JP2000245173A - 振動アクチュエータ - Google Patents
振動アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2000245173A JP2000245173A JP11039386A JP3938699A JP2000245173A JP 2000245173 A JP2000245173 A JP 2000245173A JP 11039386 A JP11039386 A JP 11039386A JP 3938699 A JP3938699 A JP 3938699A JP 2000245173 A JP2000245173 A JP 2000245173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- driving
- axis direction
- vibration actuator
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 駆動音を低減することができる振動アクチュ
エータを提供する。 【解決手段】 固定子１は、圧電体１０と、弾性体１１
とを備えている。弾性体１１は、圧電体１０の伸縮（励
振）によって、櫛歯形状の駆動面１１ａに進行性振動波
を発生する円環状の部材である。移動子２は、移動体２
０と、摺動部材２１とを備えている。移動体２０は、駆
動面１１ａに発生する進行性振動波によって回転駆動す
る。摺動部材２１は、図示しない加圧手段によって、駆
動面１１ａと加圧接触する部材である。フランジ部２０
ａは、摺動部材２１を接合し固定する接合部である。Ｈ
2 を１．５ｍｍに設定したときに、Ｈ1 を０．３ｍｍ以
上に設定すると、駆動音の発生を非常に少なくすること
ができる。また、Ｈ2 を２ｍｍに設定したときに、Ｈ1
を０．５ｍｍ以上に設定すると、駆動音の発生を非常に
少なくすることができる。
エータを提供する。 【解決手段】 固定子１は、圧電体１０と、弾性体１１
とを備えている。弾性体１１は、圧電体１０の伸縮（励
振）によって、櫛歯形状の駆動面１１ａに進行性振動波
を発生する円環状の部材である。移動子２は、移動体２
０と、摺動部材２１とを備えている。移動体２０は、駆
動面１１ａに発生する進行性振動波によって回転駆動す
る。摺動部材２１は、図示しない加圧手段によって、駆
動面１１ａと加圧接触する部材である。フランジ部２０
ａは、摺動部材２１を接合し固定する接合部である。Ｈ
2 を１．５ｍｍに設定したときに、Ｈ1 を０．３ｍｍ以
上に設定すると、駆動音の発生を非常に少なくすること
ができる。また、Ｈ2 を２ｍｍに設定したときに、Ｈ1
を０．５ｍｍ以上に設定すると、駆動音の発生を非常に
少なくすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動波を発生する
超音波モータなどの振動アクチュエータに関するもので
ある。
超音波モータなどの振動アクチュエータに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電体などからなる電気機械
変換素子と、この電気機械変換素子に固定され、電気機
械変換素子によって振動を発生する弾性体と、この振動
によって摩擦駆動する移動体とを備える振動アクチュエ
ータが知られている。この振動アクチュエータは、種々
の方式があり、特許公報や技術文献などによって知られ
ている。例えば、進行波を利用する円環型超音波モー
タ、進行波を利用するリニア型超音波モータ、円筒状の
弾性体に進行波を発生させて移動子を駆動する超音波モ
ータ、円筒型の弾性体に定在波を発生させて移動子を駆
動するロッド型超音波モータなどがある。このように、
振動アクチュエータには、大きく分類すると進行波を利
用するものと定在波を利用するものとが存在する。
変換素子と、この電気機械変換素子に固定され、電気機
械変換素子によって振動を発生する弾性体と、この振動
によって摩擦駆動する移動体とを備える振動アクチュエ
ータが知られている。この振動アクチュエータは、種々
の方式があり、特許公報や技術文献などによって知られ
ている。例えば、進行波を利用する円環型超音波モー
タ、進行波を利用するリニア型超音波モータ、円筒状の
弾性体に進行波を発生させて移動子を駆動する超音波モ
ータ、円筒型の弾性体に定在波を発生させて移動子を駆
動するロッド型超音波モータなどがある。このように、
振動アクチュエータには、大きく分類すると進行波を利
用するものと定在波を利用するものとが存在する。
【０００３】図８は、従来の円環型超音波モータの断面
図である。円環型超音波モータは、図８に示すように、
外周部にフランジ状の薄板部１１１ｂを有する弾性体１
１１及びこの弾性体１１１に固定された電気機械変換素
子である圧電体１１０とからなる固定子１０１と、移動
体１２０及びこの移動体１２０に固定された摺動部材１
２１からなる移動子１０２と、薄板部１１１ｂの先端部
に形成された支持部１１１ｃを固定し支持する支持部材
１０３とを備えている。摺動部材１２１は、図示しない
加圧手段によって、弾性体１１１の駆動面１１１ａに加
圧接触している。圧電体１１０は、２群の電極群を備え
ており、それぞれにセグメント電極が集合している。こ
のセグメント電極は、交互に反対方向に分極されてお
り、それぞれの電極群は、位置的にπ／２の位相差を有
するように配置されている。相互にπ／２の位相差を有
する駆動信号（交流信号）がこの電極群に印加すると、
弾性体１１１は、圧電体１１０の振動によって励振され
て、進行波を発生する。移動子１０２は、この進行波に
よって摩擦駆動する。
図である。円環型超音波モータは、図８に示すように、
外周部にフランジ状の薄板部１１１ｂを有する弾性体１
１１及びこの弾性体１１１に固定された電気機械変換素
子である圧電体１１０とからなる固定子１０１と、移動
体１２０及びこの移動体１２０に固定された摺動部材１
２１からなる移動子１０２と、薄板部１１１ｂの先端部
に形成された支持部１１１ｃを固定し支持する支持部材
１０３とを備えている。摺動部材１２１は、図示しない
加圧手段によって、弾性体１１１の駆動面１１１ａに加
圧接触している。圧電体１１０は、２群の電極群を備え
ており、それぞれにセグメント電極が集合している。こ
のセグメント電極は、交互に反対方向に分極されてお
り、それぞれの電極群は、位置的にπ／２の位相差を有
するように配置されている。相互にπ／２の位相差を有
する駆動信号（交流信号）がこの電極群に印加すると、
弾性体１１１は、圧電体１１０の振動によって励振され
て、進行波を発生する。移動子１０２は、この進行波に
よって摩擦駆動する。
【０００４】図９は、従来のロッド型超音波モータの断
面図である。ロッド型超音波モータは、互いに機械的に
結合された弾性体２１１ａ，２１１ｂと、弾性体２１１
ａと弾性体２１１ｂとの間に挟み込まれ、それぞれ縦振
動とねじり振動とを発生する電気機械変換素子である圧
電体２１０ａ，２１０ｂと、移動体２２０及びこの移動
体２２０に固定された摺動部材２２１からなる移動子２
０２とを備えている。摺動部材２２１は、図示しない加
圧手段によって、弾性体２１１ａに加圧接触している。
相互に位相差を有する駆動信号（交流信号）が圧電体２
１０ａ，２１０ｂに印加すると、弾性体２１１ａと摺動
部材２２１とが接触する接触面に、振動波が発生して、
移動子２０２が摩擦駆動する。
面図である。ロッド型超音波モータは、互いに機械的に
結合された弾性体２１１ａ，２１１ｂと、弾性体２１１
ａと弾性体２１１ｂとの間に挟み込まれ、それぞれ縦振
動とねじり振動とを発生する電気機械変換素子である圧
電体２１０ａ，２１０ｂと、移動体２２０及びこの移動
体２２０に固定された摺動部材２２１からなる移動子２
０２とを備えている。摺動部材２２１は、図示しない加
圧手段によって、弾性体２１１ａに加圧接触している。
相互に位相差を有する駆動信号（交流信号）が圧電体２
１０ａ，２１０ｂに印加すると、弾性体２１１ａと摺動
部材２２１とが接触する接触面に、振動波が発生して、
移動子２０２が摩擦駆動する。
【０００５】図８及び図９に示す超音波モータは、いず
れも弾性体１１１，２１１ａ，２１１ｂに発生する振動
により移動子１０２，２０２又は負荷物を摩擦駆動する
ものであり、他の形式の超音波モータについても同様で
ある。これらの超音波モータは、圧電体１１０，２１０
ａ，２１０ｂの振動によって、弾性体１１１，２１１
ａ，２１１ｂを共振状態にする。このために、駆動信号
（交流信号）の周波数を変更することによって、弾性体
１１１，２１１ａ，２１１ｂの振動の振幅を変化させ
て、移動子１０２，２０２の駆動速度を調節することが
できる。
れも弾性体１１１，２１１ａ，２１１ｂに発生する振動
により移動子１０２，２０２又は負荷物を摩擦駆動する
ものであり、他の形式の超音波モータについても同様で
ある。これらの超音波モータは、圧電体１１０，２１０
ａ，２１０ｂの振動によって、弾性体１１１，２１１
ａ，２１１ｂを共振状態にする。このために、駆動信号
（交流信号）の周波数を変更することによって、弾性体
１１１，２１１ａ，２１１ｂの振動の振幅を変化させ
て、移動子１０２，２０２の駆動速度を調節することが
できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の振動アクチュエ
ータは、移動体１２０に摺動部材１２１を接合したり、
移動体１２０自体にメッキなどの表面処理を施して摺動
部材１２１を形成していた。このような振動アクチュエ
ータは、摺動部材１２１を備えていないものに比べて、
駆動寿命を長くすることができる。また、摺動部材１２
１を樹脂などによって形成して、振動特性を所望の特性
に設定することができる。
ータは、移動体１２０に摺動部材１２１を接合したり、
移動体１２０自体にメッキなどの表面処理を施して摺動
部材１２１を形成していた。このような振動アクチュエ
ータは、摺動部材１２１を備えていないものに比べて、
駆動寿命を長くすることができる。また、摺動部材１２
１を樹脂などによって形成して、振動特性を所望の特性
に設定することができる。
【０００７】しかし、振動アクチュエータは、弾性体１
１１に発生する振動によって移動子１０２を摩擦駆動す
るために、高周波音、低周波音又はこれらの両方からな
る種々の駆動音が発生していた。このために、図８に示
す円環型超音波モータでは、弾性体１１１の櫛歯の高さ
を部分的に変えて、駆動音の発生を軽減していた。しか
し、このような方法では、弾性体１１１の加工が困難で
あった。また、特定の駆動速度のときにのみ駆動音が発
生するために、その対策が困難であった。
１１に発生する振動によって移動子１０２を摩擦駆動す
るために、高周波音、低周波音又はこれらの両方からな
る種々の駆動音が発生していた。このために、図８に示
す円環型超音波モータでは、弾性体１１１の櫛歯の高さ
を部分的に変えて、駆動音の発生を軽減していた。しか
し、このような方法では、弾性体１１１の加工が困難で
あった。また、特定の駆動速度のときにのみ駆動音が発
生するために、その対策が困難であった。
【０００８】本発明の課題は、駆動音の発生を低減する
ことができる振動アクチュエータを提供することであ
る。
ことができる振動アクチュエータを提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、以下に記載す
るような解決手段により、前記課題を解決する。なお、
理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する
符号を付して説明するが、これに限定するものではな
い。すなわち、請求項１の発明は、駆動信号により励振
される電気機械変換体（２１）、及び、前記電気機械変
換体に接合され、前記励振により駆動面（１１ａ）に進
行性振動波を発生する弾性体（１１）を有する固定子
（１）と、前記駆動面に加圧接触し、前記進行性振動波
によって回転駆動される移動子（２）とを含む振動アク
チュエータにおいて、前記移動子は、前記駆動面と加圧
接触する摺動部（２１）と、前記進行性振動波によって
回転駆動される移動体（２０）と、前記移動体に設けら
れ、前記摺動部と接合する接合部（２０ａ，２０ｅ，２
０ｆ）とを含み、前記駆動面と前記摺動部との間に発生
する駆動音を低減するために、前記摺動部の回転軸
（Ｏ）方向の厚さ（Ｈ1 ）を、前記接合部の回転軸方向
の厚さ（Ｈ2 ）の２０％以上５０％以下に設定すること
を特徴とする振動アクチュエータである。
るような解決手段により、前記課題を解決する。なお、
理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する
符号を付して説明するが、これに限定するものではな
い。すなわち、請求項１の発明は、駆動信号により励振
される電気機械変換体（２１）、及び、前記電気機械変
換体に接合され、前記励振により駆動面（１１ａ）に進
行性振動波を発生する弾性体（１１）を有する固定子
（１）と、前記駆動面に加圧接触し、前記進行性振動波
によって回転駆動される移動子（２）とを含む振動アク
チュエータにおいて、前記移動子は、前記駆動面と加圧
接触する摺動部（２１）と、前記進行性振動波によって
回転駆動される移動体（２０）と、前記移動体に設けら
れ、前記摺動部と接合する接合部（２０ａ，２０ｅ，２
０ｆ）とを含み、前記駆動面と前記摺動部との間に発生
する駆動音を低減するために、前記摺動部の回転軸
（Ｏ）方向の厚さ（Ｈ1 ）を、前記接合部の回転軸方向
の厚さ（Ｈ2 ）の２０％以上５０％以下に設定すること
を特徴とする振動アクチュエータである。
【００１０】請求項２の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記移動体は、アルミニウム
又はりん青胴であり、前記摺動材は、ポリ・エーテル・
エーテル・ケトン，ポリ・エーテル・サルフォン，デル
リンのいずれかを主材料とする樹脂であり、前記接合部
の回転軸方向の厚さが１．５ｍｍであるときに、前記摺
動部の回転軸方向の厚さが０．３ｍｍ以上であることを
特徴とする振動アクチュエータである。
アクチュエータにおいて、前記移動体は、アルミニウム
又はりん青胴であり、前記摺動材は、ポリ・エーテル・
エーテル・ケトン，ポリ・エーテル・サルフォン，デル
リンのいずれかを主材料とする樹脂であり、前記接合部
の回転軸方向の厚さが１．５ｍｍであるときに、前記摺
動部の回転軸方向の厚さが０．３ｍｍ以上であることを
特徴とする振動アクチュエータである。
【００１１】請求項３の発明は、請求項１に記載の振動
アクチュエータにおいて、前記移動体は、アルミニウム
又はりん青胴であり、前記摺動材は、ポリ・エーテル・
エーテル・ケトン，ポリ・エーテル・サルフォン，デル
リンのいずれかを主材料とする樹脂であり、前記接合部
の回転軸方向の厚さが２ｍｍであるときに、前記摺動部
の回転軸方向の厚さが０．５ｍｍ以上であることを特徴
とする振動アクチュエータである。
アクチュエータにおいて、前記移動体は、アルミニウム
又はりん青胴であり、前記摺動材は、ポリ・エーテル・
エーテル・ケトン，ポリ・エーテル・サルフォン，デル
リンのいずれかを主材料とする樹脂であり、前記接合部
の回転軸方向の厚さが２ｍｍであるときに、前記摺動部
の回転軸方向の厚さが０．５ｍｍ以上であることを特徴
とする振動アクチュエータである。
【００１２】
【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下、図面を参
照して、本発明の実施形態についてさらに詳しく説明す
る。図１は、本発明の第１実施形態に係る振動アクチュ
エータの断面図である。図２は、本発明の第１実施形態
に係る振動アクチュエータの移動子の一部を省略して示
す斜視図である。なお、図１に示すＨ1 は、回転軸Ｏに
対して平行な方向（高さ方向）の摺動部材２１の厚さで
ある。Ｈ2 は、回転軸Ｏに対して平行な方向（高さ方
向）のフランジ部２０ａの厚さである。固定子１は、圧
電体１０と、弾性体１１とを備えている。圧電体１０
は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機
械変換体である。圧電体１０は、駆動信号（交流信号）
によって励振する円環状の部材である。弾性体１１は、
圧電体１０の伸縮（励振）によって、櫛歯形状の駆動面
１１ａに進行性振動波を発生する円環状の部材である。
弾性体１１は、接着剤などによって圧電体１０に接合さ
れ固定されている。
照して、本発明の実施形態についてさらに詳しく説明す
る。図１は、本発明の第１実施形態に係る振動アクチュ
エータの断面図である。図２は、本発明の第１実施形態
に係る振動アクチュエータの移動子の一部を省略して示
す斜視図である。なお、図１に示すＨ1 は、回転軸Ｏに
対して平行な方向（高さ方向）の摺動部材２１の厚さで
ある。Ｈ2 は、回転軸Ｏに対して平行な方向（高さ方
向）のフランジ部２０ａの厚さである。固定子１は、圧
電体１０と、弾性体１１とを備えている。圧電体１０
は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機
械変換体である。圧電体１０は、駆動信号（交流信号）
によって励振する円環状の部材である。弾性体１１は、
圧電体１０の伸縮（励振）によって、櫛歯形状の駆動面
１１ａに進行性振動波を発生する円環状の部材である。
弾性体１１は、接着剤などによって圧電体１０に接合さ
れ固定されている。
【００１３】薄板部１１ｂは、弾性体１１が発生する進
行性振動波が減衰するのを防止する減衰防止部である。
薄板部１１ｂは、弾性体１１の外周部から突出して形成
されたフランジ状の部分である。薄板部１１ｂは、その
先端部が支持部材４側に略９０度折り曲げられた支持部
１１ｃを備えている。薄板部１１ｂ及び支持部１１ｃ
は、弾性体１１と同一部材である。支持部材３は、薄板
部１１ｂ及び支持部１１ｃを介して、固定子１を支持す
る円環状の部材である。
行性振動波が減衰するのを防止する減衰防止部である。
薄板部１１ｂは、弾性体１１の外周部から突出して形成
されたフランジ状の部分である。薄板部１１ｂは、その
先端部が支持部材４側に略９０度折り曲げられた支持部
１１ｃを備えている。薄板部１１ｂ及び支持部１１ｃ
は、弾性体１１と同一部材である。支持部材３は、薄板
部１１ｂ及び支持部１１ｃを介して、固定子１を支持す
る円環状の部材である。
【００１４】移動子２は、移動体２０と、摺動部材２１
とを備えている。移動体２０は、図示しない移動目的対
象物に接続される移動子母材（ロータ）である。移動体
２０は、駆動面１１ａに発生する進行性振動波によって
回転駆動する。移動体２０は、アルミニウム又はりん青
胴である。摺動部材２１は、図示しない加圧手段によっ
て、駆動面１１ａと加圧接触する部材である。摺動部材
２１は、接着剤などによってフランジ部２０ａに接合さ
れ固定されている。摺動部材２１は、Ｐｅｅｋ（ポリ・
エーテル・エーテル・ケトン）にフッ素樹脂とカーボン
繊維を混入したもの、例えば、ＣＫ３４２０（商品名）
が好適に使用される。
とを備えている。移動体２０は、図示しない移動目的対
象物に接続される移動子母材（ロータ）である。移動体
２０は、駆動面１１ａに発生する進行性振動波によって
回転駆動する。移動体２０は、アルミニウム又はりん青
胴である。摺動部材２１は、図示しない加圧手段によっ
て、駆動面１１ａと加圧接触する部材である。摺動部材
２１は、接着剤などによってフランジ部２０ａに接合さ
れ固定されている。摺動部材２１は、Ｐｅｅｋ（ポリ・
エーテル・エーテル・ケトン）にフッ素樹脂とカーボン
繊維を混入したもの、例えば、ＣＫ３４２０（商品名）
が好適に使用される。
【００１５】フランジ部２０ａは、摺動部材２１を接合
し固定する接合部である。フランジ部２０ａは、回転軸
Ｏに対して略直交する接合面２０ｂに摺動部材２１を接
合している。フランジ部２０ａは、移動体２０の内周部
から突出して形成されている。フランジ部２０ａは、移
動体２０と同一部材である。
し固定する接合部である。フランジ部２０ａは、回転軸
Ｏに対して略直交する接合面２０ｂに摺動部材２１を接
合している。フランジ部２０ａは、移動体２０の内周部
から突出して形成されている。フランジ部２０ａは、移
動体２０と同一部材である。
【００１６】図３は、Ｈ2 ＝１．５ｍｍの場合にＨ1 ＝
０．１〜０．８ｍｍまで変化させたときの駆動周波数、
回転数及び駆動音の発生状況を示す図である。図３に示
すように、Ｈ2 が１．５ｍｍの場合には、Ｈ1 が０．３
ｍｍを越えると、駆動音の発生が非常に少なくなってい
る。
０．１〜０．８ｍｍまで変化させたときの駆動周波数、
回転数及び駆動音の発生状況を示す図である。図３に示
すように、Ｈ2 が１．５ｍｍの場合には、Ｈ1 が０．３
ｍｍを越えると、駆動音の発生が非常に少なくなってい
る。
【００１７】図４は、Ｈ2 ＝２ｍｍの場合にＨ1 ＝０．
３〜０．８ｍｍまで変化させたときの駆動周波数、回転
数及び駆動音の発生状況を示す図である。図４に示すよ
うに、Ｈ2 が２ｍｍの場合には、Ｈ1 が０．５ｍｍを越
えると、駆動音の発生が非常に少なくなっている。
３〜０．８ｍｍまで変化させたときの駆動周波数、回転
数及び駆動音の発生状況を示す図である。図４に示すよ
うに、Ｈ2 が２ｍｍの場合には、Ｈ1 が０．５ｍｍを越
えると、駆動音の発生が非常に少なくなっている。
【００１８】図３及び図４に示すように、振動アクチュ
エータの共振周波数の極近傍を除く周波数における駆動
状態では、Ｈ1 をＨ2 の２０％以上５０％以下、好まし
くは、２５％以上５０％以下に設定すると、駆動音の発
生を低減することができる。また、摺動部材２１の材質
がＰｅｓ（ポリ・エーテル・サルフォン）、Ｐｏｍ（デ
ルリン）、ＰＴＦＥ（フッ素樹脂）を主体する場合に、
同様の実験を行ったときにも、同様の結果を得ることが
できた。
エータの共振周波数の極近傍を除く周波数における駆動
状態では、Ｈ1 をＨ2 の２０％以上５０％以下、好まし
くは、２５％以上５０％以下に設定すると、駆動音の発
生を低減することができる。また、摺動部材２１の材質
がＰｅｓ（ポリ・エーテル・サルフォン）、Ｐｏｍ（デ
ルリン）、ＰＴＦＥ（フッ素樹脂）を主体する場合に、
同様の実験を行ったときにも、同様の結果を得ることが
できた。
【００１９】（第２実施形態）図５は、本発明の第２実
施形態に係る振動アクチュエータの移動子の断面図であ
る。以下では、第１実施形態と同一の部材は、同一の番
号を付して、その詳細な説明を省略する。本発明の第２
実施形態は、フランジ部２０ａの接合面２０ｂと反対側
の接合面２０ｃに、この摺動部材２１と同一部材である
摺動部材２２を接合した他の実施形態である。図５に示
すＨ3 は、回転軸Ｏに対して平行な方向（高さ方向）の
摺動部材２２の厚さである。本発明の第２実施形態は、
Ｈ1 がＨ2 の２０％以下であっても、Ｈ1 ＋Ｈ3 をＨ2
の２０％以上５０％以下に設定したときには、第１実施
形態と同様の効果を得ることができた。
施形態に係る振動アクチュエータの移動子の断面図であ
る。以下では、第１実施形態と同一の部材は、同一の番
号を付して、その詳細な説明を省略する。本発明の第２
実施形態は、フランジ部２０ａの接合面２０ｂと反対側
の接合面２０ｃに、この摺動部材２１と同一部材である
摺動部材２２を接合した他の実施形態である。図５に示
すＨ3 は、回転軸Ｏに対して平行な方向（高さ方向）の
摺動部材２２の厚さである。本発明の第２実施形態は、
Ｈ1 がＨ2 の２０％以下であっても、Ｈ1 ＋Ｈ3 をＨ2
の２０％以上５０％以下に設定したときには、第１実施
形態と同様の効果を得ることができた。
【００２０】（第３実施形態）図６は、本発明の第３実
施形態に係る振動アクチュエータの移動子の断面図であ
る。本発明の第３実施形態は、第１実施形態及び第２実
施形態のフランジ部２０ａを異なる形状にした他の実施
形態である。移動体２０は、この移動体２０の内周部か
ら突出して形成された薄板部２０ｄと、この薄板部２０
ｄの先端を固定子１側に折り曲げて形成したフランジ部
２０ｅとを備えている。摺動部材２１は、フランジ部２
０ｅの接合面２０ｂに接合されている。本発明の第３実
施形態は、第１実施形態及び第２実施形態のフランジ部
２０ａと異なる形状であるが、第１実施形態と同様の効
果を得ることができた。
施形態に係る振動アクチュエータの移動子の断面図であ
る。本発明の第３実施形態は、第１実施形態及び第２実
施形態のフランジ部２０ａを異なる形状にした他の実施
形態である。移動体２０は、この移動体２０の内周部か
ら突出して形成された薄板部２０ｄと、この薄板部２０
ｄの先端を固定子１側に折り曲げて形成したフランジ部
２０ｅとを備えている。摺動部材２１は、フランジ部２
０ｅの接合面２０ｂに接合されている。本発明の第３実
施形態は、第１実施形態及び第２実施形態のフランジ部
２０ａと異なる形状であるが、第１実施形態と同様の効
果を得ることができた。
【００２１】（第４実施形態）図７は、本発明の第４実
施形態に係る振動アクチュエータの移動子の断面図であ
る。本発明の第４実施形態は、第１実施形態〜第３実施
形態のフランジ部２０ａを異なる形状にした他の実施形
態である。移動体２０は、この移動体２０の内周部から
突出して形成された薄板状のフランジ部２０ｆを備えて
いる。摺動部材２１は、フランジ部２０ｆの接合面２０
ｂに接合されている。本発明の第４実施形態は、第１実
施形態〜第３実施形態のフランジ部２０ａ，２０ｅと異
なる形状であるが、第１実施形態と同様の効果を得るこ
とができた。
施形態に係る振動アクチュエータの移動子の断面図であ
る。本発明の第４実施形態は、第１実施形態〜第３実施
形態のフランジ部２０ａを異なる形状にした他の実施形
態である。移動体２０は、この移動体２０の内周部から
突出して形成された薄板状のフランジ部２０ｆを備えて
いる。摺動部材２１は、フランジ部２０ｆの接合面２０
ｂに接合されている。本発明の第４実施形態は、第１実
施形態〜第３実施形態のフランジ部２０ａ，２０ｅと異
なる形状であるが、第１実施形態と同様の効果を得るこ
とができた。
【００２２】（他の実施形態）本発明は、以上説明した
実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更
が可能であって、これらも本発明の均等の範囲内であ
る。例えば、振動アクチュエータとして円環型超音波モ
ータを例に挙げて説明したが、他の形式の超音波モータ
や超音波領域以外の振動を利用した振動アクチュエータ
についても本発明を適用することができる。また、圧電
体１０として電気機械変換体を例に挙げて説明したが、
これに限定するものではなく、例えば、圧電素子以外の
電歪素子や磁歪素子などであってもよい。
実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更
が可能であって、これらも本発明の均等の範囲内であ
る。例えば、振動アクチュエータとして円環型超音波モ
ータを例に挙げて説明したが、他の形式の超音波モータ
や超音波領域以外の振動を利用した振動アクチュエータ
についても本発明を適用することができる。また、圧電
体１０として電気機械変換体を例に挙げて説明したが、
これに限定するものではなく、例えば、圧電素子以外の
電歪素子や磁歪素子などであってもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、駆動面と加圧接触する摺動部の回転軸方向の厚さ
を、この摺動部と接合する接合部の回転軸方向の厚さの
２０％以上５０％以下に設定したので、可聴周波数帯域
における駆動音の発生を大幅に抑えることができる。
れば、駆動面と加圧接触する摺動部の回転軸方向の厚さ
を、この摺動部と接合する接合部の回転軸方向の厚さの
２０％以上５０％以下に設定したので、可聴周波数帯域
における駆動音の発生を大幅に抑えることができる。
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動アクチュエー
タの断面図である。
タの断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る振動アクチュエー
タの移動子の一部を省略して示す斜視図である。
タの移動子の一部を省略して示す斜視図である。
【図３】Ｈ2 ＝１．５ｍｍの場合にＨ1 ＝０．１〜０．
８ｍｍまで変化させたときの駆動周波数、回転数及び駆
動音の発生状況を示す図である。
８ｍｍまで変化させたときの駆動周波数、回転数及び駆
動音の発生状況を示す図である。
【図４】Ｈ2 ＝２ｍｍの場合にＨ1 ＝０．３〜０．８ｍ
ｍまで変化させたときの駆動周波数、回転数及び駆動音
の発生状況を示す図である。
ｍまで変化させたときの駆動周波数、回転数及び駆動音
の発生状況を示す図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る振動アクチュエー
タの移動子の断面図である。
タの移動子の断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る振動アクチュエー
タの移動子の断面図である。
タの移動子の断面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る振動アクチュエー
タの移動子の断面図である。
タの移動子の断面図である。
【図８】従来の円環型超音波モータの断面図である。
【図９】従来のロッド型超音波モータの断面図である。
１ 固定子 ２ 移動子 ３ 支持部材 １０ 圧電体 １１ 弾性体 １１ａ 駆動面 ２０ 移動体 ２０ａ，２０ｅ，２０ｆ フランジ部 ２０ｂ，２０ｃ 接合面 ２０ｄ 薄板部 ２１，２２ 摺動部材 Ｏ 回転軸
Claims (3)
- 【請求項１】 駆動信号により励振される電気機械変換
体、及び、前記電気機械変換体に接合され、前記励振に
より駆動面に進行性振動波を発生する弾性体を有する固
定子と、 前記駆動面に加圧接触し、前記進行性振動波によって回
転駆動される移動子と、 を含む振動アクチュエータにおいて、 前記移動子は、 前記駆動面と加圧接触する摺動部と、 前記進行性振動波によって回転駆動される移動体と、 前記移動体に設けられ、前記摺動部と接合する接合部と
を含み、 前記駆動面と前記摺動部との間に発生する駆動音を低減
するために、前記摺動部の回転軸方向の厚さを、前記接
合部の回転軸方向の厚さの２０％以上５０％以下に設定
すること、 を特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
おいて、 前記移動体は、アルミニウム又はりん青胴であり、 前記摺動材は、ポリ・エーテル・エーテル・ケトン，ポ
リ・エーテル・サルフォン，デルリンのいずれかを主材
料とする樹脂であり、 前記接合部の回転軸方向の厚さが１．５ｍｍであるとき
に、前記摺動部の回転軸方向の厚さが０．３ｍｍ以上で
あること、 を特徴とする振動アクチュエータ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の振動アクチュエータに
おいて、 前記移動体は、アルミニウム又はりん青胴であり、 前記摺動材は、ポリ・エーテル・エーテル・ケトン，ポ
リ・エーテル・サルフォン，デルリンのいずれかを主材
料とする樹脂であり、 前記接合部の回転軸方向の厚さが２ｍｍであるときに、
前記摺動部の回転軸方向の厚さが０．５ｍｍ以上である
こと、 を特徴とする振動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11039386A JP2000245173A (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 振動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11039386A JP2000245173A (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 振動アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000245173A true JP2000245173A (ja) | 2000-09-08 |
| JP2000245173A5 JP2000245173A5 (ja) | 2006-05-25 |
Family
ID=12551579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11039386A Pending JP2000245173A (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 振動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000245173A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100414830C (zh) * | 2003-08-26 | 2008-08-27 | 财团法人工业技术研究院 | 可调负重的表面声波致动装置 |
| US7570254B2 (en) | 2004-11-09 | 2009-08-04 | Takahiko Suzuki | Haptic feedback controller, method of controlling the same, and method of transmitting messages that uses a haptic feedback controller |
-
1999
- 1999-02-18 JP JP11039386A patent/JP2000245173A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100414830C (zh) * | 2003-08-26 | 2008-08-27 | 财团法人工业技术研究院 | 可调负重的表面声波致动装置 |
| US7570254B2 (en) | 2004-11-09 | 2009-08-04 | Takahiko Suzuki | Haptic feedback controller, method of controlling the same, and method of transmitting messages that uses a haptic feedback controller |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61224881A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPH0117354B2 (ja) | ||
| JP2012512629A (ja) | 高トルク圧電モータ | |
| JPH0284079A (ja) | 振動波モータ | |
| JP2000245173A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JPH01177877A (ja) | 振動波モータ | |
| JPS61191278A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP2006271143A (ja) | 振動波モータ | |
| JP2000245175A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JP2754625B2 (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JP4654583B2 (ja) | 振動波モータ | |
| JP2003033054A (ja) | 超音波モータ装置 | |
| JPS6135176A (ja) | 圧電モ−タ | |
| JP2009131108A (ja) | 超音波モータおよびそれに用いられる超音波振動子 | |
| JPH04178179A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0232771A (ja) | 進行波モータ | |
| JP2007135267A (ja) | 超音波モータ | |
| JP3566696B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JP3089750B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH04133676A (ja) | アクチュエータの駆動方法及びこの駆動方法を実現した超音波アクチュエータ | |
| KR100310559B1 (ko) | 평판형 초음파 모터 | |
| JP2000245178A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JPH07312882A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2000245174A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JPH112752A (ja) | 振動アクチュエータ駆動装置とレンズ鏡筒 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060210 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060329 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090206 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090303 |