JPH11235062A - Vibration actuator driver and lens barrel - Google Patents

Vibration actuator driver and lens barrel

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JPH11235062A
JPH11235062A JP10029696A JP2969698A JPH11235062A JP H11235062 A JPH11235062 A JP H11235062A JP 10029696 A JP10029696 A JP 10029696A JP 2969698 A JP2969698 A JP 2969698A JP H11235062 A JPH11235062 A JP H11235062A
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JP
Japan
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vibration actuator
vibrator
driving device
vibration
actuator driving
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JP10029696A
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Japanese (ja)
Inventor
Michihiro Tobe
通宏 戸部
Tsunemi Gonda
常躬 権田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a mounting space, make assembly easy and, further, reduce the cost. SOLUTION: Vibrators 11 which are made to vibrate by a driving signal, an annular relative movement member 3 which is relatively moved by the contact with the vibrators 11, and a pressurizing support member 2 which supports the vibrators 11 and brings them into pressure contact with the relative motion member 3, are provided. The pressurizing support member 2 has an annular base part 2a, flat spring parts 2b which are supported on the base part 2a so as to form cantilevers and support pin 2c parts provided on the free end sides of the flat springs 2b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、振動子と加圧接触
してリング状の部材と相対運動を行う振動アクチュエー
タ駆動装置及びそのような振動アクチュエータ駆動装置
を用いて撮影光学系を駆動するレンズ鏡筒に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration actuator driving device which makes a relative motion with a ring-shaped member by pressurizing contact with a vibrator, and a lens for driving a photographing optical system using such a vibration actuator driving device. It relates to a lens barrel.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の振動アクチュエータは、
電気機械変換素子(圧電素子、電歪素子など、以下代表
して圧電素子と記す)により弾性体を振動させ、複数の
振動モードを調和的に発生させることにより、その弾性
体の表面に楕円運動を引き起こさせ、その弾性体を自走
させるか、又は、その弾性体に接触する移動体を駆動す
るものが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, this type of vibration actuator has
An elastic body is vibrated by an electromechanical transducer (a piezoelectric element, an electrostrictive element, or the like, hereinafter, generally referred to as a piezoelectric element), and a plurality of vibration modes are generated harmoniously, thereby causing an elliptical motion on the surface of the elastic body. Is caused to cause the elastic body to run on its own or to drive a moving body that comes into contact with the elastic body.

【0003】具体的には、弾性体に接合した圧電素子に
交流電圧を印加して、その弾性体に縦振動と屈曲振動を
調和的に発生させることにより、駆動力を得る超音波モ
ータが開発されており、「光ピックアップ移動を目的と
した圧電リニア・モータ」(富川義郎他:第5回電磁力
関連のダイナミックシンポジウム講演論文集pp393
〜398)の中で構成と負荷特性が述べられてる。ま
た、新版超音波モータ(上羽貞行、富川義郎著、トリケ
ップス刊pp145〜146)には、自走式の装置が示
されている。
Specifically, an ultrasonic motor has been developed which obtains a driving force by applying an AC voltage to a piezoelectric element bonded to an elastic body to generate a longitudinal vibration and a bending vibration in the elastic body harmoniously. "Piezoelectric linear motor for optical pickup movement" (Yoshio Tomikawa et al .: Proceedings of the 5th Dynamic Symposium on Electromagnetic Force pp393
398) describe the configuration and load characteristics. In addition, a self-propelled device is shown in a new edition ultrasonic motor (Sadayuki Ueba, Yoshiro Tomikawa, pp145-146, published by Trikeps).

【0004】この超音波モータは、平板形状をしてお
り、1次の縦振動と4次(又は8次)の屈曲振動の共振
周波数が非常に近い値となる形状に設計されている。そ
して、圧電素子に2つの共振周波数に近い周波数の交流
電圧を2相(位相差90゜)印加することにより、弾性
体に2つのモードが調和した振動を発生させる。この弾
性体は、屈曲振動の腹となる部分に突起部が設けられて
おり、この突起部の先端が楕円運動することにより、駆
動力を得る。また、交流電圧の2相間の位相差を90゜
及び−90゜にすることにより、駆動方向が逆転する。
This ultrasonic motor has a flat plate shape, and is designed to have a resonance frequency of a first-order longitudinal vibration and a fourth-order (or eighth-order) bending vibration at very close values. Then, by applying an AC voltage having a frequency close to the two resonance frequencies to the piezoelectric element in two phases (phase difference: 90 °), the elastic body generates vibration in which the two modes are in harmony. This elastic body is provided with a projection at a portion that becomes an antinode of the bending vibration, and a driving force is obtained by an elliptical movement of the tip of the projection. Further, by setting the phase difference between the two phases of the AC voltage to 90 ° and −90 °, the driving direction is reversed.

【0005】なお、平板の1次の縦振動及び4次の屈曲
振動の共振周波数は、以下の式で表される。
The resonance frequency of the first-order longitudinal vibration and the fourth-order bending vibration of a flat plate is expressed by the following equation.

【0006】[0006]

【数1】 (Equation 1)

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の振動ア
クチュエータ駆動装置は、振動子の加圧をコイルばねに
よって行っていたので、実装時に比較的大きなスペース
が必要である、という問題があった。また、振動子の加
圧と支持を別の部材で行っていたので、組立性が悪いう
え、部品コストが比較的高くなる、という問題があっ
た。
However, the conventional vibration actuator driving device has a problem that a relatively large space is required at the time of mounting since the vibrator is pressed by a coil spring. In addition, since the vibrator is pressurized and supported by another member, there is a problem that the assemblability is poor and the parts cost is relatively high.

【0008】本発明の課題は、実装スペースが小さく、
組立性がよく、しかもコストダウンが図れる振動アクチ
ュエータ駆動装置及びそのような振動アクチュエータ駆
動装置を用いたレンズ鏡筒を提供することである。
An object of the present invention is to reduce the mounting space,
An object of the present invention is to provide a vibration actuator driving device which is easy to assemble and can reduce the cost, and a lens barrel using such a vibration actuator driving device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項1の発明では、駆動信号により振動する振動
子と、前記振動子と接触して、相対運動を行うリング状
の相対運動部材と、前記振動子を支持して、前記相対運
動部材に加圧接触させる加圧支持部材とを備え、前記加
圧支持部材は、リング状のベース部と、前記ベース部に
片持ち支持された板ばね部と、前記板ばね部の自由端部
側に設けられた支持部とを備える振動アクチュエータ駆
動装置を提供する。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a vibrator that vibrates in response to a drive signal, and a ring-shaped relative motion that performs relative motion by contacting the vibrator. A member and a pressure support member that supports the vibrator and presses the relative motion member into pressure contact, the pressure support member being a cantilever supported by the ring-shaped base portion and the base portion. A vibration actuator driving device comprising: a leaf spring portion; and a support portion provided on a free end side of the leaf spring portion.

【0010】請求項2の発明では、請求項1に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
前記ベース部に複数設けられており、複数の前記振動子
を加圧可能である振動アクチュエータ駆動装置を提供す
る。
According to a second aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to the first aspect, the leaf spring portion includes:
Provided is a vibration actuator driving device that is provided on the base portion and that can press the plurality of vibrators.

【0011】請求項3の発明では、請求項1に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
その自由端部が前記相対運動部材の周方向に向いている
振動アクチュエータ駆動装置を提供する。
According to a third aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to the first aspect, the leaf spring portion includes:
A vibration actuator drive is provided, the free end of which is oriented in the circumferential direction of the relative motion member.

【0012】請求項4の発明では、請求項1に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
その自由端部が前記相対運動部材の径方向に向いている
振動アクチュエータ駆動装置を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to the first aspect, the plate spring portion includes:
A vibration actuator drive is provided, the free end of which is oriented radially of the relative motion member.

【0013】請求項5の発明では、請求項4に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記板ばね部は、
前記径方向の加圧力を調整可能である振動アクチュエー
タ駆動装置を提供する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to the fourth aspect, the plate spring portion is
Provided is a vibration actuator driving device capable of adjusting the pressing force in the radial direction.

【0014】請求項6の発明では、駆動信号により振動
する振動子と、前記振動子と接触して、相対運動を行う
リング状の相対運動部材と、前記振動子と前記相対運動
部材とを加圧する加圧部材と、前記振動子を支持する支
持部材とを備え、前記支持部材は、前記振動子を上面か
ら支持する第1の支持部と、前記振動子を側面から支持
する第2の支持部とを備える振動アクチュエータ駆動装
置を提供する。
According to the invention of claim 6, the vibrator oscillated by the drive signal, a ring-shaped relative motion member that makes relative motion by contacting the vibrator, and the vibrator and the relative motion member are added. A supporting member that supports the vibrator; a first supporting portion that supports the vibrator from an upper surface; and a second support that supports the vibrator from a side surface. A vibration actuator drive device comprising:

【0015】請求項7の発明では、請求項6に記載の振
動アクチュエータ駆動装置において、前記第2の支持部
は、前記振動子に発生する振動の節の位置において前記
振動子を支持する振動アクチュエータ駆動装置を提供す
る。
According to a seventh aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to the sixth aspect, the second support portion supports the vibrator at a position of a node of vibration generated in the vibrator. A drive is provided.

【0016】請求項8の発明では、請求項1から請求項
7までのいずれか1項に記載の振動アクチュエータ駆動
装置において、前記振動子は、屈曲振動と縦振動を調和
的に発生することによって、駆動力を発生する振動アク
チュエータ駆動装置を提供する。
According to an eighth aspect of the present invention, in the vibration actuator driving device according to any one of the first to seventh aspects, the vibrator generates bending vibration and longitudinal vibration harmoniously. And a vibration actuator driving device for generating a driving force.

【0017】請求項9の発明では、撮影光学系の少なく
とも一部を支持し、前記撮影光学系の光軸の方向に移動
可能な光学系支持部と、請求項1から請求項8までのい
ずれか1項に記載の振動アクチュエータ駆動装置と、前
記光軸回りの回転運動を前記光軸方向の直進運動に変換
して前記光学系支持部に伝達する変換部とを備え、前記
振動アクチュエータ駆動装置は、前記相対運動部材が前
記光軸の回りに回転可能な回転部を構成し、前記振動子
が、前記回転部の一部と摩擦接触することにより前記回
転部を回転駆動するか、または、前記回転部に設けら
れ、前記回転部と対向する他の部材の一部と摩擦接触す
ることにより、前記回転部を回転駆動し、前記変換部
は、前記回転部の回転運動を前記光軸方向の直進運動に
変換するレンズ鏡筒を提供する。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an optical system supporting portion that supports at least a part of a photographing optical system and is movable in a direction of an optical axis of the photographing optical system. 2. The vibration actuator drive device according to claim 1, further comprising: a conversion unit configured to convert the rotational motion about the optical axis into a linear motion in the optical axis direction and transmit the linear motion to the optical system support unit. Constitutes a rotating part in which the relative motion member is rotatable around the optical axis, and the vibrator rotationally drives the rotating part by frictionally contacting a part of the rotating part, or The rotating unit is provided in the rotating unit, and rotationally drives the rotating unit by being in frictional contact with a part of another member facing the rotating unit, and the converting unit rotates the rotating unit in the optical axis direction. Lens barrel that converts it into linear motion Subjected to.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図面などを参照しながら、
実施の形態をあげ、本発明をさらに詳細に説明する。 (第1実施形態)図1〜図3は、本発明による振動アク
チュエータ駆動装置の第1実施形態を示す図であって、
図1は、駆動装置全体を示す斜視図、図2は、図1を部
品ごとに分解して示す分解斜視図、図3は、図1の加圧
支持部材を抜き出して示す斜視図である。なお、図1に
おいては、分かり易くするために、部品の一部を省略し
た状態を示す。以下の実施形態では、振動アクチュエー
タは、超音波領域で振動する超音波モータを例に説明す
る。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
The present invention will be described in more detail by way of embodiments. (First Embodiment) FIGS. 1 to 3 show a first embodiment of a vibration actuator driving device according to the present invention.
FIG. 1 is a perspective view showing the entire driving device, FIG. 2 is an exploded perspective view showing FIG. 1 disassembled for each part, and FIG. 3 is a perspective view showing the pressure supporting member of FIG. FIG. 1 shows a state in which some parts are omitted for easy understanding. In the following embodiments, an example will be described in which the vibration actuator is an ultrasonic motor that vibrates in an ultrasonic region.

【0019】第1実施形態の駆動装置は、ベース部材1
と、加圧支持部材2と、相対運動部材3と、ベアリング
4と、3個の振動アクチュエータ10等とを備えてい
る。ベース部材1は、振動アクチュエータ10を取り付
けるための部材であり、図2に示すように、大径の第1
リング部1aと、中径の第2リング部1bと、小径のつ
ば部1cとを備えている。3個の振動アクチュエータ1
0は、図2に示すように、ベース部材1に対して、互い
にほぼ等間隔で配置される。
The driving device according to the first embodiment includes a base member 1
, A pressure support member 2, a relative motion member 3, a bearing 4, three vibration actuators 10, and the like. The base member 1 is a member for mounting the vibration actuator 10, and as shown in FIG.
It has a ring portion 1a, a second ring portion 1b having a medium diameter, and a flange portion 1c having a small diameter. Three vibration actuators 1
0 are arranged at substantially equal intervals with respect to the base member 1 as shown in FIG.

【0020】加圧支持部材2は、各振動アクチュエータ
10を支持すると共に、この振動アクチュエータ10を
相対運動部材3に加圧する部材である。この加圧支持部
材2は、図3に抜き出して示すように、ベース部材1の
第1リング部1aに取り付けられるリング状のベース部
2aと、そのベース部2aの3カ所にその一部を矩形形
状に、斜めに曲げ起こして形成され、片持ち支持のばね
となるばね部2b−1及びそのばね部2b−1に連接さ
れた平坦な取付部2b−2をもつ板ばね部2bと、その
板ばね部2bの取付部2b−2に設けられた2本の支持
ピン2c,2c’とを備えている。
The pressure supporting member 2 is a member that supports each vibration actuator 10 and presses the vibration actuator 10 against the relative movement member 3. As shown in FIG. 3, the pressure supporting member 2 has a ring-shaped base portion 2a attached to the first ring portion 1a of the base member 1 and a part of the base portion 3a having a rectangular shape at three positions. A leaf spring portion 2b having a spring portion 2b-1 which is formed by being bent and raised obliquely to form a cantilevered spring, and a flat mounting portion 2b-2 connected to the spring portion 2b-1; And two support pins 2c and 2c 'provided on the mounting portion 2b-2 of the leaf spring portion 2b.

【0021】相対運動部材3は、各振動アクチュエータ
10に接触して、この振動アクチュエータ10との間で
相対運動を行う部材であり、ここでは、リング状の被駆
動部材である。
The relative motion member 3 is a member that makes contact with each of the vibration actuators 10 and performs relative motion with the vibration actuators 10, and is a ring-shaped driven member here.

【0022】ベアリング4は、相対運動部材3をベース
部材1に回転自在に取り付けるための部材であり、ベー
ス部材1の第2リング部1bに挿入され、その外周にお
いて相対運動部材3を支持している。
The bearing 4 is a member for rotatably attaching the relative motion member 3 to the base member 1. The bearing 4 is inserted into the second ring portion 1b of the base member 1, and supports the relative motion member 3 on its outer periphery. I have.

【0023】振動アクチュエータ10は、加圧支持部材
2により、相対運動部材3に加圧された状態で接触し、
駆動力を発生する。また、振動アクチュエータ10は、
加圧支持部材2の支持ピン2c,2c’によって位置決
めされた状態で支持されている。
The vibration actuator 10 comes into contact with the relative motion member 3 while being pressed by the pressure support member 2,
Generates driving force. In addition, the vibration actuator 10
It is supported in a state where it is positioned by the support pins 2c and 2c 'of the pressure support member 2.

【0024】次に、振動アクチュエータ10の構造と、
相対運動部材3を駆動する原理を説明する。図4は、第
1実施形態に係る駆動装置の振動アクチュエータを示す
斜視図、図5は、振動アクチュエータの駆動回路を示す
ブロック図である。振動アクチュエータ10は、矩形平
板状の弾性体11と、弾性体11に接着された6つの圧
電素子12a,12a’,12b,12b’,12p,
12p’とから構成されている。
Next, the structure of the vibration actuator 10
The principle of driving the relative motion member 3 will be described. FIG. 4 is a perspective view illustrating a vibration actuator of the driving device according to the first embodiment, and FIG. 5 is a block diagram illustrating a driving circuit of the vibration actuator. The vibration actuator 10 includes an elastic body 11 having a rectangular flat plate shape and six piezoelectric elements 12a, 12a ', 12b, 12b', 12p,
12p '.

【0025】弾性体11には、突起上の駆動力取り出し
部11a,11bが形成されており、この駆動力取り出
し部11a,11bが相対運動部材3に加圧接触するこ
とで駆動力を相対運動部材3に伝達する。この駆動力取
り出し部11a,11bは、弾性体11に発生する屈曲
振動の腹となる位置に設けられている。駆動力取り出し
部11a,11bは、弾性体11の本体と一体に形成し
てもよいし、耐摩耗性を有する樹脂等からなる摺動材を
接着することで形成してもよい。
The elastic body 11 is formed with driving force take-out portions 11a and 11b on the protrusions. The drive force take-out portions 11a and 11b come into pressure contact with the relative motion member 3 so that the driving force is relatively moved. Transmit to member 3. The driving force extracting portions 11 a and 11 b are provided at positions that are antinodes of bending vibration generated in the elastic body 11. The driving force extracting portions 11a and 11b may be formed integrally with the main body of the elastic body 11, or may be formed by bonding a sliding material made of a resin having abrasion resistance.

【0026】圧電素子12a,12a’,12b,12
b’は、駆動用圧電素子であり、圧電素子12a,12
a’に第1の交流電圧を印加し、圧電素子12b,12
b’に前記第1の交流電圧と位相の異なる第2の交流電
圧を印加することにより、それらの圧電効果によって、
弾性体11に1次の縦振動と4次の屈曲振動を調和的に
発生させる。これらの振動により、駆動力取り出し部1
1a,11bに楕円運動が発生し、弾性体11と相対運
動部材3との間に相対運動が発生する。また、圧電素子
12p,12p’は、弾性体11に発生する振動の状態
をモニタするための圧電素子であり、後述する制御回路
21に接続される。なお、弾性体11は、本体がGND
電位に接続されている。
The piezoelectric elements 12a, 12a ', 12b, 12
b ′ is a driving piezoelectric element, and the piezoelectric elements 12a and 12a
a ′, a first AC voltage is applied to the piezoelectric elements 12 b and 12
By applying a second AC voltage having a phase different from that of the first AC voltage to b ′, by their piezoelectric effect,
The first-order longitudinal vibration and the fourth-order bending vibration are generated harmoniously in the elastic body 11. Due to these vibrations, the driving force take-out unit 1
Elliptical motion occurs in 1a and 11b, and relative motion occurs between the elastic body 11 and the relative motion member 3. The piezoelectric elements 12p and 12p 'are piezoelectric elements for monitoring a state of vibration generated in the elastic body 11, and are connected to a control circuit 21 described later. The elastic body 11 has a main body of GND.
Connected to potential.

【0027】駆動回路20は、図5に示すように、制御
回路21と、発振器22と、移相器23と、増幅器2
4,25などとを備えている。
As shown in FIG. 5, the drive circuit 20 includes a control circuit 21, an oscillator 22, a phase shifter 23, an amplifier 2
4, 25, and the like.

【0028】制御回路21は、圧電素子12p,12
p’の出力に基づいて、制御信号を生成する回路であ
り、その出力は、発振器22に接続されている。発振器
22は、制御回路21からの制御信号に基づいて、高周
波の交流電圧を発振するためのものであり、その出力は
分岐され、一方は、移相器23によって90°移相され
た後に、増幅器24を介して、第1の交流電圧として、
圧電素子12a,12a’に接続されている。また、分
岐された他方は、増幅器25を介して、第2の交流電圧
として、圧電素子12b,12b’に接続されている。
移相器23は、発振器22からの交流電圧の位相を90
°(または−90°)変化させるためのものである。
The control circuit 21 includes the piezoelectric elements 12p and 12p.
A circuit that generates a control signal based on the output of p ′, and the output of which is connected to the oscillator 22. The oscillator 22 oscillates a high-frequency AC voltage based on a control signal from the control circuit 21. The output of the oscillator 22 is branched, and one of the outputs is shifted by 90 ° by the phase shifter 23. Via an amplifier 24, as a first AC voltage,
It is connected to the piezoelectric elements 12a and 12a '. The other side is connected to the piezoelectric elements 12b and 12b 'as a second AC voltage via the amplifier 25.
The phase shifter 23 adjusts the phase of the AC voltage from the oscillator 22 by 90
° (or -90 °).

【0029】振動アクチュエータ10は、駆動回路20
から圧電素子12a,12a’に第1の交流電圧が印加
され、圧電素子12b,12b’に第2の交流電圧が印
加される。第1と第2の交流電圧は、電気的に位相が9
0゜異なっており、この2相の交流電圧が印加されるこ
とにより、弾性体11の駆動力取り出し部11a,11
bの先端に楕円運動が発生する。第1実施形態の振動ア
クチュエータ駆動装置においては、3個の振動アクチュ
エータ10に対して、個別に駆動回路20が設けられて
いる。そして、全ての振動アクチュエータ10に同一方
向の駆動力を発生させることで、相対運動部材3を、図
2に示す回転軸回りに回転駆動する。
The vibration actuator 10 includes a driving circuit 20
, The first AC voltage is applied to the piezoelectric elements 12a and 12a ', and the second AC voltage is applied to the piezoelectric elements 12b and 12b'. The first and second AC voltages have an electrical phase of 9
When the two-phase AC voltage is applied, the driving force extracting portions 11a, 11
Elliptic motion occurs at the tip of b. In the vibration actuator drive device of the first embodiment, a drive circuit 20 is provided for each of the three vibration actuators 10. Then, by generating a driving force in the same direction on all the vibration actuators 10, the relative motion member 3 is driven to rotate around the rotation axis shown in FIG.

【0030】以上説明した第1実施形態によれば、板ば
ね部に支持ピンを組み合わせた加圧支持部材を用いてい
るので、実装のためのスペースが少なくて済む。また、
加圧と支持を一体となった部材で行うようにしたので、
組立性がよいうえ、部品コストも下げることができる。
According to the first embodiment described above, since the pressure supporting member in which the supporting pin is combined with the leaf spring portion is used, a space for mounting is small. Also,
Since the pressurization and support are performed with an integrated member,
The assemblability is good, and the cost of parts can be reduced.

【0031】さらに、板ばね部2bは、ベース部2aの
3カ所に設けられているので、相対運動部材3に対し
て、3つの振動アクチュエータ10を独立して、加圧支
持でき、浮きや傾きが生ずることはない。従来の円環型
の超音波モータが固定子(弾性体)と回転子(相対運動
部材)の平面度を厳しく要求されるの対して、本実施形
態では、相対運動部材3と振動アクチュエータ10の駆
動力取り出し部11a,11bの平面度だけで済み、加
工コストを軽減できるという利点がある。
Further, since the leaf spring portions 2b are provided at three places of the base portion 2a, the three vibration actuators 10 can be independently supported by pressure with respect to the relative moving member 3, and the floating and tilting can be performed. Does not occur. In contrast to the conventional annular ultrasonic motor which requires strict flatness of the stator (elastic body) and the rotor (relative moving member), in the present embodiment, the relative moving member 3 and the vibration actuator 10 There is an advantage that the processing cost can be reduced because only the flatness of the driving force extracting portions 11a and 11b is required.

【0032】(第2実施形態)図6は、第2実施形態に
係る振動アクチュエータ駆動装置の加圧支持部材を抜き
出して示した概略図である。なお、以下に説明する各実
施形態では、前述した第1実施形態と同様な機能を果た
す部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜
省略する。第1実施形態では、板ばね部2bは、たわむ
方向が周方向であったが、第2実施形態の加圧支持部材
2Bでは、板ばね部2dは、たわむ方向が径方向である
点で相違する。
(Second Embodiment) FIG. 6 is a schematic view showing a pressure supporting member of a vibration actuator driving device according to a second embodiment. In each of the embodiments described below, portions that perform the same functions as in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted as appropriate. In the first embodiment, the bending direction of the leaf spring portion 2b is the circumferential direction. However, in the pressing support member 2B of the second embodiment, the leaf spring portion 2d is different in that the bending direction is the radial direction. I do.

【0033】また、板ばね部2dは、ベース部2aと
は、別体に設けられている。板ばね部2dは、ばね部2
d−1と、ばね部2d−1に先端側連接された取付部2
d−2と、ばね部2d−1の根元側に連接された基部2
d−3と、基部2d−3をベース部2aに取り付けるね
じ等の取付部材2d−4、取付部2d−2に形成された
押さえ部2d−5などとを備えている。
The leaf spring 2d is provided separately from the base 2a. The leaf spring 2d is
d-1 and the mounting part 2 connected to the distal end side of the spring part 2d-1
d-2 and the base 2 connected to the root side of the spring 2d-1
d-3, a mounting member 2d-4 such as a screw for mounting the base 2d-3 to the base 2a, a holding portion 2d-5 formed on the mounting portion 2d-2, and the like.

【0034】なお、板ばね部2dは、図6(a)の二点
鎖線で示すように、取付部2d−2を矢印B方向に変形
させることにより、振動アクチュエータ10への幅方向
での加圧力を調整することができる。そのため、振動ア
クチュエータ10と相対運動部材3間の相対速度(周速
度)の内周側と外周側との速度差を加圧力の調整によっ
て抑えることができる。つまり、周速度の大きい外周側
にかかる力が内周側よりも大きくなるようにすれば、外
周側で伝達される駆動力が内周側よりも大きくなり、速
度差が解消される。第2実施形態においては、板ばね部
2dのたわむ方向が径方向であるため、相対運動部材3
が左右どちらの方向に回転しても、振動アクチュエータ
10と相対運動部材3との間に作用する加圧力を一定の
値に維持することができる。
The leaf spring portion 2d can be applied to the vibration actuator 10 in the width direction by deforming the mounting portion 2d-2 in the direction of arrow B as shown by the two-dot chain line in FIG. The pressure can be adjusted. Therefore, the speed difference between the inner peripheral side and the outer peripheral side of the relative speed (peripheral speed) between the vibration actuator 10 and the relative motion member 3 can be suppressed by adjusting the pressing force. That is, if the force applied to the outer peripheral side having a higher peripheral speed is made larger than the inner peripheral side, the driving force transmitted at the outer peripheral side becomes larger than that at the inner peripheral side, and the speed difference is eliminated. In the second embodiment, since the bending direction of the leaf spring portion 2d is the radial direction, the relative movement member 3
Irrespective of which direction is rotated, the pressing force acting between the vibration actuator 10 and the relative motion member 3 can be maintained at a constant value.

【0035】(第3実施形態)図7は、本発明による振
動アクチュエータ駆動装置の第3実施形態を示す図であ
る。第3実施形態では、振動アクチュエータ10Cは、
弾性体11のほぼ中央部に穴11c(貫通ではない)が
形成されており、この穴11cに、加圧支持部材2Cの
支持ピン2gが嵌まり合う形態となっている。なお、必
要であれば、圧電素子12に、貫通孔を設けるようにす
ればよい。
(Third Embodiment) FIG. 7 is a view showing a third embodiment of the vibration actuator driving device according to the present invention. In the third embodiment, the vibration actuator 10C
A hole 11c (not a through hole) is formed substantially at the center of the elastic body 11, and the support pin 2g of the pressure support member 2C is fitted into the hole 11c. If necessary, a through hole may be provided in the piezoelectric element 12.

【0036】この加圧支持部材2Cは、壁部2e−1を
もつベース部2eと、板ばね部2fと、1本の支持ピン
2gと、壁部2e−1に設けられ、弾性体11の側面を
押さえる2本の押さえピン2h等とを備えている。押さ
えピン2hは、支持ピン2gだけでは、弾性体11が回
転してしまうので、側面から接触して、その回転を防止
するために設けられている。この押さえピン2hは、弾
性体11に発生する屈曲振動の節の位置で、接触するこ
とが好ましい。
The pressure supporting member 2C is provided on the base portion 2e having the wall portion 2e-1, the leaf spring portion 2f, one support pin 2g, and the wall portion 2e-1. There are provided two holding pins 2h for holding the side surface. The holding pin 2h is provided in order to prevent the elastic body 11 from rotating because the elastic body 11 rotates only with the support pin 2g. It is preferable that the holding pin 2h makes contact at the position of the node of the bending vibration generated in the elastic body 11.

【0037】なお、この加圧支持部材2Cは、GND電
位に接続されており、弾性体11をGND電位にする役
割も持っている。
The pressure supporting member 2C is connected to the GND potential, and also has a role to set the elastic body 11 to the GND potential.

【0038】また、図7(e)のように、押さえピン2
hではなく、押さえ部材2iのように、高さ方向に幅が
あり、先端がクサビ形状のものであってもよい。ここ
で、押さえピン2h又は押さえ部材2iは、弾性体11
に単に接触しているだけであり、弾性体11に嵌め込ん
であるわけではない。
Further, as shown in FIG.
Instead of h, the holding member 2i may have a width in the height direction and a wedge-shaped tip. Here, the holding pin 2h or the holding member 2i is
, And is not necessarily fitted into the elastic body 11.

【0039】(レンズ鏡筒の実施形態)図8は、本発明
に係るレンズ鏡筒の実施形態を示す断面図、図9は、本
実施形態に係るレンズ鏡筒の振動アクチュエータ駆動装
置の部分を抜き出して示した図である。
(Embodiment of Lens Barrel) FIG. 8 is a sectional view showing an embodiment of a lens barrel according to the present invention, and FIG. 9 is a diagram showing a vibration actuator driving device for a lens barrel according to this embodiment. It is the figure extracted and shown.

【0040】枠体36は、焦点調節レンズ群L1を保持
する部材である。枠体36は、固定筒31にヘリコイド
39によって結合している。固定筒31の光軸前方に
は、回転筒32が回転自在に取り付けられている。この
回転筒32の内周には、光軸と平行にキー溝32aが形
成されている。また、焦点調節レンズ群L1の枠体36
には、キー36aが形成されており、キー36aは、キ
ー溝32aと係合している。
The frame 36 is a member for holding the focusing lens group L1. The frame 36 is connected to the fixed cylinder 31 by a helicoid 39. A rotating cylinder 32 is rotatably mounted in front of the fixed cylinder 31 on the optical axis. A key groove 32a is formed on the inner periphery of the rotary cylinder 32 in parallel with the optical axis. Further, the frame 36 of the focusing lens unit L1
Is formed with a key 36a, and the key 36a is engaged with the key groove 32a.

【0041】回転筒32の光軸後方の端部には、回転子
3Dが一体に固定されている。回転子3Dは、光軸に垂
直に交わる平坦部3D−1を光軸後方に有する。また、
回転子3Dは、外周面に周溝3D−2を有する。周溝3
D−2には、球4Dが敷き詰められている。球4Dは、
回転子3Dを固定筒31に対して転がり接触させ、回転
子3Dの円滑な回転運動を確保する部材である。球4D
の光軸前方では、抑え環34が固定筒31の内周側にね
じ込まれている。抑え環34は、球4Dの光軸方向の移
動を制限する部材である。抑え環34の作用により、球
4Dは、レンズ鏡筒が組み立てられた後にレンズ鏡筒か
ら飛び出すことはない。また、抑え環34は、球4Dと
ともに回転子3Dの光軸方向の移動をも制限する。よっ
て、回転子3Dと振動アクチュエータ10との間の距離
が拡大し、回転子3Dへの駆動力の伝達効率が低下等す
ることはない。
A rotor 3D is integrally fixed to the end of the rotary cylinder 32 behind the optical axis. The rotor 3D has a flat portion 3D-1 perpendicular to the optical axis at the rear of the optical axis. Also,
The rotor 3D has a circumferential groove 3D-2 on the outer peripheral surface. Circumferential groove 3
The ball 4D is spread on D-2. The sphere 4D is
This is a member that brings the rotor 3D into rolling contact with the fixed cylinder 31 to ensure smooth rotation of the rotor 3D. Sphere 4D
A holding ring 34 is screwed into the inner peripheral side of the fixed cylinder 31 in front of the optical axis. The holding ring 34 is a member that limits the movement of the ball 4D in the optical axis direction. Due to the action of the retaining ring 34, the ball 4D does not jump out of the lens barrel after the lens barrel is assembled. In addition, the retaining ring 34 also restricts the movement of the rotor 3D in the optical axis direction together with the ball 4D. Therefore, the distance between the rotor 3D and the vibration actuator 10 increases, and the transmission efficiency of the driving force to the rotor 3D does not decrease.

【0042】回転子3Dの光軸後方には、振動アクチュ
エータ10が、平坦部3D−1と対向するように配置さ
れている。また、振動アクチュエータ10は、図9に示
すように、互いにほぼ等間隔で3個配置されている。振
動アクチュエータ10は、図4に示すものと同じであ
り、加圧支持部材2は、図1,図2と同じものであり、
弾性体11を回転子3Dの平坦部3D−1の方向へ加圧
する。
A vibration actuator 10 is disposed behind the optical axis of the rotor 3D so as to face the flat portion 3D-1. As shown in FIG. 9, three vibration actuators 10 are arranged at substantially equal intervals. The vibration actuator 10 is the same as that shown in FIG. 4, and the pressure support member 2 is the same as that shown in FIGS.
The elastic body 11 is pressed in the direction of the flat part 3D-1 of the rotor 3D.

【0043】枠体37は、焦点距離調節レンズ群L2を
保持する部材である。枠体37は、肉厚部分に光軸方向
に平行な貫通孔37a、37b(37bは37aと重な
るために不図示)を形成されており、また、外周の一部
に平坦部37cが形成されている。貫通孔37a(37
b)には、リニアガイド38が挿入されている。リニア
ガイド38は、光軸に平行に配置されており、固定筒3
1及び33に固定されている。
The frame 37 is a member for holding the focal length adjusting lens unit L2. The frame body 37 has through-holes 37a and 37b (not shown because 37b overlaps with 37a) parallel to the optical axis direction in a thick portion, and a flat portion 37c is formed in a part of the outer periphery. ing. Through hole 37a (37
In (b), a linear guide 38 is inserted. The linear guide 38 is disposed parallel to the optical axis, and
1 and 33 are fixed.

【0044】また、枠体37の平坦部37cと対向する
位置には、リニア型の振動アクチュエータ40が配置さ
れている。振動アクチュエータ40は、主に振動子41
及び加圧部材42から構成されている。ここで、本体4
1は、実質的に振動アクチュエータ10の弾性体11と
同一のものである。
A linear vibration actuator 40 is arranged at a position facing the flat portion 37c of the frame 37. The vibration actuator 40 mainly includes a vibrator 41
And a pressure member 42. Here, body 4
1 is substantially the same as the elastic body 11 of the vibration actuator 10.

【0045】以上説明したように、本実施形態では、振
動アクチュエータ10を用いて回転子3Dに回転駆動力
を与える。また、回転子3Dの回転運動は、ヘリコイド
39により光軸方向の直進運動に変換した後に、焦点調
節レンズ群L1の駆動に利用される。したがって、本実
施形態では、焦点調節レンズ群L1の光軸方向の位置決
め精度は、主にヘリコイド39の特性によって決定され
る。言い換えると、本実施形態では、振動アクチュエー
タ10の駆動単位の大小に関わらず、ヘリコイド39の
形状を適当に定めることにより、焦点調節レンズ群L1
の位置決め精度を向上させ、高精度の合焦調整を行うこ
とが可能である。
As described above, in the present embodiment, a rotational driving force is applied to the rotor 3D using the vibration actuator 10. Further, the rotational motion of the rotor 3D is converted into a linear motion in the optical axis direction by the helicoid 39, and then used for driving the focus adjustment lens group L1. Therefore, in the present embodiment, the positioning accuracy of the focusing lens unit L1 in the optical axis direction is mainly determined by the characteristics of the helicoid 39. In other words, in the present embodiment, regardless of the size of the drive unit of the vibration actuator 10, the shape of the helicoid 39 is appropriately determined so that the focusing lens group L1
It is possible to improve the positioning accuracy of the camera and perform highly accurate focusing adjustment.

【0046】また、振動アクチュエータ10が回転子3
Dの一部とのみ接触するので、平坦部3D−1にあまり
厳格な平面度が要求されないという利点がある。一般
に、超音波モータ等の振動アクチュエータでは、振動子
に生じる振動の振幅はミクロンオーダーであるために、
振動子と摩擦接触し、相対運動する移動子(回転子)に
対する平面度の要求は厳しい。しかも、平面度に対する
要求は、振動子と移動子の接触面積の増大とともにその
厳しさを増す。したがって、仮に特開昭59−1111
17号に開示されたレンズ鏡筒のように円環型の超音波
モータを採用した場合には、超音波モータと回転子とが
回転子の全周において互いに接するので、回転子に対す
る平面度の要求は非常に厳しくなる。これに対し、本実
施形態では、リニア型の振動アクチュエータを採用し、
これを回転子3D一部とのみ接触させているので、回転
子の平面度は、振動アクチュエータ10の長さに対応す
る比較的狭い領域内で保証されていれば足りる。したが
って、前述したように、回転子3Dの平坦部3D−1に
対する平面度の要求は比較的緩やかであり、その製造が
容易となっている。
Further, the vibration actuator 10 is
Since the flat portion 3D-1 contacts only a part of D, there is an advantage that the flat portion 3D-1 does not require very strict flatness. Generally, in a vibration actuator such as an ultrasonic motor, the amplitude of the vibration generated in the vibrator is on the order of microns.
Flatness is required for a moving member (rotor) that comes into frictional contact with a vibrator and moves relatively. In addition, the requirement for flatness increases with the increase in the contact area between the vibrator and the moving element. Therefore, provisionally, Japanese Patent Application Laid-Open No.
In the case where a ring-shaped ultrasonic motor is employed as in the lens barrel disclosed in No. 17, the ultrasonic motor and the rotor are in contact with each other over the entire circumference of the rotor. The requirements become very strict. On the other hand, in this embodiment, a linear vibration actuator is adopted,
Since this is brought into contact with only a part of the rotor 3D, it is sufficient that the flatness of the rotor is guaranteed within a relatively narrow area corresponding to the length of the vibration actuator 10. Therefore, as described above, the flatness requirement of the flat portion 3D-1 of the rotor 3D is relatively moderate, and the manufacture thereof is easy.

【0047】さらに、振動アクチュエータに加えるべき
加圧力が円環型の超音波モータを採用する場合よりも小
さいという利点がある。これは、単位面積当たりの加圧
力が同一である場合に、回転子との接触面積が小さいリ
ニア型の振動アクチュエータに加えるべき力の方が当然
に小さいことによる。よって、本実施形態では、振動ア
クチュエータの加圧支持部材やこれらを支持する周囲部
材の構造等を、円環型の超音波モータを採用した場合の
ように強固とする必要がない。
Further, there is an advantage that the pressing force to be applied to the vibration actuator is smaller than in the case where a ring type ultrasonic motor is employed. This is because the force to be applied to the linear vibration actuator having a small contact area with the rotor is naturally smaller when the pressing force per unit area is the same. Therefore, in the present embodiment, it is not necessary to make the structure of the pressure support members of the vibration actuator and the surrounding members supporting these components as strong as in the case of using the annular ultrasonic motor.

【0048】(変形形態)以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。以上の各実施形態
では、1次の縦振動と4次の屈曲振動を用いた超音波モ
ータについて説明したが、n次の縦振動とm次の屈曲振
動を用いるモータに関しても、本発明を同様に適用する
ことができる。また、レンズ鏡筒は、第2又は第3の実
施形態の振動アクチュエータ駆動装置を使用することも
可能である。
(Modifications) Various modifications and changes are possible without being limited to the above-described embodiments, and they are also within the equivalent scope of the present invention. In each of the above embodiments, the ultrasonic motor using the first-order longitudinal vibration and the fourth-order bending vibration has been described. However, the present invention is similarly applied to a motor using the n-th longitudinal vibration and the m-th bending vibration. Can be applied to Further, the lens barrel can use the vibration actuator driving device of the second or third embodiment.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、実装スペースが小さくて済み、部品のコストを下
げることができ、組立性をよくすることができる、とい
う効果がある。
As described above, according to the present invention, the mounting space can be reduced, the cost of parts can be reduced, and the assemblability can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】第1実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装
置の駆動装置全体を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an entire driving device of a vibration actuator driving device according to a first embodiment.

【図2】第1実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装
置の部品ごとに分解して示す分解斜視図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing components of the vibration actuator driving device according to the first embodiment in an exploded manner.

【図3】第1実施形態に係る振動アクチュエータ駆動装
置の加圧支持部材を抜き出して示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a pressure support member of the vibration actuator driving device according to the first embodiment.

【図4】第1実施形態に係る駆動装置の振動アクチュエ
ータを示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a vibration actuator of the driving device according to the first embodiment.

【図5】第1実施形態に係る駆動装置の駆動回路を示す
ブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram illustrating a drive circuit of the drive device according to the first embodiment.

【図6】本発明による振動アクチュエータ駆動装置の第
2実施形態における加圧支持部材を抜き出して示した概
略図である。図6(a)は、加圧支持部材を回転軸にほ
ぼ平行な面で切断した断面図である。図6(b)は、加
圧支持部材の一部を示す斜視図である。
FIG. 6 is a schematic view illustrating a pressure supporting member in a vibration actuator driving device according to a second embodiment of the present invention. FIG. 6A is a cross-sectional view of the pressure supporting member cut along a plane substantially parallel to the rotation axis. FIG. 6B is a perspective view showing a part of the pressure supporting member.

【図7】本発明による振動アクチュエータ駆動装置の第
3実施形態の構成を示す概略図である。図7(a)は、
振動アクチュエータの構成を示す斜視図である。図7
(b)は、振動アクチュエータとその付近の加圧支持部
材の構成を、回転軸の軸方向から見た状態を示す図であ
る。図7(c)は、図7(b)におけるBB断面図であ
る。図7(d)は、図7(b)におけるAA断面図であ
る。図7(e)は、第3実施形態の変形例における加圧
支持部材の一部を示す斜視図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration of a third embodiment of the vibration actuator driving device according to the present invention. FIG. 7 (a)
FIG. 3 is a perspective view illustrating a configuration of a vibration actuator. FIG.
(B) is a figure which shows the state which looked at the structure of the vibration actuator and the pressurization support member of its vicinity from the axial direction of the rotating shaft. FIG. 7C is a sectional view taken along the line BB in FIG. 7B. FIG. 7D is a sectional view taken along the line AA in FIG. 7B. FIG. 7E is a perspective view illustrating a part of a pressure supporting member according to a modification of the third embodiment.

【図8】本発明に係るレンズ鏡筒の実施形態を示す断面
図である
FIG. 8 is a sectional view showing an embodiment of a lens barrel according to the present invention.

【図9】本実施形態に係るレンズ鏡筒の振動アクチュエ
ータ駆動装置の部分を抜き出して示した図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a part of the vibration actuator driving device for the lens barrel according to the present embodiment that is extracted.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベース部材 2 加圧支持部材 3 相対運動部材 4 ベアリング 10 振動アクチュエータ 11 弾性体 11a,11b 駆動力取り出し部 12a,12a’,12b,12b’ 駆動用圧電素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base member 2 Pressure support member 3 Relative motion member 4 Bearing 10 Vibration actuator 11 Elastic body 11a, 11b Driving force extraction part 12a, 12a ', 12b, 12b' Driving piezoelectric element

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 駆動信号により振動する振動子と、 前記振動子と接触して、相対運動を行うリング状の相対
運動部材と、 前記振動子を支持して、前記相対運動部材に加圧接触さ
せる加圧支持部材とを備え、 前記加圧支持部材は、 リング状のベース部と、 前記ベース部に片持ち支持された板ばね部と、 前記板ばね部の自由端部側に設けられた支持部とを備え
ることを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
A vibrator that vibrates according to a drive signal; a ring-shaped relative motion member that makes relative motion by contacting with the vibrator; and supports the vibrator by pressure contact with the relative motion member. A pressure support member, wherein the pressure support member is provided on a ring-shaped base portion, a leaf spring portion cantilevered on the base portion, and a free end side of the leaf spring portion. A vibration actuator drive device comprising: a support portion.
【請求項2】 請求項1に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、 前記板ばね部は、前記ベース部に複数設けられており、
複数の前記振動子を加圧可能であることを特徴とする振
動アクチュエータ駆動装置。
2. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein a plurality of the leaf springs are provided on the base.
A vibration actuator driving device, wherein a plurality of the vibrators can be pressurized.
【請求項3】 請求項1に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、 前記板ばね部は、その自由端部が前記相対運動部材の周
方向に向いていることを特徴とする振動アクチュエータ
駆動装置。
3. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein a free end of the leaf spring is oriented in a circumferential direction of the relative motion member.
【請求項4】 請求項1に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、 前記板ばね部は、その自由端部が前記相対運動部材の径
方向に向いていることを特徴とする振動アクチュエータ
駆動装置。
4. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the leaf spring portion has a free end directed in a radial direction of the relative motion member.
【請求項5】 請求項4に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、 前記板ばね部は、前記径方向の加圧力を調整可能である
ことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
5. The vibration actuator driving device according to claim 4, wherein the leaf spring portion is capable of adjusting the pressing force in the radial direction.
【請求項6】 駆動信号により振動する振動子と、 前記振動子と接触して、相対運動を行うリング状の相対
運動部材と、 前記振動子と前記相対運動部材とを加圧する加圧部材
と、 前記振動子を支持する支持部材とを備え、 前記支持部材は、 前記振動子を上面から支持する第1の支持部と、 前記振動子を側面から支持する第2の支持部とを備える
ことを特徴とする振動アクチュエータ駆動装置。
6. A vibrator that vibrates according to a drive signal, a ring-shaped relative movement member that makes relative movement by contacting with the vibrator, and a pressing member that presses the vibrator and the relative movement member. A supporting member that supports the vibrator; the supporting member includes: a first supporting portion that supports the vibrator from an upper surface; and a second supporting portion that supports the vibrator from a side surface. A vibration actuator driving device characterized by the above-mentioned.
【請求項7】 請求項6に記載の振動アクチュエータ駆
動装置において、 前記第2の支持部は、前記振動子に発生する振動の節の
位置において前記振動子を支持することを特徴とする振
動アクチュエータ駆動装置。
7. The vibration actuator according to claim 6, wherein the second support portion supports the vibrator at a position of a node of vibration generated in the vibrator. Drive.
【請求項8】 請求項1から請求項7のいずれか1項に
記載の振動アクチュエータ駆動装置において、 前記振動子は、屈曲振動と縦振動を調和的に発生するこ
とによって、駆動力を発生することを特徴とする振動ア
クチュエータ駆動装置。
8. The vibration actuator driving device according to claim 1, wherein the vibrator generates a driving force by generating bending vibration and longitudinal vibration in harmony. A vibration actuator drive device characterized by the above-mentioned.
【請求項9】 撮影光学系の少なくとも一部を支持し、
前記撮影光学系の光軸の方向に移動可能な光学系支持部
と、 請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載の振動
アクチュエータ駆動装置と、 前記光軸回りの回転運動を前記光軸方向の直進運動に変
換して前記光学系支持部に伝達する変換部とを備え、 前記振動アクチュエータ駆動装置は、前記相対運動部材
が前記光軸の回りに回転可能な回転部を構成し、前記振
動子が、前記回転部の一部と摩擦接触することにより前
記回転部を回転駆動するか、または、前記回転部に設け
られ、前記回転部と対向する他の部材の一部と摩擦接触
することにより、前記回転部を回転駆動し、 前記変換部は、前記回転部の回転運動を前記光軸方向の
直進運動に変換することを特徴とするレンズ鏡筒。
9. Supporting at least a part of a photographing optical system,
An optical system supporting portion movable in a direction of an optical axis of the photographing optical system, a vibration actuator driving device according to any one of claims 1 to 8, and a rotational movement around the optical axis. A conversion unit that converts the motion into a linear motion in the direction of the optical axis and transmits the linear motion to the optical system support unit. The vibrator drives the rotating part by rotating it by frictional contact with a part of the rotating part, or the vibrator is provided on the rotating part and rubs against a part of another member facing the rotating part. The lens barrel, wherein the rotating unit is driven to rotate by contact, and the converting unit converts the rotating motion of the rotating unit into the linear motion in the optical axis direction.
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