JP2014003733A - 振動波駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】振動波駆動装置の素子電極や配線に流れる電流により発生する磁界を低減する。
【解決手段】振動波駆動装置の圧電体２の表裏に接続される配線手段１３を同一の経路で配線し、圧電体の容量分の電流と機械的歪に起因する電流によって発生する発生磁界を相殺する。配線手段１３は積層型ＦＰＣであり、圧電体２の一対の電極３，４にそれぞれ接続される一対の配線部７，１０からなる。配線部は、膜状のベース部８，１１と、膜面に設けられた導電体（銅はく部）７−１，７−２，１０−１，１０−２からなる。
【選択図】図１

Description

本発明は、電気機械エネルギー変換素子を駆動源として弾性部材に駆動振動を励振する振動子を用いた振動波駆動装置に関する。

振動波駆動装置は、電気機械エネルギー変換素子によって発生する応力によって弾性部材を振動させ、これに摩擦接触した被駆動体を直接摩擦駆動するため、駆動原理として磁気を必要としない。このため、振動波駆動装置は、非磁性材料で構成することが可能で、磁場へ影響が少ないことから、微弱な磁場を利用する電子線描画装置や強磁場環境下で動作する磁気共鳴画像装置（以下、ＭＲＩ装置）で使用される。

特許文献１には、圧電素子の電極にその端部を接触させたフレキシブル基板を多層構造とした振動波駆動装置が開示されている。特許文献２には、２つ曲げ振動モードの組み合わせによって、被駆動体を直線方向に駆動する振動型駆動装置が開示されている。

特開２００２−１４２４７３ 特開２００４−３２０８４６

振動波駆動装置は、非磁性材料で構成するとしても、駆動するためには圧電素子に電気エネルギーを供給する必要がある。このため、電源装置から圧電素子に至る配線や圧電体表面電極間を電気的に接続する配線を駆動中に流れる電流が、磁気ノイズの発生源となりうる。微小な磁場の影響を受やすい電子線描画装置やＭＲＩ装置での使用にあたっては、この磁気ノイズが装置の動作に悪影響を与えてしまうという課題があった。

電源装置から圧電素子に至る配線については、ツイストペアケーブルや、同軸ケーブルを使用することによって、磁気ノイズ低減が可能である。一方、圧電素子の電極配置は、駆動原理にかかわる制約に応じて配置されているため、配置の自由度が少ない。圧電素子の電極配置が、弾性部材に所望の駆動振動を励振するように決定された上で、フレキシブルプリント基板が電極に接合される。圧電素子に形成された複数の素子電極に対応した各駆動領域は、容量性の負荷すなわちコンデンサーであるため、駆動電圧に比例した電荷を発生する。さらに加えて、各駆動領域は圧電現象によって圧電素子の機械的な振動による歪に応じて電荷を発生する。これらの素子電極をフレキシブルプリント基板で接続して駆動回路を形成し、駆動電圧を印加すると、容量による電荷と、圧電効果による電荷とに基く電流がフレキシブルプリント基板の配線を流れる。

上述した電流による発生磁場が、ＭＲＩ装置のように微小な磁場変動による変化を検出する場合には、計測部位に磁場変動を発生させるため、検出信号、ひいては診断画像に影響を与える恐れがある。

上述した課題を解決する振動波駆動装置は、
第１の面と、該第１の面に対向する第２の面とを有する板状の電気機械エネルギー変換部材と、
前記電気機械エネルギー変換部材の前記第２の面側で前記電気機械エネルギー変換部材に接合された弾性部材と、
前記電気機械エネルギー変換部材の前記第１の面と前記第２の面とにそれぞれ設けられた一対の電極と、
前記一対の電極に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記一対の電極と前記電圧印加手段とを接続する配線手段と、
前記弾性部材に圧接された被駆動体とを有し、
前記一対の電極に交番電圧が印加されることにより発生する前記弾性部材の機械振動によって、前記被駆動体が相対駆動される振動波駆動装置において、
前記配線手段は、前記一対の電極にそれぞれ接続される一対の配線部からなり、
前記一対の配線部は、一対の膜状のベース部と、該ベース部の膜面にそれぞれ形成された一対の導電体とからなり、
前記一対の配線部は、前記一対の導電体が絶縁層を介して互いに重なるように配置されていることを特徴とする。

本発明によれば、圧電素子上の配線を圧電素子の駆動領域ごとに一致した電流経路とすることにより、圧電素子の容量性電流及び機械歪電流によって生じる磁界を低減することができる。

本発明の第１の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図 本発明の第１の実施形態の振動波駆動装置の斜視図 第１の実施形態の上下面電極を流れる電流を示す説明図 本発明の第２の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図 本発明の第３の実施形態の振動波駆動装置の分解透視図 本発明の第４の実施形態の振動波駆動装置の分解透視図 本発明の第５の実施形態の振動波駆動装置の分解透視図 本発明の第６の実施形態の振動波駆動装置の圧電体の斜視図 本発明の第６の実施形態の振動波駆動装置の配線手段の斜視図 本発明の第６の実施形態の振動波駆動装置の斜視図

（第１の実施形態）
図２は、本発明の第１の実施形態に係る振動波駆動装置の斜視図であり、図１は、その分解斜視図である。弾性部材１は、圧電体（電気機械エネルギー変換部材）２と接着剤によって一体的に固着されている。被駆動体６は、摩擦接触部１−１、１−２を介して弾性部材１に圧接されている。弾性部材１は樹脂、セラミックス等の電気絶縁性の部材で構成されている。圧電体２の弾性部材１に接する側の面を下面（第２の面）、下面に対向する面を上面（第１の面）とする。弾性部材１は、圧電体２と、その下面側で接合される。圧電体２の上面には、配線手段としての積層型フレキシブルプリント基板（以下、積層型ＦＰＣ）１３が接合され、圧電体の各電極への給電がなされる。圧電体２の下面には、下電極（第２の電極）３−１、３−２が形成されている。上面にも同様に、上電極（第１の電極）４−１、４−２が形成され、下電極と上電極とは、圧電体２の厚さ方向に投影したときの外形形状が一致するように設けられている。圧電体２と、上電極及び下電極とにより圧電素子（電気機械エネルギー変換素子）が構成される。上電極４−１、４−２と下電極３−１、３−２とは、同じ金属（アルミニウム、銀、金、白金）が用いられる。圧電体２には、上下面を貫く貫通穴に導電性材料を充填したビアホール５−１、５−２が形成されており、下電極３−１、３−２は、そのビアホール表面に電気的に接続されている。上電極４−１、４−２のビアホール５の周囲には、ビア径に対して駆動に用いる電位差で放電しない程度の間隙をもつ穴部が形成されており、上電極４とビアホール５とは、電気的に絶縁状態にある。圧電体２は、厚さ方向に予め分極処理が施してある。

上電極４−１をＡ（＋）電極、上電極４−２をＢ（＋）電極、下電極３−１及びこれと導通するビアホール５−１をＡ（−）電極、下電極３−２及びこれと導通するビアホール５−２をＢ（−）電極とする。不図示の駆動電源（電圧印加手段）によって、Ａ（＋）とＡ（−）電極間に互いに逆極性の交番電圧であるＡ相駆動電圧を印加する。同様にＢ（＋）とＢ（−）電極間に互いに逆極性の交番電圧であるＢ相駆動電圧を印加する。Ａ相駆動電圧とＢ相駆動電圧とを印加することにより、弾性部材１に２つの機械振動（曲げ振動）を励起し、その合成によって、突起形状の摩擦接触部１−１、１−２に生じさせた楕円振動によって被駆動体６を紙面左右方向に相対駆動する。尚、Ａ相駆動電圧とＢ相駆動電圧とは、例えば、互いに９０°の位相差を有した、同一の周波数の交番電圧とすることができるが、駆動方法の詳細については、特許文献２に開示されているので省略する。

ここで、圧電素子の素子電極（上電極と下電極）に係る作用について説明する。圧電体２の上下面には、圧電体２がもつ制動容量による電荷と、素子の振動歪に応じた電荷が発生する。このため、制動容量分の既知の電流成分に加え、被駆動体６を駆動しているときの振動状態の変化等によって各々の電極上に発生する電荷の変化に基く電流成分が発生する。素子電極に電圧を印加するための配線手段は、これらの発生電荷の変化による電流の経路となる。図３に、上下電極を流れる電流の方向を模式的に表す。後述するように、配線手段１３を構成する２つの配線部７、１０の位置を厚さ方向に一致させたことにより、上下電極へ流れる電流が同経路を通ることとなる。さらに、上下電極に発生する電荷は、逆極性で大きさも等しい。このため、圧電素子の厚さに対して十分に離れた空間位置においては、上下電極に流れる電流により発生する磁界が互いに逆方向となって相殺され、全体としての外部磁界を低減することができる。

配線手段１３は、積層型ＦＰＣであり、一対の配線部７、１０と、一対の配線部７、１０の間及び圧電体２と配線部７との間に配置された一対のカバーレイ（絶縁層）１２、９とからなる。第１の配線部７は、ポリイミド製の膜状のベース部８と、その膜面に設けられた第１の導電体（銅はく部）７−１、７−２とからなり、第２の配線部１０は、同じくポリイミド製の膜状のベース部１１と、その膜面に設けられた第２の導電体（銅はく部）１０−１、１０−２とからなる。カバーレイ９、１２は、銅はく部の一部を露出させるような形状を有する。銅はく部１０−１、１０−２は、図１の破線で示した軸を中心とした円形状穴部１２−１、１２−２を設けたカバーレイ（第１の絶縁層）１２で被覆することによって円形状の露出部が形成され、圧電体上のビアホール５−１、５−２と導通する。上電極と接続される銅はく部７−１、７−２は、同様に円形状の穴部９−１、９−２を設けたカバーレイ（第２の絶縁層）９で被覆することによって円環形状の露出部が形成され、それぞれ上電極４−１、４−２と導通する。ベース部８には、カバーレイ１２の穴部と同形の穴部８−１、８−２を設けているため、銅はく部１０−１と１０−２はこの穴を貫くビアホール５−１、５−２に導通することができる。銅はく部の露出部以外のリード部は、カバーレイで被覆されており、銅はく部１０−１と銅はく部７−１の経路、及び銅はく部１０−２と銅はく部７−２の経路がカバーレイの層を隔てて面内方向に一致している。即ち、一対の配線部７、１０は、一対のベース部８、１１の膜面にそれぞれ形成された導電体１０−１、７−１が、膜面と垂直方向で互いに重なるように配置されている。

圧電体２を挟んで対向する上下電極へ流れる電流は、極性が異なる同量の電流となっている。加えて本構成の配線手段１３を用いることによって、銅はく部を流れる電流は、カバーレイを挟んで互いに逆方向となるため、周囲に発生する磁場が互いに相殺され、外部への漏れ磁界を低減することができる。

以上述べたように、素子電極形状と素子電極の配線材料を同一としたこと、及び素子電極への配線を同経路としたことで、振動波駆動装置の内部の配線による外部磁界の発生を低減することができる。

（第２の実施形態）
図４は、本発明の第２の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図である。第１の実施形態と同様の構成は同じ符号で示してある。第１の実施形態では、下電極３−１、３−２と配線部１０との結線を、圧電体２を貫通するビアホールによって行ったが、本実施形態では、圧電体側面を通り表面に至る圧電体側面接続部（以下、側面接続部）１４−１、１４−２を用いている。側面接続部１４−１、１４−２は、上下電極３、４を形成した後、他の部分をマスキングして、金属を蒸着することによって形成される。他の形成方法として、側面接続部１４−１、１４−２の上下面内にある部分を、上下電極３、４と同時に形成し、分極処理を行った後に、側面にスクリーン印刷によって導電性塗料を塗布して、側面接続部１４−１、１４−２の上下面内にある部分を、それぞれ接続するように形成しても良い。下電極３−１、３−２に導通する側面接続部１４−１、１４−２は、第１の実施形態と同様の構成で露出部をもつ銅はく１０−１、１０−２と接続される。銅はく部７−１、７−２は、側面接続部１４−１、１４−２と短絡しないように銅はく形状を円弧状に変更してある。このようにして、圧電体２の側面を介した結線によって、下電極と配線部と接続することによっても、第１の実施形態と同等の効果を得ることできる。また、第１の実施形態で用いたビアホールの存在による圧電体２の曲げ破断強度の低下を避けることが可能となり、振動型駆動装置としてより大きな出力を発生することが可能となる。

（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図である。本実施形態は、円環型の振動波駆動装置に係るものであり、上述した第２及び第３の実施形態との差異は、同じ電位を印加する電極が複数設けられている点である。

図５（Ｂ）に示すように、円板状の圧電体２の上面には、上電極４（４−１、４−２、１５−１、１５−２）及びビアホール５を設けてあり、下面には、図５（Ｃ）に示すように、下電極３（３−１、３−２、１８、１９）が設けてある。上電極４−１を第１のグループの第１電極群とし、上電極４−２を第２のグループの第１電極群とする。同様に、下電極３−１を第１のグループの第２電極群とし、下電極３−２を第２のグループの第２電極群とする。第１のグループの第１電極群のそれぞれの電極の形状と第１のグループの第２電極群のそれぞれの電極の形状とは対応（略一致）している。同様に、第２のグループの第１電極群のそれぞれの電極の形状と第２のグループの第２電極群のそれぞれの電極の形状とは対応（略一致）している。下電極３を全てグランド電位とし、圧電体２に（＋）、（−）の向きの分極を生じさせる電位を、上電極４に与えて分極処理を行い、図５（Ｂ）に示すような、圧電体２の分極パターンを形成する。ビアホール５は、圧電体２の上下面を貫通する穴に導電材料を充填したものである。圧電体２の下面は、円環状の弾性部材（不図示）に固着され、円環の一周当たり５つの曲げ弾性振動を発生する。円環の全周長を５λとしたとき、電極１５−１と電極１８はそれぞれλ／４、電極１５−２と電極１９は３λ／４、上下電極３、４の各々はすべてλ／２の周長をもったパターンとなっている。上電極４−１と下電極３−１間に与える電位をＡ相電位、上電極４−２と下電極３−２の間に与える電位をＢ相電位として、互いに９０°の時間的位相差を設けた交番電位とすることによって曲げ進行波を生じさせる。

図５（Ａ）及び図５（Ｄ）は、分極処理後の圧電体２の上面及び下面にそれぞれ設けられる配線部の形状を示している。上配線部２０（第１の配線部）は、端部にビアホール５を囲む円形開口部をもった円弧状の配線で、蒸着や印刷等によってＡ相電極群４−１上に形成され、Ａ相電極群４−１を電気的に短絡する。上配線部２１（第２の配線部）は、同様に、Ｂ相電極群４−１上に形成され、Ｂ相電極群４−２を電気的に短絡する。中央のランド２４、２５は、２つのビアホール５にそれぞれ接続される円形の導電部材であり、上配線部２０、２１の円形開口部と同軸上に配置される。下配線部２２、２３は、それぞれ２つのビアホール５と電気的に接続され、下配線部２２（第３の配線部）は、Ａ相グランド電極群３−１を短絡し、下配線部２３（第４の配線部）は、Ｂ相グランド電極群３−２を短絡する。上配線２０と下配線２２は同じ形状を有し、上配線２１と下配線２３は同じ形状を有し、それぞれ互いに重なるように配置されている。ショート配線部２８と２９は、駆動電圧を印加しない下電極１８と上電極１５−１のセット、及び下電極１９と上電極１５−２のセットを、それぞれ同電位とするために設けられている。このショート配線部２８、２９は、上面に設けられるショート配線部２６、２７とそれぞれ圧電体側面を介して接続される。不図示の側面接続部は、第２の実施形態で示した手段と同様の方法で設けられている。

図５（Ｅ）は積層型ＦＰＣ３０の構成を示しており、端部に４つの接続部を設けてある。圧電体表面の、ビアホール５を含む端部の接続領域に、積層型ＦＰＣ３０を接着や異方性導電粘着剤等によって接続する。積層型ＦＰＣ３０に設けられたランド３１は上配線部２０に、ランド３２は上面のランド２５に、ランド３３は上配線部２１に、ランド３４は上面のランド２４にそれぞれ接続される。積層型ＦＰＣ３０上の経路３５、３６には、それぞれ間にカバーレイを挟んで２層の配線が設けられており、経路３６には、ランド３１とランド３２とにそれぞれ接続された２層の配線が重ねられて配置され、経路３５には、ランド３３とランド３４とにそれぞれ接続された２層の配線が重ねられて配置されている。経路３６にはＡ相駆動の正負電圧、経路３５にはＢ相駆動の正負電圧がそれぞれ印加されて電流が流れる。

本実施形態では、同じ電位を印加する電極領域を複数設ける必要がある円環状の振動波駆動装置において、Ａ相駆動・Ｂ相駆動に対応する圧電体２の上下電極及び上下電極への接続経路を、同形状として、且つ互いに重ね合わされるように配置した。これにより、電流経路が正負同経路となり、振動波駆動装置周辺に発生する磁場を低減することが可能となっている。

（第４の実施形態）
図６は、本発明の第４の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図である。本実施形態と第３の実施形態との差異は、下配線部を、下電極と一体構成とした点にある。第３の実施形態と同等の構成部は同じ符号で示している。図６（Ｂ）及び図６（Ｃ）は、それぞれ圧電体２の上面、下面の構成を示している。下電極３の形状が、図６（Ａ）の上配線部２０と図６（Ｂ）の上電極４とを合わせた形状と等価になるため、電流経路が上下面で同一となる。他の実施形態同様、外部の発生磁場を低減することができる。さらに、本実施形態では、分極処理後の下配線部形成に係る工程が除かれる。そのため、下面に導電性薄膜が別工程で２度設けられることによって生じる表面の凹凸が低減され、弾性部材との接合に用いる接着剤の層厚分布が低減されることにより、接合界面での弾性部材の機械的損失を低減することもできる。

（第５の実施形態）
図７は、本発明の第５の実施形態の振動波駆動装置の分解斜視図である。本実施形態と、第４の実施形態との差異は、上配線部２０、２１及び下電極３を一様な幅の弧形状とした点、下電極３から上面のランド２５への接続を、ビアホールを用いずにショート配線部と同様の側面接続とした点にある。

第４の実施形態と同様の構成は、同じ符号を用いて表している。図７（Ａ）は、上配線部の形状を表しており、上配線部２０、２１は、一様な幅の弧形状となっている。図７（Ｂ）は、第３及び第４の実施形態と同様である。図７（Ｃ）は、下電極３の形状を表しており、下電極３−１は、上配線部２０に対応（略一致）した形状を有し、下電極３−２は、上配線部２１に対応（略一致）した形状を有している。下電極３−１、３−２は、側面接続部（不図示）へ接続される端子部２２、２３を備えている。圧電素子の分極処理後に、上配線部２０、２１を導電性塗料等で形成した後、下電極３の端子部２２、２３を、それぞれ側面接続部を介して上ランド２５、２４に接続する。同様に、電位を与えない電極１８、１９も、端子部１８−１、１９−１を備えており、それぞれ側面接続部を介して、ショート配線部２６、２７に接続される。ショート配線部２６、２７は、それぞれ上電極１５−１、１５−２と導通し、圧電体２の非駆動部は、両面が導通状態となる。側面接続部は、上配線部を形成した後に、導電性材料の印刷や蒸着等で形成される。

図７（Ｄ）に示す積層型ＦＰＣは、第４の実施形態と層構成は同様であるが、ランド部の形状が異なる。上配線部２０、２１とそれぞれ接続されるランド３１、３３は、下面から側面を経て上面に導通するランド２４、２５とショートしないように、半円状のランド形状としてある。下電極３との接続部であるランド３２、３４は、第４の実施形態と同様である。

本実施形態では、上配線部２０，２１と下電極３の形状を、同一の一様な幅の円弧状とすることにより、他の実施形態同様、圧電体２の上下面への電流経路が一致し、外部の発生磁場を低減することができる。また、弾性部材との接合部のうち駆動力に作用する電極領域の凹凸をより低減することが可能となるため、振動子の振動損失を低減できる。さらに、ビアホールに代わって側面配線としたので、貫通穴の存在によって発生する素子の破断限界を上げることができるため、高効率かつ出力の大きな振動波駆動装置を構成することができる。

（第６の実施形態）
図８乃至図１０は、それぞれ本発明の第６の実施形態の、圧電素子、配線手段、振動型駆動装置を示す斜視図である。図８に示すように、圧電体２は円筒型であり、対象軸を中心軸とする円筒座標系でみたときに、内外径面の電極形状が同形状となるように、それぞれの電極が配置されている。図９は、積層型ＦＰＣ３０の平面図であり、積層型ＦＰＣ３０は、圧電体２の外周上の上面付近に、各電極とランドが接触するように巻きつけられて接合される。本実施形態は、円筒型圧電振動子の軸方向の伸縮振動と、円筒の対象軸が曲がるような曲げ振動の固有振動数を略一致させ、同時に励起するものであり、球形の被駆動体６を図１０の破線矢印の方向に回動させることができる。被駆動体６は、セラミックスなどの非磁性部材で構成されている。

圧電体２は、内径側電極３−１、３−２と、それに対応する外径側電極が４−１、４−２とを有する。内径側電極３−１、３−２と、圧電体２の外周側に延びる接続電極１４−１、１４−２とは、電気的に接続されている。接続電極１４−１、１４−２は、それぞれ外周電極４−１、４−２の周方向中央部に位置している。積層型ＦＰＣの電極露出部３４、３２が、それぞれ接続電極１４−１、１４−２と接続され、電極露出部３３、３１が、外周電極４−１、４−２に接続される。積層型ＦＰＣ３０は、それぞれの電極が絶縁された状態で、電極露出部３１〜３４が露出するように適宜間にカバーレイを挟んだ積層構造となっている。電極露出部３３と電極露出部３４とにそれぞれ接続され、互いに絶縁された２層構成の同形状の配線が、同経路３５を通って、不図示の電源装置に接続される。同様に、電極露出部３１と電極露出部３２とにそれぞれ接続され、互いに絶縁された２層構成の同形状の配線が、同経路３６を通って、不図示の電源装置に接続される。

板状の圧電体の平面上への投影形状に限らず、円筒形状においても、径方向に配線形状を一致させることによって、素子電極に流れる電流分布を正負逆方向で一致させることができる。また、積層型ＦＰＣ３０の配線に流れる電流も正負逆方向で一致させることができる。従って、本実施形態においても、振動型駆動装置に流れる電流による発生磁場を低減することができる。本実施形態の駆動装置を複数組み合わせることによって、ロボットアームやフィンガー機構を構成することも可能である。さらには、ＭＲＩ装置等に設置しても診断画像への影響がすくないマニピュレータを構成することが可能となる。

１ 弾性部材
２ 圧電体
３ 下電極
４ 上電極
６ 被駆動体
７、１０ 銅はく部（導電体）
８、１１ ベース部
９、１２ カバーレイ（絶縁層）
１３、３０ 積層ＦＰＣ

Claims (12)

1. 第１の面と、該第１の面に対向する第２の面とを有する板状の電気機械エネルギー変換部材と、
   前記電気機械エネルギー変換部材の前記第２の面側で前記電気機械エネルギー変換部材に接合された弾性部材と、
   前記電気機械エネルギー変換部材の前記第１の面と前記第２の面とにそれぞれ設けられた一対の電極と、
   前記一対の電極に電圧を印加する電圧印加手段と、
   前記一対の電極と前記電圧印加手段とを接続する配線手段と、
   前記弾性部材に圧接された被駆動体とを有し、
   前記一対の電極に交番電圧が印加されることにより発生する前記弾性部材の機械振動によって、前記被駆動体が相対駆動される振動波駆動装置において、
   前記配線手段は、前記一対の電極にそれぞれ接続される一対の配線部からなり、
   前記一対の配線部は、一対の膜状のベース部と、該ベース部の膜面にそれぞれ形成された一対の導電体とからなり、
   前記一対の配線部は、前記一対の導電体が絶縁層を介して互いに重なるように配置されていることを特徴とする振動波駆動装置。
2. 前記一対の電極は、同じ形状で同じ材料からなることを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
3. 前記一対の電極は、前記第１の面に形成された第１の電極と、前記第２の面に形成された第２の電極とからなり、
   前記一対の導電体は、前記第１の電極に接続された第１の導電体と、前記第２の電極に接続された第２の導電体とからなり、
   前記第２の電極と前記第２の導電体とは、前記電気機械エネルギー変換部材を貫通するビアホールを介して接続されることを特徴とする請求項１又は２記載の振動波駆動装置。
4. 前記第１の導電体は、端部に形成された円形の露出部と、該露出部に接続されたリード部とからなり、
   前記第２の導電体は、端部に形成された円環状の露出部と、該露出部に接続されたリード部とからなり、
   前記絶縁層は、前記第１の導電体と前記第２の導電体との間に配置され、前記円形の露出部に対応した穴部を有する第１の絶縁層と、前記第１の導電体と前記第１の電極との間に配置され、前記円環状の露出部に対応した穴部を有する第２の絶縁層とからなり、
   前記円形の露出部は、前記第２の絶縁層の穴部と前記第１の絶縁層の穴部とを介して前記ビアホールに接続され、
   前記円環状の露出部は、前記第２の絶縁層の穴部を介して前記第１の電極と接続されることを特徴とする請求項３記載の振動波駆動装置。
5. 前記第１の導電体のリード部と前記第２の導電体のリード部とは、互いに重なるように配置されていることを特徴とする請求項４記載の振動波駆動装置。
6. 前記電気機械エネルギー変換部材は、円板状の形状を有し、
   前記一対の電極は、前記第１の面に形成された複数の第１の電極と、前記第２の面に該第１の電極に対応して形成された第２の電極とからなり、
   前記複数の第１の電極は、第１のグループの第１電極群と第２のグループの第１電極群とからなり、
   前記第１のグループの第１電極群を短絡する第１の配線部と、前記第２のグループの第１電極群を短絡する第２の配線部とを有することを特徴とする請求項１記載の振動波駆動装置。
7. 前記第２の電極は、前記第１のグループの第１電極群のそれぞれの電極の形状に対応した第１のグループの第２電極群と、前記第２のグループの第１電極群のそれぞれの電極の形状に対応した第２のグループの第２電極群とからなり、
   前記第１のグループの第２電極群を短絡する第３の配線部と、前記第２のグループの第２電極群を短絡する第４の配線部とを有することを特徴とする請求項６記載の振動波駆動装置。
8. 前記第１の配線部と前記第３の配線部とは同じ形状を有し、前記第２の配線部と前記第４の配線部とは同じ形状を有することを特徴とする請求項７記載の振動波駆動装置。
9. 前記第２の電極は、前記第１のグループの第１電極群に対応した、一様な幅の弧形状の電極と、前記第２のグループの第１電極群に対応した、一様な幅の弧形状の電極とからなことを特徴とする請求項６記載の振動波駆動装置。
10. 前記第１の配線部は、前記第１のグループの第１電極群に対応した、一様な幅の弧形状の電極に対応する形状を有し、
    前記第２の配線部は、前記第２のグループの第１電極群に対応した、一様な幅の弧形状の電極に対応する形状を有することを特徴とする請求項９記載の振動波駆動装置。
11. 前記一対の導電体は、前記第１の配線部に接続された第１の導電体と、前記第２の配線部に接続された第２の導電体とからなり、
    前記第２の配線部と前記第２の導電体とは、前記電気機械エネルギー変換部材を貫通するビアホールを介して接続されることを特徴とする請求項６記載の振動波駆動装置。
12. 前記一対の導電体は、前記第１の配線部に接続された第１の導電体と、前記第２の配線部に接続された第２の導電体とからなり、
    前記第２の配線部と前記第２の導電体とは、前記電気機械エネルギー変換部材の側面に配置された側面接続部を介して接続されることを特徴とする請求項６記載の振動波駆動装置。

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