JP2015186329A - piezoelectric motor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric motor capable of stabilizing a vibration body, obtaining sufficient vibration characteristics and suppressing occurrence of a difference in brake force applied to rotation of a body to be driven in a forward direction and a reverse direction.SOLUTION: A piezoelectric motor comprises: a vibration body having a contact portion brought into contact with a body to be driven provided in a rotatable manner and a piezoelectric element provided at an opposite side of the contact portion to the body to be driven, vibrating by applying a voltage to the piezoelectric element and rotating the body to be driven by applying force to the body to be driven; a holding section holding the vibration body so as to allow the vibration body to vibrate; a base; and a pair of elastic bodies coupling the holding section and the base and biasing the contact portion toward the body to be driven via the holding section. An angle θ1 between a first straight line obtained by connecting a first portion where the pair of elastic bodies are fixed to the base and a second portion where the elastic bodies are fixed to the holding section and a third straight line perpendicular to a second straight line obtained by connecting an abutting portion against the contact portion of the body to be driven and a rotation center of the body to be driven is equal to 5° or less.

Description

本発明は、圧電モーターに関する。   The present invention relates to a piezoelectric motor.

圧電モーターは、高周波の交流電圧等の駆動電圧を機械的振動に変換する圧電素子と、圧電素子によって駆動される被駆動体とを有する駆動装置である。この圧電モーターの形態として、ローターや長手形状の部材を被駆動体とする圧電モーターが知られている(例えば、特許文献1、2参照)。圧電モーターは、圧電素子の屈曲振動を、圧電素子を含む振動体から突出する凸部を介して伝達し、ローターを所定の方向に回転させるものである。   The piezoelectric motor is a driving device having a piezoelectric element that converts a driving voltage such as a high-frequency AC voltage into mechanical vibration and a driven body that is driven by the piezoelectric element. As a form of this piezoelectric motor, a piezoelectric motor using a rotor or a longitudinal member as a driven body is known (see, for example, Patent Documents 1 and 2). The piezoelectric motor transmits bending vibration of a piezoelectric element via a convex portion protruding from a vibrating body including the piezoelectric element, and rotates the rotor in a predetermined direction.

このような圧電モーターの用途として、近年、ロボットハンド(ロボット)の駆動手段としての用途が注目されている。ロボットハンドは、精密かつ正確な動作を必要とするため、ロボットハンドの駆動手段として用いられる圧電モーターでは、ローターの回転速度が安定していることが求められる。   In recent years, attention has been paid to use of such a piezoelectric motor as a driving means of a robot hand (robot). Since a robot hand requires a precise and accurate operation, a piezoelectric motor used as a robot hand drive means is required to have a stable rotor rotation speed.

特許文献1に記載の圧電モーターでは、振動体の各電極への通電パターンの選択により振動体の振動パターンを変更して、振動体の凸部の振動の方向を変え、これにより、ローターを正方向と逆方向(反時計回りと時計回り)のいずれの方向にも回転させることができるように構成されている。また、特許文献1に記載の圧電モーターでは、コイルバネにより振動体を長手形状の被駆動体に向けて付勢し、特許文献2に記載の圧電モーターでは、板バネにより振動体をローターに向けて付勢している。   In the piezoelectric motor described in Patent Document 1, the vibration pattern of the vibrating body is changed by selecting the energization pattern to each electrode of the vibrating body to change the direction of vibration of the convex portion of the vibrating body, thereby correcting the rotor. It is configured such that it can be rotated in either direction (counterclockwise or clockwise). Further, in the piezoelectric motor described in Patent Document 1, the vibrating body is biased toward the longitudinal driven body by a coil spring, and in the piezoelectric motor described in Patent Document 2, the vibrating body is directed toward the rotor by a plate spring. Energized.

特開2013−230018号公報JP 2013-230018 A 特許3719061号公報Japanese Patent No. 3719061

しかしながら、特許文献1に記載の圧電モーターでは、コイルバネにより振動体が長手形状の被駆動体に向けて付勢されているので、その振動体が不安定で、ガタツキがあり、このため、十分な振動特性が得られないという問題があった。   However, in the piezoelectric motor described in Patent Document 1, the vibrating body is biased toward the driven body having a long shape by the coil spring, so that the vibrating body is unstable and has a backlash. There was a problem that vibration characteristics could not be obtained.

また、特許文献2に記載の圧電モーターでは、特許文献1のような駆動を行ってローターを正逆両方向に回転可能にした場合、圧電モーターを駆動していないときのブレーキ力として、ローターの正方向の回転に対するブレーキ力と、逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じてしまうという問題があった。   In addition, in the piezoelectric motor described in Patent Document 2, when the driving is performed as in Patent Document 1 so that the rotor can be rotated in both forward and reverse directions, the normal force of the rotor is used as a braking force when the piezoelectric motor is not driven. There is a problem that a difference occurs between the braking force with respect to the rotation in the direction and the braking force with respect to the rotation in the reverse direction.

本発明の目的は、振動体を安定させることができ、十分な振動特性が得られ、また、被駆動体の正方向と逆方向の回転に対するブレーキ力に差が生じることを抑制することができきる圧電モーター提供することである。   An object of the present invention is to stabilize a vibrating body, to obtain sufficient vibration characteristics, and to suppress a difference in braking force with respect to rotation of a driven body in the forward direction and the reverse direction. It is to provide a piezoelectric motor.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

(適用例1)
本発明に係わる圧電モーターは、回転可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を回転させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ第1の直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分と前記被駆動体の回転中心とを結ぶ第2の直線に直交する第3の直線とのなす角度θ1が、5°以下であることを特徴とする。
(Application example 1)
A piezoelectric motor according to the present invention includes a contact portion that contacts a driven body that is rotatably provided, and a piezoelectric element that is provided on a side opposite to the driven body of the contact portion, and the piezoelectric element A vibrating body that vibrates by applying a voltage to the driven body and rotates the driven body by applying a force to the driven body;
A holding unit for holding the vibrating body so as to vibrate;
The base,
A pair of elastic bodies that connect the holding portion and the base and urge the contact portion toward the driven body via the holding portion;
A first straight line connecting a first portion fixed to the base of the elastic body and a second portion fixed to the holding portion of the elastic body, and the contact portion of the driven body An angle θ1 formed by a third straight line orthogonal to a second straight line connecting the contact portion and the rotation center of the driven body is 5 ° or less.

これにより、振動体のガタツキ等を抑制し、振動体を安定させることができ、十分な振動特性が得られる。   Thereby, rattling of the vibrating body can be suppressed, the vibrating body can be stabilized, and sufficient vibration characteristics can be obtained.

また、圧電モーターを駆動していないときのブレーキ力として、被駆動体の正方向の回転に対するブレーキ力と、被駆動体の逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じることを抑制することができる。   In addition, as a braking force when the piezoelectric motor is not driven, it is possible to suppress a difference between a braking force with respect to the forward rotation of the driven body and a braking force with respect to the reverse rotation of the driven body. it can.

(適用例2)
本発明に係わる圧電モーターでは、前記第1の直線と前記第3の直線とは、平行であることが好ましい。
(Application example 2)
In the piezoelectric motor according to the present invention, it is preferable that the first straight line and the third straight line are parallel to each other.

これにより、被駆動体の正方向の回転に対するブレーキ力と、被駆動体の逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じることを抑制する効果を向上させることができる。   Thereby, the effect which suppresses that a difference arises in the braking force with respect to the rotation of a to-be-driven body to the forward direction and the braking force with respect to the rotation of a to-be-driven body to the reverse direction can be improved.

(適用例3)
本発明に係わる圧電モーターでは、前記被駆動体は、横断面形状が円形状であることが好ましい。
これにより、被駆動体を円滑に回転させることができる。
(Application example 3)
In the piezoelectric motor according to the present invention, it is preferable that the driven body has a circular cross section.
Thereby, a to-be-driven body can be rotated smoothly.

(適用例4)
本発明に係わる圧電モーターは、移動可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を移動させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分の移動方向とのなす角度θ2が、5°以下であることを特徴とする。
(Application example 4)
A piezoelectric motor according to the present invention includes a contact portion that contacts a driven body that is movably provided, and a piezoelectric element that is provided on the opposite side of the contact portion from the driven body. A vibrating body that vibrates by applying a voltage to the movable body and moves the driven body by applying a force to the driven body;
A holding unit for holding the vibrating body so as to vibrate;
The base,
A pair of elastic bodies that connect the holding portion and the base and urge the contact portion toward the driven body via the holding portion;
A contact portion between a straight line connecting the first portion fixed to the base of the elastic body and the second portion fixed to the holding portion of the elastic body and the contact portion of the driven body The angle θ2 formed with the moving direction is 5 ° or less.

これにより、振動体のガタツキ等を抑制し、振動体を安定させることができ、十分な振動特性が得られる。   Thereby, rattling of the vibrating body can be suppressed, the vibrating body can be stabilized, and sufficient vibration characteristics can be obtained.

また、圧電モーターを駆動していないときのブレーキ力として、被駆動体の正方向の移動に対するブレーキ力と、被駆動体の逆方向の移動に対するブレーキ力とに差が生じることを抑制することができる。   Further, as a braking force when the piezoelectric motor is not driven, it is possible to suppress a difference between a braking force for the forward movement of the driven body and a braking force for the reverse movement of the driven body. it can.

(適用例5)
本発明に係わる圧電モーターでは、前記直線と前記移動方向とは、平行であることが好ましい。
(Application example 5)
In the piezoelectric motor according to the present invention, it is preferable that the straight line and the moving direction are parallel to each other.

これにより、被駆動体の正方向の移動に対するブレーキ力と、被駆動体の逆方向の移動に対するブレーキ力とに差が生じることを抑制する効果を向上させることができる。   Thereby, the effect which suppresses that a difference arises in the braking force with respect to the movement of a to-be-driven body to the forward direction, and the braking force with respect to the movement of a to-be-driven body to the reverse direction can be improved.

(適用例6)
本発明に係わる圧電モーターでは、前記被駆動体は、横断面形状が長手形状であることが好ましい。
これにより、被駆動体を円滑に移動させることができる。
(Application example 6)
In the piezoelectric motor according to the present invention, the driven body preferably has a longitudinal cross-sectional shape.
Thereby, the driven body can be moved smoothly.

(適用例7)
本発明に係わる圧電モーターでは、前記弾性体は、板バネであることが好ましい。
(Application example 7)
In the piezoelectric motor according to the present invention, it is preferable that the elastic body is a leaf spring.

これにより、振動体のガタツキ等を抑制し、振動体を安定させる効果を向上させることができる。   Thereby, the rattling etc. of a vibrating body can be suppressed and the effect of stabilizing a vibrating body can be improved.

(適用例8)
本発明に係わる圧電モーターでは、前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体に対して接触および離間するような第1楕円軌跡を描くように振動する第1振動モードと、
前記接触部が前記第1楕円軌跡とは方向が逆であり、前記被駆動体に対して接触および離間するような第2楕円軌跡を描くように振動する第2振動モードとを、有することが好ましい。
(Application example 8)
In the piezoelectric motor according to the present invention, the vibrating body vibrates so as to draw a first elliptical locus such that the contact portion contacts and separates from the driven body;
The contact portion has a second vibration mode having a direction opposite to that of the first elliptical locus and oscillating so as to draw a second elliptical locus so as to contact and separate from the driven body. preferable.

これにより、圧電モーターを用いた装置における駆動パターンを増加させることができ、また、圧電モーターの用途を拡大することができる。   Thereby, the drive pattern in the apparatus using a piezoelectric motor can be increased, and the use of a piezoelectric motor can be expanded.

(適用例9)
前記被駆動体を有することが好ましい。
(Application example 9)
It is preferable to have the driven body.

これにより、別途被駆動体を用意することなく、被駆動体付の圧電モーターを提供することができ、被駆動体を含む圧電モーターの組み付け作業を容易に行うことができる。   Thereby, a piezoelectric motor with a driven body can be provided without preparing a driven body separately, and the assembly work of the piezoelectric motor including the driven body can be easily performed.

本発明の圧電モーターの第1実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows 1st Embodiment of the piezoelectric motor of this invention. 図1中のA−A線での断面図である。It is sectional drawing in the AA line in FIG. 図1に示す圧電モーターの振動体の斜視図である。It is a perspective view of the vibrating body of the piezoelectric motor shown in FIG. 図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。It is a figure of the vibrating body for demonstrating operation | movement of the piezoelectric motor shown in FIG. 図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。It is a figure of the vibrating body for demonstrating operation | movement of the piezoelectric motor shown in FIG. 図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。It is a figure of the vibrating body for demonstrating operation | movement of the piezoelectric motor shown in FIG. 図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。It is a figure of the vibrating body for demonstrating operation | movement of the piezoelectric motor shown in FIG. 図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。It is a figure of the vibrating body for demonstrating operation | movement of the piezoelectric motor shown in FIG. 本発明と異なる圧電モーターの停止時の状態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the state at the time of the stop of the piezoelectric motor different from this invention. 本発明の圧電モーターの第2実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows 2nd Embodiment of the piezoelectric motor of this invention.

以下、本発明の圧電モーターを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, a piezoelectric motor of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

<第1実施形態>
図1は、本発明の圧電モーターの第1実施形態を示す平面図である。図2は、図1中のA−A線での断面図である。図3は、図1に示す圧電モーターの振動体の斜視図である。図4は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図5は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図6は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図7は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図8は、図1に示す圧電モーターの動作を説明するための振動体の図である。図9は、本発明と異なる圧電モーターの停止時の状態を説明するための図である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of the piezoelectric motor of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 3 is a perspective view of the vibrating body of the piezoelectric motor shown in FIG. FIG. 4 is a diagram of a vibrating body for explaining the operation of the piezoelectric motor shown in FIG. FIG. 5 is a diagram of a vibrating body for explaining the operation of the piezoelectric motor shown in FIG. FIG. 6 is a diagram of a vibrating body for explaining the operation of the piezoelectric motor shown in FIG. FIG. 7 is a diagram of a vibrating body for explaining the operation of the piezoelectric motor shown in FIG. FIG. 8 is a diagram of a vibrating body for explaining the operation of the piezoelectric motor shown in FIG. FIG. 9 is a diagram for explaining a state when the piezoelectric motor is stopped different from the present invention.

なお、以下では、説明の都合上、図2、図3中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。   In the following, for convenience of explanation, the upper side in FIGS. 2 and 3 is referred to as “upper” or “upper”, and the lower side is referred to as “lower” or “lower”.

また、図1〜図8には、互いに直交する3つの軸として、x軸、y軸およびz軸が図示されている。x軸に平行な方向を「x軸方向」、y軸に平行な方向を「y軸方向」、z軸に平行な方向を「z軸方向」という。また、x軸とy軸で規定される平面を「zy平面」と言い、y軸とz軸で規定される平面を「yz平面」と言い、z軸とx軸で規定される平面を「xz平面」と言う。また、x方向、x方向およびz方向において、矢印先端側を「+(正)側」、矢印基端側を「−(負)側」とする(第2実施形態の図10も同様)。   1 to 8 show the x axis, the y axis, and the z axis as three axes orthogonal to each other. A direction parallel to the x-axis is referred to as “x-axis direction”, a direction parallel to the y-axis is referred to as “y-axis direction”, and a direction parallel to the z-axis is referred to as “z-axis direction”. A plane defined by the x axis and the y axis is referred to as a “zy plane”, a plane defined by the y axis and the z axis is referred to as a “yz plane”, and a plane defined by the z axis and the x axis is referred to as “ xz plane ". Further, in the x direction, the x direction, and the z direction, the arrow tip side is defined as “+ (positive) side” and the arrow base end side is defined as “− (negative) side” (the same applies to FIG. 10 of the second embodiment).

また、図9では、すべての部材ではなく、説明に必要な部材を図示し、また、図9(b)、図9(d)では、理解を容易にするため、板バネの変形を極端に図示している。   Further, in FIG. 9, not all members but members necessary for explanation are illustrated, and in FIG. 9 (b) and FIG. 9 (d), the deformation of the leaf spring is extremely reduced for easy understanding. It is shown.

――基本構成――
圧電モーター1は、電圧の印加により振動する振動体2を有する振動部10と、回転可能な円盤状のローター(被駆動体)5と、振動部10とローター5とを支持する支持体6とを有している。なお、ローター5は、換言すれば、横断面形状が円形状の被駆動体である。
-Basic configuration-
The piezoelectric motor 1 includes a vibrating portion 10 having a vibrating body 2 that vibrates by application of a voltage, a rotatable disk-shaped rotor (driven body) 5, and a support 6 that supports the vibrating portion 10 and the rotor 5. have. In other words, the rotor 5 is a driven body having a circular cross section.

圧電モーター1は、振動体2が振動することにより、ローター5に動力(駆動力)を伝達して回転(駆動)させる装置である。以下、圧電モーター1が有する各部について順次説明する。   The piezoelectric motor 1 is a device that transmits power (driving force) to the rotor 5 to rotate (drive) by vibrating the vibrating body 2. Hereinafter, each part which the piezoelectric motor 1 has is demonstrated sequentially.

――振動部10――
振動部10は、振動体2と、振動体2を振動可能に保持する保持部(保持機構)3と、基台4と、保持部3と基台4とを連結し、保持部3を介して振動体2の後述する凸部26をローター5に向けて付勢する1対の板バネ(弾性体)71、72とを備えている。
--Vibrating part 10--
The vibrating unit 10 connects the vibrating body 2, the holding unit (holding mechanism) 3 that holds the vibrating body 2 so as to be able to vibrate, the base 4, the holding unit 3, and the base 4. And a pair of leaf springs (elastic bodies) 71 and 72 for urging a later-described convex portion 26 of the vibrating body 2 toward the rotor 5.

――振動体2――
振動体2は、長方形の板状をなし、図2および図3の上側から4つの電極21a、21b、21cおよび21dと、板状の圧電素子22と、凸部(接触部)26および4つの連結部27を有する振動板である補強板(シム)23と、板状の圧電素子24と、4つの電極25a、25b、25cおよび25d(図3中、電極25aおよび25bは、図示せず、各符号のみを括弧内に示す)とをこの順に積層して構成されている。なお、図2および図3では、厚さ方向を誇張して示している。
--Vibrating body 2--
The vibrating body 2 has a rectangular plate shape, and includes four electrodes 21a, 21b, 21c and 21d, a plate-like piezoelectric element 22, a convex portion (contact portion) 26, and four pieces from the upper side of FIGS. A reinforcing plate (shim) 23 that is a diaphragm having a connecting portion 27, a plate-like piezoelectric element 24, and four electrodes 25a, 25b, 25c and 25d (in FIG. 3, the electrodes 25a and 25b are not shown) Only the reference numerals are shown in parentheses) in this order. In FIGS. 2 and 3, the thickness direction is exaggerated.

この振動体2は、電圧の印加により圧電素子22および24が変形することにより振動して、凸部26を介してローター5に動力を伝達して、ローター5を回転させる。   The vibrating body 2 vibrates when the piezoelectric elements 22 and 24 are deformed by application of voltage, and transmits power to the rotor 5 via the convex portion 26 to rotate the rotor 5.

圧電素子22および24は、それぞれ、長方形状をなし、補強板23の両面にそれぞれ固着されている。   The piezoelectric elements 22 and 24 each have a rectangular shape, and are fixed to both surfaces of the reinforcing plate 23.

これらの圧電素子22および24は、電圧を印加することにより、その長手方向に伸長または収縮し、電圧の印加を中止することにより、元の形状に戻る。   The piezoelectric elements 22 and 24 expand or contract in the longitudinal direction when a voltage is applied, and return to their original shapes when the voltage application is stopped.

圧電素子22および24の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、チタン酸ジルコニウム酸鉛(PZT)、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。   The constituent materials of the piezoelectric elements 22 and 24 are not particularly limited, respectively. Lead zirconate titanate (PZT), crystal, lithium niobate, barium titanate, lead titanate, lead metaniobate, polyvinylidene fluoride, zinc Various materials such as lead niobate and lead scandium niobate can be used.

この圧電素子22の上面には、この上面を4つの長方形の領域にほぼ等しく分割し、分割された各領域に、それぞれ、長方形状をなす電極21a、21b、21cおよび21dが設置されている。同様に、圧電素子24の下面には、この下面を4つの長方形の領域にほぼ等しく分割し、分割された各領域に、それぞれ、長方形状をなす電極25a、25b、25cおよび25dが設置されている。   On the upper surface of the piezoelectric element 22, the upper surface is divided into four rectangular areas approximately equally, and rectangular electrodes 21 a, 21 b, 21 c, and 21 d are provided in each of the divided areas. Similarly, on the lower surface of the piezoelectric element 24, the lower surface is substantially equally divided into four rectangular regions, and rectangular electrodes 25a, 25b, 25c, and 25d are respectively installed in the divided regions. Yes.

なお、電極21aと電極25a、電極21bと電極25b、電極21cと電極25c、および、電極21dと電極25dが、それぞれ、振動体2の厚さ方向に対向して配置されている。   Note that the electrode 21a and the electrode 25a, the electrode 21b and the electrode 25b, the electrode 21c and the electrode 25c, and the electrode 21d and the electrode 25d are arranged to face each other in the thickness direction of the vibrating body 2.

図3に示すように、一方の対角線上の電極21aおよび21cと、これらの裏側に位置する電極25aおよび25cとは、すべて電気的に接続されている。同様に、他方の対角線上の電極21bおよび21dと、これらの裏側に位置する電極25bおよび25dとは、すべて電気的に接続されている。   As shown in FIG. 3, the electrodes 21a and 21c on one diagonal line and the electrodes 25a and 25c located on the back side of these electrodes are all electrically connected. Similarly, the electrodes 21b and 21d on the other diagonal line and the electrodes 25b and 25d located on the back side thereof are all electrically connected.

補強板23は、振動体2全体を補強する機能を有しており、振動体2が過振幅、外力等によって損傷するのを防止する。補強板23の構成材料としては、特に限定されないが、例えばステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金、チタンまたはチタン合金、銅または銅系合金等の各種金属材料であるのが好ましい。   The reinforcing plate 23 has a function of reinforcing the entire vibrating body 2 and prevents the vibrating body 2 from being damaged by over-amplitude, external force, or the like. The constituent material of the reinforcing plate 23 is not particularly limited, but for example, various metal materials such as stainless steel, aluminum or aluminum alloy, titanium or titanium alloy, copper or copper alloy are preferable.

この補強板23は、圧電素子22および24よりも厚さが薄い(小さい)ものであることが好ましい。これにより、振動体2を高い効率で振動させることができる。   The reinforcing plate 23 is preferably thinner (smaller) than the piezoelectric elements 22 and 24. Thereby, the vibrating body 2 can be vibrated with high efficiency.

また、補強板23は、接地(グランド電位に接続)されており、圧電素子22および24に対する共通の電極としての機能をも有している。すなわち、圧電素子22には、電極21a、21b、21cおよび21dのうちの所定の電極と、補強板23とによって電圧が印加され、圧電素子24には、電極25a、25b、25cおよび25dのうちの所定の電極と、補強板23とによって電圧が印加される。   The reinforcing plate 23 is grounded (connected to the ground potential), and also has a function as a common electrode for the piezoelectric elements 22 and 24. That is, a voltage is applied to the piezoelectric element 22 by a predetermined electrode among the electrodes 21a, 21b, 21c, and 21d and the reinforcing plate 23, and the piezoelectric element 24 is selected from the electrodes 25a, 25b, 25c, and 25d. A voltage is applied by the predetermined electrode and the reinforcing plate 23.

なお、補強板23を圧電素子22および24に対する共通電極として用いずに、例えば、補強板23と圧電素子22との間および補強板23と圧電素子24との間に、それぞれ圧電素子22および圧電素子24に対する共通電極をさらに設けてもよい。   The reinforcing plate 23 is not used as a common electrode for the piezoelectric elements 22 and 24. For example, between the reinforcing plate 23 and the piezoelectric element 22 and between the reinforcing plate 23 and the piezoelectric element 24, the piezoelectric element 22 and the piezoelectric element, respectively. A common electrode for the element 24 may be further provided.

また、補強板23の長手方向の一端部(ローター5側の端部)には、凸部26が一体的に形成されている。換言すれば、圧電素子22、24は、それぞれ、凸部26のローター5と反対側に設けられている。   Further, a convex portion 26 is integrally formed at one end portion in the longitudinal direction of the reinforcing plate 23 (end portion on the rotor 5 side). In other words, each of the piezoelectric elements 22 and 24 is provided on the opposite side of the convex portion 26 from the rotor 5.

凸部26は、振動体2の幅方向中央に位置しており、その先端が平面視で半円状をなしている。なお、凸部26の形状や位置は、これに限定されないことは、言うまでもない。   The convex part 26 is located in the center of the vibrating body 2 in the width direction, and the tip thereof has a semicircular shape in plan view. Needless to say, the shape and position of the convex portion 26 are not limited to this.

この凸部26は、振動体2が振動することによりローター5に当接したり、ローター5から離間したりする。   The convex portion 26 abuts on the rotor 5 or moves away from the rotor 5 when the vibrating body 2 vibrates.

また、補強板23の4箇所には、それぞれ、振動体2を振動可能に、補強板23を保持部3に連結する連結部27が一体的に形成されている。各連結部27は、補強板23の図1中右側の2箇所と、左側の2箇所とに、互いに線対称となるように配置されている。   Further, at four positions of the reinforcing plate 23, connecting portions 27 for connecting the reinforcing plate 23 to the holding portion 3 are integrally formed so that the vibrating body 2 can vibrate. Each connecting portion 27 is arranged so as to be line-symmetric with each other at two places on the right side of the reinforcing plate 23 in FIG. 1 and two places on the left side.

――保持部――
保持部3は、振動体2の振動を阻害しないように構成され、振動体2を振動可能に保持している。この保持部3は、互いに離間するように配置された1対の支柱31、32と、支柱31の上側の端部と支柱32の下側の端部とを連結する連結部33とを有している。
-Holding part-
The holding unit 3 is configured so as not to hinder the vibration of the vibrating body 2 and holds the vibrating body 2 so as to be able to vibrate. The holding portion 3 includes a pair of support columns 31 and 32 arranged so as to be separated from each other, and a connecting portion 33 that connects an upper end portion of the support column 31 and a lower end portion of the support column 32. ing.

振動体2は、支柱31と支柱32との間に配置され、図1中左側の2つの連結部27がそれぞれネジ115、117で支柱31に固定され、図1中右側の2つの連結部27がそれぞれネジ116、118で支柱32に固定されている。   The vibrating body 2 is disposed between the support column 31 and the support column 32, and the two connection portions 27 on the left side in FIG. 1 are fixed to the support column 31 with screws 115 and 117, respectively, and the two connection portions 27 on the right side in FIG. Are fixed to the column 32 by screws 116 and 118, respectively.

保持部3の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種金属材料、各種セラミック材料等を用いることができる。   The constituent material of the holding unit 3 is not particularly limited, and for example, various metal materials, various ceramic materials, and the like can be used.

――基台――
基台4は、振動体2を保持した保持部3を1対の板バネ71、72を介して支持し、支持体6に固定されている。基台4の形状は、特に限定されないが、本実施形態では、横断面の形状が略四角形である棒状、すなわち、一方向に長い略直方体をなしている。
-Base-
The base 4 supports the holding unit 3 holding the vibrating body 2 via a pair of leaf springs 71 and 72 and is fixed to the support 6. The shape of the base 4 is not particularly limited, but in the present embodiment, the shape of the cross section is a rod having a substantially rectangular shape, that is, a substantially rectangular parallelepiped that is long in one direction.

1対の板バネ71、72は、互いに離間しており、保持部3の全体を挟んだ状態で、その保持部3と基台4とを連結している。この場合、板バネ71の一方(図1中左側)の端部である第1部分711が、基台4の上側の端部にネジ111で固定され、板バネ71の他方(図1中右側)の端部である第2部分712が、保持部3の支柱31の上側の端部にネジ112で固定されている。同様に、板バネ72の一方(図1中左側)の端部である第1部分721が、基台4の下側の端部にネジ113で固定され、板バネ72の他方(図1中右側)の端部である第2部分722が、保持部3の支柱32の下側の端部にネジ114で固定されている。   The pair of leaf springs 71 and 72 are separated from each other, and connect the holding unit 3 and the base 4 with the entire holding unit 3 sandwiched therebetween. In this case, the first portion 711 which is one end (left side in FIG. 1) of the leaf spring 71 is fixed to the upper end of the base 4 with the screw 111, and the other end (right side in FIG. 1) of the leaf spring 71. ) Is fixed to the upper end of the support column 31 of the holding unit 3 with a screw 112. Similarly, a first portion 721 that is one end (left side in FIG. 1) of the leaf spring 72 is fixed to the lower end of the base 4 with a screw 113, and the other end of the leaf spring 72 (in FIG. 1). A second portion 722 which is an end portion on the right side) is fixed to the lower end portion of the support column 32 of the holding portion 3 with a screw 114.

そして、板バネ71、72は、それぞれ、弾性変形し、振動体2を保持している保持部3をローター5に向けて付勢している。すなわち、板バネ71、72は、それぞれ、保持部3を介して振動体2の凸部26をローター5に向けて付勢している。これにより、振動体2によるローター5への動力伝達を効率良く行うことができる。   The leaf springs 71 and 72 are elastically deformed and urge the holding portion 3 holding the vibrating body 2 toward the rotor 5. That is, the leaf springs 71 and 72 urge the convex portion 26 of the vibrating body 2 toward the rotor 5 via the holding portion 3. Thereby, the power transmission to the rotor 5 by the vibrating body 2 can be performed efficiently.

また、板バネ71、72の形状は、それぞれ特に限定されないが、本実施形態では、S字状をなしている。なお、板バネ71、72は、それぞれ、外力が付与されていない自然状態で平板状をなし、取り付けられて弾性変形した状態でS字状をなすようなものでもよく、また、外力が付与されていない自然状態でもS字状をなすようなものでもよい。   Further, the shape of the leaf springs 71 and 72 is not particularly limited, but in the present embodiment, it has an S shape. Each of the leaf springs 71 and 72 may have a flat plate shape in a natural state where no external force is applied, and may have an S-shape when attached and elastically deformed. Even if it is not in a natural state, it may be S-shaped.

また、板バネ71と板バネ72とは、互いの長さが等しく設定されている。また、板バネ71と板バネ72とは、互いに平行に配置されている。すなわち、板バネ71の第1部分711と第2部分712とを結ぶ直線(第1の直線)91と、板バネ72の第1部分721と第2部分722とを結ぶ直線(第1の直線)94とが平行である。   Further, the leaf spring 71 and the leaf spring 72 are set to have the same length. Further, the leaf spring 71 and the leaf spring 72 are arranged in parallel to each other. That is, a straight line (first straight line) 91 connecting the first portion 711 and the second portion 712 of the leaf spring 71 and a straight line (first straight line) connecting the first portion 721 and the second portion 722 of the leaf spring 72. 94) is parallel to 94.

また、図2に示すように、板バネ71の振動体2の凸部26と対面する位置に、凸部26よりも大きい貫通孔713が設けられており、凸部26が楕円運動を行っても、凸部26が板バネ71と干渉しないようになっている。   Further, as shown in FIG. 2, a through hole 713 larger than the convex portion 26 is provided at a position facing the convex portion 26 of the vibrating body 2 of the leaf spring 71, and the convex portion 26 performs elliptical motion. Also, the convex portion 26 does not interfere with the leaf spring 71.

このように、1対の板バネ71、72を用いることにより、圧電モーター1の幅方向(振動体2の屈曲方向)の寸法を小さくすることができ、これにより、圧電モーター1を小型化することができる。また、振動体2のガタツキ等を抑制し、振動体2を安定させることができ、十分な振動特性が得られる。   As described above, by using the pair of leaf springs 71 and 72, the dimension of the piezoelectric motor 1 in the width direction (the bending direction of the vibrating body 2) can be reduced, thereby reducing the size of the piezoelectric motor 1. be able to. Further, rattling or the like of the vibrating body 2 can be suppressed, the vibrating body 2 can be stabilized, and sufficient vibration characteristics can be obtained.

――ローター――
このような構成の振動部10のX軸方向前方には、ローター5が配置されている。
--rotor--
The rotor 5 is disposed in front of the vibration unit 10 having such a configuration in the X-axis direction.

ローター5は、支持体6に立設された棒状の軸部51を回転中心として、正方向(時計回り)およびその逆方向である負方向(反時計回り)に回転可能に保持されている。   The rotor 5 is held so as to be rotatable in the forward direction (clockwise) and in the negative direction (counterclockwise) that is the opposite direction, with a rod-shaped shaft portion 51 erected on the support 6 as a rotation center.

そして、このようなローター5の外周面52に、振動体2が振動することによって、凸部26が繰り返し当接する。
以上、圧電モーター1の基本的な構成について説明した。
And the convex part 26 contact | abuts repeatedly on the outer peripheral surface 52 of such a rotor 5 because the vibrating body 2 vibrates.
The basic configuration of the piezoelectric motor 1 has been described above.

――駆動――
次に、圧電モーター1の動作について説明する。
--Drive--
Next, the operation of the piezoelectric motor 1 will be described.

圧電モーター1は、一定周期で振動体に2に正電圧を印加することで、凸部26が楕円軌道を描くように振動体2を振動させ、この振動によってローター5を回転する。以下、凸部26が楕円軌道を描く理由を図4〜図8に基づいて説明する。   The piezoelectric motor 1 applies a positive voltage to the vibrating body 2 at a constant period to vibrate the vibrating body 2 so that the convex portion 26 draws an elliptical orbit, and rotates the rotor 5 by this vibration. Hereinafter, the reason why the convex portion 26 draws an elliptical orbit will be described with reference to FIGS.

――凸部の動き――
圧電素子22および24は、前述したように、正電圧の印加と解除とを繰り返す(一定の周期で正電荷が印加される)ことで、その長手方向に伸長する動作と元の形状に戻る動作(伸張している状態から収縮する動作)とを繰り返す。そのため、電極21a、21b、21c、21d、25a、25b、25cおよび25dに一定周期で通電し、これら電極21a、21b、21c、21d、25a、25b、25cおよび25dと、補強板23との間に一定周期で正電圧が印加されると、圧電素子22および24は収縮および伸長を繰り返す。
-Movement of convex part-
As described above, the piezoelectric elements 22 and 24 repeat the application and release of a positive voltage (a positive charge is applied at a constant period) so that the piezoelectric elements 22 and 24 extend in the longitudinal direction and return to the original shape. (The operation of contracting from the stretched state) is repeated. Therefore, the electrodes 21a, 21b, 21c, 21d, 25a, 25b, 25c and 25d are energized at a constant cycle, and between these electrodes 21a, 21b, 21c, 21d, 25a, 25b, 25c and 25d and the reinforcing plate 23 When a positive voltage is applied to the piezoelectric element 22 at a constant period, the piezoelectric elements 22 and 24 repeat contraction and expansion.

これらの伸長および収縮に伴って、振動体2全体は、XY平面内で、図4(a)(b)に示すような伸縮振動(縦振動)をする。   Along with these expansion and contraction, the entire vibrating body 2 performs stretching vibration (longitudinal vibration) as shown in FIGS. 4A and 4B in the XY plane.

また、電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなり、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数(共振周波数)は、振動体2の物性と、振動体2の寸法(幅W、長さL、厚さT)等の諸条件によって決定される。   Further, when the frequency at which the voltage is applied is changed, the amount of expansion / contraction suddenly increases when a certain frequency is reached, and a kind of resonance phenomenon occurs. The frequency at which resonance occurs due to stretching vibration (resonance frequency) is determined by various conditions such as the physical properties of the vibrating body 2 and the dimensions (width W, length L, thickness T) of the vibrating body 2.

一方、電極21a、21c、25aおよび25cに一定周期で通電し、これら電極21a、21c、25aおよび25cと、補強板23との間に一定周期で正電圧が印加されると、圧電素子22の電極21aおよび21cに対応する部分と、圧電素子24の電極25aおよび25cに対応する部分とが、収縮および伸長を繰り返す。   On the other hand, when the electrodes 21a, 21c, 25a and 25c are energized at a constant cycle and a positive voltage is applied between the electrodes 21a, 21c, 25a and 25c and the reinforcing plate 23 at a constant cycle, the piezoelectric element 22 The portion corresponding to the electrodes 21a and 21c and the portion corresponding to the electrodes 25a and 25c of the piezoelectric element 24 repeat contraction and expansion.

これに対して、電極21b、21d、25bおよび25dは通電されていないため、圧電素子22の電極21bおよび21dに対応する部分と、圧電素子24の電極25bおよび25dに対応する部分とは、伸縮したり伸長したりはしない。   On the other hand, since the electrodes 21b, 21d, 25b and 25d are not energized, the portion corresponding to the electrodes 21b and 21d of the piezoelectric element 22 and the portion corresponding to the electrodes 25b and 25d of the piezoelectric element 24 expand and contract. Do not stretch or stretch.

このような伸長および伸縮に伴って、振動体2全体は、XY平面内で、図5(a)(b)に示すような屈曲振動をする。   Along with such expansion and contraction, the entire vibrator 2 vibrates as shown in FIGS. 5A and 5B in the XY plane.

また、電極21b、21d、25bおよび25dに一定周期で通電し、これら電極21b、21d、25bおよび25d、補強板23との間に一定周期で正電圧が印加されると、圧電素子22の電極21bおよび21dに対応する部分と、圧電素子24の電極25bおよび25dに対応する部分とが、収縮および伸長を繰り返す。   Further, when the electrodes 21b, 21d, 25b and 25d are energized at a constant cycle, and a positive voltage is applied between these electrodes 21b, 21d, 25b and 25d and the reinforcing plate 23, the electrodes of the piezoelectric element 22 The portions corresponding to 21b and 21d and the portions corresponding to the electrodes 25b and 25d of the piezoelectric element 24 repeat contraction and expansion.

これに対して、電極21a、21c、25aおよび25cは通電されていないため、圧電素子22の電極21aおよび21cに対応する部分と、圧電素子24の電極25aおよび25cに対応する部分とは、伸縮したり伸長したりはしない。   On the other hand, since the electrodes 21a, 21c, 25a and 25c are not energized, the portion corresponding to the electrodes 21a and 21c of the piezoelectric element 22 and the portion corresponding to the electrodes 25a and 25c of the piezoelectric element 24 expand and contract. Do not stretch or stretch.

このような伸長および伸縮に伴って、振動体2全体は、XY平面内で、図6(a)(b)に示すような屈曲振動をする。   Along with such expansion and contraction, the entire vibrator 2 undergoes bending vibration as shown in FIGS. 6A and 6B in the XY plane.

なお、図5および図6に示す屈曲振動についても、振動体2の物性と、振動体2の寸法(幅W、長さL、厚さT)等の諸条件によって決まる共振周波数が存在する。   5 and 6 also has a resonance frequency determined by various properties such as the physical properties of the vibrating body 2 and the dimensions (width W, length L, thickness T) of the vibrating body 2.

上述したとおり、図4に示す伸縮振動の共振周波数も、図5または図6に示す屈曲振動の共振周波数も、振動体2の物性や、振動体2の寸法(幅W、長さL、厚さT)等によって決定される。したがって、振動体2の寸法(幅W、長さL、厚さT)を適切に選んでやれば共振周波数を一致または互いに接近させることができる。そして、そのような振動体2に対して、図5または図6に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図5または図6に示す屈曲振動が生じると同時に、図4に示す伸縮振動も誘起される。   As described above, both the resonance frequency of the stretching vibration shown in FIG. 4 and the resonance frequency of the bending vibration shown in FIG. 5 or 6 are the physical properties of the vibrating body 2 and the dimensions (width W, length L, thickness of the vibrating body 2). S) and the like. Therefore, if the dimensions (width W, length L, thickness T) of the vibrating body 2 are appropriately selected, the resonance frequencies can be matched or brought close to each other. When a voltage in the form of bending vibration as shown in FIG. 5 or 6 is applied to such a vibrating body 2 at the resonance frequency, the bending vibration shown in FIG. The stretching vibration shown in FIG.

その結果、図5に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体2は、図7に示すように、凸部26が矢印DL1(図面上で時計回り)の楕円軌道(第1楕円軌道)を描くよう振動する。このような振動を第1振動モードという。   As a result, when a voltage is applied in the mode shown in FIG. 5, the vibrating body 2 has an elliptical orbit (first elliptical orbit) having a convex portion 26 with an arrow DL1 (clockwise in the drawing) as shown in FIG. ) Vibrate to draw. Such vibration is referred to as a first vibration mode.

一方、図6に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体2は、図8に示すように、凸部26が矢印DR2(図面上で反時計回り)の楕円軌道(第2楕円軌道)を描くよう振動する。このような振動を第2振動モードという。   On the other hand, when a voltage is applied in the mode shown in FIG. 6, the vibrating body 2 has an elliptical orbit (second elliptical orbit) with the convex portion 26 having an arrow DR2 (counterclockwise in the drawing) as shown in FIG. ) Vibrate to draw. Such vibration is referred to as a second vibration mode.

なお、以上の説明では振動体2に正電圧を印加するものとして説明したが、圧電素子22および24は、負電圧を印加することによっても変形する。したがって、振動体2に負電圧を印加することによって屈曲振動(および伸縮振動)を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加することによって屈曲振動(および伸縮振動)を発生させても良い。   Although the above description has been made assuming that a positive voltage is applied to the vibrating body 2, the piezoelectric elements 22 and 24 are also deformed by applying a negative voltage. Therefore, bending vibration (and expansion / contraction vibration) may be generated by applying a negative voltage to the vibrating body 2, or bending vibration (and expansion / contraction) by applying an alternating voltage that repeats a positive voltage and a negative voltage. (Vibration) may be generated.

また、上述した説明では、共振周波数の電圧を印加するものとして説明したが、共振周波数を含んだ波形の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。   In the above description, the voltage having the resonance frequency is applied. However, it is sufficient to apply a voltage having a waveform including the resonance frequency. For example, a pulse voltage may be used.

――ローターの動き――
振動体2は、このような第1振動モードまたは第2振動モードを利用して、ローター5を回転させる。
--Rotor movement--
The vibrating body 2 rotates the rotor 5 using the first vibration mode or the second vibration mode.

具体的には、図7に示すように、第1振動モードで振動体2を振動させると、振動体2は、凸部26が矢印DL1の楕円軌道を描くよう振動するので、ローター5は、凸部26から受ける摩擦力によって図7中矢印SRで示すように反時計回りに回転する。   Specifically, as shown in FIG. 7, when the vibrating body 2 is vibrated in the first vibration mode, the vibrating body 2 vibrates so that the convex portion 26 draws an elliptical orbit indicated by the arrow DL <b> 1. The frictional force received from the convex portion 26 rotates counterclockwise as indicated by an arrow SR in FIG.

一方、図8に示すように、第2振動モードで振動体2を振動させると、振動体2は、図8に示すように、凸部26が矢印DR2の楕円軌道を描くよう振動するので、ローター5は、凸部26から受ける摩擦力によって図8中矢印SLで示すように時計回りに回転する。   On the other hand, as shown in FIG. 8, when the vibrating body 2 is vibrated in the second vibration mode, the vibrating body 2 vibrates so that the convex portion 26 draws an elliptical orbit indicated by the arrow DR2, as shown in FIG. The rotor 5 rotates clockwise as indicated by an arrow SL in FIG.

このようにしてローター5は、振動体2の振動によって時計回りまたは反時計回りに回転する。   In this way, the rotor 5 rotates clockwise or counterclockwise by the vibration of the vibrating body 2.

このような圧電モーター1では、補強板23(圧電素子22、24)の厚さ方向から見たとき、すなわち、ローター5の回転中心軸54の方向から見たとき、板バネ71の第1部分711と第2部分712とを結ぶ直線(第1の直線)91および板バネ72の第1部分721と第2部分722とを結ぶ直線(第1の直線)94と、ローター5の凸部26との当接部分(接点)53とローター5の回転中心50とを結ぶ直線(第2の直線)92に直交する直線(第3の直線)93とのなす角度θ1が、5°以下に設定されている。この角度θ1は、3°以下であることが好ましく、1°以下であることがより好ましく、0°であること、すなわち、直線91と直線93とが平行であることがさらに好ましい。なお、前記角度θ1が5°以下とは、その角度θ1が0°の場合、すなわち、直線91と直線93とが平行の場合も含まれる。   In such a piezoelectric motor 1, when viewed from the thickness direction of the reinforcing plate 23 (piezoelectric elements 22, 24), that is, when viewed from the direction of the rotation center axis 54 of the rotor 5, the first portion of the leaf spring 71. A straight line (first straight line) 91 that connects 711 and the second part 712, a straight line (first straight line) 94 that connects the first part 721 and the second part 722 of the leaf spring 72, and the convex portion 26 of the rotor 5. The angle θ1 formed by a straight line (third straight line) 93 orthogonal to a straight line (second straight line) 92 connecting the contact portion (contact point) 53 with the rotation center 50 of the rotor 5 is set to 5 ° or less. Has been. The angle θ1 is preferably 3 ° or less, more preferably 1 ° or less, and more preferably 0 °, that is, the straight line 91 and the straight line 93 are more preferably parallel. The angle θ1 of 5 ° or less includes the case where the angle θ1 is 0 °, that is, the case where the straight line 91 and the straight line 93 are parallel.

角度θ1が前記上限値よりも大きいと、圧電モーター1を駆動していないときのブレーキ力として、ローター5の正方向の回転に対するブレーキ力と、ローター5の逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じてしまう。以下、その理由を説明する。   If the angle θ1 is larger than the upper limit value, the braking force when the piezoelectric motor 1 is not driven is different between the braking force for the forward rotation of the rotor 5 and the braking force for the reverse rotation of the rotor 5. Will occur. The reason will be described below.

図9(a)に示すように、圧電モーター1が停止し、凸部26とローター5との間の摩擦力によりブレーキがかかっているとき、ローター5に対し、そのローター5を矢印121の方向に回転させる外力が加わると、ローター5から凸部26に矢印122の方向の力が加わり、これにより、振動体2を保持している保持部3に矢印122の方向の力が加わる。これにより、板バネ71は、図9(b)に示すように、屈曲する方向に弾性変形し、これによって、板バネ71の付勢力が減少し、ローター5を矢印121の方向に回転させることを阻止するブレーキ力が減少する。なお、板バネ72についても同様である。   As shown in FIG. 9A, when the piezoelectric motor 1 is stopped and the brake is applied by the frictional force between the convex portion 26 and the rotor 5, the rotor 5 is moved in the direction of the arrow 121 with respect to the rotor 5. When an external force is applied to the rotor 26, a force in the direction of the arrow 122 is applied from the rotor 5 to the convex portion 26, whereby a force in the direction of the arrow 122 is applied to the holding portion 3 holding the vibrating body 2. As a result, the leaf spring 71 is elastically deformed in the bending direction, as shown in FIG. 9B, thereby reducing the urging force of the leaf spring 71 and rotating the rotor 5 in the direction of the arrow 121. The braking force that prevents this is reduced. The same applies to the leaf spring 72.

一方、図9(c)に示すように、圧電モーター1が停止し、凸部26とローター5との間の摩擦力によりブレーキがかかっているとき、ローター5に対し、そのローター5を矢印123の方向に回転させる外力が加わると、ローター5から凸部26に矢印124の方向の力が加わり、これにより、振動体2を保持している保持部3に矢印124の方向の力が加わる。これにより、板バネ71は、図9(d)に示すように、伸長する方向に弾性変形し、これによって、板バネ71の付勢力が増大し、ローター5を矢印123の方向に回転させることを阻止するブレーキ力が増大する。なお、板バネ72についても同様である。   On the other hand, as shown in FIG. 9C, when the piezoelectric motor 1 is stopped and the brake is applied by the frictional force between the convex portion 26 and the rotor 5, the rotor 5 is moved to the arrow 123 with respect to the rotor 5. When an external force that rotates in the direction of is applied, a force in the direction of arrow 124 is applied from the rotor 5 to the convex portion 26, and thereby a force in the direction of arrow 124 is applied to the holding unit 3 that holds the vibrating body 2. As a result, the leaf spring 71 is elastically deformed in the extending direction as shown in FIG. 9 (d), thereby increasing the urging force of the leaf spring 71 and rotating the rotor 5 in the direction of the arrow 123. Increases the braking force to prevent The same applies to the leaf spring 72.

このようにして、ローター5の正方向の回転に対するブレーキ力と、ローター5の逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じる。   In this way, there is a difference between the braking force for the forward rotation of the rotor 5 and the braking force for the reverse rotation of the rotor 5.

但し、圧電モーター1では、角度θ1を前記のように設定するので、圧電モーター1を駆動していないときのブレーキ力として、ローター5の正方向の回転に対するブレーキ力と、ローター5の逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じることを抑制することができる。   However, in the piezoelectric motor 1, since the angle θ1 is set as described above, as a braking force when the piezoelectric motor 1 is not driven, a braking force against the forward rotation of the rotor 5 and a reverse direction of the rotor 5 are used. It is possible to suppress a difference from occurring in the braking force against rotation.

また、本実施形態では、板バネ71、72による振動体2の押圧方向(付勢方向)95と、直線91、94とは、直交しておらず、所定角度傾斜している。   In the present embodiment, the pressing direction (biasing direction) 95 of the vibrating body 2 by the leaf springs 71 and 72 and the straight lines 91 and 94 are not orthogonal to each other but are inclined at a predetermined angle.

以上説明したように、この圧電モーター1では、板バネ71、72を用いているので、振動体2のガタツキ等を抑制し、振動体2を安定させることができ、十分な振動特性が得られる。   As described above, since the piezoelectric motor 1 uses the leaf springs 71 and 72, the vibration body 2 can be prevented from rattling and the vibration body 2 can be stabilized, and sufficient vibration characteristics can be obtained. .

また、圧電モーター1を駆動していないときのブレーキ力として、ローター5の正方向の回転に対するブレーキ力と、ローター5の逆方向の回転に対するブレーキ力とに差が生じることを抑制することができる。   Further, as a braking force when the piezoelectric motor 1 is not driven, it is possible to suppress a difference between a braking force with respect to the forward rotation of the rotor 5 and a braking force with respect to the reverse rotation of the rotor 5. .

<第2実施形態>
図10は、本発明の圧電モーターの第2実施形態を示す平面図である。
Second Embodiment
FIG. 10 is a plan view showing a second embodiment of the piezoelectric motor of the present invention.

以下、第2実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。   Hereinafter, the second embodiment will be described with a focus on the differences from the first embodiment described above, and the description of the same matters will be omitted.

図10に示すように、第2実施形態の圧電モーター1は、被駆動体として、ローター5に代えて、横断面形状が長手形状の被駆動体、すなわち、スライダー8を備えている。   As shown in FIG. 10, the piezoelectric motor 1 according to the second embodiment includes a driven body having a longitudinal cross-sectional shape, that is, a slider 8 instead of the rotor 5 as a driven body.

スライダー8は、横断面の形状が略四角形である棒状、すなわち、一方向に長い略直方体をなしており、その長手方向(軸方向)に移動可能に設置されている。圧電モーター1は、振動体2が振動することにより、スライダー8に動力(駆動力)を伝達して移動(駆動)させる装置である。   The slider 8 has a rod shape with a substantially square cross section, that is, a substantially rectangular parallelepiped that is long in one direction, and is movably installed in the longitudinal direction (axial direction). The piezoelectric motor 1 is a device that transmits (drives) power (driving force) to the slider 8 when the vibrating body 2 vibrates.

このスライダー8には、2つのローラー80a、80bと、スライダー8の移動を規制する2つの凸部(移動規制手段)83a、83bが設けられている。   The slider 8 is provided with two rollers 80a and 80b and two convex portions (movement restricting means) 83a and 83b that restrict the movement of the slider 8.

2つのローラー80a、80b同士は、所定距離離間して、図10中左右方向に並設されている。そして、2つのローラー80a、80bは、それぞれ、スライダー8の一方(図10中上側)の面に、スライダー8と平行な姿勢で、正逆両方向に回転可能に中心に位置する軸81a、81bで支持されている。   The two rollers 80a and 80b are arranged in parallel in the left-right direction in FIG. The two rollers 80a and 80b are respectively arranged on one side (upper side in FIG. 10) of the slider 8 with shafts 81a and 81b positioned in the center in a posture parallel to the slider 8 and rotatable in both forward and reverse directions. It is supported.

また、ローラー80a、80bの周面(外周面)には、それぞれ、溝82a、82bが外周に沿って形成されている。そして、これらローラー80aの溝82a内およびローラー80bの溝82b内に、それぞれ、スライダー8が配設されている(位置している)。   Further, grooves 82a and 82b are formed along the outer periphery on the peripheral surfaces (outer peripheral surfaces) of the rollers 80a and 80b, respectively. The slider 8 is disposed (positioned) in the groove 82a of the roller 80a and the groove 82b of the roller 80b.

また、凸部83aは、8スライダーのローラー80aよりも図10中左側の端部に位置し、凸部83bは、スライダー8のローラー80bよりも図10中右側の端部に位置している。   Further, the convex portion 83a is positioned at the left end portion in FIG. 10 with respect to the eight slider roller 80a, and the convex portion 83b is positioned at the right end portion in FIG. 10 with respect to the roller 80b of the slider 8.

なお、凸部の位置や数は、これに限らず、例えば、2つのローラー80a、80bの間に配置してもよく、また、凸部の数は、1つであってもよい。また、ローラーの数もこれに限定されない。   In addition, the position and number of convex parts are not restricted to this, For example, you may arrange | position between the two rollers 80a and 80b, and the number of convex parts may be one. Further, the number of rollers is not limited to this.

この圧電モーター1では、前述した第1実施形態と同様に、補強板23(圧電素子22、24)の厚さ方向から見たとき、直線91および94と、スライダー8の凸部26との当接部分84(接点)の移動方向96とのなす角度θ2が、5°以下に設定されている。これにより、圧電モーター1によれば、前述した第1実施形態と同様の効果が得られる。なお、角度θ2は、第1実施形態における角度θ1と同様に設定することが好ましい。この場合、第1実施形態のθ1をθ2と読み替え、第1実施形態の直線93を移動方向96と読み替えればよい。   In this piezoelectric motor 1, as in the first embodiment described above, when the reinforcing plate 23 (piezoelectric elements 22, 24) is viewed from the thickness direction, the straight lines 91 and 94 and the protrusions 26 of the slider 8 are in contact with each other. The angle θ2 formed with the moving direction 96 of the contact portion 84 (contact point) is set to 5 ° or less. Thereby, according to the piezoelectric motor 1, the effect similar to 1st Embodiment mentioned above is acquired. The angle θ2 is preferably set similarly to the angle θ1 in the first embodiment. In this case, θ1 in the first embodiment may be read as θ2, and the straight line 93 in the first embodiment may be read as the moving direction 96.

以上、本発明の圧電モーターを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。   Although the piezoelectric motor of the present invention has been described based on the illustrated embodiment, the present invention is not limited to this, and the configuration of each part is replaced with an arbitrary configuration having the same function. be able to. In addition, any other component may be added to the present invention.

また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。   Further, the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.

また、前記実施形態では、被駆動体は、圧電モーターの構成要素であるが、本発明では、これに限定されず、被駆動体は、圧電モーターの構成要素に含まれていなくてもよい。   Moreover, in the said embodiment, a to-be-driven body is a component of a piezoelectric motor, However In this invention, it is not limited to this, A to-be-driven body does not need to be contained in the component of a piezoelectric motor.

また、前記実施形態では、被駆動体として、ローターと、スライダーとを例に挙げて説明したが、本発明では、被駆動体は、これに限定されない。回転可能な被駆動体としては、その横断面の形状は、前記円形に限定されず、例えば、20角形等の多角形等が挙げられる。また、移動可能な被駆動体としては、その横断面の形状は、前記一方向に長い四角形に限定されず、例えば、湾曲した棒状等が挙げられる。また、被駆動体は、剛体であってもよく、また、可撓性を有していてもよい。   In the above embodiment, the rotor and the slider are exemplified as the driven body. However, the driven body is not limited to this in the present invention. As a rotatable driven body, the shape of the cross section is not limited to the circular shape, and examples thereof include a polygon such as a decagon. Moreover, as a movable to-be-driven body, the shape of the cross section is not limited to the rectangle long in the said one direction, For example, the curved rod shape etc. are mentioned. Further, the driven body may be a rigid body or may have flexibility.

また、本発明の圧電モーターの用途は、特に限定されず、本発明の圧電モーターは、例えば、各種ロボットの関節の駆動、ハンド等の各種のエンドエフェクターの駆動等、各種の装置の所定の部位の駆動に用いることができる。   Further, the use of the piezoelectric motor of the present invention is not particularly limited, and the piezoelectric motor of the present invention is a predetermined part of various devices such as driving of joints of various robots, driving of various end effectors such as hands. Can be used for driving.

1…圧電モーター
10…振動部
2…振動体
21a、21b、21c、21d…電極
22、24…圧電素子
23…補強板
25a、25b、25c、25d…電極
26…凸部
27…連結部
3…保持部
31、32…支柱
33…連結部
4…基台
5…ローター
50…回転中心
51…軸部
52…外周面
53…当接部分
54…回転中心軸
6…支持体
71、72…板バネ
711、721…第1部分
712、722…第2部分
713…貫通孔
8…スライダー
80a、80b…ローラー
81a、81b…軸
82a、82b…溝
83a、83b…凸部
84…当接部分
91〜94…直線
95…押圧方向
96…移動方向
111〜118…ネジ
121〜124…矢印
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric motor 10 ... Vibrating part 2 ... Vibrating body 21a, 21b, 21c, 21d ... Electrode 22, 24 ... Piezoelectric element 23 ... Reinforcing plate 25a, 25b, 25c, 25d ... Electrode 26 ... Convex part 27 ... Connecting part 3 ... Holding portions 31, 32 ... support 33 ... connecting portion 4 ... base 5 ... rotor 50 ... rotation center 51 ... shaft portion 52 ... outer peripheral surface 53 ... contact portion 54 ... rotation center shaft 6 ... supports 71, 72 ... leaf spring 711, 721 ... 1st part 712, 722 ... 2nd part 713 ... Through-hole 8 ... Slider 80a, 80b ... Roller 81a, 81b ... Shaft 82a, 82b ... Groove 83a, 83b ... Protruding part 84 ... Contact part 91-94 ... straight line 95 ... pressing direction 96 ... moving direction 111-118 ... screw 121-124 ... arrow

Claims (9)

回転可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を回転させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ第1の直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分と前記被駆動体の回転中心とを結ぶ第2の直線に直交する第3の直線とのなす角度θ1が、5°以下であることを特徴とする圧電モーター。
A contact portion that contacts a driven body that is rotatably provided; and a piezoelectric element that is provided on a side opposite to the driven body of the contact portion, and is vibrated by applying a voltage to the piezoelectric element. A vibrating body that rotates the driven body by applying a force to the driven body;
A holding unit for holding the vibrating body so as to vibrate;
The base,
A pair of elastic bodies that connect the holding portion and the base and urge the contact portion toward the driven body via the holding portion;
A first straight line connecting a first portion fixed to the base of the elastic body and a second portion fixed to the holding portion of the elastic body, and the contact portion of the driven body A piezoelectric motor having an angle θ1 formed by a third straight line orthogonal to a second straight line connecting the contact portion and the rotation center of the driven body is 5 ° or less.
前記第1の直線と前記第3の直線とは、平行である請求項1に記載の圧電モーター。   The piezoelectric motor according to claim 1, wherein the first straight line and the third straight line are parallel to each other. 前記被駆動体は、横断面形状が円形状である請求項1または2に記載の圧電モーター。   The piezoelectric motor according to claim 1, wherein the driven body has a circular cross-sectional shape. 移動可能に設けられた被駆動体に当接する接触部と、前記接触部の前記被駆動体と反対側に設けられた圧電素子と、を有し、前記圧電素子に電圧を印加することにより振動して、前記被駆動体に力を加えることにより前記被駆動体を移動させる振動体と、
前記振動体を振動可能に保持する保持部と、
基台と、
前記保持部と前記基台とを連結し、前記保持部を介して前記接触部を前記被駆動体に向けて付勢する1対の弾性体と、を備え、
前記弾性体の前記基台に固定されている第1部分と前記弾性体の前記保持部に固定されている第2部分とを結ぶ直線と、前記被駆動体の前記接触部との当接部分の移動方向とのなす角度θ2が、5°以下であることを特徴とする圧電モーター。
A contact portion that comes into contact with a driven body that is movably provided, and a piezoelectric element that is provided on a side opposite to the driven body of the contact portion, and is vibrated by applying a voltage to the piezoelectric element. A vibrating body that moves the driven body by applying a force to the driven body;
A holding unit for holding the vibrating body so as to vibrate;
The base,
A pair of elastic bodies that connect the holding portion and the base and urge the contact portion toward the driven body via the holding portion;
A contact portion between a straight line connecting the first portion fixed to the base of the elastic body and the second portion fixed to the holding portion of the elastic body and the contact portion of the driven body An angle θ2 formed by the moving direction of the piezoelectric motor is 5 ° or less.
前記直線と前記移動方向とは、平行である請求項4に記載の圧電モーター。   The piezoelectric motor according to claim 4, wherein the straight line and the moving direction are parallel to each other. 前記被駆動体は、横断面形状が長手形状である請求項4または5に記載の圧電モーター。   The piezoelectric motor according to claim 4, wherein the driven body has a longitudinal cross-sectional shape. 前記弾性体は、板バネである請求項1ないし6のいずれか1項に記載の圧電モーター。   The piezoelectric motor according to claim 1, wherein the elastic body is a leaf spring. 前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体に対して接触および離間するような第1楕円軌跡を描くように振動する第1振動モードと、
前記接触部が前記第1楕円軌跡とは方向が逆であり、前記被駆動体に対して接触および離間するような第2楕円軌跡を描くように振動する第2振動モードとを、有する請求項1ないし7のいずれか1項に記載の圧電モーター。
The vibrating body vibrates so as to draw a first elliptic locus such that the contact portion contacts and separates from the driven body; and
2. A second vibration mode in which the contact portion has a direction opposite to that of the first elliptical locus, and vibrates so as to draw a second elliptical locus so as to contact and separate from the driven body. The piezoelectric motor according to any one of 1 to 7.
前記被駆動体を有する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の圧電モーター。   The piezoelectric motor according to claim 1, comprising the driven body.
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