JP2016027780A - Vibration type actuator, lens barrel, imaging device, and automatic stage - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、振動型アクチュエータと、振動型アクチュエータを有するレンズ鏡筒、撮像装置及び自動ステージに関する。 The present invention relates to a vibration type actuator, a lens barrel having a vibration type actuator, an imaging apparatus, and an automatic stage.
圧電素子等の電気−機械エネルギ変換素子を金属等の弾性体に接合してなる振動子に所定の振動モードを励起して弾性体の表面に楕円運動を生ぜしめ、弾性体に当接させた被駆動体を駆動する振動型アクチュエータが知られている。振動型アクチュエータは、超音波モータ或いは振動波モータとも呼ばれており、種々の構造のものが提案されている。例えば、カメラ等のレンズ鏡筒を回転駆動するアクチュエータとして、リング形状の超音波モータや棒状の回転型超音波モータ、チップ形状の振動子を円周上に複数配置してなる回転型超音波モータ等、多種の構造のものが提案されている。 A predetermined vibration mode is excited in a vibrator formed by joining an electro-mechanical energy conversion element such as a piezoelectric element to an elastic body such as a metal to cause an elliptical motion on the surface of the elastic body and contact the elastic body. A vibration type actuator for driving a driven body is known. The vibration type actuator is also called an ultrasonic motor or a vibration wave motor, and various structures have been proposed. For example, as an actuator for rotationally driving a lens barrel such as a camera, a ring-shaped ultrasonic motor, a rod-shaped rotary ultrasonic motor, or a rotary ultrasonic motor having a plurality of chip-shaped vibrators arranged on the circumference Various types of structures have been proposed.
振動子を用いた超音波モータ等の振動型アクチュエータは、電磁モータと比べて単位体積当たりの出力トルクが大きく、減速ギアレス化(ダイレクト駆動)が可能という特徴を有しており、よって、小型化と軽量化が進むレンズ鏡筒等の駆動源に適している。特に、チップ形状の振動子を組み合わせた振動型アクチュエータには、省スペース化とローコスト化を両立することができるというメリットや、適用されるレンズ鏡筒等の寸法や形状に対する設計自由度が高いというメリットがある。 Vibrating actuators such as ultrasonic motors that use vibrators have features that output torque per unit volume is larger than electromagnetic motors, and can be reduced gearless (direct drive), thus reducing size It is suitable for driving sources such as lens barrels that are becoming lighter. In particular, the vibration-type actuators that combine chip-shaped vibrators have the advantage of being able to achieve both space saving and low cost, as well as high design flexibility with respect to the dimensions and shape of the applied lens barrel, etc. There are benefits.
チップ形状の振動子を組み合わせた振動型アクチュエータが、例えば、特許文献1,2に開示されている。特許文献1には、一方の面に2カ所の接触部を有し、各接触部に楕円振動を発生させる振動子と、振動子の接触部に当接(加圧接触)し、接触部の楕円振動により駆動されるロータ(被駆動体)とを有する超音波モータが記載されている。この超音波モータでは、振動子に振動を励起したときに振動の節となる部分に支持軸を設け、この支持軸を介して加圧バネで振動子をロータに対して押し当てることにより、接触部をロータに当接させて、接触部によるロータの摩擦駆動を可能としている。また、ロータが摩擦駆動される際に加圧バネが撓んで振動子が加圧方向で動くことができるように、加圧方向に延在するガイド溝をハウジングに設け、振動子に設けた支持軸をガイド溝に嵌め込んでいる。また、ロータの接触面と振動子の接触部とが安定して接触することができるように、振動子を支持軸回りに回転可能に支持することで、ロータの接触面に倣って振動子が傾くことができる構造となっている。
For example,
特許文献2には、振動の節を少なくとも1つ有する矩形状の振動子と、振動子の節部の近傍に固定されて振動子を支持する支持部材と、回転自在に配置されたロータとを有する超音波モータが記載されている。この超音波モータでは、リング状ベースの一部をロータに加圧力を作用させる方向に折り曲げて片持ち梁状とすることにより支持部材を形成し、振動子を支持部材の端部に配置している。こうして、ロータと振動子との間に加圧力を付勢する加圧バネとしての機能を、支持部材に付与している。
上記特許文献1,2に記載された超音波モータでは、上述した振動子の支持構造を採用することにより、ロータの振動子との接触面の平面度が低い場合や支持部材とロータとの平行度が低い場合でも、各振動子とロータとの適切な接触状態を維持することができる。
In the ultrasonic motors described in
上記特許文献1,2に記載された振動子の支持構造では、振動子がロータの接触面に対して容易に倣うことができるように、振動子の支持剛性が小さく設定されている。そのため、超音波モータの駆動停止時に、振動子とロータとを良好な接触状態に安定して維持することができる。
In the support structure of the vibrator described in
しかし、超音波モータの駆動時には、振動子がロータの接触面に及ぼす摩擦駆動力と振動子の支持部に発生する支持反力とにより、振動子を駆動方向(振動子の接触部とロータの接触部の相対位置が変化する方向)に傾かせるモーメントが生じる。したがって、振動子の支持剛性が小さいと、振動子を駆動方向に傾かせるモーメントにより、振動子がロータの摩擦摺動面に対して容易に傾いてしまう。その結果、出力の低下や鳴きと呼ばれる動作音(異音)の発生が生じてしまう。 However, when the ultrasonic motor is driven, the vibrator is driven in the driving direction (the contact portion of the vibrator and the rotor) by the frictional driving force exerted on the contact surface of the rotor and the support reaction force generated in the support section of the vibrator. A moment that tilts in the direction in which the relative position of the contact portion changes) is generated. Therefore, when the support rigidity of the vibrator is small, the vibrator easily tilts with respect to the frictional sliding surface of the rotor due to a moment that tilts the vibrator in the driving direction. As a result, an operation sound (abnormal sound) called output reduction or squealing occurs.
また、特許文献1に記載された超音波モータでは、振動子に固定された支持軸と振動子とが一体となって、ハウジングに設けられたガイド溝に填め込まれる構造となっている。この構造では、支持軸とガイド溝との寸法公差の分だけガタが生じ、これが振動子の位置決め精度を低下させ、ひいては、超音波モータの制御性を低下させる原因になる。
The ultrasonic motor described in
本発明は、被駆動体に対する振動子の姿勢を安定して保持することができると共に、振動子の位置決め精度を高く維持することができる振動型アクチュエータを提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a vibration type actuator that can stably hold the posture of a vibrator relative to a driven body and can maintain high positioning accuracy of the vibrator.
本発明に係る振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギ変換素子、および、前記電気−機械エネルギ変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子に設けられた駆動部に当接する被駆動体と、前記振動子を支持する加圧部材を有し、前記加圧部材を前記振動子に対して押し当てることにより前記振動子を前記被駆動体に対して押し当てる加圧手段と、を備え、前記振動子と前記被駆動体は、前記振動子に励起された振動により前記振動子と前記被駆動体との相対位置が変化するように構成され、前記相対位置が変化する方向と前記加圧手段が前記振動子を前記被駆動体に押し当てる加圧方向とを含む面において、前記振動子の姿勢が前記被駆動体よりも前記加圧部材に倣うように構成されていることを特徴とする。 The vibration-type actuator according to the present invention includes an electro-mechanical energy conversion element, a vibrator having an elastic body to which the electro-mechanical energy conversion element is bonded, and a target that comes into contact with a drive unit provided in the vibrator. A driving body and a pressing member that supports the vibrator, and a pressing means that presses the vibrator against the driven body by pressing the pressing member against the vibrator; The vibrator and the driven body are configured such that a relative position between the vibrator and the driven body is changed by vibration excited by the vibrator, and the relative position is changed. In a plane including a pressing direction in which the pressing unit presses the vibrator against the driven body, the posture of the vibrator is configured to follow the pressing member rather than the driven body. It is characterized by.
本発明に係る別の振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギ変換素子、および、前記電気−機械エネルギ変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子に設けられた駆動部に当接する被駆動体と、前記振動子を支持する加圧部材を有し、前記加圧部材を前記振動子に対して押し当てることにより前記振動子を前記被駆動体に対して押し当てる加圧手段と、を備え、前記振動子と前記被駆動体は、前記振動子に励起された振動により前記振動子と前記被駆動体との相対位置が変化するように構成され、前記加圧部材は、前記振動子と当接する1つまたは複数の部分を有し、前記振動子は、前記被駆動体と当接する1つまたは複数の部分を有し、前記加圧手段が前記振動子を前記被駆動体に押し当てる加圧方向から見たときに、前記加圧部材が前記振動子に当接する領域または前記加圧部材が前記振動子に当接する複数の部分を結んで形成される領域(1つの場合はその領域)のうち、面積が最も大きい領域を第1の領域とし、前記振動子が前記被駆動体に当接する領域または前記振動子が前記被駆動体に当接する複数の部分を結んで形成される領域(1つの場合はその領域)のうち面積が最も大きい領域を第2の領域としたときに、前記第1の領域は前記第2の領域より大きく、前記第1の領域と前記第2の領域は、前記振動子および前記被駆動体が回転しないように、前記加圧方向から見たときに少なくとも一部が重なっていることを特徴とする。 Another vibration type actuator according to the present invention is applied to an electro-mechanical energy conversion element, a vibrator having an elastic body to which the electro-mechanical energy conversion element is joined, and a drive unit provided in the vibrator. A pressurizing unit having a driven body to be in contact with and a pressurizing member for supporting the vibrator; and pressing the vibrator against the driven body by pressing the pressurizing member against the vibrator The vibrator and the driven body are configured such that a relative position between the vibrator and the driven body is changed by vibration excited by the vibrator, and the pressure member is One or a plurality of parts that contact the vibrator, the vibrator includes one or a plurality of parts that contact the driven body, and the pressurizing unit drives the vibrator When viewed from the direction of pressure applied to the body, Of the region where the pressure member abuts against the vibrator or the region formed by connecting a plurality of portions where the pressure member abuts against the vibrator (in one case, the region), the region having the largest area Is a first region, and a region where the vibrator contacts the driven body or a region formed by connecting a plurality of portions where the vibrator contacts the driven body (in one case, the region) When the region having the largest area is the second region, the first region is larger than the second region, and the first region and the second region are the vibrator and the driven In order to prevent the body from rotating, at least a part of the body overlaps when viewed from the pressurizing direction.
本発明に係る更に別の振動型アクチュエータは、電気−機械エネルギ変換素子、および、前記電気−機械エネルギ変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子に設けられた駆動部に当接する被駆動体と、前記振動子を支持する加圧部材を有し、前記加圧部材を前記振動子に対して押し当てることにより前記振動子を前記被駆動体に対して押し当てる加圧手段と、を備え、前記振動子と前記被駆動体は、前記振動子に励起された振動により前記振動子と前記被駆動体との相対位置が変化するように構成され、前記振動子が前記被駆動体と当接せずに前記加圧手段に支持されたときに、前記振動子が前記加圧手段から力を受ける部分の面を第1の面とし、前記振動子が前記加圧手段と当接せずに前記被駆動体に支持されたときに、前記振動子が前記被駆動体から力を受ける部分の面を第2の面とし、前記第1の面に垂直な力を前記第2の面に作用させたときに前記第1の面に働く反力による、前記第2の面の図心を中心とする回転モーメントの絶対値の総和を第1モーメントとし、前記第1の面に垂直な力と大きさが等しく前記第2の面に垂直な力を前記第1の面に作用させたときに前記第2の面に働く反力による、前記第1の面の図心を中心とする回転モーメントの絶対値の総和を第2モーメントとしたときに、前記相対位置が変化する方向と前記加圧手段が前記振動子を前記被駆動体に押し当てる加圧方向とを含む面において、前記振動子、前記被駆動体および前記加圧手段は、前記第1モーメントが前記第2モーメントより大きくなるように構成されていることを特徴とする。 Still another vibration actuator according to the present invention includes an electro-mechanical energy conversion element, a vibrator having an elastic body to which the electro-mechanical energy conversion element is bonded, and a drive unit provided in the vibrator. A pressure member that has a driven body that abuts and a pressure member that supports the vibrator, and presses the vibrator against the driven body by pressing the pressure member against the vibrator; And the vibrator and the driven body are configured such that a relative position between the vibrator and the driven body is changed by vibration excited by the vibrator, and the vibrator is A surface of a portion where the vibrator receives a force from the pressurizing means when supported by the pressurizing means without coming into contact with the driven body is a first surface, and the vibrator is the pressurizing means. When supported by the driven body without contacting with The surface of the portion where the vibrator receives a force from the driven body is the second surface, and when a force perpendicular to the first surface is applied to the second surface, it acts on the first surface. The sum of absolute values of rotational moments about the centroid of the second surface due to the reaction force is defined as the first moment, and the force and magnitude perpendicular to the first surface are equal to and perpendicular to the second surface. The sum of absolute values of rotational moments about the centroid of the first surface due to the reaction force acting on the second surface when a large force is applied to the first surface is defined as the second moment. Sometimes, the vibrator, the driven body, and the pressurizing means are in a plane including a direction in which the relative position changes and a pressurizing direction in which the pressurizing means presses the vibrator against the driven body. The first moment is configured to be greater than the second moment. And butterflies.
本発明によれば、振動子の支持剛性を大きく保ちながら、振動子をロータの摩擦摺動面に対して正確に位置決めして、強固に保持することができる。これにより、振動型アクチュエータの駆動時に外力や反転時の衝撃力等が作用しても振動子を安定して保持することができ、ひいては安定した駆動特性(出力特性)を得ることができる。 According to the present invention, the vibrator can be accurately positioned and firmly held with respect to the frictional sliding surface of the rotor while keeping the support rigidity of the vibrator large. As a result, the vibrator can be stably held even when an external force or an impact force at the time of reversal is applied when the vibration actuator is driven, and a stable drive characteristic (output characteristic) can be obtained.
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施形態において「部材Aの姿勢が部材Bより部材Cに倣う」とは、「部材Bと部材Cの部材Aに対向する面が非平行の場合に、部材Aが部材Bより部材Cの傾きに沿った姿勢となること」又は「部材Bと部材Cが同じ量動いた場合に、部材Aは部材Bより部材Cの影響を強く受けた姿勢となること」を指す。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this embodiment, “the posture of the member A follows the member C from the member B” means “when the surface of the member B and the member C facing the member A is non-parallel, the member A is more than the member B. “To be in a posture along the inclination of C” or “When member B and member C move by the same amount, member A takes a posture that is more strongly influenced by member C than member B”.
<第1実施形態>
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る振動型アクチュエータ100の全体構造を示す平面図(上面図)である。図1(b)は振動型アクチュエータ100を構成する駆動ユニット200の概略構造を示す正面図、図1(c)は駆動ユニット200の概略構造を示す断面図である。図1(b)の正面図は、図1(a)に示す振動型アクチュエータ100の外径側から内径側を見たときの駆動ユニット200の概略構造を示しており、図1(c)の断面図は、図1(a)内に示す矢視L−Lでの断面図である。
<First Embodiment>
FIG. 1A is a plan view (top view) showing the overall structure of the
振動型アクチュエータ100は、円筒状の固定部材8と、環状の被駆動体であるロータ4と、固定部材8とロータ4との間に配置される複数のボール7とを有する。固定部材8は、円筒状の本体8aと、本体8aと一体的に本体8aの外径側に張り出して形成された鍔部8bとを有する。鍔部8bにおいてロータ4と対向する面には、本体8aと同心円となるようにV溝が形成されており、ロータ4において鍔部8bと対向する面にも、鍔部8bに形成されたV溝と対向する位置にV溝が形成されている(図1(c)参照)。複数のボール7は、鍔部8bとロータ4のV溝間において、V溝の周方向に略等間隔で挟持されている。これにより、ロータ4が固定部材8に対して相対的に回転可能(移動可能)な軸受け(ボールベアリング)が構成されている。
The
振動型アクチュエータ100の駆動ユニット200は、固定部材8にビス11により固定される支持部材6と、支持部材6に接合される振動子3と、振動子3をロータ4に対して押し当てる加圧機構とを有する。振動子3は、ロータ4においてV溝が形成されていない面に当接する弾性体である振動板1と、振動板1に所定の振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子2とを有する。圧電素子2には、所定の交番電圧(駆動電圧)を印加する不図示のフレキシブルプリント基板が取り付けられる。支持部材6は、振動子3が接合された状態で、ビス11により固定部材8の本体8aの外周壁に固定される。加圧機構は、加圧バネ9と、固定部材8の本体8aに固定されて加圧バネ9を保持するバネ保持部材10と、加圧バネ9と圧電素子2(振動子3)との間に配置される加圧部材5とを有する。加圧部材5は、加圧バネ9の付勢力によって振動子3をロータ4に対して押し当てる。
The
図2(a)は、振動子3の構造を示す上面図(平面図)であり、図2(b)は、振動子3の構造を示す側面図であり、図2(c)は、振動子3の構造を示す正面図である。振動子3を構成する振動板1は、例えば矩形形状の、振動板本体部1aと、振動板本体部1aの長手方向において、振動板本体部1aの端から延出する振動板腕部1bとを有する。振動板1は、例えば、金属薄板等をパンチング加工することにより成形されている。後述するように、振動板1の2カ所の振動板腕部1bはそれぞれ、支持部材6に設けられた2カ所の支持腕部6cに対してスポット溶接等で接合される。
2A is a top view (plan view) showing the structure of the
振動板本体部1aの一方の面(上面)には圧電素子2が接着等により接合されており、振動板本体部1aの他方の面(下面)にはボス部1cが2カ所に設けられている。2カ所のボス部1cのそれぞれの先端中央部には、ロータ4との接触部であり、ロータ4を駆動する駆動部となる凸部1dが設けられている。2カ所の凸部1dは、加圧機構による付勢力によって、ロータ4のV溝が形成されていない面(摩擦摺動面)に当接している(図1(b)参照)。
A
不図示のフレキシブルプリント基板は、圧電素子2に接着等により接合されている。電源からフレキシブルプリント基板を通して圧電素子2に交番電圧が印加されると、2つの異なる定在波振動が振動子3に励起されることで、振動板1の凸部1dに楕円振動が励起される。これにより、凸部1dと当接しているロータ4は、凸部1dの楕円振動によって摩擦駆動され、振動子3の接触部とロータ4の接触部の相対位置が変化する方向(以下「駆動方向」という)に駆動される。第1実施形態では、この駆動方向は、振動子3に対して2カ所の凸部1dを結ぶ方向となり、固定部材8は不図示の外部部材に固定されて不動である。したがって、以下では、固定部材8に対する位置が変化することのない振動子3に対してロータ4が回転駆動されるものとして説明を行う。
A flexible printed board (not shown) is bonded to the
ここで、振動子3の回転モーメントについて説明する。図3は、振動子3の回転モーメントを説明する模式図である。振動子3がロータ4と当接せずに加圧機構に支持された状態を考える。つまり、図1(b),(c)において振動子3(振動板1)から加圧バネ9までの部分を支持部材6と固定部材8とを除いて取り出し、上下を逆にすると、振動子3がロータ4と当接せずに加圧機構に支持された状態が得られる。このときの振動子3の、加圧機構によって支持される部分の面を、第1の面とする。また、第1の面において加圧機構と振動子3とが当接する複数の部分を結んで形成される領域のうち、加圧方向に垂直な面において最も面積が大きくなる領域を、図3(a)に示すように、第1の領域S1とする。
Here, the rotational moment of the
また、振動子3が加圧機構と当接せずロータ4に支持された状態を考える。つまり、図1(b),(c)において、加圧部材5よりも上側の部材と支持部材6を取り除くことで、振動子3が加圧機構と当接せずロータ4に支持された状態が得られる。このときの振動子3の、ロータ4によって支持される部分の面を、第2の面とする。また、第2の面において振動子3とロータ4とが当接する複数の部分を結んで形成される領域のうち、加圧方向に垂直な面において最も面積が大きくなる領域を、図3(b)に示すように、第2の領域S2とする。
Also, consider a state in which the
振動型アクチュエータ100において、図3(a)に示すように、第1の面にある第1の領域S1に垂直な力Faを、第2の面にある第2の領域S2に作用させると、第1の領域S1に反力faが働く。この反力faによる、第2の領域S2の図心G2を中心とする回転モーメントの絶対値の総和を第1モーメントとする。また、図3(b)に示すように、第1の面にある第1の領域S1に垂直な力Faと大きさが等しく、第2の面にある第2の領域S2に垂直な力Fbを、第1の領域S1に作用させると、第2の領域S2に反力fbが働く。この反力fbによる、第1の領域S1の図心G1を中心とする回転モーメントの絶対値の総和を第2モーメントとする。ここで、第1の領域S1の面積は、第2の領域S2の面積より大きく、第1の領域S1と第2の領域S2は、振動子3及びロータ4が回転しないように、加圧方向から見たときに、少なくとも一部で重なっている。
In the
なお、ここでは便宜的に、第1の領域S1は、圧電素子2の上面の外形と略同一であるとみなしている。また、第2の領域S2は、互いに離れている2つの凸部1dの先端面を結んでできる領域が最も大きくなる、2つの凸部1dの先端面を含む最外形(外郭)としており、その図心を図心G2と定義している。
Here, for convenience, the first region S <b> 1 is considered to be substantially the same as the outer shape of the upper surface of the
第1実施形態では、振動子3、ロータ4及び加圧機構は、駆動方向に垂直な面において、第1モーメントが第2モーメントよりも大きくなるよう構成されている。これは、以下の理由による。即ち、振動型アクチュエータ100の駆動時には、振動子3とロータ4(被駆動体)とが接触して駆動力が伝達されるため、ロータ4に対する振動子3の接触部に駆動方向の力が加わる。すると、駆動方向と直交する方向を軸とする回転モーメントが振動子3に対して発生しやすくなる。このとき、従来の振動子では、第1モーメントが第2モーメントよりも小さく、加圧機構側が被駆動体との当接部に倣う構成となっているため、図5及び図6を参照して後述するように、振動子と被駆動体の接触状態が不安定となることがある。
In the first embodiment, the
これに対して、第1実施形態では、第1モーメントを第2モーメントよりも大きくすることによって、振動子3が回転してしまうのを加圧機構によって抑制する構成としている。つまり、駆動方向と直交する軸回りでの振動子3の姿勢は、駆動方向及び加圧機構による加圧方向を含む面において、ロータ4(被駆動体)よりも加圧機構側に倣う。これにより、振動子3とロータ4との接触状態が不安定となることを回避して、振動型アクチュエータ100を安定的に駆動することができる。
On the other hand, in 1st Embodiment, it is set as the structure which suppresses that the vibrator |
例えば、構成としては、第1の領域S1と第2の領域S2は、加圧方向から見たときに、第1の領域S1が第2の領域S2より大きい。また、第1の領域S1と第2の領域S2は、振動子3及びロータ4が回転しないように、加圧方向から見たときに、少なくとも一部で重なっている。これにより、駆動方向と直交する軸回りでの振動子3の姿勢は、駆動方向及び加圧機構による加圧方向を含む面において、ロータ4(被駆動体)よりも加圧機構側に倣う。例えば、振動子3、ロータ4及び加圧部材5は、加圧方向から見たときに、第2の領域S2の中心が第1の領域S1の内部に位置するように構成される。なお、詳細は図5及び図6についての説明に併せて後述する。
For example, as a configuration, the first region S1 and the second region S2 are larger than the second region S2 when viewed from the pressing direction. Further, the first region S1 and the second region S2 overlap at least partially when viewed from the pressurizing direction so that the
振動子3の回転を加圧機構によって抑制するために、加圧機構による加圧方向と直交すると共に駆動方向と直交する方向を軸とした回転モーメントの場合にも、第1モーメントが第2モーメントより大きくなるようにすることが望ましい。同様に、加圧機構による加圧方向と直交する面において、加圧方向から見たときに第1の領域S1が第2の領域S2より大きく、第1の領域S1と第2の領域S2は、振動子3及びロータ4が回転しないように、加圧方向から見たときに少なくとも一部が重なっていることが望ましい。これにより、振動子3の回転を加圧機構によって抑制することができる。例えば、加圧方向から見たときに、第2の領域S2が第1の領域S1の内側にあることで、振動子3の回転を加圧機構によって抑制することができる。
In order to suppress the rotation of the
図4(a)は、支持部材6の構造を示す斜視図であり、図4(b)は、支持部材6に振動子3を取り付けた状態を示す正面図である。支持部材6は、断面形状が略L字形状を有し、例えば、金属板をプレス加工等することにより製造することができる。支持部材6は、固定部材8に取り付けるための取付部6aと、取付部6aから約90°に折り曲げられた支持部6bとを有する。取付部6aには、支持部材6を固定部材8にビス11により取り付けるためのビス穴6d(取付穴)が設けられている。
FIG. 4A is a perspective view illustrating the structure of the
ロータ4の摩擦摺動面と略平行となる支持部6bの端部には、振動板腕部1bとの接合部となる2つの支持腕部6cが設けられている。2カ所の支持腕部6cに対して振動板1の2カ所の振動板腕部1bがそれぞれ、スポット溶接等で接合される。ここで、支持部6bは、凸部1dをロータ4に対して押し当てる加圧方向である矢印A方向での剛性は小さく、比較的容易に変形することができるように設計されている。そのため、振動板1の厚さのばらつきや支持部材6を固定部材8へ取り付ける際の位置誤差等に起因して支持部6bが変形することがあっても、振動子3をロータ4に押し当てる加圧力が大きく変わってしまうことはない。一方、支持部6bは、2カ所の凸部1dを結ぶ方向であってロータ4の回転方向であるB方向での剛性は大きく、変形し難い。そのため、ロータ4の駆動時にかかる駆動反力やロータ4の回転方向を反転させたときにかかる反力(衝撃力)によって振動子3の位置決め精度が低下してしまうことを回避することができる。
At the end of the
次に、駆動ユニット200における振動子3の姿勢保持機能について説明する。振動板1のボス部1cに設けられた凸部1dの先端面(ロータ4との接触面)は、極めて面積が小さく、例えば、第1実施形態ではφ1mm程度の円形に設計されている。これは、2つの異なる定在波振動を合成することによって、振動子3の一部である凸部1dに楕円振動を生成させるという振動子3の駆動原理に由来する。即ち、定在波振動は、振動子3内の位置(場所)によってその振幅と振動方向が異なるため、2つの異なる振動モードの定在波を合成して楕円振動を生成させている場合、振動方向が等しい領域は狭い範囲に限られる。したがって、凸部1dの先端面の面積を広くして同時にロータ4に接触させると、接触面内で滑りが発生して、駆動効率が低下してしまう。この問題を回避するために、駆動力の伝達が適切に可能となる範囲で、且つ、できる限り狭い面積でロータ4に接触するように、凸部1dを構成している。
Next, the posture maintaining function of the
凸部1dの先端面は、ロータ4の摩擦摺動面と安定した接触状態を維持するために、ラップ等の加工が施された平滑面となっており、且つ、2つの凸部1dの先端面は同一平面上にあるように設計されている。また、ロータ4の凸部1dとの摩擦摺動面も同様に、平滑で、反りが極めて小さくなるようにラップ等の表面加工が施されている。
The front end surface of the
振動型アクチュエータ100を効率の高いモータとするためには、2つの凸部1dの先端面がロータ4の摩擦摺動面に均一に当接することが理想であるが、組み立て精度でそのような接触状態を実現することは容易ではない。そこで、従来から、振動子3をロータ4に対して押し当てることで、2つの凸部1dをロータ4に当接させている。
In order to make the vibration type actuator 100 a highly efficient motor, it is ideal that the tip surfaces of the two
図5は、ロータ4に対して振動子3を押し当てる方法として、従来方法を適用した状態を模式的に示す図であり、図5(a)は上面図(平面図)、図5(b)は側面図、図5(c)は正面図である。なお、図5では、ロータ4の図示を省略している。従来は、振動板1のX方向(長手方向)とY方向(短手方向)の中心点P1に集中荷重F1を加える点加圧によって、振動子3をRx方向とRy方向とで揺動可能として、2カ所の凸部1dをロータ4の摩擦摺動面に倣わせる構成を取っている。
FIG. 5 is a diagram schematically showing a state in which a conventional method is applied as a method of pressing the
しかし、凸部1dの先端面の面積が小さい場合には、加圧点の位置がずれた場合や加圧方向がずれた場合に、凸部1dのロータ4に対する良好な接触状態が得られなくなる。図6は、凸部1dのロータ4に対する良好な接触状態が得られなくなる状態を模式的に示す図である。上面側から見たときの状態は、図5(a)の状態と同等であるため、図6(a)は、図5(a)と同じである。図6(b),(c)はそれぞれ、図6(a)に対応する第1の側面図と第2の側面図である。図6(b)に示すように、中心点P1からX方向にΔX1だけずれた位置に集中荷重F2が加わってしまうと、振動子3がRx1方向に簡単に傾いてしまい、凸部1dのロータ4に対する良好な接触状態が得られなくなる。また、図6(c)に示すように、中心点P1に集中荷重F3が加わっているが、その方向がX方向から角度θだけずれている場合も同様に、振動子3がRxθ方向に簡単に傾いてしまい、凸部1dのロータ4に対する良好な接触状態が得られなくなる。
However, when the area of the tip surface of the
更に、図5で説明した点加圧の場合には、ロータ4の接触面に摩擦駆動力が作用した際に振動子3の姿勢を保持するための支持剛性が非常に小さい。そのため、振動子3がロータ4の摩擦摺動面に対して簡単に傾き或いは倒れてしまうことで、凸部1dとロータ4との接触状態が不安定になり、その結果、出力が低下してしまう。
Furthermore, in the case of the point pressurization described with reference to FIG. 5, the support rigidity for maintaining the posture of the
このような問題を解決するため、第1実施形態では、振動子3の上面(圧電素子2の上面)をロータ4と平行に配置された加圧部材5の下面(当接部)で面加圧することにより、振動子3の姿勢を加圧部材5の下面に倣わせて安定化させる構造を採用している。以下に、この構造の利点について説明する。
In order to solve such a problem, in the first embodiment, the upper surface of the vibrator 3 (upper surface of the piezoelectric element 2) is surface-added with the lower surface (contact portion) of the
図1(a)に示したように、振動型アクチュエータ100では、単一部材であるロータ4の円周上に3つの駆動ユニット200を等間隔で配置し、各振動子3の上面(凸部1dの反対側の圧電素子2の上面)に当接するように、環状の単一部材である加圧部材5を配置している。ここで、それぞれの振動子3の高さ(凸部1dの先端面から圧電素子2の上面までの距離)は同一になるように寸法管理されているため、各振動子3の上面に当接した加圧部材5は、ロータ4の摩擦摺動面と平行になる。なお、加圧部材5は、圧電素子2の上面全体に当接した状態で振動子3に励起される振動を妨げることのないように、樹脂等の材料からなる。
As shown in FIG. 1A, in the
この状態で加圧バネ9により振動子3をロータ4に対して押し当てると、凸部1dは、振動板1の振動板本体部1aとほぼ面積の等しい圧電素子2の上面全体から加えられる加圧力によってロータ4の摩擦摺動面に当接する。このとき、振動子3の姿勢は、圧電素子2の上面が加圧部材5との接触面に倣うように規制されることで安定する。その結果、振動子3をロータ4の摩擦摺動面に対して平行な状態に維持することができると共に、図5に示したRx方向とRy方向の支持剛性を大きくすることができる。よって、ロータ4の駆動時に反転等で大きな反力が振動子3に作用しても、凸部1dとロータ4との接触が不安定になることがなく、安定した出力を得ることができる。
When the
なお、第1実施形態では、ロータ4が回転するとして説明したが、これに限定されず、例えば、ロータ4が外部部材に固定され、振動子3が設けられた固定部材8が回転する構成としてもよい。また、振動型アクチュエータ100を、3つの振動子3を備える構成としたが、これに限定されず、1つ又は複数の振動子3を備える構成であってもよい。
In the first embodiment, the
<第2実施形態>
第2実施形態に係る振動型アクチュエータは、第1実施形態に係る振動型アクチュエータ100と比較すると、振動型アクチュエータ100を構成する加圧部材5に代えて以下に説明する加圧部材15を用いる点で異なっている。そして、加圧部材15以外の第2実施形態に係る振動型アクチュエータの構成要素は、振動型アクチュエータ100の構成要素と同じである。よって、以下の説明では、加圧部材15の構造と加圧部材15を用いることで得られる効果を中心に説明を行い、既に説明した共通する構成要素についての説明を省略する。
Second Embodiment
Compared with the
図7(a)は、本発明の第2実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する駆動ユニット200Aの概略構造を示す正面図であり、図1(b)と同じ視点で描かれている。図7(b)は、振動子3に対する加圧部材15の当接状態を模式的に示す上面図(平面図)である。
FIG. 7A is a front view showing a schematic structure of a
加圧部材15において振動子3と対向する部分には、圧電素子2の長手方向端の接触領域A(斜線領域)において圧電素子2に当接する2カ所の突起部15aが形成されている。なお、加圧部材15に対して3つの駆動ユニット200Aが配置されるため(図1(a)参照)、突起部15aは、加圧部材15全体では6カ所に設けられる。このように振動子3と加圧部材15との接触領域をできる限り小さくすることによって、加圧部材15を構成する材料によって振動子3の振動が阻害されることを回避することができる。
In a portion facing the
また、振動子3の凸部1dがロータ4と当接する部分が、駆動方向において、加圧部材5が振動子3に当接する部分である接触領域Aよりも内側に位置する構造となっている。これにより、振動子3がロータ4に対して押し当てられているときの振動子3の姿勢をより安定な姿勢とすることができる。
Further, the portion where the
図8は、駆動ユニット200Aにおいて振動子3がロータ4に押し当てられている状態を説明する図である。図8(a)は、図7(b)と同様の上面図であり、加圧部材15が振動子3と接触する接触領域Aと振動子3の構造との関係を説明する図である。図8(b)は、理想的な状態で加圧部材15が振動子3をロータ4に押し当てている状態を示す側面図である。図8(c)は、加圧部材15とロータ4とが平行に設置されていない状態を仮定した場合の、振動子3とロータ4との接触状態を模式的に示す側面図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a state where the
図8(a)に示すように、加圧部材15の突起部15aが振動子3(圧電素子2)と当接する部分である2つの接触領域Aを結んで形成される領域のうち、面積が最も大きい領域である、最外形(第1の領域)を加圧力作用領域Bとする。加圧力作用領域Bは、加圧バネ9による加圧部材15からの加圧力が振動子3に作用する領域である。また、振動子3の凸部1dにおけるロータ4との接触部を結んで形成される領域のうち、面積が最も大きい領域である、最外形(第2の領域)を、駆動接触領域Cとする。第2実施形態では、第1の領域が第2の領域よりも大きくなるように設定されており、より好ましい形態として、駆動接触領域Cが加圧力作用領域Bの内側に位置するように設定されている。
As shown in FIG. 8 (a), the area of the region formed by connecting the two contact regions A, which is the portion where the
これは、振動子3の姿勢を加圧部材15に倣わせるための必須条件である。即ち、第2実施形態に係る振動型アクチュエータでは、図8(b)に示すように、加圧部材15と振動子3とロータ4とが平行になる姿勢を保っていることが望ましい。つまり、振動子3の凸部1dの先端面全体がロータ4の摩擦面と均一に接触すると同時に、加圧部材15の突起部15aの先端面全体が振動子3(圧電素子2)の上面と均一に当接している状態となっていることが望ましい。しかし、加圧部材15とロータ4のそれぞれの姿勢は個別に決定されるため、加圧部材15、振動子3及びロータ4が揃って自然に平行になるように組み立てられることはまれである。したがって、傾きの自由度を持っている振動子3が、加圧部材15又はロータ4のいずれか一方に倣う姿勢で落ち着いた状態に保持されるようにする必要がある。
This is an indispensable condition for causing the posture of the
そこで、図8(a),(b)に示す通り、駆動接触領域Cの幅W1より加圧力作用領域Bの幅W2が大きく、且つ、加圧バネ9による加圧力が作用する方向から見たときに加圧力作用領域Bが駆動接触領域Cを完全に包含するように、形状設計がなされている。これにより、仮に加圧部材15とロータ4とが平行に設置されていないために振動子3がロータ4の摩擦面に倣うように傾いても、図8(c)に示すように、振動子3にはF4×Lの回転モーメントがQ点に作用する。その結果、振動子3は加圧部材15に倣う姿勢で安定するようになる。なお、逆の場合(振動子3が加圧部材15との接触面(第1の領域:接触領域A)に倣うように傾き、駆動接触領域C側のQ点に集中荷重が掛かっている場合等)には、振動子3を傾かせる回転モーメントは発生しない。
Therefore, as shown in FIGS. 8A and 8B, the width W2 of the pressure application region B is larger than the width W1 of the driving contact region C, and the direction of the pressure applied by the
振動子3が2つの部材(ロータ4、加圧部材15)に挟持されて姿勢が定まる場合、振動子3の姿勢を倣わせようとする側との接触領域を広くし、加圧方向から見たときに他方側の接触領域を完全に包含するようにする。これにより、振動子3を意図する側の面に倣わせることができる。これは、ロータ4の駆動方向についても同様であり、平面図で見た場合に、図8(a)に示すように、加圧力作用領域Bが駆動接触領域Cを完全に包含するように設定される。
When the
なお、第2実施形態のように、加圧力作用領域Bの重心が駆動接触領域Cの内部に位置する構成とすることで、上記の振動子3を意図する側の面に倣わせる効果をより効果的に得ることができる。第2実施形態では、振動子3がロータ4に対して円形の2カ所(2カ所の凸部1dの先端面)で当接する形態を示しているが、接触面の数や形状等はこれに限定されるものではない。また、加圧部材15の振動子3に対する当接面の数や形状についても、上述の加圧力作用領域Bと駆動接触領域Cとの関係が成り立つものであればよく、上記構成に限定されるものではない。
In addition, by setting it as the structure where the gravity center of the pressurization action area | region B is located in the inside of the drive contact area C like 2nd Embodiment, the effect which imitates the surface of the said vibrator |
<第3実施形態>
第3実施形態に係る振動型アクチュエータは、第1実施形態に係る振動型アクチュエータ100とは、振動型アクチュエータ100を構成する支持部材6に代えて、以下に説明する支持部材16を用いる点で異なっている。そして、支持部材16以外の第3実施形態に係る振動型アクチュエータの構成要素は、振動型アクチュエータ100の構成要素と同じである。よって、以下、支持部材16の構造と支持部材16を用いることで得られる効果を中心に説明を行い、既に説明した共通する構成要素についての説明を省略する。
<Third Embodiment>
The vibration type actuator according to the third embodiment is different from the
図9(a)は、本発明の第3実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する支持部材16に振動子3を接合した状態を示す正面図であり、図9(b)は、支持部材16の構造を示す斜視図である。支持部材16は、取付部16a、支持部16b、支持腕部16c及びビス穴16dを有し、これらはそれぞれ、第1実施形態で説明した支持部材6の取付部6a、支持部6b、支持腕部6c及びビス穴6dに対応する。
FIG. 9A is a front view showing a state in which the
支持部材16と第1実施形態で用いた支持部材6との相違点は、固定部材8へ取り付けるためのビス穴の形状である。即ち、支持部材6ではビス穴6dを丸穴としたのに対して、支持部材16のビス穴16dは、振動子3をロータ4に押し当てる方向と平行な方向に長い長穴としている。これにより、支持部材16と一体的に接合された振動子3を駆動ユニットに組み込んで固定する際に、振動子3をロータ4に押し当てる方向で振動子3の位置を調節することができる。
The difference between the
例えば、振動型アクチュエータ100を構成する部品については、ロータ4の厚さのバラつきや支持部材6のビス穴6dの位置誤差、固定部材8に設けられたビス穴の位置誤差等(以下「寸法ばらつき」という)がある。そのため、振動型アクチュエータ100では、振動子3を駆動ユニット200に組み込む際に、寸法ばらつきにより、ロータ4の摩擦面に対する振動子3の組み込み位置にばらつきが生じるおそれがある。そこで、第1実施形態では、支持部材6の支持部6bが撓んで寸法ばらつきを吸収することで、振動子3をロータ4に押し当てる加圧力に影響が出ないように設計されている。これに対して、第3実施形態は、寸法ばらつきの影響を可能な限り無くすことを目的としている。
For example, for the components constituting the
支持部材16を用いた駆動ユニットの組み立ては、以下の通りにして行われる。先ず、固定部材8の鍔部8bに形成されたV溝に所定数のボール7を周方向に略等間隔で並べ、ロータ4に形成されたV溝にボール7が当接するようにロータ4を載せる。振動子3と支持部材16とを予め溶接等で接合しておき、これを振動子3の凸部1dの先端面がロータ4の摩擦面に当接するように設置する。このとき、支持部材16を大まかに位置合わせして、ビス11で仮止めする。次に、加圧部材5を振動子3の圧電素子2の上面に載せ、加圧バネ9とバネ保持部材10を設置して、振動子3に加圧力を付与する。この状態で、仮止めしていたビス11を緩め、支持部材16(支持部16b)の撓みがなくなるように支持部材16の位置を再調整する。そして、ビス11を締め直して支持部材16を強固に固定する。
The assembly of the drive unit using the
これにより、駆動ユニットの組み立て時に生じる支持部材16の不要な撓みをほぼ無くすことができ、また、部品精度に起因して各振動子3のロータ4に対する加圧力にむらが生じることを回避することができる。こうして、安定した駆動性能を得ることができる。
As a result, unnecessary bending of the
<第4実施形態>
第4実施形態に係る振動型アクチュエータは、第1実施形態に係る振動型アクチュエータ100とは、振動型アクチュエータ100にはない以下に説明する絶縁部材12を備える点で異なっている。絶縁部材12以外の第4実施形態に係る振動型アクチュエータの構成要素は、振動型アクチュエータ100の構成要素と同じである。よって、以下、絶縁部材12の構造と絶縁部材12を用いることで得られる効果を中心に説明を行い、共通する構成要素についての説明を省略する。
<Fourth embodiment>
The vibration type actuator according to the fourth embodiment is different from the
図10(a)は、本発明の第4実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する駆動ユニット200Bの概略構造を示す正面図であり、図10(b)は、駆動ユニット200Bの断面図である。駆動ユニット200Bは、振動子3と加圧部材5との間に配置された絶縁部材12を有しており、その他の構成部材は第1実施形態で説明した駆動ユニット200の構成部材と同じである。
FIG. 10A is a front view showing a schematic structure of a
第1実施形態では、振動子3の圧電素子2の上面に樹脂等で構成された加圧部材5を直接接触する構成とした。これに対して、第4実施形態では、加圧部材5を構成する材料を限定することなく、振動子3の振動を妨げずに振動子3の姿勢維持を可能にすることを目的としている。そのために、絶縁部材12には、振動子3の振動を拘束することなく、当接状態を維持することができる材料が用いられ、具体的には、フェルトやモルトプレーン等が用いられる。
In the first embodiment, the pressing
絶縁部材12は、加圧部材5と振動子3との間で圧縮された状態で設置されるため、厚さ方向の弾性率が初期値(駆動ユニット200Bに組み込む前の状態での弾性率)よりも高くなる。よって、振動子3を圧電素子2側から支える剛性を高めることができる。これにより、絶縁部材12を配置しても、加圧部材5による振動子3の姿勢保持能力を損なうことなく、振動子3の振動を阻害しない保持構造を実現することができる。
Since the insulating
<第5実施形態>
第5実施形態に係る振動型アクチュエータは、第1実施形態に係る振動型アクチュエータ100とは、振動型アクチュエータ100の加圧部材15及び振動子3に代えて、以下に説明する加圧部材25及び振動子23を備える点で異なっている。加圧部材25及び振動子23以外の第5実施形態に係る振動型アクチュエータの構成要素は、振動型アクチュエータ100の構成要素と同じである。よって、以下、加圧部材25と振動板21の構造と、加圧部材25と振動子23を用いることで得られる効果を中心に説明を行い、共通する構成要素についての説明を省略する。
<Fifth Embodiment>
The vibration type actuator according to the fifth embodiment differs from the
図11(a)は、本発明の第5実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する加圧部材25の部分的な構造を示す正面図である。図11(b)〜(d)は、本発明の第5実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する振動子23の概略構造を示す図であり、図11(b)は平面図、図11(c)は側面図、図11(d)は正面図である。第5実施形態は、加圧部材25により振動子23の姿勢を拘束する部分が、振動子23に励起される複数の振動モードに共通する節部となっていることを特徴とする。
Fig.11 (a) is a front view which shows the partial structure of the
振動子23を構成する振動板21は、振動板本体部21aと、振動板本体部21aの長手方向端に延出した振動板腕部21bとを有する。振動子23は、5次の面外屈曲振動モードM1と、2次の面外屈曲振動モードM2とが励起されるように設計されている。そのため、振動板本体部21aの長手方向長さは、第1実施形態で説明した振動板1の振動板本体部1aの長手方向長さよりも長くなっており、圧電素子22の形状も、振動板本体部21aの形状に合わせて、平面視で矩形形状に設定されている。
The
図11(b)〜(d)に示されるように、振動モードM1では5カ所に節部(節線Nm1)が形成され、振動モードM2では2カ所の節部(節線Nm2)が形成される。これらの節線が交差する部分(節点Nm12)が10カ所に形成され、これら10カ所の節点Nm12では、振動モードM1,M2を同時に励起しても、振動変位は現れない。よって、加圧部材25を節点Nm12に押し当てても、振動子23の振動に実質的な影響はない。
As shown in FIGS. 11B to 11D, in the vibration mode M1, nodes (node lines Nm 1 ) are formed at five locations, and in the vibration mode M2, two nodes (node lines Nm 2 ) are formed. It is formed. The portions where these nodal lines intersect (nodes Nm 12 ) are formed at 10 locations, and no vibration displacement appears at these 10 nodes Nm 12 even if the vibration modes M1 and M2 are excited simultaneously. Therefore, even if the pressing
そこで、10カ所の節点Nm12のうち、第2実施形態で説明した加圧力作用領域を最大にする4点を選択し、これら4点を加圧部材25と当接させる加圧力作用領域Dとする。そのために、図11(a)に示すように、加圧部材25において振動子3と対向する部分には、圧電素子22の長手方向端の加圧力作用領域Dにおいて圧電素子22に当接する4カ所の突起部25aが形成されている。なお、第5実施形態に係る振動型アクチュエータにおいても、加圧部材25は単一部材であるため、3つの振動子23に対応させて、加圧部材25全体では12カ所に突起部25aが形成されている。第5実施形態によれば、振動子23の振動に影響を与えることなく、振動子23を加圧部材25に倣わせるようにして保持することができる。
Accordingly, among the ten nodes Nm12, four points that maximize the pressure application region described in the second embodiment are selected, and these four points are used as a pressure application region D that contacts the
<第6実施形態>
上述した第1乃至第5実施形態では、本発明に係る振動型アクチュエータをロータ4を回転させる回転型駆動装置として具現化した。これに対して、第6実施形態及び後述の第7実施形態に係る振動型アクチュエータは、本発明に係る振動型アクチュエータを被駆動体であるスライダを直線方向で往復させるリニア駆動装置として具現化する。
<Sixth Embodiment>
In the first to fifth embodiments described above, the vibration type actuator according to the present invention is embodied as a rotary drive device that rotates the
図12は、本発明の第6実施形態に係る振動型アクチュエータ100Aの概略構造を示す図であり、図12(a)は平面図、図12(b)は正面図である。振動型アクチュエータ100Aの基本的な構造は、第1実施形態と同様である。振動型アクチュエータ100Aを構成する固定部材38は、底壁部38aと側壁部38bとを有し、断面コの字形状で、スライダ34の駆動方向であるX方向に長い略直方体の形状を有する。4つの振動子33はそれぞれ、支持部材6と同等の支持部材36に接合され、4つの支持部材36はそれぞれ、固定部材38の側壁部38bに固定されている。振動子33は、例えば、第5実施形態で説明した振動子23と同等である。
12A and 12B are diagrams showing a schematic structure of a
スライダ34は、駆動方向であるX方向に長い略直方体の形状を有し、複数のボール37を介して固定部材38の底壁部38aと接している。なお、複数のボール37はそれぞれ、固定部材38の底壁部38aの上面とスライダ34の底壁部38a側の面のそれぞれに形成されたX方向に延在する不図示のV溝に挟持されている。こうして、転がりの軸受けが形成されることにより、スライダ34は駆動方向であるX方向に移動可能となる。加圧バネ39は、バネ保持部材40に保持されて、加圧部材35を介して圧電素子22の上面と当接することで、振動子33をスライダ34へ押し当てている。なお、図12(a)では、バネ保持部材40と加圧バネ39の図示を省略し、バネ保持部材40と加圧部材35を破線で示している。
The
4つの振動子33の高さ(スライダ34との接触面から加圧部材35との接触面までの厚さ)は同一となるように寸法管理されている。そのため、振動子33を構成する圧電素子に当接している加圧部材35は、スライダ34の摩擦面と略平行な状態に維持される。よって、加圧部材35に姿勢を拘束される振動子33もスライダ34と平行な姿勢を維持することができ、これにより、安定した接触状態を実現して、安定した駆動特性を得ることができる。なお、ここでは、4つの振動子33で振動型アクチュエータを構成したが、振動子33の数はこれに限定されるものではない。
The dimensions of the four vibrators 33 (the thickness from the contact surface with the
<第7実施形態>
第7実施形態に係る振動型アクチュエータは、第6実施形態に係る振動型アクチュエータ100Aを構成する加圧部材35の形状を変更した加圧部材45を備えている。加圧部材45以外の第7実施形態に係る振動型アクチュエータの構成要素は、第6実施形態に係る振動型アクチュエータ100Aの構成要素と同じである。よって、以下、加圧部材45と、加圧部材45を用いることで得られる効果を中心に説明を行い、共通する構成要素についての説明を省略する。
<Seventh embodiment>
The vibration type actuator according to the seventh embodiment includes a
図13は、本発明の第7実施形態に係る振動型アクチュエータ100Bの概略構造を示す図であり、図13(a)は平面図、図13(b)は正面図、図13(c)は部分断面図である。加圧部材45には、図13(c)に示すように、振動子33との接触部となる突起部45aが設けられている。突起部45aは、各振動子33の圧電素子の中心近傍に当接するように、各振動子33に対して1カ所ずつ設けられている。ここで、突起部45aは、スライダ34の駆動方向であるX方向での幅は短く、一方、X方向と直交する振動子33の幅方向であるY方向では、振動子33の幅とほぼ同じ寸法に設計されている。
13A and 13B are diagrams showing a schematic structure of a
つまり、加圧部材45が振動子33に当接して加圧力を作用させる加圧力作用領域は、スライダ34の駆動方向(X方向)における振動子33の中心近傍である。同時に、加圧部材45の加圧力作用領域は、スライダ34の駆動方向と振動子33をスライダ34に押し当てる方向の両方向と直交する方向おいて、スライダ34と当接する振動子33の凸部の面積よりも広い。
That is, the pressurizing action region in which the pressing
よって、振動子33は、幅方向の傾き(ロール方向)に対してのみ加圧部材45に倣って姿勢が拘束されるが、駆動方向の前後の傾き(ピッチング)に対しては、スライダ34の摩擦面に追従することができる自由度を持つ。このような構造は、振動子33に加わる駆動反力やスライダ34から伝達される外力等が比較的小さく、振動子33の姿勢を安定化する上でこれらの力による影響が小さい振動型アクチュエータに対しては非常に有効となる。なお、加圧部材45の構造は、本実施形態のようなリニア駆動装置に限らず、第1実施形態で説明した回転型駆動装置にも適用することができる。
Thus, the posture of the
<第8実施形態>
ここでは、上述した本発明の実施形態に係る種々の振動型アクチュエータを撮像装置に応用した例について説明する。図14は、本発明の実施形態に係る撮像装置80の概略構成を示す上面図である。撮像装置80は、カメラ本体83とレンズ鏡筒87とを備える。カメラ本体83は、電源ボタン81と、レンズ鏡筒87を通過した光が結像した光学像を電気信号に変換する撮像素子82とを備える。レンズ鏡筒87は、レンズ84と、駆動ユニット86を有する振動型アクチュエータ85とを備える。振動型アクチュエータ85及び駆動ユニット86はそれぞれ、例えば、第1実施形態で説明した振動型アクチュエータ100及び駆動ユニット200である。
<Eighth Embodiment>
Here, an example in which various vibration actuators according to the above-described embodiments of the present invention are applied to an imaging apparatus will be described. FIG. 14 is a top view illustrating a schematic configuration of the
レンズ鏡筒87は、交換レンズとしてカメラ本体83に対して取り換え可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒87をカメラ本体83に取り付けることができる。レンズ84は、例えば、撮像画角を変化させるズームレンズ、又は、被写体に対してピントを合わせるフォーカスレンズである。撮像装置80では、3つ(1つは不図示)の駆動ユニット86が不図示の被駆動体を駆動し、この被駆動体がギア又はカムを駆動することによって、レンズ84を保持した不図示の保持部材を光軸方向に移動させる。これにより、安定したレンズ駆動が可能な、信頼性の高い撮像装置80を実現することができる。
The
なお、駆動ユニット86は、撮像素子82に結像する光学像の像ぶれを補正するための像ぶれ補正用レンズの駆動に用いることもできる。この場合、例えば、2つの駆動ユニット86を用いて、光軸と直交する面内の直交する2方向のそれぞれに任意に像ぶれ補正用レンズを移動させる構成とすればよい。また、像ぶれを補正するために、像ぶれ補正用レンズに代えて、撮像素子82を光軸と直交する面内の直交する2方向のそれぞれに任意に移動させる構成としてもよい。
The
<第9実施形態>
ここでは、上述した本発明の実施形態に係る種々の振動型アクチュエータを自動ステージに応用した例について説明する。図15は、本発明の実施形態に係る自動ステージ96を有する顕微鏡90の外観斜視図である。顕微鏡90は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部92と、X−Y面内で移動されるステージ94を有する自動ステージ96を備える。自動ステージ96の詳細な構成の図示は省略するが、自動ステージ96は、ステージ94を被駆動体として駆動する少なくとも2つの駆動ユニットを備える。少なくとも1つの駆動ユニットは、ステージ94のX方向駆動に用いられ、少なくとも1つの別の駆動ユニットは、ステージ94のY方向駆動に用いられる。
<Ninth Embodiment>
Here, examples in which various vibration actuators according to the above-described embodiments of the present invention are applied to an automatic stage will be described. FIG. 15 is an external perspective view of a
被観察物をステージ94上に載置し、拡大画像を撮像部92で撮影する。観察範囲が広範囲にある場合には、自動ステージ96を駆動して、被観察物をX方向やY方向に移動させて被観察物を移動させることにより、多数の撮影画像を取得する。撮影された画像を不図示のコンピュータで画像処理により結合させることで、観察範囲が広範囲で、高精細な1枚の画像を取得することができる。
An object to be observed is placed on the
<その他の実施形態>
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
<Other embodiments>
Although the present invention has been described in detail based on preferred embodiments thereof, the present invention is not limited to these specific embodiments, and various forms within the scope of the present invention are also included in the present invention. included. Furthermore, each embodiment mentioned above shows only one embodiment of this invention, and it is also possible to combine each embodiment suitably.
1,21 振動板
2,22 圧電素子
3,23 振動子
4 ロータ(被駆動体)
5,15,25,35 加圧部材
6,16,36 支持部材
7,37 ボール
8,38 固定部材
9,39 加圧バネ
10,40 バネ保持部材
80 撮像装置
96 自動ステージ
100,100A,100B 振動型アクチュエータ
200,200B 駆動ユニット
DESCRIPTION OF
5, 15, 25, 35
Claims (23)
前記振動子に設けられた駆動部に当接する被駆動体と、
前記振動子を支持する加圧部材を有し、前記加圧部材を前記振動子に対して押し当てることにより前記振動子を前記被駆動体に対して押し当てる加圧手段と、を備え、
前記振動子と前記被駆動体は、前記振動子に励起された振動により前記振動子と前記被駆動体との相対位置が変化するように構成され、
前記相対位置が変化する方向と前記加圧手段が前記振動子を前記被駆動体に押し当てる加圧方向とを含む面において、前記振動子の姿勢が前記被駆動体よりも前記加圧部材に倣うように構成されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。 An electro-mechanical energy conversion element, and a vibrator having an elastic body to which the electro-mechanical energy conversion element is bonded;
A driven body that comes into contact with a driving unit provided in the vibrator;
A pressure member that supports the vibrator, and comprises a pressure unit that presses the vibrator against the driven body by pressing the pressure member against the vibrator,
The vibrator and the driven body are configured such that a relative position between the vibrator and the driven body is changed by vibration excited by the vibrator,
In a plane including a direction in which the relative position changes and a pressurizing direction in which the pressurizing unit presses the vibrator against the driven body, the vibrator is positioned more toward the pressurizing member than the driven body. A vibration type actuator characterized by being configured to follow.
前記振動子に設けられた駆動部に当接する被駆動体と、
前記振動子を支持する加圧部材を有し、前記加圧部材を前記振動子に対して押し当てることにより前記振動子を前記被駆動体に対して押し当てる加圧手段と、を備え、
前記振動子と前記被駆動体は、前記振動子に励起された振動により前記振動子と前記被駆動体との相対位置が変化するように構成され、
前記加圧部材は、前記振動子と当接する1つまたは複数の部分を有し、
前記振動子は、前記被駆動体と当接する1つまたは複数の部分を有し、
前記加圧手段が前記振動子を前記被駆動体に押し当てる加圧方向から見たときに、前記加圧部材が前記振動子に当接する領域または前記加圧部材が前記振動子に当接する複数の部分を結んで形成される領域のうち、面積が最も大きい領域を第1の領域とし、前記振動子が前記被駆動体に当接する領域または前記振動子が前記被駆動体に当接する複数の部分を結んで形成される領域のうち、面積が最も大きい領域を第2の領域としたときに、前記第1の領域は前記第2の領域より大きく、
前記第1の領域と前記第2の領域は、前記振動子および前記被駆動体が回転しないように、前記加圧方向から見たときに少なくとも一部が重なっていることを特徴とする振動型アクチュエータ。 An electro-mechanical energy conversion element, and a vibrator having an elastic body to which the electro-mechanical energy conversion element is bonded;
A driven body that comes into contact with a driving unit provided in the vibrator;
A pressure member that supports the vibrator, and comprises a pressure unit that presses the vibrator against the driven body by pressing the pressure member against the vibrator,
The vibrator and the driven body are configured such that a relative position between the vibrator and the driven body is changed by vibration excited by the vibrator,
The pressure member has one or more portions that contact the vibrator,
The vibrator has one or more parts in contact with the driven body,
A region where the pressure member abuts against the vibrator or a plurality of areas where the pressure member abuts against the vibrator when viewed from the pressure direction in which the pressure means presses the vibrator against the driven body The region having the largest area among the regions formed by connecting the portions is defined as a first region, and a region where the vibrator contacts the driven body or a plurality of portions where the vibrator contacts the driven body When the region having the largest area among the regions formed by connecting the portions is the second region, the first region is larger than the second region,
The vibration type, wherein the first region and the second region overlap at least partially when viewed from the pressurizing direction so that the vibrator and the driven body do not rotate. Actuator.
前記振動子に設けられた駆動部に当接する被駆動体と、
前記振動子を支持する加圧部材を有し、前記加圧部材を前記振動子に対して押し当てることにより前記振動子を前記被駆動体に対して押し当てる加圧手段と、を備え、
前記振動子と前記被駆動体は、前記振動子に励起された振動により前記振動子と前記被駆動体との相対位置が変化するように構成され、
前記振動子が前記被駆動体と当接せずに前記加圧手段に支持されたときに、前記振動子が前記加圧手段から力を受ける部分の面を第1の面とし、
前記振動子が前記加圧手段と当接せずに前記被駆動体に支持されたときに、前記振動子が前記被駆動体から力を受ける部分の面を第2の面とし、
前記第1の面に垂直な力を前記第2の面に作用させたときに前記第1の面に働く反力による、前記第2の面の図心を中心とする回転モーメントの絶対値の総和を第1モーメントとし、
前記第1の面に垂直な力と大きさが等しく前記第2の面に垂直な力を前記第1の面に作用させたときに前記第2の面に働く反力による、前記第1の面の図心を中心とする回転モーメントの絶対値の総和を第2モーメントとしたときに、
前記相対位置が変化する方向と前記加圧手段が前記振動子を前記被駆動体に押し当てる加圧方向とを含む面において、前記振動子、前記被駆動体および前記加圧手段は、前記第1モーメントが前記第2モーメントより大きくなるように構成されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。 An electro-mechanical energy conversion element, and a vibrator having an elastic body to which the electro-mechanical energy conversion element is bonded;
A driven body that comes into contact with a driving unit provided in the vibrator;
A pressure member that supports the vibrator, and comprises a pressure unit that presses the vibrator against the driven body by pressing the pressure member against the vibrator,
The vibrator and the driven body are configured such that a relative position between the vibrator and the driven body is changed by vibration excited by the vibrator,
When the vibrator is supported by the pressurizing unit without contacting the driven body, a surface of a portion where the vibrator receives a force from the pressurizing unit is defined as a first surface.
When the vibrator is supported by the driven body without coming into contact with the pressurizing means, a surface of a portion where the vibrator receives a force from the driven body is a second surface,
The absolute value of the rotational moment about the centroid of the second surface due to the reaction force acting on the first surface when a force perpendicular to the first surface is applied to the second surface. Let the sum be the first moment,
The first force due to a reaction force acting on the second surface when a force perpendicular to the second surface is equal in magnitude to the force perpendicular to the first surface and acting on the first surface. When the sum of absolute values of rotational moments centered on the centroid of the surface is the second moment,
In the plane including the direction in which the relative position changes and the pressurizing direction in which the pressurizing unit presses the vibrator against the driven body, the vibrator, the driven body, and the pressurizing means include the first A vibration type actuator configured so that one moment is larger than the second moment.
前記取付穴は、前記加圧方向と平行な方向に長い長穴であり、前記支持部材を前記固定部材に取り付ける際に前記支持部材の前記固定部材に対する位置の調節が可能となっていることを特徴とする請求項12に記載の振動型アクチュエータ。 The support member has a substantially L-shaped cross-sectional shape, and an attachment hole for fixing the support member to the fixing member is provided on one surface attached to the fixing member.
The mounting hole is a long hole extending in a direction parallel to the pressing direction, and the mounting position of the support member relative to the fixing member can be adjusted when the supporting member is mounted on the fixing member. The vibration type actuator according to claim 12, wherein
前記本体部において前記電気−機械エネルギ変換素子が接合される面の反対側の面に前記駆動部が設けられ、
前記支持部材は、前記相対位置が変化する方向と垂直な面において略L字形状の断面形状を有し、前記被駆動体の摩擦面と略平行になる一方の面の先端が2つの支持腕部に分かれ、
前記支持腕部に前記弾性体の前記腕部が接合されていることを特徴とする請求項10乃至13のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 The elastic body is composed of a main body having a longitudinal direction in which the electromechanical energy conversion element is bonded and the relative position is changed, and an arm extending to a longitudinal end of the main body.
The drive unit is provided on a surface opposite to a surface to which the electro-mechanical energy conversion element is bonded in the main body,
The support member has a substantially L-shaped cross-section in a plane perpendicular to the direction in which the relative position changes, and the tip of one surface that is substantially parallel to the friction surface of the driven body has two support arms. Divided into parts,
The vibration type actuator according to any one of claims 10 to 13, wherein the arm portion of the elastic body is joined to the support arm portion.
前記加圧部材は、前記複数の振動子に当接する単一部材であることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 A plurality of the vibrators,
15. The vibration type actuator according to claim 1, wherein the pressure member is a single member that contacts the plurality of vibrators.
前記駆動部は、前記電気−機械エネルギ変換素子が接合されている面とは反対側の前記弾性体の面に設けられていることを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 The pressure member is in contact with the electromechanical energy conversion element;
The said drive part is provided in the surface of the said elastic body on the opposite side to the surface where the said electromechanical energy conversion element is joined, The any one of Claim 1 thru | or 17 characterized by the above-mentioned. Vibration type actuator.
光軸方向に前記レンズを移動させる請求項1乃至18のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。 A lens,
A lens barrel comprising: the vibration type actuator according to claim 1, wherein the lens is moved in an optical axis direction.
光軸方向と直交する面内で前記像ぶれ補正用レンズを移動させる請求項1乃至18のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。 An image blur correction lens,
19. A lens barrel comprising: the vibration type actuator according to claim 1, wherein the image blur correcting lens is moved in a plane orthogonal to an optical axis direction.
前記レンズ鏡筒に配置されたレンズを光軸方向に移動させる請求項1乃至18のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、
前記レンズ鏡筒を通過した光が結像した光学像を電気信号に変換する撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。 A lens barrel;
The vibration type actuator according to any one of claims 1 to 18, wherein a lens disposed in the lens barrel is moved in an optical axis direction.
An imaging device comprising: an imaging device that converts an optical image formed by light passing through the lens barrel into an electrical signal.
前記レンズ鏡筒を通過した光が結像した光学像を電気信号に変換する撮像素子と、
前記撮像素子を光軸方向と直交する面内で移動させて前記撮像素子に結像する前記光学像の像ぶれを補正する請求項1乃至18のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とする撮像装置。 A lens barrel;
An image sensor that converts an optical image formed by the light passing through the lens barrel into an electrical signal;
The vibration type actuator according to any one of claims 1 to 18, wherein the vibration type actuator for correcting an image blur of the optical image formed on the image pickup device by moving the image pickup device in a plane orthogonal to an optical axis direction; An imaging apparatus comprising:
前記ステージをその面内で移動させる請求項1乃至18のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とする自動ステージ。 Stage,
An automatic stage comprising: the vibration type actuator according to any one of claims 1 to 18, wherein the stage is moved in a plane thereof.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022046746A (en) * | 2017-06-02 | 2022-03-23 | キヤノン株式会社 | Imaging apparatus and movable body |
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