JP2018078759A - 振動波モータ - Google Patents

Abstract

【課題】小型化したリニア駆動型振動波モータを提供する。【解決手段】振動板１０２と圧電素子１０３から構成される振動子１０１と、振動子１０１と相対移動可能に支持される摺動部材１２０と、振動子１０１と摺動部材１２０とを圧接させる加圧部材１０６と、を有し、圧電素子１０３と加圧部材１０６とは、振動子１０１の振動の節の位置に設けられる係合部により振動子１０１が加圧部材１０６に保持され、係合部は圧電素子１０３の表裏を導通している振動波モータ。【選択図】 図２

Description

本発明は、光学機器などに適用される振動波モータ、特にリニア駆動型の振動波モータに関するものである。

従来のリニア駆動型の超音波モータとして、超音波域の周期的な振動を発生する振動子とこれに圧接した摺動部材とを相対移動させる技術が知られている。特許文献１及び特許文献２に示す超音波モータは、振動板と圧電素子からなる振動子と、摺動部材であるスライダとを、加圧バネで互いに圧接して構成されている。圧電素子に高周波電圧を印加して振動子を振動させることで、振動子とスライダが相対移動し、可動部である光学レンズを駆動している。

特開２０１４−１８３７２４号公報 特開２０１５−１２６６９２号公報

特許文献１に記載の超音波モータは、振動子を基台により保持する構成となっており、構造が複雑であって装置が大型化している。一方、特許文献２に記載の超音波モータは、駆動方向である長軸方向に振動板を延長して被接合部を形成し、被接合部が固定された連結部材を介して振動子を保持する構成となっており、振動子が駆動方向に大きく、装置が大型化している。

そこで本発明の目的は、振動子を小型化したリニア駆動型振動波モータを提供することである。

上記目的を達成するために本発明では、振動波モータが振動板と圧電素子とから構成される振動子と、振動子と相対移動可能に支持される摺動部材と、振動子と摺動部材とを圧接させる加圧部材と、を有し、圧電素子と加圧部材とは、振動子の振動の節の位置に設けられる係合部により振動子が加圧部材に保持され、係合部は圧電素子の表裏を導通していることを特徴とする。

本発明によれば、振動子を小型化したリニア駆動型振動波モータを提供することができる。

（Ａ）本発明の実施例１に係る振動波モータの振動子ユニット１００の平面図である。（Ｂ）〜（Ｅ）同断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）本発明の実施例１に係る振動波モータの振動子ユニット１００の分解斜視図である。 （Ａ）本発明の実施例１に係る振動波モータの平面図である。（Ｂ）同断面図である。（Ｃ）従来例の超音波モータの平面図である。（Ｄ）同断面図である。 本発明の実施例１に係る振動波モータの振動子１０１の振動モードを示す図である。 本発明の実施例２に係る振動波モータの振動子２０１の平面図である。 本発明の変形例の振動波モータの振動子ユニット３００を示す断面図である。

本発明の実施形態に係る振動波モータ（超音波モータ）について説明する。図１（Ａ）は、振動波モータの振動子ユニット１００の平面図、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の断面線ＩＢ−ＩＢにおける断面図、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）の断面線ＩＣ−ＩＣにおける断面図である。図１（Ｄ）は、図１（Ｂ）の断面線ＩＤ−ＩＤにおける断面図、図１（Ｅ）は、図１（Ｂ）の断面線ＩＥ−ＩＥにおける断面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）は、いずれも振動子ユニット１００の分解斜視図である。図３（Ａ）は、振動波モータの平面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の断面線ＩＩＩＢ−ＩＩＩＢにおける断面図である。

図３（Ａ）における、スライダ１２０と振動子ユニット１００とが相対移動する方向をＸ方向、振動子１０１がスライダ１２０に押圧される方向をＺ方向、Ｘ方向、Ｚ方向のいずれにも直交する方向をＹ方向と定義する。本発明の振動波モータのスライダ１２０と振動子ユニット１００とは、Ｚ方向において互いに対向し、Ｘ方向において相対移動可能となるように、不図示の支持部材により支持されている。スライダ１２０は、直方体形状をしており、請求項中の摺動部材に相当する。

次に図２（Ａ）を参照して、振動子ユニット１００の構成について説明する。振動板１０２は、略長方形の平板形状をしており、一方の面に２つの圧接部１０２ａ、圧接部１０２ｂが形成されている。圧電素子１０３は、略長方形の平板形状をしており、振動板１０２の２つの圧接部１０２ａ、圧接部１０２ｂが形成されている面とは反対の面に、接着剤によって固着されている。そして、振動板１０２と圧電素子１０３とにより振動子１０１が構成されている。振動板１０２に固着される圧電素子１０３の面には、ＧＮＤ電極１０３ｇがその全面に形成され、反対側の面には図２（Ａ）に示すように、第１電極１０３ｄ、第２電極１０３ｅ及び第３電極１０３ｆが形成されている。

ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）１０４は、圧電素子１０３の第１電極１０３ｄ、第２電極１０３ｅ及び第３電極１０３ｆをそれぞれ外部の回路に導通させている。ＦＰＣ１０４には、Ｚ方向に貫通する略円形の孔１０４ａが形成されている。なおＦＰＣ１０４は、請求項中の接続部材に相当する。

外部の回路から圧電素子１０３に高周波電圧が印加されると、振動板１０２が長軸方向及び短軸方向にそれぞれ共振を起こす。すなわち、高周波電圧の印加によって振動子１０１は、超音波域の周波数の振動（超音波振動）を起こすように構成されている。その結果、図１（Ｂ）において矢印Ｓａ、Ｓｂで示すように、振動板１０２に形成された圧接部１０２ａ、圧接部１０２ｂの先端が楕円運動を起こす。本発明の実施形態では、ＧＮＤ電極１０３ｇと第１電極１０３ｄ、及びＧＮＤ電極１０３ｇと第２電極１０３ｅの間に、それぞれ高周波電圧を印加する。圧電素子１０３に印加する高周波電圧の周波数や位相を変えることで、楕円運動の回転方向や楕円比を適宜変化させて所望の動きを発生させることができる。圧接部１０２ａ、圧接部１０２ｂは、スライダ１２０と摩擦接触しており、前述の楕円運動によって、振動板１０２とスライダ１２０とをＸ方向に相対的に移動させる駆動力が発生する。

弾性部材１０５は、略長方形の平板形状をしているとともに、均一な厚さを有するシート状の弾性体から構成され、後述の加圧板１０６により、振動子１０１に加えられる加圧力を全面均一にする作用・機能を有する。弾性部材１０５には、Ｚ方向に貫通する略円形の孔１０５ａ、孔１０５ｂが形成されている。

加圧板１０６は、略長方形の平板形状をしており、圧電素子１０３を押圧保持するとともに、ＦＰＣ１０４と弾性部材１０５とが加圧板１０６と圧電素子１０３の間に挟み込まれるように構成されている。加圧板１０６には、圧電素子１０３に向かってＺ方向に延出する軸１０６ａ、軸１０６ｂ及び反対方向に向かって延出する円筒形状の軸１０６ｃ、軸１０６ｄが形成されている。なお加圧板１０６は、請求項中の加圧部材に相当する。

振動子ホルダ１０７には、Ｚ方向に貫通しＸ方向に長い長孔１０７ａ、長孔１０７ｂが形成されており、加圧板１０６の軸１０６ｃ、軸１０６ｄがそれぞれ挿入される。長孔１０７ａ、長孔１０７ｂと、軸１０６ｃ、軸１０６ｄとは、それぞれＹ方向に微小のすきまを持たせて嵌合している。したがって、加圧板１０６は、振動子ホルダ１０７に対してＸ方向、Ｚ方向への移動が可能である一方、Ｙ方向への並進が規制されている。振動子ホルダ１０７には、加圧板１０６と対向する面にＺ方向にくぼんだ凹部１０７ｃ、凹部１０７ｄが形成されている。凹部１０７ｃ、凹部１０７ｄには、後述の第１シャフト１１０ａ、第２シャフト１１０ｂと後述の板バネ１１１が配置される。

振動子ホルダ１０７と加圧バネ保持部材１０８との間には、加圧バネ１０９が挟持され、振動子ホルダ１０７は、加圧バネ１０９の一方の端部を支持し、加圧バネ保持部材１０８は、加圧バネ１０９の他方の端部を支持する。加圧バネ保持部材１０８に形成された軸部１０８ａは、加圧バネ１０９の内部にはまり込む。この構成により、加圧バネ１０９は、振動子ホルダ１０７と加圧バネ保持部材１０８との間に安定して挟持される。

振動子ホルダ１０７と加圧バネ保持部材１０８との間に配置される加圧バネ１０９は、加圧方向であるＺ方向において、伸縮自在となるように構成されており、加圧板１０６は加圧バネ保持部材１０８を介して加圧バネ１０９によりＺ方向に付勢される。さらに加圧板１０６は、弾性部材１０５を介して圧電素子１０３と振動板１０２とをＺ方向に付勢することにより、圧接部１０２ａ、圧接部１０２ｂがスライダ１２０に圧接される。すなわち、加圧部材であるところの加圧板１０６は、振動子１０１をスライダ１２０と圧接させている。結果として、前述した圧接部１０２ａ、圧接部１０２ｂの楕円運動を、摩擦力を介して、スライダ１２０にＸ方向の駆動力として作用させることができる。

第１シャフト１１０ａ、第２シャフト１１０ｂは、いずれもＹ方向に延出する円筒形状のシャフトである。板バネ１１１は弾性の特性を有し、中央が屈曲した平板形状をしている。第１シャフト１１０ａは、振動子ホルダ１０７の凹部１０７ｃの側面と加圧板１０６の側面とによってＸ方向に狭持されており、加圧バネ１０９の加圧方向であるＺ方向に転動して移動可能である。一方、第２シャフト１１０ｂと板バネ１１１とは、凹部１０７ｄの側面と加圧板１０６の側面によってＸ方向に狭持されている。第２シャフト１１０ｂは、加圧バネ１０９の加圧方向であるＺ方向に転動して移動可能である。第１シャフト１１０ａ、第２シャフト１１０ｂは、ともに加圧板１０６をＸ方向にその両側から挟みこむように設けられている。

板バネ１１１により、図１（Ｂ）中の矢印で示す方向に付勢力Ｆが発生し、第２シャフト１１０ｂを介して加圧板１０６が付勢される。したがって、加圧板１０６、振動子ホルダ１０７、第２シャフト１１０ｂ、板バネ１１１の各部材間におけるＸ方向のガタを無くすことが可能である。結果として、振動板１０２とスライダ１２０との間で発生したＸ方向の駆動力は、振動板１０２と一体に固着された圧電素子１０３、圧電素子１０３を保持する加圧板１０６、加圧板１０６とガタの無い振動子ホルダ１０７へと伝達される。そして、Ｘ方向の駆動力は、スライダ１２０と振動子ユニット１００とをＸ方向に相対移動させる。また、第１シャフト１１０ａ及び第２シャフト１１０ｂの転動により、加圧板１０６と振動子ホルダ１０７とが加圧方向であるＺ方向に低摩擦で相対移動することが可能である。

本発明の実施形態における振動波モータでは、圧電素子１０３と加圧板１０６とが振動子１０１の振動の節の位置に設けられた係合部により係合し、当該係合により振動子１０１が加圧板１０６に係合保持される。さらに係合部は、圧電素子１０３の表裏を導通する特性を備えている。

（実施例１）
次に、本発明の実施例１について図２（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。圧電素子１０３には、振動子１０１の超音波振動の節の位置であって、Ｚ方向に貫通する略円形の孔１０３ａ、孔１０３ｂが形成されている。また、加圧板１０６には、圧電素子１０３に向かってＺ方向に延出する軸１０６ａ、軸１０６ｂが形成されている。孔１０３ａに軸１０６ａが、孔１０３ｂに軸１０６ｂがそれぞれ挿入されて、圧電素子１０３と加圧板１０６とが係合することにより、振動子１０１が加圧板１０６に保持される構成となっている。これら孔１０３ａと軸１０６ａ、孔１０３ｂと軸１０６ｂがそれぞれ係合部を形成する。

圧電素子１０３に設けられた孔１０３ａは、圧電素子１０３に配置されたＧＮＤ電極１０３ｇ（例えば裏面）と第３電極１０３ｆ（例えば表面）とを貫通している。孔１０３ａの内壁には、ＧＮＤ電極１０３ｇと第３電極１０３ｆに電気的に接続された導電材料からなる導電部１０３ｃが形成されており、孔１０３ａはいわゆる両面スルーホールとして機能している。すなわち、孔１０３ａに備えられた導電部１０３ｃにより、圧電素子１０３の表裏に配置されるＧＮＤ電極１０３ｇと第３電極１０３ｆとは、電気的に導通している。

加圧板１０６の一方の軸１０６ａは、円形断面をもつ円筒形状の軸形状をしており、他方の軸１０６ｂは円形断面に対してＹ方向の上下の２つの対峙する円弧がカットされた断面、いわゆるダブルＤカット形状の断面をもつ軸形状をしている。軸１０６ａは、弾性部材１０５の孔１０５ａと、ＦＰＣ１０４の孔１０４ａと、圧電素子１０３の孔１０３ａに挿入されている。また、軸１０６ｂは、弾性部材１０５の孔１０５ｂと、圧電素子１０３の孔１０３ｂに挿入されている。さらに、軸１０６ａ及び軸１０６ｂは、圧電素子１０３から振動板１０２の方向に突出しない構成であるため、振動板１０２に接触することはない。

ここで、軸１０６ａと孔１０３ａとは、微小のすきまを有して嵌合することにより、軸１０６ａに対する圧電素子１０３のＸ方向またはＹ方向の並進が規制されている。また、同様に軸１０６ｂと孔１０３ｂとは、Ｘ方向に微小のすきまを有して嵌合することにより、圧電素子１０３の軸１０６ａを中心とした回転が規制されている。結果として、振動板１０２とスライダ１２０との間で発生したＸ方向の駆動力は、振動板１０２と一体に固着された圧電素子１０３を介して加圧板１０６に伝達される。なお、軸１０６ａ、軸１０６ｂは、請求項中の保持部に相当する。

次に、本発明の特徴及び効果について説明する。ここで、従来例である特許文献１に記載された超音波モータと本実施例１の振動波モータとを比較して、その両者における構成の相違及び本実施例１の振動波モータが備える特徴及び優れた効果について説明する。まず、本実施例１における振動波モータの振動板１０２は、上記のように圧電素子１０３に固定され、圧電素子１０３に設けられた孔１０３ａ、孔１０３ｂによって振動子１０１は加圧板１０６に保持されている。さらに、孔１０３ａに備えられた導電部１０３ｃにより、圧電素子１０３の表裏に配置されるＧＮＤ電極１０３ｇと第３電極１０３ｆとは、電気的に導通している。

図３（Ｃ）は従来例の超音波モータの平面図、図３（Ｄ）は図３（Ｃ）の断面線ＩＩＩＤ−ＩＩＩＤにおける断面図である。従来例の超音波モータの振動板には、Ｘ方向の両端からＸ方向に延出する被接合部Ｃが形成されている。被接合部Ｃは、振動板の振動を阻害しないように、本体に対して剛性の低い腕を有している。被接合部ＣにはＺ方向に貫通しＸ方向に長い長孔が形成されている。そして、振動板は基台Ｂに保持されており、基台Ｂには、中央にＺ方向に貫通する空間が形成されており、振動子支持部材が挿入されてＹ方向の移動が規制されている。基台Ｂには、振動板に向かってＺ方向に突出する軸が二つ形成されており、それぞれ被接合部Ｃの長孔に挿入されている。軸と長孔とが接着剤によって共に固着されることにより、振動板と基台とは一体化し固定される。基台Ｂには、振動子支持部材と対向する面にＺ方向にくぼんだ凹部が形成されている。

転動部材である一方のコロ軸は、凹部の側面と振動子支持部材の側面によってＸ方向に狭持されている。他方のコロ軸と板バネは、凹部の側面と振動子支持部材の側面によってＸ方向に狭持されている。板バネにより、他方のコロ軸を介して振動子支持部材が付勢され、基台Ｂ、振動子支持部材、コロ軸、板バネの各部材間におけるＸ方向のガタを無くしている。

また、従来例の超音波モータでは、圧電素子側面に圧電素子の表裏面を連結する折り返し電極が形成されている。折り返し電極は、圧電素子の端面のエッジに沿って印刷などにより形成されるため端面に印刷が転写されず、導通しないおそれがある。さらに、折り返し電極は、露出しているため外部からの接触などによって破損し、導通しないおそれがある。

従来例の超音波モータは、上記のように基台Ｂを介して振動子ホルダに振動板を固定しているため、Ｙ方向の大きさは、図３（Ｃ）に示すようにＷ２となる。一方、本実施例１における振動波モータの振動子ユニット１００のＹ方向の大きさは、図３（Ａ）に示すようにＷ１である。すなわち、従来例の超音波モータは、本実施例１の振動波モータと比較してＹ方向に大きく、Ｗ２＞Ｗ１となっている。

本実施例１における振動波モータは、圧電素子１０３に設けられた孔１０３ａ、孔１０３ｂによって振動子１０１が保持されているため、振動子ユニット１００の長さはＸ方向に短い。図３（Ｂ）において、振動子ホルダ１０７のＸ方向の長さをＬａとすると、振動子ユニット１００のＸ方向の長さＬ１を以下の式で表すことができる。
Ｌ１＝Ｌａ

一方、図３（Ｄ）において、従来例の超音波モータでは、上記の振動子ホルダ１０７のＸ方向の長さＬａに、２つの被接合部Ｃが振動子ホルダ１０７からＸ方向に突出する長さＬｃを加えたＸ方向の長さＬ２を以下の式で表すことができる。
Ｌ２＝Ｌａ＋２×Ｌｃ

従来例の超音波モータは、振動板からＸ方向に２つの被接合部Ｃが延出しているため、Ｘ方向に大きい。また、基台Ｂを有しているため、Ｙ方向にも大きい。一方、本実施例１における振動波モータでは、圧電素子１０３に設けられた孔１０３ａ、孔１０３ｂによって振動子１０１を保持されている。また、振動子ホルダ１０７に凹部１０７ｃ、凹部１０７ｄが形成されており、振動板１０２が第１シャフト１１０ａ、第２シャフト１１０ｂと板バネ１１１を介して保持されており、本実施例１における振動波モータは上記のような基台Ｂを必要としない。

したがって、本実施例１における振動波モータでは、可動部である振動子ユニット１００のＸ方向の長さ及びＹ方向の長さを小さくすることができ、駆動方向だけでなく全体的に小型化することが可能である。また、部品点数を削減することができ、かつ低コスト化が可能なリニア駆動型振動波モータを提供することができる。

さらに、従来例の超音波モータでは、圧電素子１０３の側面にＧＮＤ電極１０３ｇと第３電極１０３ｆとを連結する折り返し電極が形成されている。一方、本実施例１における振動波モータでは、ＧＮＤ電極１０３ｇと第３電極１０３ｆとを圧電素子１０３の内部に形成された孔１０３ａ及び導電部１０３ｃによって連結している。したがって、本実施例１における振動波モータでは、電極の構成において、外部からの接触などによって導通しなくなるおそれを低減できるとともに、信頼性が向上した小型化したリニア駆動型振動波モータを提供することができる。

次に、本実施例１の振動波モータの振動子１０１の振動モードと孔１０３ａ、孔１０３ｂとの関係について説明する。図４は、本実施例１における振動子１０１の振動モードを示す図であって、振動子１０１の平面図、振動子１０１のＸ−Ｘ断面及びＹ−Ｙ断面における各振動モード（ｉ）〜（ｉｖ）を示す。圧電素子１０３に外部の回路から所定の高周波電圧が印加されると、振動子１０１が図４の振動モード（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）、（ｉｖ）の順で振動し、以降この振動が繰り返される。実線のＸ２及びＸ４は、長軸方向であるＸ方向の振動の腹の位置を示し、２点鎖線のＸ１、Ｘ３、Ｘ５は、長軸方向であるＸ方向の振動の節の位置を示す。実線のＹ２は、短軸方向であるＹ方向の振動の腹の位置を示し、２点鎖線のＹ１、Ｙ３は、短軸方向であるＹ方向の振動の節の位置を示す。

本実施例１では、振動子１０１が保持される一方の孔１０３ａは、Ｘ方向の振動の節の位置であるＸ３と、Ｙ方向の振動の節の位置であるＹ１の交点に設けられている（Ｘ３，Ｙ１）。同様に、振動子１０１が保持される他方の孔１０３ｂは、Ｘ方向の振動の節の位置であるＸ３と、Ｙ方向の振動の節の位置であるＹ３の交点に設けられている（Ｘ３，Ｙ３）。図４を参照すると、孔１０３ａ、孔１０３ｂが位置するＸ方向の振動の節とＹ方向の振動の節の交点（Ｘ３，Ｙ１）、（Ｘ３，Ｙ３）は、振動子１０１が各振動モード（ｉ）〜（ｉｖ）で振動しても変位が発生しない。すなわち、振動子１０１が保持される孔１０３ａ、孔１０３ｂは、振動の節の位置に設けられているため、相手部品である加圧板１０６の軸１０６ａ、軸１０６ｂに対して相対移動しない。

したがって、振動の節の位置で振動子１０１を保持する本実施例１の構成では、係合部において振動による変位が発生しないため、係合部の摩擦が発生しない。結果として、係合保持による振動子１０１の振動の阻害は防止されるとともに、振動波モータの出力の低減も防止される。

（実施例２）
図５は、本発明の実施例２に係る振動波モータの振動子２０１を示す平面図である。本実施例２では、振動子２０１が保持される一方の孔２０３ａは、Ｘ方向の振動の節の位置であるＸ１と、Ｙ方向の振動の節の位置であるＹ１の交点に設けられている（Ｘ１，Ｙ１）。同様に振動子２０１が保持される他方の孔２０３ｂは、Ｘ方向の振動の節の位置であるＸ５と、Ｙ方向の振動の節の位置であるＹ３との交点に設けられている（Ｘ５，Ｙ３）。本実施例２においても、振動子２０１が保持される孔２０３ａ、孔２０３ｂは、振動の節の位置に設けられているため、相手部品である加圧板２０６の軸２０６ａ、軸２０６ｂに対して相対移動しない。

したがって、振動子２０１を振動の節の位置で保持する本実施例２の構成では、係合部において振動による変位が発生しないため、係合部の摩擦が発生しない。結果として、係合保持による振動子２０１の振動の阻害は防止されるとともに、振動波モータの出力の低減も防止される。さらに、振動子２０１が保持される孔２０３ａ、２０３ｂの距離Ｌを大きくすることができるため、加圧板２０６に対する圧電素子２０３の位置決め精度を向上させることができる。

（変形例）
図６（Ａ）は、本発明の変形例に係る振動波モータの振動子ユニット３００を示す断面図であって、図１（Ｃ）に相当する断面図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）の軸３０６ａ付近を拡大した部分拡大図である。軸３０６ｂ（不図示）についても同様であるので、符号を括弧で示す。本変形例では、加圧板３０６の軸３０６ａ、軸３０６ｂの両方が截頭錐体の形状になっており、弾性部材３０５を変形させながら加圧板３０６をＺ方向に加圧することで、軸３０６ａ、軸３０６ｂが孔３０３ａ、孔３０３ｂにすきま無く挿入されている。したがって、加圧板３０６と圧電素子３０３との間のガタを無くし、位置決め精度を向上させることができる。以上説明したように、本変形例では、位置決め制度が向上した、小型化したリニア駆動型振動波モータを提供することができる。

なお、本発明の構成は、上記各実施例に例示したものに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。

１０１ 振動子
１２０ スライダ（摺動部材）
１０２ 振動板
１０３ 圧電素子
１０３ａ、１０３ｂ 孔（係合部）
１０３ｃ 導電部
１０４ ＦＰＣ（接続部材）
１０４ａ 孔
１０５ 弾性部材
１０５ａ、１０５ｂ 孔
１０６ 加圧板（加圧部材）
１０６ａ、１０６ｂ 軸（保持部）

Claims (8)

1. 振動板と圧電素子とから構成される振動子と、
   前記振動子と相対移動可能に支持される摺動部材と、
   前記振動子と前記摺動部材とを圧接させる加圧部材と、
   を有し、
   前記圧電素子と前記加圧部材とは、前記振動子の振動の節の位置に設けられる係合部により前記振動子が前記加圧部材に保持され、前記係合部は前記圧電素子の表裏を導通していることを特徴とする振動波モータ。
2. 前記係合部は、前記圧電素子に備えられた孔と、前記加圧部材に設けられた保持部とにより構成され、前記孔に前記保持部が挿入し前記振動子を保持することを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記保持部は、円筒形状の軸と、円筒形状の断面における対峙する２つの円弧をカットしたダブルＤカット形状を有する筒形状の軸とにより構成することを特徴とする、請求項２に記載の振動波モータ。
4. 前記孔は、前記圧電素子の表裏を電気的に導通する導電部を構成することを特徴とする、請求項２又は３に記載の振動波モータ。
5. 前記加圧部材は、加圧板であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
6. 弾性部材と、
   前記圧電素子の電極と外部の回路とを導通させる接続部材と、
   をさらに有し、
   前記加圧部材は、前記接続部材と前記弾性部材のうち少なくとも一方を挟んで、前記圧電素子を押圧することを特徴とする、請求項２乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
7. 前記接続部材と前記弾性部材のうち少なくとも一方は、前記保持部が挿入される孔が形成されることを特徴とする、請求項６に記載の振動波モータ。
8. 前記振動波モータは、超音波域の周波数の振動をする超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。

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