JP2000245175A - 振動アクチュエータ - Google Patents
振動アクチュエータInfo
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- JP2000245175A JP2000245175A JP11039389A JP3938999A JP2000245175A JP 2000245175 A JP2000245175 A JP 2000245175A JP 11039389 A JP11039389 A JP 11039389A JP 3938999 A JP3938999 A JP 3938999A JP 2000245175 A JP2000245175 A JP 2000245175A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造が容易で製造コストを低減することがで
きる振動アクチュエータを提供する。 【解決手段】 弾性体１１は、圧電体１０の伸縮によっ
て、駆動面１１ａに進行性振動波を発生する。接合面２
０ｂは、摺動部材２１の接合面２１ｂと接合して、フラ
ンジ部２０ａに対して摺動部材２１を位置決めし固定す
る部分である。接合面２０ｂは、摺動部材２１の摺動面
２１ａに対して略直交する方向に形成されている。接合
面２０ｂは、その表面積が摺動面２１ａよりも広い。摺
動部材２１は、接着剤などによって、接合面２１ｂが接
合面２０ｂに接合されて、フランジ部２０ａに固定され
ている。摺動部材２１は、成型又は機械加工によって、
摺動面１２１ａの幅ｗ2 が所定の大きさに予め形成され
た後に、接合面２０ｂに接合面２１ｂが嵌合又は接着さ
れる。
きる振動アクチュエータを提供する。 【解決手段】 弾性体１１は、圧電体１０の伸縮によっ
て、駆動面１１ａに進行性振動波を発生する。接合面２
０ｂは、摺動部材２１の接合面２１ｂと接合して、フラ
ンジ部２０ａに対して摺動部材２１を位置決めし固定す
る部分である。接合面２０ｂは、摺動部材２１の摺動面
２１ａに対して略直交する方向に形成されている。接合
面２０ｂは、その表面積が摺動面２１ａよりも広い。摺
動部材２１は、接着剤などによって、接合面２１ｂが接
合面２０ｂに接合されて、フランジ部２０ａに固定され
ている。摺動部材２１は、成型又は機械加工によって、
摺動面１２１ａの幅ｗ2 が所定の大きさに予め形成され
た後に、接合面２０ｂに接合面２１ｂが嵌合又は接着さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動波を発生する
超音波モータなどの振動アクチュエータに関するもので
ある。
超音波モータなどの振動アクチュエータに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電体などからなる電気機械
変換素子と、この電気機械変換素子に固定され、電気機
械変換素子によって振動を発生する弾性体と、この振動
によって摩擦駆動する移動体とを備える振動アクチュエ
ータが知られている。この振動アクチュエータは、種々
の方式があり、特許公報や技術文献などによって知られ
ている。例えば、進行波を利用する円環型超音波モー
タ、進行波を利用するリニア型超音波モータ、円筒状の
弾性体に進行波を発生させて移動子を駆動する超音波モ
ータ、円筒型の弾性体に定在波を発生させて移動子を駆
動するロッド型超音波モータなどがある。このように、
振動アクチュエータには、大きく分類すると進行波を利
用するものと定在波を利用するものとが存在する。
変換素子と、この電気機械変換素子に固定され、電気機
械変換素子によって振動を発生する弾性体と、この振動
によって摩擦駆動する移動体とを備える振動アクチュエ
ータが知られている。この振動アクチュエータは、種々
の方式があり、特許公報や技術文献などによって知られ
ている。例えば、進行波を利用する円環型超音波モー
タ、進行波を利用するリニア型超音波モータ、円筒状の
弾性体に進行波を発生させて移動子を駆動する超音波モ
ータ、円筒型の弾性体に定在波を発生させて移動子を駆
動するロッド型超音波モータなどがある。このように、
振動アクチュエータには、大きく分類すると進行波を利
用するものと定在波を利用するものとが存在する。
【０００３】図８は、従来の円環型超音波モータの断面
図である。円環型超音波モータは、図８に示すように、
外周部にフランジ状の薄板部１１１ｂを有する弾性体１
１１及びこの弾性体１１１に固定された電気機械変換素
子である圧電体１１０とからなる固定子１０１と、移動
体１２０及びこの移動体１２０に固定された摺動部材１
２１からなる移動子１０２と、薄板部１１１ｂの先端部
に形成された支持部１１１ｃを固定し支持する支持部材
１０３とを備えている。摺動部材１２１は、図示しない
加圧手段によって、弾性体１１１の駆動面１１１ａに加
圧接触している。圧電体１１０は、２群の電極群を備え
ており、それぞれにセグメント電極が集合している。こ
のセグメント電極は、交互に反対方向に分極されてお
り、それぞれの電極群は、位置的にπ／２の位相差を有
するように配置されている。相互にπ／２の位相差を有
する駆動信号（交流信号）がこの電極群に印加すると、
弾性体１１１は、圧電体１１０の振動によって励振され
て、進行波を発生する。移動子１０２は、この進行波に
よって摩擦駆動する。
図である。円環型超音波モータは、図８に示すように、
外周部にフランジ状の薄板部１１１ｂを有する弾性体１
１１及びこの弾性体１１１に固定された電気機械変換素
子である圧電体１１０とからなる固定子１０１と、移動
体１２０及びこの移動体１２０に固定された摺動部材１
２１からなる移動子１０２と、薄板部１１１ｂの先端部
に形成された支持部１１１ｃを固定し支持する支持部材
１０３とを備えている。摺動部材１２１は、図示しない
加圧手段によって、弾性体１１１の駆動面１１１ａに加
圧接触している。圧電体１１０は、２群の電極群を備え
ており、それぞれにセグメント電極が集合している。こ
のセグメント電極は、交互に反対方向に分極されてお
り、それぞれの電極群は、位置的にπ／２の位相差を有
するように配置されている。相互にπ／２の位相差を有
する駆動信号（交流信号）がこの電極群に印加すると、
弾性体１１１は、圧電体１１０の振動によって励振され
て、進行波を発生する。移動子１０２は、この進行波に
よって摩擦駆動する。
【０００４】図９は、従来のロッド型超音波モータの断
面図である。ロッド型超音波モータは、互いに機械的に
結合された弾性体２１１ａ，２１１ｂと、弾性体２１１
ａと弾性体２１１ｂとの間に挟み込まれ、それぞれ縦振
動とねじり振動とを発生する電気機械変換素子である圧
電体２１０ａ，２１０ｂと、移動体２２０及びこの移動
体２２０に固定された摺動部材２２１からなる移動子２
０２とを備えている。摺動部材２２１は、図示しない加
圧手段によって、弾性体２１１ａに加圧接触している。
相互に位相差を有する駆動信号（交流信号）が圧電体２
１０ａ，２１０ｂに印加すると、弾性体２１１ａと摺動
部材２２１とが接触する接触面に、振動波が発生して、
移動子２０２が摩擦駆動する。
面図である。ロッド型超音波モータは、互いに機械的に
結合された弾性体２１１ａ，２１１ｂと、弾性体２１１
ａと弾性体２１１ｂとの間に挟み込まれ、それぞれ縦振
動とねじり振動とを発生する電気機械変換素子である圧
電体２１０ａ，２１０ｂと、移動体２２０及びこの移動
体２２０に固定された摺動部材２２１からなる移動子２
０２とを備えている。摺動部材２２１は、図示しない加
圧手段によって、弾性体２１１ａに加圧接触している。
相互に位相差を有する駆動信号（交流信号）が圧電体２
１０ａ，２１０ｂに印加すると、弾性体２１１ａと摺動
部材２２１とが接触する接触面に、振動波が発生して、
移動子２０２が摩擦駆動する。
【０００５】図８及び図９に示す超音波モータは、いず
れも弾性体１１１，２１１ａ，２１１ｂに発生する振動
により移動子１０２，２０２又は負荷物を摩擦駆動する
ものであり、他の形式の超音波モータについても同様で
ある。これらの超音波モータは、圧電体１１０，２１０
ａ，２１０ｂの振動によって、弾性体１１１，２１１
ａ，２１１ｂを共振状態にする。このために、駆動信号
（交流信号）の周波数を変更することによって、弾性体
１１１，２１１ａ，２１１ｂの振動の振幅を変化させ
て、移動子１０２，２０２の駆動速度を調節することが
できる。
れも弾性体１１１，２１１ａ，２１１ｂに発生する振動
により移動子１０２，２０２又は負荷物を摩擦駆動する
ものであり、他の形式の超音波モータについても同様で
ある。これらの超音波モータは、圧電体１１０，２１０
ａ，２１０ｂの振動によって、弾性体１１１，２１１
ａ，２１１ｂを共振状態にする。このために、駆動信号
（交流信号）の周波数を変更することによって、弾性体
１１１，２１１ａ，２１１ｂの振動の振幅を変化させ
て、移動子１０２，２０２の駆動速度を調節することが
できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の振動アクチュエ
ータは、移動体１２０に摺動部材１２１を接合したり、
移動体１２０自体にメッキなどの表面処理を施して、摺
動部材１２１を形成していた。このような振動アクチュ
エータは、摺動部材１２１を備えていないものに比べ
て、駆動寿命を長くすることができる。また、摺動部材
１２１を樹脂などによって形成して、振動特性を所望の
特性に設定することができる。
ータは、移動体１２０に摺動部材１２１を接合したり、
移動体１２０自体にメッキなどの表面処理を施して、摺
動部材１２１を形成していた。このような振動アクチュ
エータは、摺動部材１２１を備えていないものに比べ
て、駆動寿命を長くすることができる。また、摺動部材
１２１を樹脂などによって形成して、振動特性を所望の
特性に設定することができる。
【０００７】しかし、摺動部材１２１と移動体１２０と
を固定するためには、これらを接着剤などによって接着
する必要がある。このために、摺動面１２１ａの面積が
大きくなると、摺動面１２１ａの平面精度をミクロン単
位で管理することが非常に困難になる。従来の振動アク
チュエータは、例えば、回転軸Ｏに対して垂直な方向に
おける摺動部材１２１の幅ｗ1 を、回転軸Ｏと摺動面１
２１ａとの間の距離（摺動径）ｒの１／２０以下に設定
している。また、摺動面１２１ａの平面精度は、振動ア
クチュエータの仕様にもよるが、５μ以下である。図８
に示す円環型超音波モータは、例えば、摺動径ｒが約６
５ｍｍであり、幅ｗ1 が１ｍｍであるときには、回転軸
Ｏに対して垂直な方向における摺動面１２１ａの幅ｗ2
が０．５５ｍｍである。このために、移動体１２０に対
する摺動部材１２１の位置合わせが困難であり、これら
の固定及び接着工程にコストがかかっていた。
を固定するためには、これらを接着剤などによって接着
する必要がある。このために、摺動面１２１ａの面積が
大きくなると、摺動面１２１ａの平面精度をミクロン単
位で管理することが非常に困難になる。従来の振動アク
チュエータは、例えば、回転軸Ｏに対して垂直な方向に
おける摺動部材１２１の幅ｗ1 を、回転軸Ｏと摺動面１
２１ａとの間の距離（摺動径）ｒの１／２０以下に設定
している。また、摺動面１２１ａの平面精度は、振動ア
クチュエータの仕様にもよるが、５μ以下である。図８
に示す円環型超音波モータは、例えば、摺動径ｒが約６
５ｍｍであり、幅ｗ1 が１ｍｍであるときには、回転軸
Ｏに対して垂直な方向における摺動面１２１ａの幅ｗ2
が０．５５ｍｍである。このために、移動体１２０に対
する摺動部材１２１の位置合わせが困難であり、これら
の固定及び接着工程にコストがかかっていた。
【０００８】また、摺動部材１２１の幅ｗ1 を狭くする
と、摺動部材１２１と移動体１２０との間の接着強度が
低下する。また、移動体１２０に摺動部材１２１を接着
した後に、摺動部材１２１を切削して、摺動面１２１ａ
の幅ｗ2 を所定の大きさに加工しようとすると、摺動部
材１２１が移動体１２０から剥離する可能性があった。
その結果、摺動部材１２１の幅ｗ1 を小さくすることが
できないという問題があった。
と、摺動部材１２１と移動体１２０との間の接着強度が
低下する。また、移動体１２０に摺動部材１２１を接着
した後に、摺動部材１２１を切削して、摺動面１２１ａ
の幅ｗ2 を所定の大きさに加工しようとすると、摺動部
材１２１が移動体１２０から剥離する可能性があった。
その結果、摺動部材１２１の幅ｗ1 を小さくすることが
できないという問題があった。
【０００９】本発明の課題は、製造が容易で製造コスト
を低減することができる振動アクチュエータを提供する
ことである。
を低減することができる振動アクチュエータを提供する
ことである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、以下に記載す
るような解決手段により、前記課題を解決する。なお、
理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する
符号を付して説明するが、これに限定するものではな
い。すなわち、請求項１の発明は、駆動信号により励振
される電気機械変換体（１０）、及び、前記電気機械変
換体に接合され、前記励振により駆動面（１１ａ）に進
行性振動波を発生する弾性体（１１）を備える固定子
（１）と、前記駆動面と加圧接触する摺動面を有する摺
動部材（２１）、及び、前記進行性振動波によって回転
駆動される移動体（２０）を備える移動子（２）とを含
み、前記摺動部材及び前記移動体は、前記摺動面と交差
する方向に設けられ、この摺動面よりも広い接合部（２
０ｂ，２１ｂ；２０ｃ，２１ｃ；２２ｂ；２０ｄ，２１
ｄ；２０ｅ，２１ｅ；２０ｆ，２１ｆ）によって接合さ
れていることを特徴とする振動アクチュエータである。
るような解決手段により、前記課題を解決する。なお、
理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する
符号を付して説明するが、これに限定するものではな
い。すなわち、請求項１の発明は、駆動信号により励振
される電気機械変換体（１０）、及び、前記電気機械変
換体に接合され、前記励振により駆動面（１１ａ）に進
行性振動波を発生する弾性体（１１）を備える固定子
（１）と、前記駆動面と加圧接触する摺動面を有する摺
動部材（２１）、及び、前記進行性振動波によって回転
駆動される移動体（２０）を備える移動子（２）とを含
み、前記摺動部材及び前記移動体は、前記摺動面と交差
する方向に設けられ、この摺動面よりも広い接合部（２
０ｂ，２１ｂ；２０ｃ，２１ｃ；２２ｂ；２０ｄ，２１
ｄ；２０ｅ，２１ｅ；２０ｆ，２１ｆ）によって接合さ
れていることを特徴とする振動アクチュエータである。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記移動体は、前記摺動部材
を支持するフランジ部（２０ａ）を備え、前記接合部
は、前記フランジ部及び前記摺動部材に形成されている
ことを特徴とする振動アクチュエータである。
アクチュエータにおいて、前記移動体は、前記摺動部材
を支持するフランジ部（２０ａ）を備え、前記接合部
は、前記フランジ部及び前記摺動部材に形成されている
ことを特徴とする振動アクチュエータである。
【００１２】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
に記載の振動アクチュエータにおいて、前記接合部は、
前記摺動面に対して略垂直又は傾斜して形成されてお
り、前記摺動部材は、前記接合部において前記フランジ
部と嵌合することを特徴とする振動アクチュエータであ
る。
に記載の振動アクチュエータにおいて、前記接合部は、
前記摺動面に対して略垂直又は傾斜して形成されてお
り、前記摺動部材は、前記接合部において前記フランジ
部と嵌合することを特徴とする振動アクチュエータであ
る。
【００１３】請求項４の発明は、請求項１から請求項３
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、前記接合部は、前記摺動部材と前記移動体とを位置
決めする位置決め部（２０ｂ，２１ｂ；２０ｃ，２１
ｃ；２２ｂ；２０ｄ，２１ｄ；２０ｅ，２１ｅ；２０
ｆ，２１ｆ）を備えることを特徴とする振動アクチュエ
ータである。
までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおい
て、前記接合部は、前記摺動部材と前記移動体とを位置
決めする位置決め部（２０ｂ，２１ｂ；２０ｃ，２１
ｃ；２２ｂ；２０ｄ，２１ｄ；２０ｅ，２１ｅ；２０
ｆ，２１ｆ）を備えることを特徴とする振動アクチュエ
ータである。
【００１４】
【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、図面を参
照して、本発明の実施形態についてさらに詳しく説明す
る。図１は、本発明の第１実施形態に係る振動アクチュ
エータの断面図である。図２は、本発明の第１実施形態
に係る振動アクチュエータにおける移動子の一部を省略
して示す断面図である。固定子１は、圧電体１０と、弾
性体１１とを備えている。圧電体１０は、電気エネルギ
ーを機械エネルギーに変換する電気機械変換体である。
圧電体１０は、駆動信号（交流信号）によって励振する
円環状の部材である。弾性体１１は、圧電体１０の伸縮
（励振）によって、櫛歯形状の駆動面１１ａに進行性振
動波を発生する円環状の部材である。弾性体１１は、接
着剤などによって圧電体１０に接合され固定されてい
る。
照して、本発明の実施形態についてさらに詳しく説明す
る。図１は、本発明の第１実施形態に係る振動アクチュ
エータの断面図である。図２は、本発明の第１実施形態
に係る振動アクチュエータにおける移動子の一部を省略
して示す断面図である。固定子１は、圧電体１０と、弾
性体１１とを備えている。圧電体１０は、電気エネルギ
ーを機械エネルギーに変換する電気機械変換体である。
圧電体１０は、駆動信号（交流信号）によって励振する
円環状の部材である。弾性体１１は、圧電体１０の伸縮
（励振）によって、櫛歯形状の駆動面１１ａに進行性振
動波を発生する円環状の部材である。弾性体１１は、接
着剤などによって圧電体１０に接合され固定されてい
る。
【００１５】薄板部１１ｂは、弾性体１１が発生する進
行性振動波が減衰するのを防止する減衰防止部である。
薄板部１１ｂは、弾性体１１の外周部から突出して形成
されたフランジ状の部分である。薄板部１１ｂは、その
先端部が支持部材４側に略９０度折り曲げられた支持部
１１ｃを備えている。薄板部１１ｂ及び支持部１１ｃ
は、弾性体１１と同一部材である。支持部材３は、薄板
部１１ｂ及び支持部１１ｃを介して、固定子１を支持す
る円環状の部材である。
行性振動波が減衰するのを防止する減衰防止部である。
薄板部１１ｂは、弾性体１１の外周部から突出して形成
されたフランジ状の部分である。薄板部１１ｂは、その
先端部が支持部材４側に略９０度折り曲げられた支持部
１１ｃを備えている。薄板部１１ｂ及び支持部１１ｃ
は、弾性体１１と同一部材である。支持部材３は、薄板
部１１ｂ及び支持部１１ｃを介して、固定子１を支持す
る円環状の部材である。
【００１６】移動子２は、移動体２０と、摺動部材２１
とを備えている。移動体２０は、図示しない移動目的対
象物に接続される移動子母材（ロータ）である。移動体
２０は、駆動面１１ａに発生する進行性振動波によって
回転駆動する。移動体２０は、フランジ部２０ａと、接
合面２０ｂとを備えている。移動体２０は、アルミニウ
ム又はりん青胴である。
とを備えている。移動体２０は、図示しない移動目的対
象物に接続される移動子母材（ロータ）である。移動体
２０は、駆動面１１ａに発生する進行性振動波によって
回転駆動する。移動体２０は、フランジ部２０ａと、接
合面２０ｂとを備えている。移動体２０は、アルミニウ
ム又はりん青胴である。
【００１７】フランジ部２０ａは、摺動部材２１を支持
する円環状の部分である。フランジ部２０ａは、移動体
２０の内周部から突出して、回転軸Ｏに対して略直交す
る方向に伸びている。フランジ部２０ａの内周部には、
接合面２０ｂが形成されている。接合面２０ｂは、摺動
部材２１の接合面２１ｂと接合して、フランジ部２０ａ
に対して摺動部材２１を位置決めし固定する部分であ
る。接合面２０ｂは、摺動部材２１の摺動面２１ａに対
して略直交する方向に形成されている。接合面２０ｂ
は、その表面積が摺動面２１ａよりも広い。
する円環状の部分である。フランジ部２０ａは、移動体
２０の内周部から突出して、回転軸Ｏに対して略直交す
る方向に伸びている。フランジ部２０ａの内周部には、
接合面２０ｂが形成されている。接合面２０ｂは、摺動
部材２１の接合面２１ｂと接合して、フランジ部２０ａ
に対して摺動部材２１を位置決めし固定する部分であ
る。接合面２０ｂは、摺動部材２１の摺動面２１ａに対
して略直交する方向に形成されている。接合面２０ｂ
は、その表面積が摺動面２１ａよりも広い。
【００１８】摺動部材２１は、図示しない加圧手段によ
って、駆動面１１ａと加圧接触する円環状の部材であ
る。摺動部材２１は、摺動面２１ａと、接合面２１ｂと
を備えている。摺動部材２１は、接着剤などによって、
接合面２１ｂが接合面２０ｂに接合されて、フランジ部
２０ａに固定されている。摺動部材２１は、Ｐｅｅｋ
（ポリ・エーテル・エーテル・ケトン）にフッ素樹脂と
カーボン繊維を混入したもの、例えば、ＣＫ３４２０
（商品名）が好適に使用される。摺動部材２１は、成型
又は機械加工によって、摺動面１２１ａの幅ｗ2 が所定
の大きさに予め形成された後に、接合面２０ｂに接合面
２１ｂが嵌合又は接着される。
って、駆動面１１ａと加圧接触する円環状の部材であ
る。摺動部材２１は、摺動面２１ａと、接合面２１ｂと
を備えている。摺動部材２１は、接着剤などによって、
接合面２１ｂが接合面２０ｂに接合されて、フランジ部
２０ａに固定されている。摺動部材２１は、Ｐｅｅｋ
（ポリ・エーテル・エーテル・ケトン）にフッ素樹脂と
カーボン繊維を混入したもの、例えば、ＣＫ３４２０
（商品名）が好適に使用される。摺動部材２１は、成型
又は機械加工によって、摺動面１２１ａの幅ｗ2 が所定
の大きさに予め形成された後に、接合面２０ｂに接合面
２１ｂが嵌合又は接着される。
【００１９】摺動面２１ａは、駆動面１１ａと加圧接触
する部分である。摺動面２１ａは、回転軸Ｏに対して略
直交する方向に形成されている。接合面２１ｂは、接合
面２０ｂと接合する部分である。接合面２１ｂは、摺動
面２１ａに対して略直交する方向に形成されている。
する部分である。摺動面２１ａは、回転軸Ｏに対して略
直交する方向に形成されている。接合面２１ｂは、接合
面２０ｂと接合する部分である。接合面２１ｂは、摺動
面２１ａに対して略直交する方向に形成されている。
【００２０】本発明の第１実施形態に係る振動アクチュ
エータは、以下に記載するような効果を有する。 （１） 本発明の第１実施形態は、摺動面２１ａと交差
する方向に、この摺動面２１ａよりも面積が広い接合面
２０ｂ，２１ｂを備える。図８に示すように、摺動部材
１２１の幅ｗ1 が狭いと、摺動部材１２１を移動体１２
０に正確に位置決めして接合するのが困難である。本発
明の第１実施形態は、摺動面２１ａの面積に比べて、接
合面２０ｂ，２１ｂの面積を広くすることができる。こ
のために、フランジ部２０ａに摺動部材２１を確実に固
定することができる。
エータは、以下に記載するような効果を有する。 （１） 本発明の第１実施形態は、摺動面２１ａと交差
する方向に、この摺動面２１ａよりも面積が広い接合面
２０ｂ，２１ｂを備える。図８に示すように、摺動部材
１２１の幅ｗ1 が狭いと、摺動部材１２１を移動体１２
０に正確に位置決めして接合するのが困難である。本発
明の第１実施形態は、摺動面２１ａの面積に比べて、接
合面２０ｂ，２１ｂの面積を広くすることができる。こ
のために、フランジ部２０ａに摺動部材２１を確実に固
定することができる。
【００２１】（２） 本発明の第１実施形態は、接合面
２０ｂに接合面２１ｂを嵌合させて、フランジ部２０ａ
に摺動部材２１を位置決めして固定している。このため
に、従来の振動アクチュエータに比べて、移動子２を容
易に組み立てて製造することができるとともに、製造コ
ストの低減を図ることができる。
２０ｂに接合面２１ｂを嵌合させて、フランジ部２０ａ
に摺動部材２１を位置決めして固定している。このため
に、従来の振動アクチュエータに比べて、移動子２を容
易に組み立てて製造することができるとともに、製造コ
ストの低減を図ることができる。
【００２２】（第２実施形態）図３は、本発明の第２実
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。以下では、第１実施形態と同一の部材は、同
一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。本発明
の第２実施形態は、第１実施形態の接合面２０ｂ，２１
ｂの断面形状をテーパ状に変更した他の実施形態であ
る。本発明の第２実施形態は、摺動面２１ａに対して接
合面２０ｃ，２１ｃが傾斜して形成されているために、
接合面２０ｂ，２１ｂに比べて接合面積を大きくするこ
とができる。このために、本発明の第２実施形態は、第
１実施形態に比べて、フランジ部２０ａに摺動部材２１
をより一層強固に接合することができる。
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。以下では、第１実施形態と同一の部材は、同
一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。本発明
の第２実施形態は、第１実施形態の接合面２０ｂ，２１
ｂの断面形状をテーパ状に変更した他の実施形態であ
る。本発明の第２実施形態は、摺動面２１ａに対して接
合面２０ｃ，２１ｃが傾斜して形成されているために、
接合面２０ｂ，２１ｂに比べて接合面積を大きくするこ
とができる。このために、本発明の第２実施形態は、第
１実施形態に比べて、フランジ部２０ａに摺動部材２１
をより一層強固に接合することができる。
【００２３】（第３実施形態）図４は、本発明の第３実
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第３実施形態は、第１実施形態の摺
動部材２１を、切欠部２２ｃを有する摺動部材２２に変
更した他の実施形態である。本発明の第３実施形態は、
摺動部材２２を帯状に形成したために、移動体２０の径
方向に正確に位置決めして、フランジ部２０ａの内周部
に摺動部材２２を接着剤によって簡単に固定することが
できる。
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第３実施形態は、第１実施形態の摺
動部材２１を、切欠部２２ｃを有する摺動部材２２に変
更した他の実施形態である。本発明の第３実施形態は、
摺動部材２２を帯状に形成したために、移動体２０の径
方向に正確に位置決めして、フランジ部２０ａの内周部
に摺動部材２２を接着剤によって簡単に固定することが
できる。
【００２４】（第４実施形態）図５は、本発明の第４実
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第４実施形態は、第１実施形態のフ
ランジ部２０ａの外周部に接合面２０ｄを形成し、摺動
部材２１の内周部に接合面２１ｄを形成した他の実施形
態である。本発明の第４実施形態は、フランジ部２０ａ
の外周部側に摺動部材２１を嵌合させて、本発明の第１
実施形態と同様の効果を得ることができる。
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第４実施形態は、第１実施形態のフ
ランジ部２０ａの外周部に接合面２０ｄを形成し、摺動
部材２１の内周部に接合面２１ｄを形成した他の実施形
態である。本発明の第４実施形態は、フランジ部２０ａ
の外周部側に摺動部材２１を嵌合させて、本発明の第１
実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２５】（第５実施形態）図６は、本発明の第５実
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第５実施形態は、本発明の第１実施
形態の接合面２０ｂ，２１ｂに代えて、フランジ部２０
ａに凸部２０ｅを形成し、摺動部材２１に凹部２１ｅを
形成した他の実施形態である。凸部２０ｅは、フランジ
部２０ａの内周部に形成された突起である。凹部２０ｅ
は、摺動部材２１の外周部に形成され、凸部２０ｅが嵌
合する溝である。本発明の第５実施形態は、凸部２０ｅ
を凹部２１ｅに嵌合させて、本発明の第１実施形態と同
様の効果を得ることができる。
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第５実施形態は、本発明の第１実施
形態の接合面２０ｂ，２１ｂに代えて、フランジ部２０
ａに凸部２０ｅを形成し、摺動部材２１に凹部２１ｅを
形成した他の実施形態である。凸部２０ｅは、フランジ
部２０ａの内周部に形成された突起である。凹部２０ｅ
は、摺動部材２１の外周部に形成され、凸部２０ｅが嵌
合する溝である。本発明の第５実施形態は、凸部２０ｅ
を凹部２１ｅに嵌合させて、本発明の第１実施形態と同
様の効果を得ることができる。
【００２６】（第６実施形態）図７は、本発明の第６実
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第６実施形態は、本発明の第５実施
形態の凸部２０ｆ及び凹部２１ｆを回転軸Ｏ方向に形成
した他の実施形態である。凹部２０ｆは、フランジ部２
０ａの固定子１側の端面に形成された溝である。凸部２
１ｆは、摺動部材２１の移動体２０側の端面に形成さ
れ、凹部２０ｆに嵌合する突起である。本発明の第６実
施形態は、凸部２１ｆを凹部２０ｆに嵌合させて、本発
明の第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
施形態に係る振動アクチュエータにおける移動子の断面
図である。本発明の第６実施形態は、本発明の第５実施
形態の凸部２０ｆ及び凹部２１ｆを回転軸Ｏ方向に形成
した他の実施形態である。凹部２０ｆは、フランジ部２
０ａの固定子１側の端面に形成された溝である。凸部２
１ｆは、摺動部材２１の移動体２０側の端面に形成さ
れ、凹部２０ｆに嵌合する突起である。本発明の第６実
施形態は、凸部２１ｆを凹部２０ｆに嵌合させて、本発
明の第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００２７】（他の実施形態）本発明は、以上説明した
実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更
が可能であって、これらも本発明の均等の範囲内であ
る。 （１） 本発明の実施形態は、振動アクチュエータとし
て円環型超音波モータを例に挙げて説明したが、リニア
型超音波モータなどの他の形式の超音波モータや、超音
波領域以外の振動を利用した振動アクチュエータについ
ても適用することができる。また、圧電体１０として電
気機械変換体を例に挙げて説明したが、これに限定する
ものではなく、例えば、圧電素子以外の電歪素子や磁歪
素子などであってもよい。
実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更
が可能であって、これらも本発明の均等の範囲内であ
る。 （１） 本発明の実施形態は、振動アクチュエータとし
て円環型超音波モータを例に挙げて説明したが、リニア
型超音波モータなどの他の形式の超音波モータや、超音
波領域以外の振動を利用した振動アクチュエータについ
ても適用することができる。また、圧電体１０として電
気機械変換体を例に挙げて説明したが、これに限定する
ものではなく、例えば、圧電素子以外の電歪素子や磁歪
素子などであってもよい。
【００２８】（２） 本発明の第５実施形態は、フラン
ジ部２０ａ側に凸部２０ｅを形成し、摺動部材２１側に
凹部２１ｅを形成した場合を例に挙げて説明したが、フ
ランジ部２０ａ側に凹部を形成し、摺動部材２１側に凸
部を形成してもよい。同様に、本発明の第６実施形態
は、フランジ部２０ａ側に凹部２１ｆを形成し、摺動部
材２１側に凸部２０ｆを形成した場合を例に挙げて説明
したが、フランジ部２０ａ側に凸部を形成し、摺動部材
２１側に凹部を形成してもよい。
ジ部２０ａ側に凸部２０ｅを形成し、摺動部材２１側に
凹部２１ｅを形成した場合を例に挙げて説明したが、フ
ランジ部２０ａ側に凹部を形成し、摺動部材２１側に凸
部を形成してもよい。同様に、本発明の第６実施形態
は、フランジ部２０ａ側に凹部２１ｆを形成し、摺動部
材２１側に凸部２０ｆを形成した場合を例に挙げて説明
したが、フランジ部２０ａ側に凸部を形成し、摺動部材
２１側に凹部を形成してもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、摺動部材及び移動体は、摺動面と交差する方向に
設けられ、この摺動面よりも広い接合部によって接合さ
れているので、移動子を容易に製造することができると
ともに、製造コストを低減することができる。
れば、摺動部材及び移動体は、摺動面と交差する方向に
設けられ、この摺動面よりも広い接合部によって接合さ
れているので、移動子を容易に製造することができると
ともに、製造コストを低減することができる。
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動アクチュエー
タの断面図である。
タの断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る振動アクチュエー
タにおける移動子の一部を省略して示す断面図である。
タにおける移動子の一部を省略して示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る振動アクチュエー
タにおける移動子の断面図である。
タにおける移動子の断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る振動アクチュエー
タにおける移動子の断面図である。
タにおける移動子の断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る振動アクチュエー
タにおける移動子の断面図である。
タにおける移動子の断面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係る振動アクチュエー
タにおける移動子の断面図である。
タにおける移動子の断面図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る振動アクチュエー
タにおける移動子の断面図である。
タにおける移動子の断面図である。
【図８】従来の円環型超音波モータの断面図である。
【図９】従来のロッド型超音波モータの断面図である。
１ 固定子 ２ 移動子 ３ 支持部材 １０ 圧電体 １１ 弾性体 １１ａ 駆動面 ２０ 移動体 ２０ａ フランジ部 ２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ 接合面 ２０ｅ，２１ｆ 凸部 ２１ａ，２２ａ 摺動面 ２１，２２ 摺動部材 ２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２２ｂ 接合面 ２０ｆ，２１ｅ 凹部 ２２ｃ 切欠部 Ｏ 回転軸
Claims (4)
- 【請求項１】 駆動信号により励振される電気機械変換
体、及び、前記電気機械変換体に接合され、前記励振に
より駆動面に進行性振動波を発生する弾性体を備える固
定子と、 前記駆動面と加圧接触する摺動面を有する摺動部材、及
び、前記進行性振動波によって回転駆動される移動体を
備える移動子とを含み、 前記摺動部材及び前記移動体は、前記摺動面と交差する
方向に設けられ、この摺動面よりも広い接合部によって
接合されていること、 を特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
おいて、 前記移動体は、前記摺動部材を支持するフランジ部を備
え、 前記接合部は、前記フランジ部及び前記摺動部材に形成
されていること、 を特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の振動アク
チュエータにおいて、 前記接合部は、前記摺動面に対して略垂直又は傾斜して
形成されており、 前記摺動部材は、前記接合部において前記フランジ部と
嵌合すること、 を特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
項に記載の振動アクチュエータにおいて、 前記接合部は、前記摺動部材と前記移動体とを位置決め
する位置決め部を備えること、 を特徴とする振動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11039389A JP2000245175A (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 振動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11039389A JP2000245175A (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 振動アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000245175A true JP2000245175A (ja) | 2000-09-08 |
Family
ID=12551661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11039389A Pending JP2000245175A (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 振動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000245175A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010001620A1 (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-07 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズユニット、及び撮像装置 |
| US9837936B2 (en) | 2012-06-15 | 2017-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type drive device, medical apparatus, and medical system |
| US11844277B2 (en) | 2021-07-30 | 2023-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibrating actuator having contact part with high abrasion resistance |
-
1999
- 1999-02-18 JP JP11039389A patent/JP2000245175A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010001620A1 (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-07 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズユニット、及び撮像装置 |
| JP5447375B2 (ja) * | 2008-07-03 | 2014-03-19 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ、レンズユニット、及び撮像装置 |
| US9837936B2 (en) | 2012-06-15 | 2017-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type drive device, medical apparatus, and medical system |
| US11844277B2 (en) | 2021-07-30 | 2023-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibrating actuator having contact part with high abrasion resistance |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |