JP3867823B2 - 積層圧電素子の製造方法 - Google Patents
積層圧電素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3867823B2 JP3867823B2 JP6321198A JP6321198A JP3867823B2 JP 3867823 B2 JP3867823 B2 JP 3867823B2 JP 6321198 A JP6321198 A JP 6321198A JP 6321198 A JP6321198 A JP 6321198A JP 3867823 B2 JP3867823 B2 JP 3867823B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrode
- hole
- piezoelectric element
- laminated piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は積層圧電素子および積層圧電素子の製造方法に係り、各層の複数の電極材料層をつなぐスルーホールとその電極層との導通ならびにスルーホール間の導通を確実に行い、高い信頼性を可能とする積層圧電素子の電極構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、電気−機械エネルギー変換機能を有する圧電材料は様々な圧電素子や圧電装置として多種多用途に用いられている。とりわけ最近の傾向として、これらの圧電素子や圧電装置は、単一の板状の形から多数の層を重ねた積層化した構造のものが提案されている。これは、積層化によって、同じ厚さの単一の板状の圧電セラミックスと比較した場合、低い印加電圧で大きな変形歪や大きな力が得られ、逆に小さな変形歪みを加えるだけで大きな電圧信号の出力が得られるといった大きな利点があり、これにより小型で高性能な圧電素子や圧電装置が提供できることになる。
【0003】
例えば、振動波モータ用の積層圧電素子としては特開平08−213664号公報、また振動ジャイロ用の積層圧電素子としては特開平08−271263号公報が、さらに圧電トランス用の積層圧電素子としては特開平08−148733号公報等がある。
【0004】
このような種々の用途に使用される積層圧電素子は、各圧電材層の表面に電極材料で形成された層(電極層)を接続するために、導体電極(層間電極)として層内に埋め込んだ電極であるスルーホール(スルーホール電極あるいはバイヤホール電極と称することもある)を用いることが多い。
【0005】
図4は特開平08−213664号公報に記載の従来の積層圧電素子を示し、図4の(a)に示す積層圧電素子11は、図4の(b)に示すように、n層の圧電材層(圧電セラミックス層)14(14−1〜14〜n)により構成されている。この積層圧電素子11は、2層目以降の各圧電体層(14−2〜14〜n)に例えば4分割構成の電極層13(13−2〜13−n)が形成されており、これらの各電極層の中で導通を必要とする電極層間は各圧電材層を貫通するスルーホール12を用いて接続されている。
【0006】
具体的には、第1層の圧電体層14−1〜第nー1層の圧電体層14−(n−1)に基本的に8つのスルーホールが形成されていて、第1層の圧電体層14−1の第1スルーホール12−1−1が第2層の電極層の第1電極13−2−1につながれ、また第1層の圧電体層14−1の第3スルーホール12−1−3は第2層の圧電体層14−2に形成された第3スルーホール12−2−3とつながって第3層の圧電体層14−3上の第3電極層の第2電極につながれている。
【0007】
そして、以下各圧電材層に形成された第1スルーホールが偶数層おきに、最下部から3番目の圧電体層(不図示)のスルーホール12−(n−2)と最下部から2番目の圧電材層(14−(n−1))上に形成された第1電極13−(n−1)−1との導通が図られる。また、各圧電材層に形成された第3スルーホールが第3層以下では奇数層おきに最下部の圧電体層14−n上に形成された第2電極と導通している。
【0008】
このような積層圧電素子の製造方法は、一般に焼成前の圧電セラミックス粉末を有機バインダーと混合して作ったシート状の成形体(グリーンシート)の層に小径の穴をあけて、その穴の中に電極材料となる電極ペーストを充填してスルーホールとし、また同様のシート状の成形体の層の表面に電極ペーストをスクリーン印刷法により印刷して電極層とし、これらのシート状の成形体を複数枚重ね合わせて熱圧着し、一体化した後に焼成を行い積層圧電素子を作る。
【0009】
一般に、上述の積層圧電素子の製造に用いる電極材料は、圧電材層(圧電セラミックス層)と同時に焼成を行うため、融点の高い貴金属(白金、パラジウム、銀など)を単一もしくは混合して用い、有機バインダーや溶剤と混合してペースト状にした電極ペーストを作り、各層の電極層となるように薄く圧電材層の表面に形成したり、また圧電材層のスルーホールとなる穴の中に充填したりする。
【0010】
当然ながら、これらの貴金属は高価であり、積層圧電素子の製造コストの中で占める材料コストとして最も高い。そこで、電極層もスルーホールも製造可能な範囲で、さらに性能上も問題のない範囲でできるだけ少量の使用にするため、電極層はできるだけ薄くなるように、電極材料、有機バインダー、溶剤、その他添加物からなる電極ペーストと、これを電極層として形成するためのスクリーン印刷法を工夫し、またスルーホールも小型化するなどして電極材料をできるかぎり少量化する工夫を行っている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、積層圧電素子は使用する前に圧電材層に電圧を印加する分極処理が行われる。通常、高温下(80℃〜200℃)で3KV/mm〜1KV/mmの電圧を30分間〜1時間程印加して処理を行っていた。
【0012】
上記の分極条件は、積層圧電素子を通常で使用する条件、例えば室温から数十℃、駆動電圧数V/mm〜百数十V/mmに比べ、著しく厳しい条件であり、分極処理の際は一般に印加された電圧で圧電材料は変形するため、積層圧電素子の圧電材層の層間や、スルーホールや、電極層に機械的な歪みが生じるばかりでなく、電圧印加時には積層圧電素子であるために、従来の単板の圧電素子に比べ静電容量が大きく、分極処理に使う直流電源から積層圧電素子に比較的大きな電流が流れる。
【0013】
この結果、積層圧電素子のスルーホールで、電極層との接続部やスルーホール間の接合部で分断し、断線したり、接合部が溶けて溶断したり、最悪の場合はこれらの衝撃で積層圧電素子の破壊が起こることがあり、積層圧電素子として使用できないことがあった。
【0014】
これらの基本的な発生原因は、前述のように電極層はできるだけ薄く、平均2〜3μm又は多くてせいぜい数μmの厚さで形成され、またスルーホールについても直径0.2mm〜0.1mm以下に小径化され、これらの電極層やスルーホールの電極材の部分、また接合部分にはときどき微小な空隙があったりし、前述の機械的な歪みの発生の影響などもあり、とくに電極層とスルーホールの接合部、またスルーホール間の接合部は機械的にも電気的にも弱い箇所になっていることが原因と思われる。
【0015】
事実、この接合部は、グリーンシートの熱圧着条件が不適当であったり、電極ペーストの印刷や充填が不充分であると、分極処理以前の問題として、スルーホールと電極膜、スルーホール間の導通がとれないことがしばしば起こった。
【0017】
本発明の目的は、内部での導通不良の生じない積層圧電素子の製造方法を提供しようとするものである。
【0023】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的を実現する第1の構成は、電極材料の層と、前記電極材料の層と接続される導電電極としてのスルーホールを備えた電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結される積層圧電素子の製造方法において、前記電極材料の層における前記スルーホールとの接合部の周辺部における電極材料の層上にスクリーン印刷法により電極材料の層を形成したものである。
【0024】
本発明の目的を実現する第2の構成は、電極材料の層と、前記電極材料の層と接続される導電電極としてのスルーホールを備えた電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結される積層圧電素子の製造方法において、前記電極材料の層における前記スルーホールとの接合部であって、前記スルーホールの接合面およびその周辺部における前記電極材料の層上にスクリーン印刷法により電極材料の層を形成したものである。
【0025】
本発明の目的を実現する第3の構成は、電極材料の層と、前記電極材料の層と接続される導電電極としてのスルーホールを備えた電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結される積層圧電素子の製造方法において、前記スルーホール同士の接合部の周辺部における前記電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層上にスクリーン印刷法により電極材料の層を形成したものである。
【0026】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
図1、図2は本発明の第1の実施の形態を示す。
【0027】
図1は積層圧電素子1の分極処理時の外観図であり、本実施の形態の積層圧電素子1は、外径φ10mm、内径φ2.8mm、厚さ約2mmである。
【0028】
図2は積層圧電素子1の第1層圧電材層の表面の電極層5(各電極は5−1〜5−3)および第2層目の圧電材層以降の表面の電極層6(6−2〜6−23)とこれらのつなぐスルーホール(図中黒丸で示す)の位置を表した図であり、第1層のスルーホール3(3−1〜3−12)と第2層目以降のスルーホール4(4−2−1〜9・・・・・・・)を示している。
【0029】
また、本実施の形態では、第1層の電極層の直径をφ9.5mm、内径をφ2.8mm、第2層以降第23層の電極層6−2〜6−23の直径をφ9mm、内径φ3.4mmとしている。
【0030】
本実施の形態の積層圧電素子は、圧電セラミックス粉末と有機バインダーからなる厚さ約85μmのグリーンシート(不図示)を用い、その表面にスクリーン印刷法により電極ペーストを印刷して第1層の電極層5及び第2相以降の電極層6を形成している。
【0031】
また、スルーホール3,4は、同じくグリーンシートに穴をあけ、穴の内部に電極ペーストを同じくスクリーン印刷法により充填して各電極層間の導通が図れるように直径0.1mmのスルーホールとして形成した。これらのグリーンシートと電極層、スルーホールは同位相に位置精度良く重ね合わせ、熱プレスにより圧着させ、最終的に最高温度1120℃で焼成し作られた。
【0032】
なお、スルーホールのうち、第1層の圧電材層に形成されるスルーホール3−1は、第3層の電極層のうちのセンサー用電極S(振動波モータ用として使用する場合、振動の状態を検出するための電極)までつながり、一直線上に並ぶスルーホール3−10〜3−12は位置確認用として用いられ、スルーホール3−9もこれらの位置確認用のスルーホールと同一直線上に配置され、スルーホール3−9は第2層の電極層までつながっている。他のスルーホール3−2〜3−9は第1層の電極層5から第22層の電極層6−22と第23層の電極層6−23まで導通が図られている。
【0033】
図1に示すように、第1層の電極層5−1〜5−3は分極処理の際に、分極用の直流電源8の電圧が直接コンタクトピン2−1〜2−3から印加される。分極処理は、直流電源8を用い、GND(グランド)を基準にして、(+)に180V、(−)に−180Vの電圧を印加し、150℃のシリコーンオイルの中で1時間かけて行った。
【0034】
従来、第1層の電極層5と、第2層の電極層6−2、そしてそれ以降の第23層の電極層6−23の厚さはできるだけ薄く形成しており、現状の電極ペーストとスクリーン印刷法では平均2〜3μmの厚さとなっている。
【0035】
図3の(a)、(b)は図2の本実施の形態の積層圧電素子と従来の積層圧電素子の積層方向におけるスルーホールの中心部の断面を示しており、本実施の形態の積層圧電素子の図3の(a)と従来の積層圧電素子の図3の(b)は、第1層の電極層5とスルーホール3−4、第2層のスルーホール4−2−4、第3層のスルーホール4−3−4、第4層のスルーホール4−4−4、第5層のスルーホール4−5−4、・・・・・第22層のスルーホール4−22−4、最下層の第23層の電極層6−23を示す。なお、第1層のスルーホール3−4と第2層のスルーホール4−2−4とは素子の中心からの距離が異なり、2層以降のスルーホールは素子の中心からの距離が等しくなっている。
【0036】
本実施の形態の積層圧電素子では、図3の(a)に示すように、電極層とスルーホールの接続部にあっては、スルーホールの近傍(周囲)に厚み増加用の電極層7−3−4’、7−2−4、7−2−4’、7−5−4・・・・・・7−23−4を設けて電極層の厚みを図3の(b)に示す従来例よりもスルーホールの周辺部でさらに厚くしている。
【0037】
また、スルーホール同士の接続部では、第2層と第3層間では、第3層の圧電材層の表面に、その表面に形成されている電極と接触しないように補強用電極層をスルーホールの周辺部に設け、さらに以下補強用電極層7−3−4、7−4−4、7−6−4(不図示)・・・・・・7−22−4を設けている。
【0038】
この結果、電極層の電極とスルーホール間の接続部と、スルーホール間の接続部は、前記補強用電極層により機械的および電気的に補強される。
【0039】
しかしながら、図3の(b)に示す従来例では電極層の電極とスルーホール間の接続部と、スルーホール間の接続部とにはこのような補強用電極層が設けられていないため、導通不良を招くことがあったが、本実施の形態では、このような導通不良の発生がなくなる。
【0040】
ここで、前記補強用電極層、特に電極層上に形成される補強用電極層にあっては、現在の技術では電極層5、6の厚さと同様に少なくとも2〜3μm以上の厚さとなるが、本実施の形態では導通をより確実なものとするために、やや厚めの4〜6μmとしている。
【0041】
付加された補強用電極層の形成は、電圧印加のための電極層や、スルーホールを形成後に、各層の上に改めて別に電極ペーストを印刷して形成している。
【0042】
不可された補強用電極層の形状は図3に示すように、スルーホールの周辺部から徐々にスルーホールに接するまで厚さが増えている形状が機械的かつ電気的な補強の点で望ましく、そのための製造方法は通常のスクリーン印刷法を用いて電極ペーストを印刷し、各グリーンシートを積層化のため熱圧着することで容易に形成される。
【0043】
図3のように、付加された補強用電極層を設けることで電極層とスルーホール間の導通、スルーホール間の導通はより確実となる。
【0044】
導通の良否を分極処理後における静電容量を測定し、その値により判定することができる。本実施の形態の積層圧電素子の静電容量の平均値は63nFで、そのばらつきは±2nF程度であった。
【0045】
これに対し、従来例の積層圧電素子の静電容量の平均値は46nFで、ばらつきは0〜64nFにも達し、明らかに断線が発生していると思われた。
【0046】
なお、図3は図2に示すスルーホールの一部についてのみ図示しているが、図2に示す他のスルーホールと電極層との接合部についても、例えば補強用電極層7−3−4’と7−2−4等と同様に、さらに他のスルーホール間の接合部についても、例えば補強用電極層7−3−4等と同様に補強用電極層が設けられている。
【0047】
本実施の形態の積層圧電素子の圧電材層の厚さは85μm、スルーホールの直径φ0.1mm、電極層5,6の厚さは平均2〜3μm、補強用電極層の厚さは4〜6μmとしており、図3では電極層を誇張して描いているが、実際の本実施の形態の積層圧電素子の断面を観察すれば、補強用電極層の存在は明確に確認することができる。
【0048】
特に、電極層5,6とスルーホールの接合部やスルーホール間の接合部での導通不良になり易い箇所は、スルーホールの端部と電極層との接続部であるが、例えば図3に示す補強用電極層7−2−4,7−23−4であり、分極処理により断線し易いのは勿論、分極処理前の素子として完成した後での、例えばスルーホール内への電極ペーストの充填不良(スルーホールの下部に充填不良が起こり易い)や熱圧着不良による断線不良も起こり易く、スルーホールを使った積層圧電素子における導通不良の防止対策として非常に効果的である。
【0049】
なお、上記した積層圧電素子の用途としては、2方向の曲げ振動の合成で進行波を形成する振動波モータ等の振動波駆動装置における振動体を構成する振動発生源として利用されるものであるが、特に、この目的に限定されたものではなく電極層の構成を変更すれば他の目的の振動発生源として使用することが可能であり、例えば積層の圧電トランスなどにも充分に適用可能である。
【0051】
【発明の効果】
本発明の積層圧電素子の製造方法によれば、簡単に補強用の電極材料の層を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す分極処理時の斜視図。
【図2】図1の積層圧電素子の各層の平面図。
【図3】積層圧電素子の一部側断面図で、(a)は第1の実施の形態を示し、(b)は従来例を示す。
【図4】従来の積層圧電素子を示し、(a)は斜視図、(b)は各層を示す分解斜視図。
【符号の説明】
1 積層圧電素子
2(2−1〜2−3) コンタクトピン
3,4 スルーホール導体電極
5、6 電極層
Claims (3)
- 電極材料の層と、前記電極材料の層と接続される導電電極としてのスルーホールを備えた電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結される積層圧電素子の製造方法において、
前記電極材料の層における前記スルーホールとの接合部の周辺部における電極材料の層上にスクリーン印刷法により電極材料の層を形成したことを特徴とする積層圧電素子の製造方法。 - 電極材料の層と、前記電極材料の層と接続される導電電極としてのスルーホールを備えた電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結される積層圧電素子の製造方法において、
前記電極材料の層における前記スルーホールとの接合部であって、前記スルーホールの接合面およびその周辺部における前記電極材料の層上にスクリーン印刷法により電極材料の層を形成したことを特徴とする積層圧電素子の製造方法。 - 電極材料の層と、前記電極材料の層と接続される導電電極としてのスルーホールを備えた電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層とを交互に複数重ねて積層し焼結される積層圧電素子の製造方法において、
前記スルーホール同士の接合部の周辺部における前記電気−機械エネルギー変換機能を有する材料の層上にスクリーン印刷法により電極材料の層を形成したことを特徴とする積層圧電素子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6321198A JP3867823B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 積層圧電素子の製造方法 |
US09/251,494 US6291932B1 (en) | 1998-02-17 | 1999-02-17 | Stacked piezoelectric element and producing method therefor |
US09/597,727 US6668437B1 (en) | 1998-02-17 | 2000-06-19 | Method for producing a stacked piezoelectric element |
US10/700,852 US6951048B2 (en) | 1998-02-17 | 2003-11-05 | Method for producing a stacked piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6321198A JP3867823B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 積層圧電素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11261122A JPH11261122A (ja) | 1999-09-24 |
JP3867823B2 true JP3867823B2 (ja) | 2007-01-17 |
Family
ID=13222649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6321198A Expired - Fee Related JP3867823B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-03-13 | 積層圧電素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3867823B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5031153B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 |
DE10307825A1 (de) * | 2003-02-24 | 2004-09-09 | Epcos Ag | Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel |
JP5074674B2 (ja) * | 2005-07-04 | 2012-11-14 | キヤノン株式会社 | 積層圧電素子および振動波モータ |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP6321198A patent/JP3867823B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11261122A (ja) | 1999-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6291932B1 (en) | Stacked piezoelectric element and producing method therefor | |
JP2001352768A (ja) | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 | |
JP5298999B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP5403170B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ及び圧電振動装置 | |
JP4466321B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP3867823B2 (ja) | 積層圧電素子の製造方法 | |
JP5429141B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法 | |
JP5429140B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPH11186626A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP5167576B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JPH05218519A (ja) | 電歪効果素子 | |
JP2001244514A (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびこれを用いた噴射装置 | |
JP2003009555A (ja) | 積層電気−機械エネルギー変換素子および振動波駆動装置 | |
JP3850130B2 (ja) | 積層圧電素子 | |
JPH034576A (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP2007165394A (ja) | 積層型圧電素子 | |
US20150048720A1 (en) | Piezoelectric actuator module and method of manufacturing the same | |
JP3250918B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP5589395B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP4667036B2 (ja) | 積層型圧電振動子及びその製造方法、並びに圧電アクチュエータ | |
JP4516365B2 (ja) | 超音波モータ | |
JP4247177B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP3377922B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP3572208B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP2006005244A (ja) | 積層型圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041015 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060724 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060724 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |