JPH11235062A

JPH11235062A - 振動アクチュエータ駆動装置及びレンズ鏡筒

Info

Publication number: JPH11235062A
Application number: JP10029696A
Authority: JP
Inventors: Michihiro Tobe; 通宏戸部; Tsunemi Gonda; 常躬権田
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1998-02-12
Filing date: 1998-02-12
Publication date: 1999-08-27

Abstract

(57)【要約】【課題】実装スペースが小さく、組立性がよく、しか
もコストダウンを図ることを可能とする。【解決手段】駆動信号により振動する振動子１１と、
振動子１１と接触して、相対運動を行うリング状の相対
運動部材３と、振動子１１を支持して、相対運動部材３
に加圧接触させる加圧支持部材２とを備え、加圧支持部
材２は、リング状のベース部２ａと、ベース部２ａに片
持ち支持された板ばね部２ｂと、板ばね部２ｂの自由端
部側に設けられた支持ピン２ｃ部とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動子と加圧接触
してリング状の部材と相対運動を行う振動アクチュエー
タ駆動装置及びそのような振動アクチュエータ駆動装置
を用いて撮影光学系を駆動するレンズ鏡筒に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の振動アクチュエータは、
電気機械変換素子（圧電素子、電歪素子など、以下代表
して圧電素子と記す）により弾性体を振動させ、複数の
振動モードを調和的に発生させることにより、その弾性
体の表面に楕円運動を引き起こさせ、その弾性体を自走
させるか、又は、その弾性体に接触する移動体を駆動す
るものが知られている。

【０００３】具体的には、弾性体に接合した圧電素子に
交流電圧を印加して、その弾性体に縦振動と屈曲振動を
調和的に発生させることにより、駆動力を得る超音波モ
ータが開発されており、「光ピックアップ移動を目的と
した圧電リニア・モータ」（富川義郎他：第５回電磁力
関連のダイナミックシンポジウム講演論文集ｐｐ３９３
〜３９８）の中で構成と負荷特性が述べられてる。ま
た、新版超音波モータ（上羽貞行、富川義郎著、トリケ
ップス刊ｐｐ１４５〜１４６）には、自走式の装置が示
されている。

【０００４】この超音波モータは、平板形状をしてお
り、１次の縦振動と４次（又は８次）の屈曲振動の共振
周波数が非常に近い値となる形状に設計されている。そ
して、圧電素子に２つの共振周波数に近い周波数の交流
電圧を２相（位相差９０゜）印加することにより、弾性
体に２つのモードが調和した振動を発生させる。この弾
性体は、屈曲振動の腹となる部分に突起部が設けられて
おり、この突起部の先端が楕円運動することにより、駆
動力を得る。また、交流電圧の２相間の位相差を９０゜
及び−９０゜にすることにより、駆動方向が逆転する。

【０００５】なお、平板の１次の縦振動及び４次の屈曲
振動の共振周波数は、以下の式で表される。

【０００６】

【数１】

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の振動ア
クチュエータ駆動装置は、振動子の加圧をコイルばねに
よって行っていたので、実装時に比較的大きなスペース
が必要である、という問題があった。また、振動子の加
圧と支持を別の部材で行っていたので、組立性が悪いう
え、部品コストが比較的高くなる、という問題があっ
た。

【０００８】本発明の課題は、実装スペースが小さく、
組立性がよく、しかもコストダウンが図れる振動アクチ
ュエータ駆動装置及びそのような振動アクチュエータ駆
動装置を用いたレンズ鏡筒を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明では、駆動信号により振動する振動
子と、前記振動子と接触して、相対運動を行うリング状
の相対運動部材と、前記振動子を支持して、前記相対運
動部材に加圧接触させる加圧支持部材とを備え、前記加
圧支持部材は、リング状のベース部と、前記ベース部に
片持ち支持された板ばね部と、前記板ばね部の自由端部
側に設けられた支持部とを備える振動アクチュエータ駆
動装置を提供する。

【００１０】請求項２の発明では、請求項１に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
前記ベース部に複数設けられており、複数の前記振動子
を加圧可能である振動アクチュエータ駆動装置を提供す
る。

【００１１】請求項３の発明では、請求項１に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
その自由端部が前記相対運動部材の周方向に向いている
振動アクチュエータ駆動装置を提供する。

【００１２】請求項４の発明では、請求項１に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
その自由端部が前記相対運動部材の径方向に向いている
振動アクチュエータ駆動装置を提供する。

【００１３】請求項５の発明では、請求項４に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
前記径方向の加圧力を調整可能である振動アクチュエー
タ駆動装置を提供する。

【００１４】請求項６の発明では、駆動信号により振動
する振動子と、前記振動子と接触して、相対運動を行う
リング状の相対運動部材と、前記振動子と前記相対運動
部材とを加圧する加圧部材と、前記振動子を支持する支
持部材とを備え、前記支持部材は、前記振動子を上面か
ら支持する第１の支持部と、前記振動子を側面から支持
する第２の支持部とを備える振動アクチュエータ駆動装
置を提供する。

【００１５】請求項７の発明では、請求項６に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記第２の支持部
は、前記振動子に発生する振動の節の位置において前記
振動子を支持する振動アクチュエータ駆動装置を提供す
る。

【００１６】請求項８の発明では、請求項１から請求項
７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ駆動
装置において、前記振動子は、屈曲振動と縦振動を調和
的に発生することによって、駆動力を発生する振動アク
チュエータ駆動装置を提供する。

【００１７】請求項９の発明では、撮影光学系の少なく
とも一部を支持し、前記撮影光学系の光軸の方向に移動
可能な光学系支持部と、請求項１から請求項８までのい
ずれか１項に記載の振動アクチュエータ駆動装置と、前
記光軸回りの回転運動を前記光軸方向の直進運動に変換
して前記光学系支持部に伝達する変換部とを備え、前記
振動アクチュエータ駆動装置は、前記相対運動部材が前
記光軸の回りに回転可能な回転部を構成し、前記振動子
が、前記回転部の一部と摩擦接触することにより前記回
転部を回転駆動するか、または、前記回転部に設けら
れ、前記回転部と対向する他の部材の一部と摩擦接触す
ることにより、前記回転部を回転駆動し、前記変換部
は、前記回転部の回転運動を前記光軸方向の直進運動に
変換するレンズ鏡筒を提供する。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面などを参照しながら、
実施の形態をあげ、本発明をさらに詳細に説明する。（第１実施形態）図１〜図３は、本発明による振動アク
チュエータ駆動装置の第１実施形態を示す図であって、
図１は、駆動装置全体を示す斜視図、図２は、図１を部
品ごとに分解して示す分解斜視図、図３は、図１の加圧
支持部材を抜き出して示す斜視図である。なお、図１に
おいては、分かり易くするために、部品の一部を省略し
た状態を示す。以下の実施形態では、振動アクチュエー
タは、超音波領域で振動する超音波モータを例に説明す
る。

【００１９】第１実施形態の駆動装置は、ベース部材１
と、加圧支持部材２と、相対運動部材３と、ベアリング
４と、３個の振動アクチュエータ１０等とを備えてい
る。ベース部材１は、振動アクチュエータ１０を取り付
けるための部材であり、図２に示すように、大径の第１
リング部１ａと、中径の第２リング部１ｂと、小径のつ
ば部１ｃとを備えている。３個の振動アクチュエータ１
０は、図２に示すように、ベース部材１に対して、互い
にほぼ等間隔で配置される。

【００２０】加圧支持部材２は、各振動アクチュエータ
１０を支持すると共に、この振動アクチュエータ１０を
相対運動部材３に加圧する部材である。この加圧支持部
材２は、図３に抜き出して示すように、ベース部材１の
第１リング部１ａに取り付けられるリング状のベース部
２ａと、そのベース部２ａの３カ所にその一部を矩形形
状に、斜めに曲げ起こして形成され、片持ち支持のばね
となるばね部２ｂ−１及びそのばね部２ｂ−１に連接さ
れた平坦な取付部２ｂ−２をもつ板ばね部２ｂと、その
板ばね部２ｂの取付部２ｂ−２に設けられた２本の支持
ピン２ｃ，２ｃ’とを備えている。

【００２１】相対運動部材３は、各振動アクチュエータ
１０に接触して、この振動アクチュエータ１０との間で
相対運動を行う部材であり、ここでは、リング状の被駆
動部材である。

【００２２】ベアリング４は、相対運動部材３をベース
部材１に回転自在に取り付けるための部材であり、ベー
ス部材１の第２リング部１ｂに挿入され、その外周にお
いて相対運動部材３を支持している。

【００２３】振動アクチュエータ１０は、加圧支持部材
２により、相対運動部材３に加圧された状態で接触し、
駆動力を発生する。また、振動アクチュエータ１０は、
加圧支持部材２の支持ピン２ｃ，２ｃ’によって位置決
めされた状態で支持されている。

【００２４】次に、振動アクチュエータ１０の構造と、
相対運動部材３を駆動する原理を説明する。図４は、第
１実施形態に係る駆動装置の振動アクチュエータを示す
斜視図、図５は、振動アクチュエータの駆動回路を示す
ブロック図である。振動アクチュエータ１０は、矩形平
板状の弾性体１１と、弾性体１１に接着された６つの圧
電素子１２ａ，１２ａ’，１２ｂ，１２ｂ’，１２ｐ，
１２ｐ’とから構成されている。

【００２５】弾性体１１には、突起上の駆動力取り出し
部１１ａ，１１ｂが形成されており、この駆動力取り出
し部１１ａ，１１ｂが相対運動部材３に加圧接触するこ
とで駆動力を相対運動部材３に伝達する。この駆動力取
り出し部１１ａ，１１ｂは、弾性体１１に発生する屈曲
振動の腹となる位置に設けられている。駆動力取り出し
部１１ａ，１１ｂは、弾性体１１の本体と一体に形成し
てもよいし、耐摩耗性を有する樹脂等からなる摺動材を
接着することで形成してもよい。

【００２６】圧電素子１２ａ，１２ａ’，１２ｂ，１２
ｂ’は、駆動用圧電素子であり、圧電素子１２ａ，１２
ａ’に第１の交流電圧を印加し、圧電素子１２ｂ，１２
ｂ’に前記第１の交流電圧と位相の異なる第２の交流電
圧を印加することにより、それらの圧電効果によって、
弾性体１１に１次の縦振動と４次の屈曲振動を調和的に
発生させる。これらの振動により、駆動力取り出し部１
１ａ，１１ｂに楕円運動が発生し、弾性体１１と相対運
動部材３との間に相対運動が発生する。また、圧電素子
１２ｐ，１２ｐ’は、弾性体１１に発生する振動の状態
をモニタするための圧電素子であり、後述する制御回路
２１に接続される。なお、弾性体１１は、本体がＧＮＤ
電位に接続されている。

【００２７】駆動回路２０は、図５に示すように、制御
回路２１と、発振器２２と、移相器２３と、増幅器２
４，２５などとを備えている。

【００２８】制御回路２１は、圧電素子１２ｐ，１２
ｐ’の出力に基づいて、制御信号を生成する回路であ
り、その出力は、発振器２２に接続されている。発振器
２２は、制御回路２１からの制御信号に基づいて、高周
波の交流電圧を発振するためのものであり、その出力は
分岐され、一方は、移相器２３によって９０°移相され
た後に、増幅器２４を介して、第１の交流電圧として、
圧電素子１２ａ，１２ａ’に接続されている。また、分
岐された他方は、増幅器２５を介して、第２の交流電圧
として、圧電素子１２ｂ，１２ｂ’に接続されている。
移相器２３は、発振器２２からの交流電圧の位相を９０
°（または−９０°）変化させるためのものである。

【００２９】振動アクチュエータ１０は、駆動回路２０
から圧電素子１２ａ，１２ａ’に第１の交流電圧が印加
され、圧電素子１２ｂ，１２ｂ’に第２の交流電圧が印
加される。第１と第２の交流電圧は、電気的に位相が９
０゜異なっており、この２相の交流電圧が印加されるこ
とにより、弾性体１１の駆動力取り出し部１１ａ，１１
ｂの先端に楕円運動が発生する。第１実施形態の振動ア
クチュエータ駆動装置においては、３個の振動アクチュ
エータ１０に対して、個別に駆動回路２０が設けられて
いる。そして、全ての振動アクチュエータ１０に同一方
向の駆動力を発生させることで、相対運動部材３を、図
２に示す回転軸回りに回転駆動する。

【００３０】以上説明した第１実施形態によれば、板ば
ね部に支持ピンを組み合わせた加圧支持部材を用いてい
るので、実装のためのスペースが少なくて済む。また、
加圧と支持を一体となった部材で行うようにしたので、
組立性がよいうえ、部品コストも下げることができる。

【００３１】さらに、板ばね部２ｂは、ベース部２ａの
３カ所に設けられているので、相対運動部材３に対し
て、３つの振動アクチュエータ１０を独立して、加圧支
持でき、浮きや傾きが生ずることはない。従来の円環型
の超音波モータが固定子（弾性体）と回転子（相対運動
部材）の平面度を厳しく要求されるの対して、本実施形
態では、相対運動部材３と振動アクチュエータ１０の駆
動力取り出し部１１ａ，１１ｂの平面度だけで済み、加
工コストを軽減できるという利点がある。

【００３２】（第２実施形態）図６は、第２実施形態に
係る振動アクチュエータ駆動装置の加圧支持部材を抜き
出して示した概略図である。なお、以下に説明する各実
施形態では、前述した第１実施形態と同様な機能を果た
す部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜
省略する。第１実施形態では、板ばね部２ｂは、たわむ
方向が周方向であったが、第２実施形態の加圧支持部材
２Ｂでは、板ばね部２ｄは、たわむ方向が径方向である
点で相違する。

【００３３】また、板ばね部２ｄは、ベース部２ａと
は、別体に設けられている。板ばね部２ｄは、ばね部２
ｄ−１と、ばね部２ｄ−１に先端側連接された取付部２
ｄ−２と、ばね部２ｄ−１の根元側に連接された基部２
ｄ−３と、基部２ｄ−３をベース部２ａに取り付けるね
じ等の取付部材２ｄ−４、取付部２ｄ−２に形成された
押さえ部２ｄ−５などとを備えている。

【００３４】なお、板ばね部２ｄは、図６（ａ）の二点
鎖線で示すように、取付部２ｄ−２を矢印Ｂ方向に変形
させることにより、振動アクチュエータ１０への幅方向
での加圧力を調整することができる。そのため、振動ア
クチュエータ１０と相対運動部材３間の相対速度（周速
度）の内周側と外周側との速度差を加圧力の調整によっ
て抑えることができる。つまり、周速度の大きい外周側
にかかる力が内周側よりも大きくなるようにすれば、外
周側で伝達される駆動力が内周側よりも大きくなり、速
度差が解消される。第２実施形態においては、板ばね部
２ｄのたわむ方向が径方向であるため、相対運動部材３
が左右どちらの方向に回転しても、振動アクチュエータ
１０と相対運動部材３との間に作用する加圧力を一定の
値に維持することができる。

【００３５】（第３実施形態）図７は、本発明による振
動アクチュエータ駆動装置の第３実施形態を示す図であ
る。第３実施形態では、振動アクチュエータ１０Ｃは、
弾性体１１のほぼ中央部に穴１１ｃ（貫通ではない）が
形成されており、この穴１１ｃに、加圧支持部材２Ｃの
支持ピン２ｇが嵌まり合う形態となっている。なお、必
要であれば、圧電素子１２に、貫通孔を設けるようにす
ればよい。

【００３６】この加圧支持部材２Ｃは、壁部２ｅ−１を
もつベース部２ｅと、板ばね部２ｆと、１本の支持ピン
２ｇと、壁部２ｅ−１に設けられ、弾性体１１の側面を
押さえる２本の押さえピン２ｈ等とを備えている。押さ
えピン２ｈは、支持ピン２ｇだけでは、弾性体１１が回
転してしまうので、側面から接触して、その回転を防止
するために設けられている。この押さえピン２ｈは、弾
性体１１に発生する屈曲振動の節の位置で、接触するこ
とが好ましい。

【００３７】なお、この加圧支持部材２Ｃは、ＧＮＤ電
位に接続されており、弾性体１１をＧＮＤ電位にする役
割も持っている。

【００３８】また、図７（ｅ）のように、押さえピン２
ｈではなく、押さえ部材２ｉのように、高さ方向に幅が
あり、先端がクサビ形状のものであってもよい。ここ
で、押さえピン２ｈ又は押さえ部材２ｉは、弾性体１１
に単に接触しているだけであり、弾性体１１に嵌め込ん
であるわけではない。

【００３９】（レンズ鏡筒の実施形態）図８は、本発明
に係るレンズ鏡筒の実施形態を示す断面図、図９は、本
実施形態に係るレンズ鏡筒の振動アクチュエータ駆動装
置の部分を抜き出して示した図である。

【００４０】枠体３６は、焦点調節レンズ群Ｌ１を保持
する部材である。枠体３６は、固定筒３１にヘリコイド
３９によって結合している。固定筒３１の光軸前方に
は、回転筒３２が回転自在に取り付けられている。この
回転筒３２の内周には、光軸と平行にキー溝３２ａが形
成されている。また、焦点調節レンズ群Ｌ１の枠体３６
には、キー３６ａが形成されており、キー３６ａは、キ
ー溝３２ａと係合している。

【００４１】回転筒３２の光軸後方の端部には、回転子
３Ｄが一体に固定されている。回転子３Ｄは、光軸に垂
直に交わる平坦部３Ｄ−１を光軸後方に有する。また、
回転子３Ｄは、外周面に周溝３Ｄ−２を有する。周溝３
Ｄ−２には、球４Ｄが敷き詰められている。球４Ｄは、
回転子３Ｄを固定筒３１に対して転がり接触させ、回転
子３Ｄの円滑な回転運動を確保する部材である。球４Ｄ
の光軸前方では、抑え環３４が固定筒３１の内周側にね
じ込まれている。抑え環３４は、球４Ｄの光軸方向の移
動を制限する部材である。抑え環３４の作用により、球
４Ｄは、レンズ鏡筒が組み立てられた後にレンズ鏡筒か
ら飛び出すことはない。また、抑え環３４は、球４Ｄと
ともに回転子３Ｄの光軸方向の移動をも制限する。よっ
て、回転子３Ｄと振動アクチュエータ１０との間の距離
が拡大し、回転子３Ｄへの駆動力の伝達効率が低下等す
ることはない。

【００４２】回転子３Ｄの光軸後方には、振動アクチュ
エータ１０が、平坦部３Ｄ−１と対向するように配置さ
れている。また、振動アクチュエータ１０は、図９に示
すように、互いにほぼ等間隔で３個配置されている。振
動アクチュエータ１０は、図４に示すものと同じであ
り、加圧支持部材２は、図１，図２と同じものであり、
弾性体１１を回転子３Ｄの平坦部３Ｄ−１の方向へ加圧
する。

【００４３】枠体３７は、焦点距離調節レンズ群Ｌ２を
保持する部材である。枠体３７は、肉厚部分に光軸方向
に平行な貫通孔３７ａ、３７ｂ（３７ｂは３７ａと重な
るために不図示）を形成されており、また、外周の一部
に平坦部３７ｃが形成されている。貫通孔３７ａ（３７
ｂ）には、リニアガイド３８が挿入されている。リニア
ガイド３８は、光軸に平行に配置されており、固定筒３
１及び３３に固定されている。

【００４４】また、枠体３７の平坦部３７ｃと対向する
位置には、リニア型の振動アクチュエータ４０が配置さ
れている。振動アクチュエータ４０は、主に振動子４１
及び加圧部材４２から構成されている。ここで、本体４
１は、実質的に振動アクチュエータ１０の弾性体１１と
同一のものである。

【００４５】以上説明したように、本実施形態では、振
動アクチュエータ１０を用いて回転子３Ｄに回転駆動力
を与える。また、回転子３Ｄの回転運動は、ヘリコイド
３９により光軸方向の直進運動に変換した後に、焦点調
節レンズ群Ｌ１の駆動に利用される。したがって、本実
施形態では、焦点調節レンズ群Ｌ１の光軸方向の位置決
め精度は、主にヘリコイド３９の特性によって決定され
る。言い換えると、本実施形態では、振動アクチュエー
タ１０の駆動単位の大小に関わらず、ヘリコイド３９の
形状を適当に定めることにより、焦点調節レンズ群Ｌ１
の位置決め精度を向上させ、高精度の合焦調整を行うこ
とが可能である。

【００４６】また、振動アクチュエータ１０が回転子３
Ｄの一部とのみ接触するので、平坦部３Ｄ−１にあまり
厳格な平面度が要求されないという利点がある。一般
に、超音波モータ等の振動アクチュエータでは、振動子
に生じる振動の振幅はミクロンオーダーであるために、
振動子と摩擦接触し、相対運動する移動子（回転子）に
対する平面度の要求は厳しい。しかも、平面度に対する
要求は、振動子と移動子の接触面積の増大とともにその
厳しさを増す。したがって、仮に特開昭５９−１１１１
１７号に開示されたレンズ鏡筒のように円環型の超音波
モータを採用した場合には、超音波モータと回転子とが
回転子の全周において互いに接するので、回転子に対す
る平面度の要求は非常に厳しくなる。これに対し、本実
施形態では、リニア型の振動アクチュエータを採用し、
これを回転子３Ｄ一部とのみ接触させているので、回転
子の平面度は、振動アクチュエータ１０の長さに対応す
る比較的狭い領域内で保証されていれば足りる。したが
って、前述したように、回転子３Ｄの平坦部３Ｄ−１に
対する平面度の要求は比較的緩やかであり、その製造が
容易となっている。

【００４７】さらに、振動アクチュエータに加えるべき
加圧力が円環型の超音波モータを採用する場合よりも小
さいという利点がある。これは、単位面積当たりの加圧
力が同一である場合に、回転子との接触面積が小さいリ
ニア型の振動アクチュエータに加えるべき力の方が当然
に小さいことによる。よって、本実施形態では、振動ア
クチュエータの加圧支持部材やこれらを支持する周囲部
材の構造等を、円環型の超音波モータを採用した場合の
ように強固とする必要がない。

【００４８】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。以上の各実施形態
では、１次の縦振動と４次の屈曲振動を用いた超音波モ
ータについて説明したが、ｎ次の縦振動とｍ次の屈曲振
動を用いるモータに関しても、本発明を同様に適用する
ことができる。また、レンズ鏡筒は、第２又は第３の実
施形態の振動アクチュエータ駆動装置を使用することも
可能である。

【００４９】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、実装スペースが小さくて済み、部品のコストを下
げることができ、組立性をよくすることができる、とい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装
置の駆動装置全体を示す斜視図である。

【図２】第１実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装
置の部品ごとに分解して示す分解斜視図である。

【図３】第１実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装
置の加圧支持部材を抜き出して示す斜視図である。

【図４】第１実施形態に係る駆動装置の振動アクチュエ
ータを示す斜視図である。

【図５】第１実施形態に係る駆動装置の駆動回路を示す
ブロック図である。

【図６】本発明による振動アクチュエータ駆動装置の第
２実施形態における加圧支持部材を抜き出して示した概
略図である。図６（ａ）は、加圧支持部材を回転軸にほ
ぼ平行な面で切断した断面図である。図６（ｂ）は、加
圧支持部材の一部を示す斜視図である。

【図７】本発明による振動アクチュエータ駆動装置の第
３実施形態の構成を示す概略図である。図７（ａ）は、
振動アクチュエータの構成を示す斜視図である。図７
（ｂ）は、振動アクチュエータとその付近の加圧支持部
材の構成を、回転軸の軸方向から見た状態を示す図であ
る。図７（ｃ）は、図７（ｂ）におけるＢＢ断面図であ
る。図７（ｄ）は、図７（ｂ）におけるＡＡ断面図であ
る。図７（ｅ）は、第３実施形態の変形例における加圧
支持部材の一部を示す斜視図である。

【図８】本発明に係るレンズ鏡筒の実施形態を示す断面
図である

【図９】本実施形態に係るレンズ鏡筒の振動アクチュエ
ータ駆動装置の部分を抜き出して示した図である。

【符号の説明】

１ベース部材２加圧支持部材３相対運動部材４ベアリング１０振動アクチュエータ１１弾性体１１ａ，１１ｂ駆動力取り出し部１２ａ，１２ａ’，１２ｂ，１２ｂ’ 駆動用圧電素子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動信号により振動する振動子と、前記振動子と接触して、相対運動を行うリング状の相対
運動部材と、前記振動子を支持して、前記相対運動部材に加圧接触さ
せる加圧支持部材とを備え、前記加圧支持部材は、リング状のベース部と、前記ベース部に片持ち支持された板ばね部と、前記板ばね部の自由端部側に設けられた支持部とを備え
ることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
【請求項２】請求項１に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、前記板ばね部は、前記ベース部に複数設けられており、
複数の前記振動子を加圧可能であることを特徴とする振
動アクチュエータ駆動装置。
【請求項３】請求項１に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、前記板ばね部は、その自由端部が前記相対運動部材の周
方向に向いていることを特徴とする振動アクチュエータ
駆動装置。
【請求項４】請求項１に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、前記板ばね部は、その自由端部が前記相対運動部材の径
方向に向いていることを特徴とする振動アクチュエータ
駆動装置。
【請求項５】請求項４に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、前記板ばね部は、前記径方向の加圧力を調整可能である
ことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
【請求項６】駆動信号により振動する振動子と、前記振動子と接触して、相対運動を行うリング状の相対
運動部材と、前記振動子と前記相対運動部材とを加圧する加圧部材
と、前記振動子を支持する支持部材とを備え、前記支持部材は、前記振動子を上面から支持する第１の支持部と、前記振動子を側面から支持する第２の支持部とを備える
ことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
【請求項７】請求項６に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、前記第２の支持部は、前記振動子に発生する振動の節の
位置において前記振動子を支持することを特徴とする振
動アクチュエータ駆動装置。
【請求項８】請求項１から請求項７のいずれか１項に
記載の振動アクチュエータ駆動装置において、前記振動子は、屈曲振動と縦振動を調和的に発生するこ
とによって、駆動力を発生することを特徴とする振動ア
クチュエータ駆動装置。
【請求項９】撮影光学系の少なくとも一部を支持し、
前記撮影光学系の光軸の方向に移動可能な光学系支持部
と、請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の振動
アクチュエータ駆動装置と、前記光軸回りの回転運動を前記光軸方向の直進運動に変
換して前記光学系支持部に伝達する変換部とを備え、前記振動アクチュエータ駆動装置は、前記相対運動部材
が前記光軸の回りに回転可能な回転部を構成し、前記振
動子が、前記回転部の一部と摩擦接触することにより前
記回転部を回転駆動するか、または、前記回転部に設け
られ、前記回転部と対向する他の部材の一部と摩擦接触
することにより、前記回転部を回転駆動し、前記変換部は、前記回転部の回転運動を前記光軸方向の
直進運動に変換することを特徴とするレンズ鏡筒。