音波モータにおける構成上の欠点として
、弾性体の屈曲振動発生部位の直上に移動体を加圧接触
させているのて弾性体に発生する振動振幅か小さく抑え
られていた。そのため高トルクを得るためには圧電素子
に印加する電圧を高くすることにより弾性体に発生させ
る振動強制力を高めなければならない。さらに、印加電
圧を高くすると圧電素子が破損する等の問題が発生して
いた。

この欠点を解決するため、弾性体の構造として移動体の
加圧力か直接圧電素子に影響しないよう、弾性体を移動
体に加圧接触させる部位と圧電素子接着部位とに分離し
、第６図ないし第１０図に示すように２枚の圧電素子１
１．１２を弾性体２の全周にわたって配置し、駆動面積
を大きくして波長選択性を向上させている例がある（特
開昭６１−１９１２７７、特開昭６３−２４２１８５、
特開昭６３−２６２０６９、等）。なお、第１０図は、
第８図、第９図に示す弾性体２の径方向へ突出した振動
片（振動を移動体に伝達するための振動伝達部位）２２
を示している。

しかし、いずれの例においても、弾性体２についての電
気・機械系を含めた電気共振系としての技術的検討かな
されていない状態である。

すなわち、弾性体２の構造を電気久方系と機械出力系と
の相互作用で最も良好な条件を考慮していない。良好な
条件とするためには、特に弾性体２を電気共振系に置き
換え、抵抗によりエネルギーか連続的に消費されながら
コンデンサーとコイルとの間でエネルギーか周期的に移
動するアドミッタンス電流として電気的に扱うことか必
要である。しかし、従来の例では、弾性体２の構造を電
気共振系として考慮していないために、電気的にインピ
ーダンスギャップか生し、また機械的に共振周波数か増
大して振動の振幅か非常に小さくなってしまう。そのた
め、モータとして構成した場合高トルクを取り出せない
欠点がある。

〔第１発明の説明〕 本第１発明（特許請求の範囲に記載の発明）は、上記従
来技術の問題点に鑑みなされたものであり、弾性体の振
動振幅か大きな進行波の振動モードを有し、かつ高トル
クを得る超音波モータを提供することを目的とする。

本第１発明は、弾性材料からなる円板状の弾性体と、該
弾性体の表面に付着させてなる円板状の圧電素子と、該
弾性体の振動伝達部位に加圧接触させてなる摺動面を有
する移動体とからなる超音波モータにおいて、上記弾性
体は、複数個の圧電素子によって挟持されてなり、かつ
該圧電素子か挟持している部位における厚さと振動伝達
部位における厚さとがほぼ同様である部分を有すること
を特徴とする超音波モータである。

本第１発明によれば、弾性体において、複数個の圧電素
子により挟持されている部位での厚さと振動伝達部位で
の厚さがほぼ同様である部分を有する単純構成をとるこ
とにより弾性体に作用する達成振動（２つ以上の圧電素
子が互いに作用しながら行う振動）の固有の基準振動モ
ードが確実に得られる（一般に複雑形状を有する物体は
振動の多くの固有モードを有するため基準振動モードが
得られにくい。）。そのため、振動伝達部位の振動を容
易に発生させやすく、追従性にすぐれた振動振幅か直接
的に弾性体面に伝播させることができる。そのため、進
行波の基本振動モードとなる屈曲振動を得ることができ
、移動体と接触する振動伝達部位に振動振幅の大きな部
位を構成できるため進行波の理想的な振動モードを有す
る高トルクが得られるモータを構成できる。

〔第１発明のその他の発明の説明〕 以下、本第１発明をより具体的にしたその他の発明を説
明する。

本発明は、第１図および第２図の例に示すように円板状
の弾性体２と、該弾性体２の表面に付着させてなる円板
状の圧電素子と、弾性体２の振動伝達部位２２に加圧接
触させてなる摺動面を有する移動体３とからなる超音波
モータにおいて、弾性体２は、２枚の圧電素子１１．１
２によって挟持されてなり、かつ圧電素子ｌＬ１２か挟
持している部位２１での厚さと振動伝達部位２２ての厚
さとがほぼ同様である部分を有するものである。

この圧電素子挟持部位での弾性体の厚さが振動伝達部位
での弾性体の厚さよりも大きい、あるいは小さいと、振
動伝達部位において圧電素子挟持部位と同一の振動モー
ドの発生が困難になり、振動伝達部位の共振点か低下し
、振動振幅が小さくなる。

弾性体２において、上記圧電素子１１．１２により挟持
されている部位２１ての厚さと振動発生部位２２での厚
さとがほぼ同様であるためには、圧電素子１１．１２に
より挟持されている部位２１ての厚さをＴＩ、振動伝達
部位２２ての厚さをＴ２とするとＴ、／Ｔ２が０．８〜
１．３の範囲とするのかよい。Ｔ、／Ｔ、が０，８未満
、および１．３より大きいと圧電素子の挟持部位２１と
同一の振動モードの発生か困難になり、振動伝達部位の
共振点が低下し、振動振幅が小さくなる。

上記圧電素子により挟持されている部位での弾性体の厚
さと振動伝達部位での弾性体の厚さとがほぼ同様である
部分以外では、両者の厚さはほぼ同様でなくてもよく、
例えば、振動伝達部位での質量を付加して振動振幅の増
大を図るために突起２３を設けてもよい。また、上記圧
電素子により挟持されている部位での弾性体の厚さと振
動伝達部位での弾性体の厚さとがほぼ同様である部分の
面積割合は、例えば、圧電素子により挟持されている部
位ての円形の弾性体の厚さ部位を内径φ４５ｍｍ、外径
φ６０皿としてその面積を基準にした場合、振動伝達部
位での弾性体の厚さが圧電素子挟持部位の厚さとほぼ同
様である部位の面積割合は圧電素子挟持部位の面積に対
して０．５〜１．０倍とするのか望ましい。また、上記
条件の場合、振動伝達部位の内径はφ６０ｍｍにすると
ともに外径はφ６０〜７０−の範囲とするのがよい。

上記面積（寸法）範囲以外では、振動伝達部位に屈曲振
動以外のスプリアス振動が発生して振動姿態がくずれ、
振動振幅が小さなものとなってしまう。

さらに、振動伝達部位での突起を設ける面積の割合は突
起のない面積に対して、上記の理由と同様に５０％以下
とするのがよい。

弾性体は、真円形でもあるいは楕円形でもよく、その形
状がループを形成する円形のものであればよい。また、
その中心にシャフト等か通る穴を有する円環状でも穴の
ないものでもよい。

また、弾性体は、該断面が中心線に対して対称形状とす
るのがよい。例えば、真円形の弾性体においては、該断
面が軸方向中心線および直径方向中心線に対して対称形
状とするのがよい。該形状であれば、圧電素子の屈曲振
動を容易に、しかもバランスよく行うことかてきる。さ
らに、上記の振動振幅の増大を図るためには、突起２３
を設ける場合、弾性体２の振動伝達部位に放射状の突起
を等分割、対称に設けるのかよい。すなわち、振動振幅
を更に増大させるための付加重量を利用できる。

弾性体２としては、振動損失が小さく、疲れ破断しない
アルミニウム、ステンレス等の金属、あるいはセラミッ
クス等からなるものを用いるのがよい。また、圧電素子
１１．１２としては、圧電定数ｄ一定数が大きく、共振
の鋭さＱが高いＰＺＴ（ジルコン酸・チタン酸鉛）等の
セラミックス、あるいはＰＶＤＦ　（ポリフッ化ビニリ
デン）等の高分子等からなるものを用いるのがよい。

また、複数個の圧電素子１１．１２は、弾性体２を挟持
するように弾性体２に付着してなるものである。該圧電
素子は、それぞれ１／２波長区画に等分割し、交互に異
なる方向性の圧電横効果を与える分極処理を行った環状
のものとし、相互に位置的に１／４波長ずらして配置す
る二とにより、圧電素子の振動を互いに作用させ弾性体
２に進行波を発生させることができる。

圧電素子１１．１２は、真円形でもあるいは楕円形でも
よく、その形状かループを形成する円形のものであれば
よい。また、その中心にシャフト等が通る穴を有する円
環状でも穴のないものてもよい。また、弾性体２のどの
ような部位に付着させてもよく、例えば真円形の弾性体
２ては、振動伝達部位２２に対して内周面でも外周面の
どちらに付着させてもよい。なお、複数個の圧電素子か
弾性体を挟持する位置は同様な位置とする。

また、圧電素子は、弾性体２に対し、２枚で挟持してい
るか、圧電素子の上面、下面を積層して複数枚用いるこ
とにより弾性体２を挟持してもよい。

また、弾性体２の屈曲振動を軸方向中心軸に対して垂直
な面で一様に発生させるため、弾性体支持固定部位４は
、弾性体２に不要な振動伝達を防ぐだめに圧電素子配置
部位２１より隔離した部位に設けるのかよい。

また、移動体３は、振動伝達部位２２と加圧接触する摺
動面を有するものである。移動体３を弾性体２の上面に
加圧接触させる場合、上記弾性体支持固定部位４と直径
方向中心軸に対して対向する反対面の弾性体環状面に加
圧接触させる方か構造的なバランス性より好ましい。

なお、振動伝達部位２２は、弾性体２の上面および下面
の両方にあるため移動体３を振動伝達部位２２の上面お
よび下面の両方同時に加圧接触させてもよい。また弾性
体支持固定部位４と同面の弾性体環状面に加圧接触させ
てもよい。なお、上記の振動伝達部位２２の両方面同時
に加圧接触させる方が、圧電素子からの振動伝達距離が
均等になり、２倍の振動接触面が得られるので効率よく
振動を伝達することができてよい。

さらに、第１５図に示すように、圧電素子１１．１２が
付着した弾性体２の構造を２組設けて、それらを移動体
３の上下面両面より同時に加圧接触させることにより２
倍の駆動源になるため第１図のものに比へて移動体３に
２倍のトルクを得ることができる。

本発明の進行波型超音波モータは、自動車の電装部品、
産業用から家庭用までの各種ロボット、磁気・光記憶装
置等広範囲の分野で使用することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の詳細な説明する。

（実施例１） 本実施例での進行波型超音波モータの断面図および部分
断面斜視図を第１図および第２図に示す。

なお、第２図は第１図に示す超音波モータのステータ部
分を示す図であり、（ａ）は部分断面斜視図、（ｂ）は
外周平面図、（Ｃ）は側面断面図である。

弾性体２は、金属等の弾性的性質を有する部材からなり
、円形を有し、その断面形状が軸方向中心線および直径
方向中心線で振り分けた場合に対称形状のものである。

該弾性体２の上下外周環状面には放射状の突起２３を等
分割に設られており、弾性体２の上下外周面より内側の
上下面にはＰＺＴ（ジルコン酸・チタン酸鉛）からなる
環状の２枚の圧電素子１１．１２が位置的に１／４波長
ずらして配置されている。これによりステータｌＯが構
成されている。該圧電素子１１．１２は、第１１図に示
すように１／２波長（λ）区画に等分割され交互に異な
る方向性の圧電効果を与えて分極された領域１１０１〜
１１１６および１２０１〜１２１６か形成されている。

このＩ／２波長区画に分極された領域は隣り合う領域が
厚み方向において互いに十−逆方向に分極されている。

この弾　′性体２と２枚の環状圧電素子１１．１２とを
ステータとして、第１１図に示すように圧電素子１１．
１２に同期させた９０°の位相をずらした高周波電圧を
弾性体２を含めた電気共振状態でマラチングさせて入力
すると第５図に示した進行波の発生原理と同様の現象か
弾性体２の上下外周環状面に起こる。なお、第１１図に
おいて、発振器より２相の正弦波を発生させて、その２
相のうちの一方の相には位相を９０°違えるフェイズシ
フタを使い、２相をｓｉｎ波とＣＯＳ波にし、圧電素子
の入力前後には広帯域の高出力電力増幅器を付加して電
気信号を増幅し入力している。

さらに、弾性体２は、２枚の環状圧電素子１１．１２の
付着部位２１より隔離した内側の下面環状部位２１１に
支持固定部位４を設けているので圧電素子１１．１２か
ら発生した屈曲振動が直接支持固定部位４に伝播されず
振動モードかくずれない構造となっている。

振動伝達部位２２は、弾性体２において、圧電素子の付
着部位２１より外側の外周面に形成され、放射状の突起
２３が等分割に設けられている。

弾性体２における圧電素子１１．１２が付着している部
位２１の厚さＴ、と振動伝達部位２２ての突起２３以外
の部分の厚さＴ２とはほぼ等しい。

上記振動伝達部位２２上には円形の移動体３が取りつけ
られる。該移動体３としては、金属等の弾性的性質を有
したロータ３１と、摩擦係数が大きく振動エネルギーを
効率よくトルクの振動エネルギーに変換できる、例えば
エンジニアプラスチック等の材料よりなる摺動材３２か
らなる。ロータ３１と摺動材３２とは接着構造で取りつ
けられている。移動体３の摺動材３２は振動伝達部位２
２の突起２３と接触することにより移動体３とステータ
１０とが加圧接触されている。

移動体３とステータｌＯとの加圧接触機構としては、移
動体３の上部よりすべり止め兼防振用としてゴム等の緩
衝材５１を介してサラバネ５２の圧縮力により行ってい
る。すなわち、サラバネ５２をシャフト５３で固定して
、シャフト５３の上端にスラストベアリング５４を設け
てカバー６を支持固定部位である台座４よりネジ止めに
よって行っている。なお、本構造の場合、シャフト５３
がスラストベアリング５４と台座４内にあるラジアルベ
アリング５４との両端支持を行っているので回転ブレが
生じないものとなっている。

比較のため、第３図、第６図〜第１Ｏ図に示すような従
来例も用意した。

第３図に示す従来例は、弾性体２が円形構造で、円周方
向に放射状スリットを設けたものであり、その直下にリ
ング状圧電素子（第４図参照）を１枚配置しステータｌ
Ｏを構成して、弾性体２と摺動材３２とを接着し、環状
の移動体３を加圧接触させる手段（以下、第６図〜第１
Ｏ図も同様）によりトルクを得るものである。

また、第６図に示す従来例は、第１１図に示したような
環状圧電素子１１．１２を弾性体２へｌ／４λの位相差
を設けて配置し、圧電素子１１．１２が付着している部
位より振動伝達部位の厚みを厚くした構成のステータに
より上記第３図と同様な手段によりトルクを得るもので
ある。

また、第７図に示す従来例は、弾性体２には第６図と同
様な圧電素子を配置し、圧電素子１１゜１２が付着して
いる部位より振動伝達部位の厚みを厚くし、直径方向中
心線に対してその厚みが対称形状を考慮しない構造で、
上記第３図と同様な手段によりトルクを得るものである
。

また、第８図および第９図に示す従来例は、弾性体２に
は、第６図と同様な圧電素子を配置し、層方向に等間隔
て切り込んであり、この切り込みにより複数の振動片に
区画して各振動片（第１０図参照）を径方向へ突出する
振動を生じさせる構造で上記第３図と同様な手段により
トルクを得るものである。なお、第８図は第９図の側面
断面図である。

上記５種の例について電気特性、機械的振動状態観察、
およびモータ性能の比較試験を行った。

その結果の一例を第１２図〜第１４図に示す。

第１２図は、モータ組みっけ状態での電気特性を本実施
例と比較例（第３図）について、圧電素子が２枚の例と
１枚の例との比較を行ったものである。すなわち、ステ
ータか電気共振時には、該ステータはＬＣＲ（コイル、
コンデンサー、抵抗）の３要素を兼ね備えた直並列共振
回路で単純化できるので、駆動電圧を一定に保ち、その
電気入力の駆動周波数を変化させて、流れる電流の大き
さおよび端子電圧（１２Ｖとする）に対する位相角を複
素平面上でループ（円）を描かせ動アドミッタンス円と
して比較した。

第１２図より明らかなように、本実施例は、比較例に比
べて圧電素子の駆動面積か２倍になっているために、コ
ンダクタンス（抵抗の逆数、導電度）Ｇ成分も同様に約
２倍になっている。すなわち、アドミッタンス電流か流
れやすくなり、電気・機械交換効率か上昇し、能率よい
駆動か可能となっている。

また、２枚の圧電素子を用いるステータにおいて、本実
施例と、第６図、第７図、第８図に示すような、弾性体
において圧電素子付着部位と振動伝達部位とで厚さの異
なる比較例とについてステータ状態での機械的な振動姿
態（モード）を比較観察した。すなわち、ダブルパルス
レーザ光源を用いてステータのロータと接触する面の振
動状態と静止状態とで二重露光ホログラムを作り、振動
振幅に対応した干渉縞を得る方法により観察した。

その観察結果を第１３図に示す。図中、縞模様はステー
タの機械的な振動振幅の状態を等高線状態として示して
いる（１つの縞模様は、０．３４７μｍの変位に相当す
る。）。Ａは第６図に示すような比較例、Ｂは第７図に
示すような比較例、Ｃは第８図に示すような比較例、Ｄ
は本実施例のものである。

第１３図より明らかなように、本実施例は、上記ステー
タ構造を有するためステータの環状外周面に機械的な振
動振幅の大きな進行波の基本振動モードか見られ、比較
例と比べて、等高線状態の縞模様が密であり、第１３図
の右に示したように振動の振幅が大きいことが分かる。

以上のように、本実施例は、電気特性（第１２図参照）
および機械的振動状態（第１３図参照）が比較例に比べ
て優れている。

さらに、本実施例と、第３図、第７図、および第８図に
示す比較例とを用いて、モータ性能特性（回転数−トル
ク特性）を評価した。その結果を第１４図に示す。図中
、比較例１は第３図に示すような比較例、比較例２は第
７図に示すような比較例、比較例３は第８図に示すよう
な比較例のものである。

第１４図より明らかなように、本実施例は、比較例に比
べて、回転数、トルクともに良好で、特に高トルクなモ
ータか得られることか分る。これは、圧電素子に移動体
の加圧力か直接影響を及ばさない構造のため、電気機械
変換効率か良く、また、振動伝達部位での厚さかほぼ同
様である部分を有しているので振動伝達部位に理想的な
振動モードを起こすことができるため、振動振幅の大き
なものとなっているためである。

（実施例２） 本実施例の進行波型超音波モータを第１５図に示す。

本実施例のモータは、２枚のステータ１０Ｓ　１０とロ
ータ３１に摺動材３２．３２を接着した環状の移動体３
３を用い、移動体の上下面よりステータ１０．１０を同
時に加圧接触している。従って、実施例１に比べて２倍
の駆動源からなるため２倍のトルクが得られる。

なお、本実施例では、移動体３とステータ１０との加圧
接触機構としては、実施例１のようなサラバネ５２等の
手段を用いることなく、台座４に支持固定されたステー
タｌＯをカバー７へネジ止めしてカバー７の高さを変化
させることにより行っている。その際、移動体３はシャ
フト５３にスナップリング、キー等を介して支持固定し
た状態とする。

このように、実施例２てはカバー７を新たに追加し、移
動体３をシャフト５３に固定するようにすれば実施例１
の部品をそのまま共通部品として利用することができ、
簡単に更に大きなトルクを取り出すことかできる。

（実施例３） 本実施例では、モータのステータにおける弾性体寸法形
状と電気的な振動特性との関係を示す。

第１６図および第１７図に示すように、２枚のリング状
圧電素子１１．１２により環状弾性体２をその上下面よ
りはさみ込んだ方式にとって最も重要な寸法は屈曲振動
を起こす部位のリング状圧電素子１１．１２の間の厚み
Ｔ２てあり、この寸法を変化させれば電気共振時の振動
特性を変化させることができる。弾性体の材質として、
クロムモリブデン鋼を用い、振動伝達部位の弾性体の厚
みＴ２と圧電素子挟持部位の弾性体の厚みＴ１とをほぼ
均しくして弾性体の厚み寸法（Ｔ、＝Ｔ。

）を１．０〜３．０ｍｍの範囲で変化させた場合の電気
共振特性を測定した。その結果、弾性体の厚み寸法を２
．０〜３．０Ｍの範囲に設定した場合共振周波数として
３５〜５０ｋＨｚの範囲て設定でき、第１３図りに示し
たように進行波の最も理想的な振動モードが得られた。

従って、実用的な大きな振動振幅を得る共振周波数とし
て３５〜５０ｋＨｚを設定した場合、弾′　性体の厚み
を２．０〜３．０ｍｍの範囲に設けるのか最もよい。

なお、記号りて示す共振周波数の振動特性が得−られる
弾性体の寸法形状は、Ｔ＋　＝２．０〜３．０ｍｍとし
た場合、振動伝達部位の突起を含めた厚み寸法Ｔ２はＴ
ｚ＝（ｔ、ｓ〜２．３）Ｔｚの範囲で、振動伝達部位の
内径り、をφ６０順とする場合、振動伝達部位の外径Ｄ
２および圧電素子挟持部位の内径Ｄ０の寸法はＤ２　＝
　（１，０３〜１．１６）Ｄ。

、Ｄｏ　＝３／４Ｄ、の範囲か望ましい。また、弾性体
円環外周の突起間寸法（第２図のｄ）は、突起の数ｎを
６０〜８０に設定した場合、突起間寸法は（πＤ＋　／
２ｎ）の範囲が望ましい。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例１における超音波モータの側面断面図、
第２図は第１図の超音波モータのステータを示す部分断
面斜視図、外周平面図、および側面断面図、第３図は従
来の超音波モータの斜視図、第４図は従来の超音波モー
タの圧電素子の平面図、第５図は超音波モータの進行波
の発生原理を示す概念図、第６図は比較例における超音
波モータの平面、側面断面、および駆動回路図、第７図
は比較例における超音波モータの側面断面図、第８図お
よび第９図は比較例における超音波モータの側面断面図
および部分分解斜視図、第１０図は第８図および第９図
の超音波モータの振動伝達部位の突出した振動片の一部
分の拡大図、第１１図は実施例１における超音波モータ
の平面、側面断面、および駆動回路図、第１２図ないし
第１４図は実施例１と比較例における超音波モータの電
気特性、ステータの機械的振動状態、モータ性能を示す
線図、第１５図は実施例２における超音波モータの側面
断面図、第１６図は実施例３における超音波モータの側
面断面図、第１７図は第１６図の超音波モータのステー
タの部分平面図である。 １０・・・ステータ、１１．１２・・・圧電素子、２・
・・弾性体、　２３・・・突起、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　弾性材料からなる円板状の弾性体と、該弾性体の表面
   に付着させてなる円板状の圧電素子と、該弾性体の振動
   伝達部位に加圧接触させてなる摺動面を有する移動体と
   からなる超音波モータにおいて、上記弾性体は、複数個
   の圧電素子によって挟持されてなり、かつ該圧電素子が
   挟持している部位における厚さと振動伝達部位における
   厚さとがほぼ同様である部分を有することを特徴とする
   超音波モータ。