JPH07312882A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 弾性体を低次の振動モードで振動させて、移
動子を安定かつ高速に駆動する。 【構成】 円環状の弾性体１１と、弾性体に接着された
圧電素子１２と、圧電素子１２の表面に接着された複数
の電極片から成る電極とを有する超音波モータに適用さ
れ、Ａ相側の電極とＢ相側の電極に位相の異なる電圧を
印加し、弾性体１１の半径方向と接線方向に低次の振動
を発生させる。これら振動の合成により、弾性体１１の
外周面に形成された駆動面１６は楕円運動を行うため、
駆動面１６に接触している移動子２は弾性体１１の中心
軸の回りを回転する。このように、低次の振動によって
移動子２を安定に駆動できるため、超音波モータの駆動
回路を小型化できるとともに、移動子２の駆動速度を上
げることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動を利用した
超音波モータに関し、特に、円環状の弾性体に設けられ
た駆動面の楕円運動によって駆動力を得る超音波モータ
に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性体に発生した進行波によって駆動力
を得る進行波型の超音波モータが知られている（例え
ば、特公平１−１７３５４号公報参照）。この種の超音
波モータでは、弾性体に圧電素子を接着し、この圧電素
子上に設けられた電極に高周波電圧を印加して弾性体に
進行波を発生させる。弾性体には移動子が加圧接触され
ており、弾性体に進行波が発生すると移動子は所定方向
に移動する。

【０００３】弾性体に進行波を発生させる方法には各種
の方法が考えられ、例えば圧電素子上の電極をＡ相側と
Ｂ相側に区分けし、それぞれに位相の異なる電圧を印加
して弾性体に横波と縦波を発生させ、これらによって進
行波を発生させる方法が知られている。以下、図９を用
いて、この方法を用いた超音波モータの動作原理を説明
する。

【０００４】図９に示すように、横波ａと縦波ｂは弾性
体１０１上で合成され、弾性体表面１０２は楕円運動を
行ないながら所定方向に進行する。この楕円運動をして
いる弾性体１０１の山位置（図示のＰ，Ｑ）で弾性体１
０１と移動子１０３が接触することにより、移動子１０
３は楕円運動の向きと同一方向に移動する。また、図９
に示す超音波モータの弾性体１０１の形状を円環状に
し、円周方向に進行波を発生させると、移動子１０３は
弾性体１０１の円周方向に回転する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図９に示す超音波モー
タにおいて、移動子１０３の駆動効率を上げるために
は、屈曲振動している弾性体１０１の山位置（図示の
Ｐ，Ｑ）で弾性体１０１と移動子１０３とを接触させる
のが望ましい。逆に、弾性体の谷位置（図示のＲ）で弾
性体１０１と移動子１０３を接触させると、谷位置での
楕円運動の方向は、山位置での楕円運動の方向と１８０
度異なるため、移動子１０３を逆方向に駆動することに
なり、移動子１０３の駆動効率が低下する。

【０００６】ところが、弾性体１０１に発生される進行
波の波数が少ないと、移動子１０３が撓んで弾性体１０
１の谷位置で移動子１０３と接触するおそれがある。し
たがって、弾性体１０１には所定数以上の進行波を発生
させるのが望ましい。一般には、円環状の弾性体１０１
の場合、弾性体１０１に発生される進行波の波数が２波
以下であると、上述した谷位置での接触が生じるため、
３波以上の進行波を弾性体１０１に発生させるのが望ま
しい。

【０００７】また、上述した谷位置での接触は、超音波
モータのサイズの大小に関係なく共通して起こるため、
超音波モータのサイズが小さい場合には、その分だけ進
行波の波長を短くしなければならず、そのためには圧電
素子上の電極に印加する高周波電圧の周波数を高くしな
ければならない。このため、超音波モータの駆動回路等
の周辺回路の規模が大型化するとともに、超音波モータ
の制御が複雑になる。

【０００８】一方、進行波の波長を短くすると、一般に
はそれに応じて進行波の振幅も小さくなるため、弾性体
の表面の楕円運動軌跡の大きさも小さくなる。このた
め、移動子を駆動する力が低下し、移動子を高速に駆動
できなくなる。

【０００９】本発明の目的は、弾性体を低次の振動モー
ドで振動させても、移動子を安定かつ高速に駆動できる
ようにした超音波モータを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】実施例を示す図１に対応
づけて本発明を説明すると、本発明は、電気信号に応じ
て励振する電気機械変換素子１２と、この電気機械変換
素子１２の励振に応じて振動する略円形の弾性体１１
と、この弾性体１１に形成された駆動部１６に加圧接触
される移動子２とを備えた超音波モータに適用され、弾
性体１１を該弾性体１１の半径方向および接線方向に振
動させ、これらの振動によって駆動部１６を楕円運動さ
せて移動子２を駆動することにより、上記目的は達成さ
れる。請求項２に記載の発明は、電極が接合され、該電
極に印加される電気信号に応じて励振する電気機械変換
素子１２と、この電気機械変換素子１２が接合され、該
電気機械変換素子１２の励振に応じて振動する略円形の
弾性体１１と、この弾性体１１に形成された駆動部１６
に加圧接触される移動子２とを備えた超音波モータに適
用され、弾性体１１の半径方向および接線方向への振動
に応じて駆動部１６が楕円運動するように、電極の形状
および該電極の接合箇所を定めることにより、上記目的
は達成される。請求項３に記載の発明は、請求項２に記
載された超音波モータにおいて、電極は複数の電極片に
よって構成され、各電極片の長手方向が弾性体１１の半
径方向および接線方向と相違するように、各電極片を電
気機械変換素子１２に接合するものである。請求項４に
記載の発明は、請求項３に記載された超音波モータにお
いて、複数の電極片を、第１の駆動電圧が印加される第
１の電極片群と、第１の駆動電圧とはπ／２位相の異な
る第２の駆動電圧が印加される第２の電極片群とに区分
けし、第１の駆動電圧による弾性体１１の半径方向およ
び接線方向への振動と、第２の駆動電圧による弾性体１
１の半径方向および接線方向への振動とに基づいて、楕
円運動を行なうように駆動部１６を構成するものであ
る。請求項５に記載の発明は、請求項１〜４に記載され
た超音波モータにおいて、駆動部１６を電気機械変換素
子１２の外周側を斜めに加工した面に形成し、移動子２
を弾性体１１の中心軸の回りに回転させるものである。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５に記載された超
音波モータにおいて、電気機械変換素子１２を弾性体１
１の複数の面に接合するものである。

【００１１】

【作用】請求項１に記載された発明では、電気機械変換
素子１２の励振に応じて弾性体１１に半径方向および接
線方向の振動を発生させ、これらの振動の合成によって
弾性体１１に形成された駆動部１６を楕円運動させる。
これにより、駆動部１６に加圧接触されている移動子２
は駆動される。請求項２に記載された発明では、弾性体
１１の半径方向および接線方向への振動に応じて駆動部
１６が楕円運動するように、電極の形状および電極の接
合箇所が定められる。請求項３に記載された発明では、
複数の電極片の長手方向が弾性体１１の半径方向および
接線方向と相違するように、各電極片を電気機械変換素
子１２に接合するため、弾性体１１は半径方向および接
線方向に振動する。請求項４に記載された発明の電極片
は、第１の駆動電圧が印加される第１の電極片と、第１
の駆動電圧とはπ／２位相の異なる第２の駆動電圧が印
加される第２の電極とに区分けされ、弾性体１１には、
第１の駆動電圧による半径方向および接線方向への振動
と、第２の駆動電圧による半径方向および接線方向への
振動が発生し、これらの振動に基づいて駆動部１６は楕
円運動を行う。請求項５に記載された発明の駆動部１６
は、電気機械変換素子１２の外周面を斜めに加工した面
に形成されるため、駆動部１６の楕円運動の運動軌跡は
大きくなる。したがって、この面に加圧接触される移動
子２は、弾性体１１の中心軸の回りを高速に回転する。
請求項６に記載された発明の電気機械変換素子１２は、
弾性体１１の複数の面に接合されるため、各相の電極面
積を大きくできる。

【００１２】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。

【００１３】

【実施例】

−第１の実施例− 図１は本発明による超音波モータの第１の実施例の断面
図である。この超音波モータは弾性体外周面の楕円運動
によって移動子を回転駆動するものである。図１の１は
固定子であり、円環形状の弾性体１１と、弾性体１１の
下面に接着される圧電素子１２と、弾性体１１の内径側
を固定する支持体１３とから成る。この支持体１３は、
弾性体１１の中心軸方向に延在する押さえ筒１４と、押
さえ筒１４の内周面に螺着され、内部が空洞になってい
る中筒１５とから成る。中筒１５内部の空洞には、例え
ば光ファイバや電線等を配線でき、これにより、本発明
による超音波モータを用いた各種機器と外部との情報伝
送が可能になる。なお、空洞を他の目的に使用してもよ
く、あるいは内部が空洞でない中筒１５を用いてもよ
い。弾性体１１の材料には、円盤状またはドーナツ形状
をしたステンレス鋼、アルミニウム合金、鉄−ニッケル
合金、高分子材料等が用いられる。また、弾性体１１の
外周側は斜めに加工されており、この斜めに加工された
面に、移動子２が接触される。以下、この面を駆動面１
６と呼ぶ。なお、圧電素子１２には、分極方向と異なる
方向に電圧を印加した場合に、電圧印加方向と垂直な方
向に大きく伸張または収縮して歪むもの、すなわち圧電
定数ｄ₃₁が大きいものが用いられる。

【００１４】移動子２は弾性体１１の中心軸の回りを回
動可能とされており、移動子２の材料にはポリアセター
ルやテフロン等の高分子材料が用いられる。３は移動子
２を弾性体１１の駆動面１６に加圧接触させる加圧部材
であり、バネの伸縮によって加圧力を発生する加圧バネ
３１と、加圧バネ３１の端部に取り付けられる受力環３
２と、加圧バネ３１の他方の端部に取り付けられ、押さ
え筒１４に螺着される調整環３３とから成る。上記加圧
バネ３１の材料には、皿バネ、スプリングバネ、板バネ
またはゴム等の弾力部材が用いられる。４はベアリング
であり、受力環３２と移動子２との間で、押さえ筒１４
の外周面を取り囲む位置に配設される。加圧バネ３１の
加圧力によって受力環３２が鉛直方向に下降すると、受
力環３２と移動子２はベアリング４を介して密着され
る。これにより、移動子２の位置ずれが防止される。ま
た、ベアリング４は弾性体１１の中心軸の回りに回動可
能とされているため、移動子２の回転が妨げられること
はない。

【００１５】図２は圧電素子１２に接着される電極の配
置を示す図であり、図１に示すＰ方向から見た図を示
す。図示のように、電極は、圧電素子１２の内径側に位
置するＡ相（以下、Ａ相電極５と呼ぶ）と、外形側に位
置するＢ相（以下、Ｂ相電極６と呼ぶ）に区分けされ、
各相とも、四角形の電極片が所定間隔ごとに並んでい
る。各電極片の長手方向は、弾性体１１および圧電素子
１２の半径方向および接線方向と相違しており、その相
違する角度がＡ相とＢ相で逆になっている。すなわち、
Ａ相側の各電極片５は左回りの渦巻き状に配置され、Ｂ
相側の各電極片６は右回りの渦巻き状に配置されてい
る。これらＡ相電極５とＢ相電極６には、不図示の電圧
発生器からそれぞれ位相の異なる電圧が印加される。な
お電極の材料には、銀、銀−ニッケル合金、金または白
金等が用いられ、スクリーン印刷またはスパッタリング
によって圧電素子１２の表面に接着される。

【００１６】図１，２のように構成された超音波モータ
のＡ相電極５とＢ相電極６にそれぞれ互いに位相がπ／
２異なる高周波電圧を印加すると、圧電素子１２は励振
し、それに応じて弾性体１１は伸縮振動を行う。具体的
には、圧電素子１２は電極の接着されている箇所で伸縮
振動を行ない、それに応じて弾性体１１も伸縮振動を行
う。その際、弾性体１１は各電極片の長手方向（図２の
太線矢印Ａ１，Ｂ１の方向）に最も大きく伸縮する。こ
の太線矢印Ａ１，Ｂ１の方向はそれぞれ図示のように弾
性体１１の半径方向成分と接線方向成分に分けられ、実
際には弾性体１１はその半径方向および接線方向に振動
する。以下では、弾性体１１の半径方向の振動を伸縮振
動、接線方向の振動をせん断振動と呼ぶ。

【００１７】弾性体１１に伸縮振動とせん断振動が発生
すると、これらの振動が弾性体１１内部で合成され、弾
性体１１の断面部分は楕円運動を行なう。弾性体１１の
内径側は押さえ筒１４によって固定されているため、弾
性体１１の外周側ほど楕円運動の軌跡が大きくなり、外
周面に沿って形成された駆動面１６が最も大きく楕円運
動を行う。また、弾性体１１等の加工によって伸縮振動
の共振周波数とせん断振動の共振周波数を一致させ、こ
の共振周波数で振動させると、楕円運動の軌跡はさらに
大きくなる。駆動面１６が楕円運動を行なうと、この楕
円運動による摩擦力によって移動子２は回転する。

【００１８】図３は図１のＱ方向から見た場合の移動子
２の回転の様子を示し、図３（ａ）は弾性体１１が伸張
した状態、図３（ｂ）は弾性体１１が収縮した状態をそ
れぞれ示す。一方、図４は図１と同一方向から見た場合
の弾性体１１と移動子２の位置関係を示す。図３（ａ）
に示すように、弾性体１１が伸張したときに駆動面１６
と移動子２が接触すると、移動子２は駆動面１６の楕円
運動の方向に移動する。逆に、図３（ｂ）に示すよう
に、弾性体１１が最も収縮した状態で駆動面１６と移動
子２が接触すると、この状態では楕円運動の方向が図３
（ａ）と逆であるため、移動子２を逆方向に回転させる
力が働く。したがって、弾性体１１が収縮している状態
で駆動面１６と移動子２とを接触させるのは望ましくな
い。一方、弾性体１１が収縮すると、加圧バネ３１の作
用によって移動子２が鉛直方向に下降することも考えら
れ（図４（ｂ）参照）、このような場合には、駆動面１
６と移動子２が接触してしまう。しかし、弾性体１１の
伸縮振動の周波数は加圧バネ３１の伸縮振動の周波数に
比べはるかに高いため、弾性体１１の収縮に応じて即座
に加圧バネ３１が伸張することはない。したがって、弾
性体１１が収縮したときに駆動面１６と移動子２が接触
するおそれはない。

【００１９】図５は弾性体１１の駆動面１６の楕円運動
の詳細を説明する図である。図５（ａ）はＡ相電極５に
印加した電圧によって、駆動面１６上の基準となる箇所
（以下質点と呼び、図５では黒丸で示す）に作用する力
の方向を示し、図５（ｂ）はＢ相電極６に印加した電圧
によって質点に作用する力の方向を示し、図５（ｃ）は
図５（ａ）および５（ｂ）の力を合成した方向を示し、
図５（ｄ）は駆動面１６の楕円運動を示す。この図５
（ｄ）は図１のＱ方向から見た場合の弾性体１１の伸縮
の様子を示す。時間ｔ＝０の場合、Ａ相側電圧は０ボル
トであるため、Ａ相側電圧によっては質点に力が働か
ず、Ｂ相側電圧による力の方向に質点は移動する。この
場合、図５（ｃ）に示す位置に質点が移動する。時間ｔ
＝π／４の場合は、せん断振動方向がＡ相とＢ相で逆で
あるため互いに打ち消し合い、一方、伸縮振動方向はＡ
相もＢ相も共通するため、質点は伸縮振動方向に力を受
ける（図５（ｃ）参照）。これにより質点は、時間ｔ＝
０の質点の位置から時計回りに変化した位置に移動する
（図５（ｄ）参照）。以下、同様にして、時間が経過す
るにしたがって、質点は時計回りに楕円運動する。

【００２０】このように、第１の実施例では、圧電素子
１２の表面に複数の電極片を接着し、その際、各電極片
の長手方向が弾性体１１の半径方向および接線方向と相
違するようにしたため、弾性体１１の外周面に沿って形
成された駆動面１６を楕円運動させることができ、駆動
面１６に加圧接触される移動子２を安定に駆動すること
ができる。また、従来の進行波型の超音波モータと異な
り、１次または２次等の低次の伸縮振動およびせん断振
動によって移動子２を駆動できるため、圧電素子１２に
印加する高周波電圧の周波数を低くでき、超音波モータ
の駆動回路等の周辺装置を小型化することができる。さ
らに、低次の振動モードによって移動子２を駆動するた
め、楕円運動の軌跡を大きくでき、超音波モータの駆動
速度の向上が図れる。

【００２１】上記実施例では、移動子２を高分子材を用
いて一体形成する例を示したが、移動子２を、弾性体１
１に接触される摺動材と移動子母材とに分けて形成し、
それぞれに異なる材料を用いてもよい。例えば、移動子
母材にはアルミ合金や軽合金等を用い、摺動材にはポリ
アミン、ポリイミド、ポリアセタールまたはフッ素樹脂
等を用いて移動子２を形成してもよい。あるいは、摺動
材表面を、ポリアミン、ポリイミド、ポリアセタールま
たはフッ素樹脂等を主成分とする摺動材料によりコーテ
ィングしてもよい。

【００２２】−第２の実施例− 以下に説明する第２の実施例は、弾性体１１の両面に圧
電素子１２を接着させたものである。図６は本発明によ
る超音波モータの第２の実施例の断面図である。第２の
実施例の超音波モータは、弾性体１１の両面に圧電素子
１２が接着されている点を除いて、図１に示す第１の実
施例の超音波モータと共通するため、構成の説明を省略
する。図７は第２の実施例の圧電素子１２に接着される
電極の形状を示す図である。図示のように、第２の実施
例の電極は渦巻き状に配列された複数の電極片から成
り、各電極の長手方向は、弾性体１１の半径方向および
接線方向と相違している。また、弾性体１１の一方の面
の圧電素子１２上に接着される電極と、他方の面の圧電
素子１２上に接着される電極では、渦の巻き方が逆にな
っている。例えば一方の面に図７のように巻いた電極を
接着する場合、他方の面には図７とは逆向きに巻いた電
極を接着する。

【００２３】以上のように構成された第２の実施例の超
音波モータでは、弾性体１１両面の各電極に、互いに位
相がπ／２異なる高周波電圧を印加する。これにより、
第１の実施例と同様に、弾性体１１は半径方向および接
線方向にそれぞれ伸縮振動およびせん断振動を行い、こ
れら振動の合成によって駆動面１６は楕円運動を行な
う。そして、駆動面１６に加圧接触されている移動子２
は楕円運動の方向に回転する。

【００２４】なお、上記第２の実施例では、弾性体１１
の一方の面側の電極と他方の面側の電極の渦の巻き方を
逆向きにしているが、いずれか一方の電極しかなくて
も、電極の接着の仕方を変えることで、実質的に渦の巻
き方が逆の電極を接着したことと等価になる。例えば、
図７に示す形状のシート状の電極を作製し、この電極の
裏面を弾性体１１の両面に接着すれば、図６の上方から
見た場合の渦の巻き方はＡ相とＢ相で逆になる。

【００２５】このように、第２の実施例では、弾性体１
１の一方の面側にＡ相電極とＢ相電極を同時に設けなく
てすむため、各相の電極面積を大きくでき、駆動面１６
に発生する楕円運動の運動軌跡が大きくできる。このた
め、移動子２の駆動効率が向上する。また、電極の形状
が第１の実施例に比べて簡易になるため、製造工数およ
び製造誤差が低減する。さらに、電極の接着の仕方を変
えれば、一種類の電極をＡ相電極とＢ相電極に共用でき
るため、Ａ相電極とＢ相電極の形状を等しくでき、Ａ相
電極による振動振幅とＢ相電極による振動振幅とを共通
にできる。したがって、超音波モータをより安定に駆動
することができる。

【００２６】−第３の実施例− 第３の実施例は、第２の実施例の電極片の形状とは異な
る形状の電極片を用いたものである。この第３の実施例
は、電極片の形状が図７に示す第２の実施例の電極片の
形状と異なる他は共通するため、図８を用いて電極片の
形状を中心に説明する。図８に示すように、第３の実施
例の電極片は台形形状をしており、台形の上底が圧電素
子１２の中心側に、下底が円周側に配置されている。ま
た、電極片の長手方向（台形の高さ方向）が弾性体１１
の半径方向および接線方向と相違するように、圧電素子
１２に接着されている。これら電極片に高周波電圧を印
加すると、第２の実施例と同様に、弾性体１１は半径方
向および接線方向に振動し、駆動面１６は楕円運動を行
なう。したがって、駆動面１６に接着されている移動子
２は回転駆動される。

【００２７】このように、第３の実施例では、第２の実
施例よりも電極片の形状を簡易にしたため、超音波モー
タの製造がより容易になり、製造コストの削減が図れ
る。また、電極片の形状を共通にしやすくなるため、複
数の超音波モータの特性を共通にできる。

【００２８】上記各実施例では、電極の形状および配置
を変えることで円環状の弾性体１１に伸縮振動およびせ
ん断振動を発生させているが、弾性体１１または圧電素
子１２の形状等を変えることによって、伸縮振動および
せん断振動を発生させてもよい。第１の実施例におい
て、弾性体１１の両面に圧電素子１２を接着し、各圧電
素子１２の表面に図２の電極を取り付け、それぞれに位
相の異なる電圧を印加してもよい。また、超音波モータ
の構造は、図１，４に限定されない。同様に、駆動面１
６の形状も実施例に限定されない。さらに、駆動面の形
成箇所は弾性体の外周面に限定されない。弾性体に発生
した伸縮振動およびせん断振動の合成によって楕円運動
を行う箇所であれば、弾性体上のどこに駆動面を形成し
てもよい。なお、圧電素子１２に接着される電極の形状
は、図２，７，８に限定されない。弾性体１１上に伸縮
振動およびせん断振動が生じるような形状であればどの
ような形状でも構わない。したがって、第２の実施例で
用いた電極の渦の巻き方が逆でも構わない。

【００２９】このように構成した実施例にあっては、圧
電素子１２が電気機械変換素子に、駆動面１６が駆動部
に、それぞれ対応する。

【００３０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、略円形の弾性体の半径方向および接線方向への振
動によって、弾性体に形成された駆動部を楕円運動させ
て移動子を駆動するようにしたため、弾性体に発生され
る振動の振動モードが低次であっても、移動子を安定し
て駆動することができる。請求項３に記載された発明に
よれば、電気機械変換素子に接合される各電極片の長手
方向を、弾性体の半径方向および接線方向と相違するよ
うにしたため、弾性体は半径方向および接線方向に振動
するようになる。請求項４に記載された発明によれば、
複数の電極片を第１の電極片と第２の電極片に区分け
し、それぞれに位相の異なる駆動電圧を印加するため、
駆動部は安定した楕円運動を行うようになる。請求項５
に記載された発明によれば、駆動部を電気機械変換素子
の外周側を斜めに加工した面に形成するようにしたた
め、駆動部の楕円運動の軌跡を大きくできる。請求項６
に記載された発明によれば、弾性体の複数の面に電気機
械変換素子を接合するようにしたため、各相の電極面積
を大きくでき、超音波モータの駆動速度の向上が図れ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による超音波モータの第１の実施例の断
面図である。

【図２】第１の実施例における電極の配置を示す図であ
る。

【図３】伸張状態および収縮状態での駆動面の楕円運動
を示す図である。

【図４】伸張状態および収縮状態での移動子の位置変化
を示す図である。

【図５】時間単位ごとの駆動面の楕円運動の変化を示す
図である。

【図６】本発明による超音波モータの第２の実施例の断
面図である。

【図７】第２の実施例における電極の配置を示す図であ
る。

【図８】第３の実施例における電極の配置を示す図であ
る。

【図９】進行波型超音波モータの原理を説明する図であ
る。

【符号の説明】

１ 固定子 ２ 移動子 ３ 加圧部材 ４ ベアリング １１ 弾性体 １２ 圧電素子 １３ 支持部材 １４ 押さえ筒 １５ 中筒 ３１ 加圧バネ ３２ 受力環 ３３ 調整環

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気信号に応じて励振する電気機械変換
   素子と、 この電気機械変換素子の励振に応じて振動する略円形の
   弾性体と、 この弾性体に形成された駆動部に加圧接触される移動子
   とを備えた超音波モータにおいて、 前記弾性体を該弾性体の半径方向および接線方向に振動
   させ、これらの振動によって前記駆動部を楕円運動させ
   て前記移動子を駆動することを特徴とする超音波モー
   タ。
2. 【請求項２】 電極が接合され、該電極に印加される電
   気信号に応じて励振する電気機械変換素子と、 この電気機械変換素子が接合され、該電気機械変換素子
   の励振に応じて振動する略円形の弾性体と、 この弾性体に形成された駆動部に加圧接触される移動子
   とを備えた超音波モータにおいて、 前記弾性体の半径方向および接線方向への振動に応じて
   前記駆動部が楕円運動するように、前記電極の形状およ
   び該電極の接合箇所を定めることを特徴とする超音波モ
   ータ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載された超音波モータにお
   いて、 前記電極は複数の電極片によって構成され、 各電極片の長手方向が前記弾性体の半径方向および接線
   方向と相違するように、各電極片を前記電気機械変換素
   子に接合することを特徴とする超音波モータ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載された超音波モータにお
   いて、前記複数の電極片は、第１の駆動電圧が印加され
   る第１の電極片群と、前記第１の駆動電圧とはπ／２位
   相の異なる第２の駆動電圧が印加される第２の電極片群
   とに区分けされ、 前記駆動部は、前記第１の駆動電圧による前記弾性体の
   半径方向および接線方向への振動と、前記第２の駆動電
   圧による前記弾性体の半径方向および接線方向への振動
   とに基づいて、楕円運動を行なうことを特徴とする超音
   波モータ。
5. 【請求項５】 請求項１〜４に記載された超音波モータ
   において、 前記駆動部は、前記電気機械変換素子の外周側を斜めに
   加工した面に形成され、 前記移動子は、前記弾性体の中心軸の回りを回転するこ
   とを特徴とする超音波モータ。
6. 【請求項６】 請求項１〜５に記載された超音波モータ
   において、 前記電気機械変換素子は前記弾性体の複数の面に接合さ
   れることを特徴とする超音波モータ。